このカタログについて
| ドキュメント名 | 低ガス放出BeCu製品のご提案 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 5.1Mb |
| 取り扱い企業 | 東京電子株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
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核融合炉用パルススイッチ技術の応用による
医療用DLC成膜に最適なHiPIMS電源の開発
低ガス放出BeCu製品のご提案
Happy, Unique, Onlyone
東京電子株式会社
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ConFlat Flange & Chamber
Machining (cutting) without performing welding
Magic Cube BeCu Chamber Magic Nipple
DN 40CF（ICF70） DN /63/100/153/203CF DN 40CF（ICF70）
Hexahedron (ICF114/152/203/253) L40 ～145mm
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背景・考察
四重極型質量分析計 (QMS)
⾃⾝からのガス放出は無であることが望ましい
イオン源を構成する電極や⾦属壁⾯（ステンレス鋼）は、
熱フィラメントからの輻射熱により温度が上昇
ガス放出の著しい増⼤をもたらし、その真空容器内の
全圧上昇から測定精度に⼤きな影響を与える
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for Example
Pressure fluctuation with temperature change
10-3
10-4
10-5
QMS Filament
10-6 Turn ON
Off 4e-7Pa
10-7
10-8 System Bakeout
230℃ 1e-8Pa
10-9
25℃ 35℃
10-10
Time (h) 背景
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Pressure (Pa)
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背景・考察
HOT
1/18〜1/12倍
以下
表面：熱い 低温化
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⽔素ガスの放出率
Cr2O3: 耐腐蝕、酸化防⽌、耐磨耗性、密着⼒
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魔法のニップル / 魔法の6⾯体 Cube
0.2%BeCuの排気曲線
200℃のベークを1ｈ保持後、
室温（23℃）に戻した時点で
10-8〜10-9Pa台に到達
0.2%BeCuの
ガス放出速度は極めて低い
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Cupper Alloy
ステンレス鋼に代わる真空構造材
ベリリウム銅合⾦
(0.2% BeCu)
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0.2% BeCu
ナイフエッジに使える銅合⾦
1.2倍
13倍
真空構造材としての採用
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各種合⾦
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各種合⾦
A1100: 純度99%
A5083: ⾼強度・耐⾷性
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ICF70 (40CF)
銅ガスケットとの冷間結合を防⽌
NiPで酸化防⽌
低輻射率
⾼熱伝導率
酸化 Be 層
純銅ガスケット
200℃以上︓Ag Coated Cu Gasket の推奨
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Hydrogen
Dehydrogenation to 5.6 x 10-13Pa m3/sec
After machining from bulk Reduction process (Remove)
& electro polishing
H2O Vacuum furnace
300℃
Initial condition
Oxidation process Hydrogen Dehydrogenation and
for Be oxide layer diffusion process
Oxygen 400℃/ 72hrs
Room temp.
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BeCu Products
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XHV
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System
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超微量ガス分析装置
システム構成
破壊・計測室
特⻑ 主な仕様
WATMASS – MPHはベーキング後、V1を閉じ 0.2% BeCuによる超低ガス放出
た状態で分析管内を10-7Pa 台に保持できます。 He による機密および、破壊分析
制御部 分析部 この状態で分析室にサンプルをセットし、真空 到達真空度︓E-8Pa台
排気後、サンプルからの放出ガスおよび、破壊 超微⼩リーク校正ユニット(産総研)
後のガス分析から、真空度・残留成分・各分圧 による検証済(He)
を測定します。 100/200/300 amu FC/EM センサー
主なアプリケーション例
封⽌デバイス/MEMS のガス分析
ガラスの He 透過試験、微⼩気泡ガス分析
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MEMSに求められるもの
MEMS⽤破壊リーク試験
ガス
封し/接合部
Outgas
安全性担保・20年20万km保証のため
どんなリークも見逃してはならない！
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封⽌デバイスへの要求
10-15 Pa m3/s (He) 以下
世界最高の性能
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0.2% ベリリウム銅の使⽤について
ベリリウム銅合⾦は製造メーカー、⼤量の加⼯を⾏うユーザーにおいて、 溶解鋳造、放
電加⼯、研削研磨（乾式）等を⾏い、ヒュームや微粉じんの 発⽣を伴う場合には、
衛⽣⾯での配慮 （マスク着⽤ 局所排気など）が されています。
しかしながら、 固形状態で加⼯を伴わず使⽤する範囲では、⼈の健康 及び 環境に対して
影響を及ぼすことはなく、衛⽣⾯での特別な配慮は不要です。
また 加⼯規模、頻度が⾮常に⼩さい場合や、通常の切削加⼯を施す程度 であれば、作業
環境リスクも無視出来るほど⼩さく 、作業者の健康に影響を 及ぼす可能性は極めて低い
とされています。
ベリリウム銅合⾦は、特定化学物質障害予防規則が定義する特化物ではありません。
【特化物とは】
・ベリリウムおよび、その化合物
・ベリリウムを１％を超えて含む製剤 （合⾦においては、３％を超えてベリリウムを含
むもの）従い、ベリリウムが２％以下のベリリウム銅合⾦の取扱いについては、特化則の
対象外です。
国内法では、ベリリウム類の取扱いに関して定めた法律は、特化則の他には有りません。
⾦属事業部
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