CG-20取扱い説明書

コールドカソードゲージコントローラ CG-20 取 扱 説 明 書 Ver1.0

目次 目次 ･･････････････････････････････････････････････････････････････P1 1.各部の説明 ････････････････････････････････････････････････････････P2 2.仕様 ･･････････････････････････････････････････････････････････････P3 3.構成 ･･････････････････････････････････････････････････････････････P3 4.取り付け方法 ･･････････････････････････････････････････････････････P3 5.操作方法 ･･････････････････････････････････････････････････････････P4 (1)準備(センサー、センサーケーブル及び電源の接続) ･････････････････P4 (2)測定 ･･･････････････････････････････････････････････････････････P4 (3)セットポイントの設定 ･･･････････････････････････････････････････P5 6.外部入出力コネクタ[I/O] ･･･････････････････････････････････････････P6 (1)ピンアサイン ･･･････････････････････････････････････････････････P6 (2)内部回路 ･･･････････････････････････････････････････････････････P6 (3)詳細説明 ･･･････････････････････････････････････････････････････P7 7.アナログ出力特性 ･･････････････････････････････････････････････････P8 8.注意事項 ･･････････････････････････････････････････････････････････P8 9.外観 ･･････････････････････････････････････････････････････････････P9 1

1. 各部の説明 【コントローラ前面部】 計測中の圧力値を表示します 圧力変化方向表示 △上昇中 ▽下降中 断線時点灯(赤) x10 Pa セットポイント(SP) の設定値を表示します HV出力時点灯(緑) FAIL SP1 x10 HV SP2 x10 SP状態表示LED 測定値>設定値･･･緑 測定値<設定値･･･赤 HV FUNC ENT COLD CATHODE GAUGE CONTROLLER CG-20 TOKYO ELECTRONICS ｢HV ON/OFF｣ボタン ｢SP設定モード｣ 数値の変更 レンジの切替 決定･終了 ボタン 【コントローラ背面部】 POWER 電源スイッチ AC100V I/O 電源コンセント HV OUT 1 9 付属の電源ケーブル SENSOR HVがONの時に高電圧(3.0kV)が を接続します 出力されますので注意してくだ さい。 センサーコネクタ 8 15 センサーケーブルを接続 します。 I/Oコネクタ 付属のI/O用コネクタ を接続します 2

2. 仕様 測定圧力範囲 4.0×10-7～3.0×10-2[Pa] 適用センサー S-360T 高電圧出力 +3.2kV 高電圧出力コネクタ リヤパネル面 SHV コネクタ 対応ケーブル長さ 最大 100m 仕様温度範囲 0～40℃ 湿度 90％以下 表示 デジタル表示 □.□×10-□ 電源 AC85～125V 15W 外部 I/O コネクタ D サブ 15pin メス 外部入力 HV ON/OFF 外部出力 アナログ出力 DC 0～5V (1V/1 桁) セットポイント出力 (2 点) ステータス出力 (HV ON、Fail) 状態表示 HV ON、Fail、セットポイント(SP1、SP2) 重量 1.0kg 外形寸法 96(H)×96(W)×160(D)[mm] 3. 構成 1)本体(コントローラ)･････････1 台 2)付属品 ・電源ケーブル(3m)･････････1 本 ・固定金具･････････････････2 個 ・I/O 用コネクタ･･･････････1 個 ・取扱説明書(本書)･････････1 冊 4. 取り付け方法 装置パネル面への取り付けは、92×92 にカットさ れたパネル全面より本機を挿入し、後方より固定金 具を付け、○＋ドライバーでネジを締めることで固定 できます。固定金具は、左右側板の角穴に、爪の部 分を挿入し後方へ引いてから、ネジ締めを行ってく ださい。(図 1参照) ＊注意＊ ネジは、強く締めすぎないようにして下さい。ま た、振動の激しい場所に設置する場合は、付属のナ ットにて固定して下さい。 3

5. 操作方法 (1)準備(センサー、センサーケーブル及び電源ケーブルの接続) ①センサー、センサーケーブル及び電源ケーブルを接続し、[POWER]スイッチを投入して下さ い。(下図参照) ＊注意＊ 必ず電源を切った状態でケーブル等を接続してください。特にセンサーコネクタは、高電圧 (3.0kV)の出力する恐れがありますのでご注意下さい。 POWER 電源ケーブル AC100V I/O HV OUT 1 9 SENSOR センサーケーブル 8 15 SHV-SHVコネクタの ケーブルをご用意くだ さい 図2.　接続方法 (2)測定 ①接続後に、 HV を押すと高電圧が出力され 3秒後に測定を開始します。 (I/O コネクタのリモート HV ON/OFF でも同様に行えます。) この時、I/O コネクタの④-⑫間がトランジスタ ON します。(HV ステータス出力) ②圧力値は、｢仮数 2桁(1.0～9.9)＋指数(-7～-2)｣と表示され直読できます。また、圧力変化 の方向性を△、▽で表しています。 ③測定範囲外においては、下限以下では｢4.0×10-7｣、上限以上では｢3.0×10-2｣が固定表示とな ります。 ③また、圧力が3.0×10-2[Pa]以上になると｢3.0×10-2｣が点滅し、Fail のランプが点灯(赤)し、 HV が OFF します。(Fail 状態) この時、I/O コネクタの⑤-⑬がトランジスタ ON します。(FAIL ステータス出力) ＊補足＊ a. Fail 状態は、 HV を押して解除します。(電源 OFF でも解除できます。) 4

(3)セットポイントの設定方法 セットポイント 1、2(以下 SP1、SP2)の設定値は、計測範囲内において自由に設定可能です。 ① FUNC を押すと設定値変更モードに入ります。この時、SP1 の数値の一つが点滅します。 ②数値の変更は、 5 で行います。 ③レンジの変更は、 4 で行います。 ④上記の②、③を繰り返して希望の設定値が入力できたら、 ENT を押して確定してください。 ⑤圧力値＞設定値の場合には、SP1、SP2 の状態表示 LED が｢赤｣になります。この時、I/O コネ クタの②-⑩ (SP1) 、③-⑪(SP2)間が接点オープンします。 圧力値≦設定値の場合には、SP1、SP2 の状態表示 LED が｢緑｣になります。この時、I/O コネ クタの②-⑩ (SP1)、③-⑪(SP2)間が接点クローズします。 ＊補足＊ a. 4 や 5 は、FUNC を押しながら押すと、逆送りとなります。 b. ENT は、FUNC を押しながら押すと、設定値を変更せずに元の状態に戻ります。 c.誤って FUNC を押してしまった場合、 ENT を押してください。また、 FUNC を押した後、 10 秒程度操作がない場合は、自動的に元の状態に戻ります。 計測中の圧力値を表示します 圧力変化方向表示 △上昇中 ▽下降中 断線時点灯(赤) x10 Pa セットポイント(SP) の設定値を表示します HV出力時点灯(緑) FAIL SP1 x10 HV SP2 x10 SP状態表示LED 測定値>設定値･･･緑 測定値<設定値･･･赤 HV FUNC ENT COLD CATHODE GAUGE CONTROLLER CG-20 TOKYO ELECTRONICS ｢HV ON/OFF｣ボタン ｢SP設定モード｣ 数値の変更 レンジの切替 決定･終了 ボタン 図3.フロントパネル 5

6. 外部入出力コネクタ[I/O] (1)ピンアサイン 表 1.ピンアサイン ピン No 信号 1 アナログ出力(+) (INPUT) 9 アナログ出力(-) (INPUT) 2 セットポイント 1 出力 (OUTPUT) 10 3 セットポイント 2 出力 (OUTPUT) 11 4 HV ステータス出力 (OUTPUT) 12 5 FAIL ステータス出力 (OUTPUT) 13 6 リモート HV ON/OFF(+) (INPUT) 14 リモート HV ON/OFF(-) (INPUT) 7,8,15 N.C 使用しません ＊ケーブル側適合コネクタ：Ｄサブコネクタ 15pin オス(付属品) (2)内部回路 1　+ アナログ出力 9　- I/O 2 10 セットポイント1出力 1 9 3 セットポイント2出力 11 4 HVステータス出力 8 15 12 5 13 FAILステータス出力 内部+5V 6 リモートHV ON/OFF 14 図4. I/Oコネクタ内部回路 6

3)詳細説明 ①リモート HV ON/OFF 内部+5V I/O コネクタの⑥-⑭間に 300ms 以上の瞬時無 電圧接点を加えることにより、リモートで HV 6 の ON/OFF 制御が行えます。 14 ← 瞬時無電圧接点 図5. リモートHV ON/OFF内部回路 ②セットポイント出力／ステータス出力 圧力値＞設定値の場合には接点オープンします。 2 圧力値≦設定値の場合には接点クローズします。 セットポイント1出力 10 3 セットポイント2出力 接点の容量は、 11 DC24[V]、1.0[A] となっております。 図 6.セットポイント 1、2 内部回路 4 HV ON の時、トランジスタ ON します。 12 HVステータス出力 5 FAIL の時、トランジスタ ON します。 13 FAILステータス出力 図 7. HV ステータス／FAIL ステータス 内部回路 出力形式はエミッタコモンのオープンコレクタ出力です。 トランジスタの容量は コレクタ・エミッタ間の最大電圧は 80[V] 最大コレクタ電流は 50[mA] となっております。 7

7. アナログ出力特性 リヤパネルのI/Oコネクタ①-⑨より出力されるアナログ出力は、表1のようになっております。 計測領域における圧力-電圧換算式は、圧力を P[Pa]、アナログ出力を V[V]とすると、 V=logP＋6.5V ⇔ P=10(V-6.5) となります。 表2　アナログ出力特性 6 5 4 3 2 1 0 1.0E-07 1.0E-06 1.0E-05 1.0E-04 1.0E-03 1.0E-02 1.0E-01 圧力(Pa) 8. 注意事項 (1)セットポイント出力は、必ず接点容量以下でご使用下さい。容量以上で使用した場合、機器が 破損いたします。(接点容量：DC24V、1.0A) (2)リヤパネルの[SENSOR]コネクタは、HV が ON の時に 3.0[kV]の高電圧を出力しますので、取り 扱いには十分注意して下さい。 8 出力電圧(V)

9. 外観 □96 160 □90 POWER x10 Pa FAIL SP1 x10 AC100V I/O HV SP2 HV OUT x10 1 9 SENSOR HV FUNC ENT 8 15 COLD CATHODE GAUGE CONTROLLER CG-20 TOKYO ELECTRONICS 9