超低ガス放出質量ガス分析計

WATMASS for extreme high vacuum Licensed by VacLab Inc. 超低ガス放出質量ガス分析計 10-13Pa台のXHVｶﾞｽ分析が可能  低輻射/高熱伝導の 0.2% BeCu 合金製イオン源フランジ (ICF70) によりフィラメントからの熱影響を遮断し、XHV における高精度ガス分析を可能にした超低ガス放出 RGA  Pt-Ir 合金グリッドの採用により、水素と電子衝撃脱離 (ESD: Electron Stimulated Desorption) のガス放出を 大幅に低減  10-6 A/Pa (FC) の高感度を維持  ベース機種：米国インフィコン社 Transpector MPH 100, 200, 300amu イオンソース 主な仕様 WATMASS 100amu 質量範囲： 100, 200, 300amu 検出器タイプ： FC/EM イオン化エネルギー： 70eV フィラメントタイプ： Y2O3-Ir デュアルフィラメント 感度： 1.0 x 10-6 A/Pa 以上 (100amu FC Sensor) 最小検出速度： 1.8msec 動作温度： 200℃ (FC), 150℃ (EM) ベーキング温度： 最大 300℃ センサー単体 イオンソース： 0.2% BeCu 合金 (外装：NiPメッキ） 通信： TCP/IP イーサネット ソフトウエア： FabGuard Explorer Windows XP, 7, 8.1,10対応 ベース：米国 Inficon 社 Transpector MPH 標準品と XHV センサの比較 ハイパワー電子ボンバード 1000℃ 脱ガス時 東京電子株式会社

WATMASS とは 一般的な四重極残留ガス分析計にて 10-7Pa 以下の超高・極高真空領域 (UHV/XHV) の残留ガス 分析を行うと、センサー先端部イオン源からのガス放出が無視できなくなり、そのままでは高精度 のガス分析を行うことは困難となります。 WATMASS は、10-7～10-13Pa 台の残留ガス分析が高精度で行えるようにイオン源を改良した 製品です。  WATMASS の低ガス放出化への徹底したこだわり １、熱陰極イオン源および、センサーニップル管（ICF70）を低輻射/高熱伝導の 0.2% BeCu 製 を採用することで、低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減 ２、グリッドを白金イリジウム (Pt-Ir) 合金で製作することで、ESD ガス放出を低減 （ハイパワー 電子ボンバードの併用） ３、電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化 Be 層の形成  アプリケーション例 １、XHV/UHV の高精度なガス分析 ２、表面分析 ３、半導体デバイスの劣化とガス放出 ４、光刺激、電子刺激によって発生するガス分析 ５、微量ガス分析 (TDS/Out Gas) ６、封止デバイス/MEMS のガス分析および、10-16 Pa・m3/s レベルのリーク試験 ７、ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 低ガス放出化の原理 従来品 図中の Q2 & Q4 は、センサー本体からガス放出量 ガス源 ピーク強度 をオリフィス法で求めた値である。改良前のガス源 10～100倍 は、センサー先端の熱フィラメント部から発生して Q2= 3.4×10-9 いるため局部的にガス圧が高い状態である。 G この高い状態 (Local Pressure) の残留ガスを分析 Orifice するため、得られる強度は更に 10～100倍も高くな WATMASS 1/100 り、真値の 1000～10000倍も大きいガスピークと なっている。これに対して、低ガス放出化改良後の 残留成分に センサーは、熱フィラメントを点灯しても、ガス放 近いピーク Q4= 2.5×10-11 出量の2倍程度であるため、真のガス分析が可能とな G る。 ガス放出量の測定結果 条件 従来品 WATMASS 到達真空 P = 2.4 x 10-7 Pa P = 2.8 x 10-8 Pa フィラメント消灯 ガス放出 Q1 = 2.3 x 10-10 Pa・m3/s Q3 = 1.4 x 10-11 Pa・m3/s 到達真空 P = 3.5 x 10-6 Pa P = 2.5 x 10-8 Pa フィラメント点灯 ガス放出 Q2 = 3.4 x 10-9 Pa・m3/s Q4 = 2.5 x 10-11 Pa・m3/s ＊ 250℃, 24h ベーク後の値、測定値圧 P はコンダクタンス１L(N2)/s で制限された値 -11 3 ＊＊ Qは測定系のオリフィス法で求めたガス放出量 1.2 x 10 Pa・m /s を引いた値 フィラメント消灯：Q1  Q3, 1/10 まで減少 フィラメント点灯：Q2  Q4, 1/100 まで減少 WATMASS： Q3  Q4, 2倍程度の変化に改善 東京電子株式会社 http://www.toel.co.jp 本社 〒185-0012 東京都国分寺市本町 2-22-7 TEL 042-329-5090 FAX 042-329-5091 E-mail : sales@toel.co.jp