CC-10取扱い説明書

クリスタル／コールドカソード コンビネーションゲージ CC-10 取 扱 説 明 書 Rev.2.04 東京電子株式会社

は じ め に このたびは、クリスタル／コールドカソードコンビネーションゲージ「CC-10」をお買い上げい ただきまして誠にありがとうございます。 この取扱説明書は本製品を正しくご使用頂くための重要な事項が書かれております。本書をよく お読みになり、内容をご理解された上で実際にご使用下さいますようお願いいたします。 また、いつでもご使用できるように大切に保管して下さい。 本書に関して、改良のため予告なしに変更する場合がございます。 お買い上げいただいた「CC-10」または本書の内容についてご質問等がございましたら、下記ま でお問い合わせ下さい。 お問い合わせ先 東京電子株式会社 〒 1 8 5 - 0 0 1 2 東京都国分寺市本町2-22-7 Tel : 042-329-5090 Fax : 042-329-5091 Mail : sales@toel.co.jp URL : http://www.toel.co.jp/ 販売店または弊社に製品を返送する際には、[使用環境証明書]を外箱に添付して下さい。 （証明書は本書または弊社ホームページよりダウンロードすることができます。） 1

安全上のご注意 ● 安全にお使いいただくために 本製品を正しく安全にお使いいただくため、以下の安全に関する注意事項を必ずお守り下さい。 以下の注意事項に従わない場合、人的傷害を招く恐れがあります。 お客様が以下の注意事項を守らずにご使用になって生じた事故に関しては、弊社ではその責任は 負わないものと致します。 本書で使用している「警告」「注意」は次のように定義しています。 この警告に従わなかった場合、人が死亡または重傷を負う可能性が想定される内 △！ 警告 容を示しています。 この注意に従わなかった場合、人が重傷を負う可能性が想定される内容、および △！ 注意 機器等の損傷に至る可能性のある状態を示しています。 ● 安全に関する注意事項 電源電圧定格を確認すること △！ 警告 本製品の電源電圧定格は DC24V です、電源投入前に使用電圧を確認して下さ い。 定格以上の電圧を使用した場合、破損及び火災の恐れがあります。 電圧のかかっている回路に触れないこと △！ 警告 本製品は電源を入れたまま分解しないで下さい。また、電源を切った状態でも危 険電圧が存在している場合がありますので、何らかの理由で分解せざるを得ない 場合は、電源を切り、回路を放電してから行って下さい。 機器を改造しないこと △！ 警告 お客様が弊社に断りなく、本製品を改造または修理を行って発生した事故に対し ましては、弊社は一切の責任を負いません。 2

異常の場合は電源を遮断すること △！ 警告 本製品が異常な発熱をしたり発煙をしたり異臭がした場合には、直ちに電源を切 って下さい。そのまま使用しますと火災の原因になります。安全のために修理は 販売店または弊社にご依頼下さい。 機器を接続する場合は電源を遮断すること △！ 注意 外部入出力、表示器（オプション）等のケーブルを本製品に接続する場合は、電 源を遮断して下さい。 保 証 ● 本製品の保証期間は、納入日から 1 年間です（センサー部は消耗品につき、保証対象外とさ せていただきます）。 ● 取扱説明書の注意書きに従った正常な使用状態において、保証期間中に発生した故障で当社 に返送された製品に対しては、無償修理をさせていただきます。 ● 保証範囲は本製品のみとし、本製品の故障により発生した損害の保証はいたしません。 ● 保証期間内であっても、次のような場合は有償修理になります。 ① ご使用上の誤り、および不当な修理、改造による故障または損傷。 ② 納入後の落下等による故障または損傷。 ③ 接続する機器の故障により誘発する故障または損傷。 ④ 汚れ、異物付着等による故障または損傷。 ⑤ 火災、地震、水害、落雷、その他天災地変による故障または損傷。 ⑥ その他当社の責任範囲外と判断される場合。 ● 修理・交換部品の保証は、その修理箇所および交換部品に対して修理交換後 90 日または保 証期間までの長い方とします。 3

目次 は じ め に ................................................................................................................................................................... 1 お問い合わせ先 ............................................................................................................................................................ 1 安全上のご注意 ............................................................................................................................................................ 2 保 証 ............................................................................................................................................................................... 3 1. 本製品の概要と特徴 ................................................................................................................................................ 6 2. 本製品を使用する前に ........................................................................................................................................... 7 2-1 開梱および員数の確認 ............................................................................................................................... 7 2-2 ご使用前のお願い ......................................................................................................................................... 7 2-3 ベーキングについて .................................................................................................................................... 7 2-4 本製品の使用環境について ..................................................................................................................... 7 2-5 本製品使用時のご注意 ............................................................................................................................... 8 3. 各部の名称と機能 ..................................................................................................................................................... 9 3-1 フロントパネル .............................................................................................................................................. 9 3-2 リアパネル ................................................................................................................................................... 10 3-3 センサー部 ................................................................................................................................................... 10 4. 仕様 .............................................................................................................................................................................. 11 5. 取り付け方法 .......................................................................................................................................................... 12 6. 操作方法 .................................................................................................................................................................... 13 6-1 電源の投入 ................................................................................................................................................... 13 6-2 設定変更ロック .......................................................................................................................................... 13 6-3 モードの種類／切り替え ...................................................................................................................... 14 6-4 工場出荷時の設定 ..................................................................................................................................... 14 7. セットポイント ...................................................................................................................................................... 16 7-1 セットポイントの定義 ........................................................................................................................... 16 7-2 セットポイントの設定値 ...................................................................................................................... 16 7-3 ヒステリシスについて ........................................................................................................................... 16 8. 各モードの説明 ...................................................................................................................................................... 17 8-1 計測モード ................................................................................................................................................... 17 8-2 SP1 設定モード ........................................................................................................................................ 18 8-3 SP2 設定モード ........................................................................................................................................ 19 8-4 SP3 設定モード ........................................................................................................................................ 19 8-5 クリスタルゲージ大気圧校正モード（モード 01） .............................................................. 19 8-6 クリスタルゲージ手動ゼロ校正モード（モード 02） ......................................................... 21 8-7 アナログ出力設定モード（モード 03） ...................................................................................... 22 8-8 圧力単位選択モード（モード 04） ............................................................................................... 23 8-9 通信設定モード（モード 05） ......................................................................................................... 24 8-10 クリスタルゲージ特性データ入力モード（モード 06） ................................................ 25 8-11 その他の機能：HV INHIBIT 信号に関して ............................................................................ 25 4

9. アナログ出力 .......................................................................................................................................................... 26 9-1 Log 出力 ....................................................................................................................................................... 26 9-2 複合出力 ........................................................................................................................................................ 30 9-3 表示器用出力 .............................................................................................................................................. 31 10. 通信機能 ................................................................................................................................................................. 32 10-1 通信仕様..................................................................................................................................................... 32 10-2 通信コマンドの説明 ............................................................................................................................ 32 10-3 コマンドのフォーマット ................................................................................................................... 33 11. センサー部の取り外し／取り付け ........................................................................................................... 38 11-1 取り外し..................................................................................................................................................... 38 11-2 取り付け..................................................................................................................................................... 38 12. センサー部の保守 ............................................................................................................................................. 40 12-1 センサー部の構成 ................................................................................................................................. 41 12-2 分解 .............................................................................................................................................................. 41 12-3 クリーニング ........................................................................................................................................... 42 12-4 組立 .............................................................................................................................................................. 43 13. I／O コネクタ ..................................................................................................................................................... 44 14. 外観図 ..................................................................................................................................................................... 47 15. エラーメッセージ一覧 .................................................................................................................................... 48 16. トラブルシューティング ............................................................................................................................... 49 17. オプション ............................................................................................................................................................ 51 18. 使用環境証明書 .................................................................................................................................................. 52 5

1. 本製品の概要と特徴 「CC-10」は、クリスタルゲージとコールドカソードゲージ(CCG)の２種類の真空計を搭載した 複合真空計です。圧力計測範囲は 1.0×10-7～1.0×105 [Pa]となっています。 又、圧力値が常時デジタル表示されております。 CC-10 の特徴 ・広域な測定範囲 ２つの真空計を１つのユニットにまとめることにより、1.0×10-7～1.0×105 [Pa] までの測定が本製品のみで行えます。 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 0.2Pa [Pa] コールドカソードゲージ クリスタルゲージ 1Pa ・低真空領域での高い信頼性、正確な大気圧検出 低真空側の測定にクリスタルゲージを採用、高い信頼性、正確な大気圧検出を可能に しました。 ・優れた耐久性 クリスタルゲージ、コールドカソードゲージ共にフィラメントを持たない真空計のため、 センサー全体として高い耐久性を発揮します。 ・センサー回路部一体型（トランスデューサー型） 省配線・省スペースを実現しました。 ・センサークリーニング可能（コールドカソードゲージ） 構造の単純化により、お客様自身でのクリーニングが可能です。 6

2. 本製品を使用する前に 2-1 開梱および員数の確認 製品到着時に、下記の表中の内容が同梱されていることをご確認下さい。 数量、動作上に不具合な点がございましたら、弊社までご連絡下さい。 同梱品一覧 品名 型式 数量 備考 クリスタル／コールドカソード CC-10 1 コンビネーションゲージ I／O コネクタ用 Ｄサブコネクタ 15 ピンメス CN-15FI 1 カバー付、半田付けタイプ、インチ ネジ 取扱説明書（本書） － 1 単位表示シール － 1 式 2-2 ご使用前のお願い (1) 本製品のご使用前に、カタログ・取扱説明書などをお読みになり、ご使用条件との整合 性を必ずご確認下さい。 (2) 本製品は真空計ですので警報器としてのご使用の場合は、必ず別系統でバックアップし て下さい。 (3) 本製品の取り付けおよびご使用に際しては、必ず取扱説明書をご熟読いただき、その指 示に従って正しくご使用下さい。もし取扱説明書を紛失された場合は、販売店または弊 社にご要求下さい。 (4) 本製品に表示された銘板の指示をお守り下さい。 2-3 ベーキングについて 本製品をベーキングする場合は、回路部を取り外してセンサー部のみで行って下さい。 （取り外し方法は 11.センサー部の取り外し／取り付け を参照） センサー部の耐熱温度は 150[℃] MAX となります。 2-4 本製品の使用環境について CC-10 本体 周囲温度 0～50℃ 湿度 10～90％ ※ 結露がないこと 7

2-5 本製品使用時のご注意 (1) 取扱説明書をよく読んで正しくご使用下さい。 (2) 濡れた手で各スイッチ、部品に触れないで下さい。 (3) 水に浸けたり、水をかけたりしないで下さい。 (4) 異常が発生した場合は、必ず電源を切って下さい。運転を再開する場合は、必ず異常原 因を取り除いてから行って下さい。 (5) D サブコネクタと接続するケーブルは必ずシールド線を使用して下さい。シールド線を 使用しない場合、正常な計測が出来ない恐れがあります。 (6) D サブコネクタの 1 番ピンまたは 15 番ピンは必ずアースに接続してください。接続し ない場合、正常な計測が出来ない恐れがあります。 (7) 本製品を取付ける際は、側面のスリットを塞がないよう、 低 10mm 以上空間を設け て下さい。 (8) 真空計と接続する外部機器は一次側電源と二重絶縁と同等、もしくはそれ以上の絶縁定 格を持つ機器を使用して下さい。 (9) 本製品は空気(窒素)で校正されております。原理的に校正ガス以外のガスで使用した場 合、正しい計測はできません。 (10) 本製品はお客様の使用環境、使用方法によりセンサー部の汚れる早さ、汚れ方が大きく 異なります。必要に応じて、センサー部のクリーニング等を行って下さい。 (11) 本製品は CCG の原理上、低い圧力で電源を入れた場合にすぐに放電が開始しない場合 があります。放電をしない場合はしばらく待つか、圧力を一旦上昇させるなどの処置を 行って下さい。また、頻発する場合はクリーニング等を行って下さい。 8

3. 各部の名称と機能 3-1 フロントパネル ⑧ I/O コネクタ ① メインディスプレイ ② セ ットポイント SP1 SP2 ×10 ス テータス表示 SP3 ⑥ SHIFT ボタン FUNC ENT ⑦ ENTER ボタン ③ HV ステータス表示 HV ⑤ UP ボタン CRYSTAL/COLDCATHODE COMBINATION GAUGE ④ フ ァンクションボタン 名称 機能 ① メインディスプレイ 計測中の圧力値を表示します。 その他のメッセージを表示します。 ② セットポイントステータス表示 設定した圧力値（セットポイント）より測定値が下がっ （SP-1，SP-2，SP-3） たときに点灯（緑色）します。3 つのセットポイントが あります。 ③ HV ステータス表示 HV(高電圧)が ON のときに点灯（緑色）します。 この時、CCG で計測を行っています。 ④ ファンクションボタン モードの切り替えを行います。 ⑤ UP ボタン 設定値を変更します。 ⑥ SHIFT ボタン 設定する桁を移動します。 ⑦ ENTER ボタン 設定値を決定、終了します。 ⑧ I／O コネクタ 電源供給および入出力信号用のコネクタです。 （詳細は 13. I／O コネクタ を参照して下さい） 9

3-2 リアパネル ① ネジ 名称 機能 ① ネジ センサー部を交換、クリーニングするときにはずします。 3-3 センサー部 ③クリスタルゲージピン ②陽極ピン ④リターンピン ① 回転防止溝 名 称 ① 回転防止溝 ② 陽極ピン ③ クリスタルゲージピン ④ リターンピン 10

4. 仕様 名 称 機 能 測定範囲 1.0×10-7～1.0×105 [Pa] 圧力表示 仮数部 2 桁，指数部 2 桁のデジタル表示 圧力単位 Pa セットポイント 点 数 ：3 点（1 点独立、2 点はコモン共通） 設定方法：① スイッチによるローカル設定 ② 通信インターフェース経由でのリモート設定 接点容量：DC50[V]，0.12[A] アナログ出力 出力数 ：1 点（Log 出力または複合出力から選択） 電圧範囲：0～10[V] 出力インピーダンス：100[Ω] 動作時周辺温度／湿度 0～50[℃]／10～90%（結露しないこと） 電源 DC22～26[V] 消費電力 8[W] MAX 重量 840g （NW25） 1060g （ICF70） 外形寸法 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm]（NW25、突起部は除く） 94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm]（ICF70、突起部は除く） CE マーキング 2004/108/EC EMC 指令 2006/95/EC 低電圧指令 11

5. 取り付け方法 (1) 取扱説明書などに明示された使用環境の範囲内でご使用下さい。 (2) 電気溶接器、放電加工機などの大きな電気的ノイズの発生源がない場所、または他の機 器からの悪影響を受けない場所に設置して下さい。 (3) アース端子のある計器は必ず接地工事を行って下さい。 (4) 取り付け時に発生する切りくずやゴミなどを計器内部、端子部に付着させないで下さい。 (5) 油煙、蒸気のある雰囲気中には設置しないで下さい。 (6) 本製品の上には重量物を置かないで下さい。 (7) D サブコネクタと接続するケーブルは必ずシールド線を使用して下さい。シールド線を 使用しない場合、正常な計測が出来ない恐れがあります。 (8) D サブコネクタの 1 番ピンまたは 15 番ピンは必ずアースに接続してください。接続し ない場合、正常な計測が出来ない恐れがあります。 (9) 本製品を取付ける際は、左右側面のスリットを塞がないよう、 低 10mm 以上空間を 設けて下さい。 (10) 本製品と接続する外部機器は一次側電源と二重絶縁と同等、もしくはそれ以上の絶縁定 格を持つ機器を使用して下さい。 12

6. 操作方法 電源電圧定格を確認すること △！ 警告 本製品の電源電圧定格は DC24V です、電源投入前に使用電圧を確認して下さ い。 定格以上の電圧を使用した場合、破損及び出火の恐れがあります。 本製品に大気圧を超える圧力をかけないこと △！ 警告 本製品は真空用に設計されていますので、大気圧を超える圧力をかけますと本製 品の飛散により人的障害を起こす恐れがあります。 6-1 電源の投入 CC-10 を真空装置に取り付け、必要な結線が正しく行われましたら、本製品にＤサブコネクタ を接続して電源を供給して下さい。 電源が投入されますと、数秒間ディスプレイにソフトバージョンを表示します。その後、計測モ ードとなり、ディスプレイに測定値を表示します。 6-2 設定変更ロック CC-10 には、誤って設定を変更しないように設定変更ロック機能があります。 設定変更ロックの有効／無効の切り替えは下記の手順で行って下さい。 計測（通常）モード時に、↑ → ENT を同時に押します。 SP1 SP2 x10 Pa SP3 FUNC ENT HV 同時押し 点灯 ディスプレイが 1 秒程度全点灯して、有効／無効が切り替わります。 SP1 SP2 x10 Pa SP3 FUNC ENT HV ※ 出荷時は、設定変更ロックは無効に設定されております。 13

6-3 モードの種類／切り替え CC-10 には以下のモードがあり、FUNC ボタン、ENT ボタンで切り替わります。 ① 計測モード ② SP1 設定モード（SP1L 設定、SP1H 設定） ③ SP2 設定モード（SP2L 設定、SP2H 設定） ④ SP3 設定モード（SP3L 設定、SP3H 設定） ⑤ クリスタルゲージ大気圧校正モード ⑥ クリスタルゲージ手動ゼロ校正モード ⑦ アナログ出力設定モード ⑧ 圧力単位選択モード ⑨ 通信選択モード ⑩ クリスタルゲージ特性データ入力モード (1) FUNC ボタンを押すとモードが①→②→③→･･･→⑧→⑨→⑩→①と切り替わります。 (2) 計測モード以外のモードを選択時は、30 秒の無操作で計測モードに戻ります。(一部 戻らないモードもあります。) 6-4 工場出荷時の設定 CC-10 の工場出荷時の設定は以下のようになります。 モードの種類 設定値 SP1 設定 SP1L 1.0 × 10 3 SP1H 2.0 × 10 3 SP2 設定 SP2L 1.0 × 10 0 SP2H 2.0 × 10 0 SP3 設定 SP3L 1.0 × 10-3 SP3H 2.0 × 10-3 アナログ出力 03 (表示器用) 圧力単位 01 (Pa) 通信設定 局番 00 伝送速度 96 (9600[bps]) パリティビット 02 (even) ストップビット 01 (1 ビット) 14

モードの流れ ① 計測モード FUNC ENT ENT ② SP1設定モード SP1L SP1H FUNC ENT ENT ③ SP2設定モード SP2L SP2H FUNC ENT ENT ④ SP3設定モード SP3L SP3H FUNC クリスタルゲージ → ENT ⑤ 01on 760 大気圧校正モード FUNC ENT ⑥ クリスタルゲージ手動ゼロ校正モード FUNC ENT ⑦ アナログ出力設定モード FUNC ENT ⑧ 圧力単位選択モード FUNC ENT ENT ENT ENT ⑨ 通信設定モード 局番 伝送速度 ﾊﾟﾘﾃｨﾋﾞｯﾄ ｽﾄｯﾌﾟﾋﾞｯﾄ FUNC クリスタルゲージ → ENT ENT ⑩ 06on 4842 * 0605 * 特性データ入力モード *センサー毎に異なります。 ⑥クリスタルゲージ手動ゼロ校正モードを範囲外で実行した場合、エラーが表 示され、圧力とエラーメッセージを交互に表示します。 注意事項： エラー状態から復帰する際には FUNC ボタンを押して下さい。 参照：15. エラーメッセージ一覧 15

7. セットポイント 7-1 セットポイントの定義 セットポイントは圧力の上限 SP1H、下限 SP1L（SP1 の場合）の２つの設定値から構成され ています。各セットポイントはメインディスプレイの LED で状態を表示します。 測定圧力が下限値SP1L以下になるとLEDが点灯して外部出力のセットポイントステータス端 子が ON します（接点容量：DC50[V]，0.12[A]）。 この機能をセットポイントといいます。 セットポイントの OFF 条件は次のようにコントロールされます。 測定圧力は上限値 SP1H より上昇すると LED は消灯して外部出力のセットポイントステータ ス端子が OFF します。3 つのセットポイントはそれぞれ別の圧力値に設定が可能です。 圧力値 SP1H （上限値 ） この幅が ヒステリシス SP1L （下限値 ） ON セットポイント出力 OFF 7-2 セットポイントの設定値 セットポイントの上限値（SP1H～SP3H）は、下限のセットポイント（SP1L～SP3L）より 低く設定することはできません。正しく設定されない場合は、上限値と下限値が同じになります。 逆に、下限値は上限値より高く設定することはできません。正しく設定されない場合は、上限値 と下限値が同じになります。 7-3 ヒステリシスについて 本製品はセットポイント出力の不安定な動作(ばたつきなど)を防止するため、ヒステリシスを設 ける必要があります。お客様の使用状況に合った値を設定してください。 16

8. 各モードの説明 8-1 計測モード SP1 SP2 x10 Pa 計測中の圧力値を表示 SP3 FUNC ENT HV SP1～SP3，HV の状態を LED で表示（点灯または消灯） 計測中の圧力値をメインディスプレイに表示します。 SP，HV の状態を LED に表示します。電源投入時はこのモードです。 (1) 他のモードでの設定が終了 (2) モードを一巡 (3) 他のモード滞在時に 30 秒の無操作 の時にこのモードに戻ります。 17

8-2 SP1 設定モード SP1L と SP1H の設定が可能なモードです。 工 場出荷時の設定 SP1L：1.0 × 10 3 SP1H：2.0 × 10 3 SP1 設定モードを選択する（計測モードから FUNC ボタンを 1 回押す） 点滅 点灯 と、SP1 の LED が点滅します。 SP1 SP2 x10 Pa SP3 メインディスプレイは SP（仮数部）1L（指数部）と表示（SP1L 設定モー FUNC ENT HV ド）した後、設定値を表示します。 SP1L選択中 この時設定値の仮数部一桁目が点滅します。 設定変更は以下の手順で行って下さい。 (1) 変更したい桁を → ボタンで選択して下さい。 点滅中 点滅 (2) ↑ ボタンで数値を変更して下さい。 SP1 (3) ENT ボタンを押すと設定が確定され、SP1H 設定モードへ切り替わ SP2 x10 Pa SP3 FUNC ENT HV ります。 SP1L選択中 ※ FUNC ボタンを押すと SP1H 設定モードをスキップして SP2L 設 定モードへ移行します。この場合 SP1L の設定値変更は記憶されない のでご注意下さい。 SP1L の設定値を確定すると、SP1H 設定モードへ切り替わります。 点滅中 点灯 メインディスプレイは SP（仮数部）1H（指数部）と表示した後、設定値を SP1 SP2 x10 Pa SP3 表示します。 FUNC ENT HV この時設定値の仮数部一桁目が点滅します。 SP1H選択中 設定変更は以下の手順で行って下さい。 (1) 変更したい桁を → ボタンで選択して下さい。 点滅中 点滅 (2) ↑ ボタンで数値を変更して下さい。 SP1 (3) ENT ボタンを押すと設定が確定され（SP1L と SP1H の設定値が変 SP2 x10 Pa SP3 FUNC ENT 更されます）、計測モードに戻ります。 HV ※ FUNC ボタンを押すと SP2L 設定モードへ移行します。この場合 SP1H選択中 SP1L、SP1H の設定値変更は記憶されないのでご注意下さい。 18