このカタログについて
| ドキュメント名 | マイクロ真空計 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 355Kb |
| 取り扱い企業 | 東京電子株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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マイクロ真空計
Micro Vacuum Gauge 本製品の仕様は、予告なしに変更される場合があります。
MEMS加工技術により、シリコン基板から熱分離された
薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱伝導真空計です。
発熱体を構成する材料などを工夫することによって、低
圧側の測定幅を広げてあります。
Chipサイズ □0.8mm（左写真はCANパッケージ実装例）
通常のシリコンプロセスで製造する為、低コストで大量
生産することができます。
センサ測定回路
構 造
熱電対AlSi
メンブレン
定電圧測定
ヒーターにかかる電圧を
一定にして、各温度にお
ける熱電対出力を測定し ヒーター
ます。
ヒーター配線 熱電対PolySi
圧力特性
熱
電
対
出
力
電
圧
[mV]
基準計圧力[Pa]
東京電子株式会社
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2018/04/01 Rev.5