IG-10取扱い説明書

ミニチュアイオンゲージ IG-10 取 扱 説 明 書 Rev.2.13 東京電子株式会社

は じ め に このたびは、ミニチュアイオンゲージ「IG-10」をお買い上げいただきまして誠にありがとうご ざいます。 この取扱説明書は本製品を正しくご使用頂くための重要な事項が書かれております。本書をよく お読みになり、内容をご理解された上で実際にご使用下さいますようお願いいたします。 また、いつでもご使用できるように大切に保管して下さい。 取扱説明書に関して、改良のため予告なしに変更する場合がございます。 お買い上げいただいた「IG-10」または本書の内容についてご質問等がございましたら、下記ま でお問い合わせ下さい。 お問い合わせ先 東京電子株式会社 【本社】 〒185-0012 東京都国分寺市本町 2-22-7 TEL ：042-329-5090 FAX ：042-329-5091 【埼玉事業所】 〒351-0015 埼玉県朝霞市幸町 1-9-22 幸町ビル１F TEL ：048-450-0030 FAX ：048-450-0031 Mail ：sales@toel.co.jp (共通) URL ：http://www.toel.co.jp 販売店または弊社に製品を返送する際には、[使用環境証明書]を外箱に添付して下さい。 （証明書は本書または弊社ホームページよりダウンロードすることができます。） 1

安全上のご注意 ● 安全にお使いいただくために 本製品を正しく安全にお使いいただくため、以下の安全に関する注意事項を必ずお守り下さい。 以下の注意事項に従わない場合、人的傷害を招く恐れがあります。 お客様が以下の注意事項を守らずにご使用になって生じた事故に関しては、弊社ではその責任は 負わないものと致します。 本書で使用している「警告」「注意」は次のように定義しています。 この警告に従わなかった場合、人が死亡または重傷を負う可能性が想定される内 △！ 警告 容を示しています。 この注意に従わなかった場合、人が重傷を負う可能性が想定される内容、および △！ 注意 機器等の損傷に至る可能性のある状態を示しています。 ● 安全に関する注意事項 電源電圧定格を確認すること △！ 警告 本製品の電源電圧定格は DC24V です。電源投入前に使用電圧を確認して下さ い。 定格以上の電圧を使用した場合、破損及び火災の恐れがあります。 電圧のかかっている回路に触れないこと △！ 警告 本製品は電源を入れたまま分解しないで下さい。また、電源を切った状態でも危 険電圧が存在している場合がありますので、何らかの理由で分解せざるを得ない 場合は、電源を切り、回路を放電してから行って下さい。 機器を改造しないこと △！ 警告 お客様が弊社に断りなく、本製品を改造または修理を行って発生した事故に対し ましては、弊社は一切の責任を負いません。 2

異常の場合は電源を遮断すること △！ 警告 本製品が異常な発熱や発煙、異臭がした場合には、直ちに電源を切って下さい。 そのまま使用しますと火災の原因になります。安全のために修理はご購入先、弊 社にご依頼下さい。 機器を接続する場合は電源を遮断すること △！ 注意 外部入出力等のケーブルを本製品に接続する場合は、電源を遮断して下さい。 通電中または直後に機器に触れる場合は気を付けること △！ 注意 フィラメントに通電がされている間、または終了直後は本製品が高温になってい る場合があり、やけど等の原因となります。特にセンサー部に触れる際には注意 して下さい。 保 証 ● 本製品の保証期間は、納入日から 1 年間です（センサー部は消耗品につき、保証対象外とさ せていただきます）。 ● 取扱説明書の注意書きに従った正常な使用状態において、保証期間中に発生した故障で弊社 に返送された製品に対しては、無償修理をさせていただきます。 ● 保証範囲は本製品のみとし、本製品の故障により発生した損害の保証はいたしません。 ● 保証期間内であっても、次のような場合は有償修理になります。 ① ご使用上の誤り、および不当な修理、改造による故障または損傷。 ② 納入後の落下等による故障または損傷。 ③ 接続する機器の故障により誘発する故障または損傷。 ④ 汚れ、異物付着等による故障または損傷。 ⑤ 火災、地震、水害、落雷、その他天災地変による故障または損傷。 ⑥ その他弊社の責任範囲外と判断される場合。 ● 修理・交換部品の保証は、その修理箇所および交換部品に対して修理交換後 90 日または保 証期間までの長い方とします。 3

目次 は じ め に ................................................................................................................................................................... 1 お問い合わせ先 ............................................................................................................................................................ 1 安全上のご注意 ............................................................................................................................................................ 2 保 証 ............................................................................................................................................................................... 3 1. 本製品の概要と特徴 ................................................................................................................................................ 6 2. 本製品を使用する前に ........................................................................................................................................... 6 2-1 開梱および員数の確認 ............................................................................................................................... 6 2-2 ご使用前のお願い ......................................................................................................................................... 7 2-3 本製品の使用環境について ..................................................................................................................... 7 2-4 本製品使用時のご注意 ............................................................................................................................... 7 3. 各部の名称と機能 ..................................................................................................................................................... 8 3-1 本体名称 ............................................................................................................................................................ 8 3-2 IG-10 の構成 ................................................................................................................................................. 9 4. 仕様 .............................................................................................................................................................................. 10 4-1 仕様 .................................................................................................................................................................. 10 4-2 測定範囲 ........................................................................................................................................................ 11 4-3 ベーキング ................................................................................................................................................... 11 5. 取り付け方法 .......................................................................................................................................................... 11 6. 操作方法 .................................................................................................................................................................... 12 6-1 電源の投入 ................................................................................................................................................... 12 6-2 フィラメントの ON/OFF .................................................................................................................... 13 6-3 デガスについて .......................................................................................................................................... 14 6-4 エミッション電流について ................................................................................................................. 15 6-5 スクリーンセーバー機能について ................................................................................................... 15 6-6 モードの種類／切り替え ...................................................................................................................... 16 6-7 工場出荷時の設定 ..................................................................................................................................... 17 7. セットポイント ...................................................................................................................................................... 18 7-1 セットポイントの定義 ........................................................................................................................... 18 7-2 セットポイントの設定値について ................................................................................................... 18 7-3 ヒステリシスについて ........................................................................................................................... 18 8. 各モードの説明 ...................................................................................................................................................... 19 8-1 計測画面 ........................................................................................................................................................ 19 8-2 SETUP DISP ............................................................................................................................................ 19 8-3 SETUP UNIT ............................................................................................................................................ 20 8-4 SETUP IG ................................................................................................................................................... 22 8-5 ANALOG OUTPUT............................................................................................................................. 23 8-6 SETUP COMMS .................................................................................................................................... 23 9. アナログ出力 .......................................................................................................................................................... 24 4

10. 通信機能 ................................................................................................................................................................. 25 10-1 通信仕様..................................................................................................................................................... 25 10-2 通信コマンド一覧 ................................................................................................................................. 26 11. I／O コネクタ ..................................................................................................................................................... 28 11-1 Analog コネクタ .................................................................................................................................. 28 11-2 RS-485COM コネクタ ................................................................................................................... 30 12. 外観図 ..................................................................................................................................................................... 32 13. エラーメッセージ一覧 .................................................................................................................................... 33 14. トラブルシューティング ............................................................................................................................... 34 15. オプション ............................................................................................................................................................ 36 16. 使用環境証明書 .................................................................................................................................................. 37 5

1. 本製品の概要と特徴 「IG-10」は、広い測定範囲を持ち、センサー部と回路部が一体になることで省スペース化を実 現した製品です。圧力値はデジタル表示されております。 IG-10 の特徴 ・広域な測定範囲 1.33×10-7～6.66×100 [Pa]までの測定が行えます。 ・見やすいディスプレイ 有機 EL を採用しており、明るく見やすい表示がされます。 ・センサー回路部一体型（トランスデューサー型） 省配線・省スペースを実現しました。 2. 本製品を使用する前に 2-1 開梱および員数の確認 開梱時に下記表の同梱品を確認して下さい。 数量、動作上に不具合な点がございましたら、弊社までご連絡下さい。 同梱品一覧 品名 型式 数量 備考 ミニチュアイオンゲージ IG-10 1 D サブコネクタ 9 ピン オス XM3A-0921 1 I／O コネクタ用(RS-485COM) D サブコネクタ 9 ピン メス XM3D-0921 1 I／O コネクタ用(Analog) D サブコネクタカバー XM2S-0913 2 インチネジ 取扱説明書（本書） － 1 6

2-2 ご使用前のお願い (1) 本製品のご使用前に、カタログ・取扱説明書などをお読みになり、ご使用条件との整合 性を必ずご確認下さい。 (2) 本製品は真空計ですので警報器としてのご使用の場合は、必ず別系統でバックアップし て下さい。 (3) 本製品の取り付けおよびご使用に際しては、必ず取扱説明書をご熟読いただき、その指 示に従って正しくご使用下さい。もし取扱説明書を紛失された場合は、販売店または弊 社にご要求下さい。また、弊社ホームページにてダウンロードが可能です。 (4) 本製品に表示された銘板の指示をお守り下さい。 2-3 本製品の使用環境について IG-10 本体 周囲温度 0～40℃ 湿度 0～95％ ※ 結露がないこと 2-4 本製品使用時のご注意 (1) 取扱説明書をよく読んで正しくご使用下さい。 (2) 濡れた手で各スイッチ、部品に触れないで下さい。 (3) 水に浸けたり、水をかけたりしないで下さい。 (4) 異常が発生した場合は、必ず電源を切って下さい。運転を再開する場合は、必ず異常原 因を取り除いてから行って下さい。 (5) D サブコネクタと接続するケーブルは必ずシールド線を使用して下さい。シールド線を 使用しない場合、正常な計測が出来ない恐れがあります。 (6) D サブコネクタの GND ピンは必ずアースに接続して下さい。接続しない場合、正常な 計測が出来ない恐れがあります。 (7) 本製品を取付ける際は、他の機器から 低 10mm 以上空間を設けて下さい。 (8) 真空計と接続する外部機器は一次側電源と二重絶縁と同等、もしくはそれ以上の絶縁定 格を持つ機器を使用して下さい。 (9) 本製品は空気(窒素)で校正されております。校正ガス以外のガスで使用する場合はガス 種の設定を変更して下さい。 (10) 本製品はお客様の使用環境、使用方法によりセンサー部の汚れる早さ、汚れ方が大きく 変わります。必要に応じて、センサー部を交換して下さい。 (11) 本製品は原理上、センサー内部が汚れてくると計測に影響を与えます。計測値がずれて きた場合などはフィラメントを切り替えるか、センサー部を交換して下さい。 (12) 本製品は計測を開始しますと、機器全体が高温になります。特にセンサー部に触れる際 は十分に注意して下さい。 (13) IG-10 と真空容器を接続するクランプ、ねじは金属製の製品を使用し、真空容器がアー スと接続されていることを確認して下さい。 7

3. 各部の名称と機能 3-1 本体名称 ⑥ RS-485COM コネクタ ⑦ Analog コネクタ ① メインディスプレイ ② UP ボタン ④ MENU ボタン ③ DOWN ボタン ⑤ ENT ボタン 名称 機能 ① メインディスプレイ 計測中の圧力値やその他情報を表示します。 (8-1 計測画面を参照して下さい。) ② UP ボタン 設定値を上に変更します。 ③ DOWN ボタン 設定値を下に変更します。 ④ MENU ボタン 設定画面に入ります。 設定画面では、前の画面に戻ります。 ⑤ ENT ボタン 設定値を確定します。 ⑥ RS-485COM コネクタ RS-485 及びセットポイントのコネクタです。 ⑦ Analog コネクタ アナログ出力及びリモート I/O のコネクタです。 ⑥、⑦に関しては 11.I/O コネクタを参照して下さい。 8

3-2 IG-10 の構成 本体下部のボルト（4 ヶ所）をはずし、センサー部を垂直に引き出して下さい。また、差し込む 際も垂直に差し込んで下さい。 この際、ピンに負荷がかからないように気をつけて下さい。 センサー部 プレート 六角穴付ボルト 回路部 ※ ボルトの取り外し、取り付けは六角レンチ(3/32”)を使用して下さい。 ※ ベーキングを行う際は、4-3 ベーキングを参照して下さい。 ※ センサー部を交換した場合は、8-4(2)SENSITIVITY を参照して下さい。 △！ 警告 感電をさけるため、部品の交換を行うときは電源を切ること 電圧のかかっている回路に触れないこと △！ 警告 本製品は電源を入れたまま分解しないで下さい。また、電源を切った状態でも危 険電圧が存在している場合がありますので、何らかの理由で分解せざるを得ない 場合は、電源を切り、回路を放電してから行って下さい。 9

4. 仕様 4-1 仕様 名 称 機 能 測定範囲 1.33×10-7～6.66×10 0 [Pa] 精度 ±15%：1.33×10-6～6.66×10 0 [Pa] 圧力表示 仮数部 3 桁，指数部 2 桁のデジタル表示 センサーの材質 フィラメント：イットリアコートイリジウム イオンコレクタ：タングステン グリット：SUS304 ボディ：SUS316/304 エミッション電流 100[μA] / 4[mA] (手動切替又は自動切替) デガス 3[W] ボンバード方式 ゲージ容量 16.3[cm3] X 線限界 ＜6.66X10-8[Pa] センサー保護 初期設定：6.6６×10 0 [Pa]以上でフィラメント OFF ベーキング温度 200[℃] (センサー部のみ) 電源 DC20～28[V] 13[W] 通信 RS-485 外部制御入力 フィラメント ON/OFF デガス ON ※ エミッション電流切替 100[μA]/4[mA] アナログ出力 0～9[VDC] (1 [V/桁] ログ出力) 出力インピーダンス：100[Ω] ステータス出力 フィラメント ON/OFF デガス ON/OFF セットポイント 1 点 接点容量：DC30[V]/1[A] フィラメント Fil1 / Fil2 コネクタ Analog：D サブ９ピン オス RS-485COM：D サブ９ピン メス 重量 380[g](NW25) 610[g](ICF70) 外形寸法 NW25：71(W)×68(D)×119(H)[mm] (突起部は除く) ICF70：71(W)×68(D)×125(H)[mm] (突起部は除く) フランジ NW25 または ICF70 ※外部接点を使用した場合、手動でデガスを OFF にすることはできません。OFF にする場合は 終了時間まで待つか、フィラメントを OFF にして下さい。 10

4-2 測定範囲 IG-10 の測定範囲は 1.33×10-7～6.66×10 0 [Pa]です。 エミッション電流による推奨測定範囲は以下のようになります。 圧力　[Pa] -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 1 10 10 10 10 10 10 10 10 10 -7 0 測定範囲 ： 1.33×10　～ 6.66×10　[Pa] 100[μA] 4[mA] 100[μA] ：1.00×10-4～6.66×10 0[Pa]、フィラメント OFF 6.6６×10 0[Pa] 4 [mA] ：1.33×10-7～1.00×10-2[Pa]、フィラメント OFF 1.33×10-1[Pa] ※ 100[μA]のフィラメント OFF はデフォルト値です。 ※ 自動切替の場合、設定された圧力でエミッション電流の切替を行います。 ※ エミッション電流が切り換わる際、圧力表示および出力電圧が約 4 秒ホールドされます。 4-3 ベーキング ベーキングを行う際には回路部を外して下さい。(3-2IG-10 の構成参照) ベーキングは回路部をはずした状態で 200[℃]以下で行って下さい。 5. 取り付け方法 (1) 取扱説明書などに明示された使用環境の範囲内でご使用下さい。 (2) 電気溶接機、放電加工機などの大きな電気的ノイズの発生源がない場所、または他の機 器からの悪影響を受けない場所に設置して下さい。 (3) アース端子のある計器は必ず接地工事を行って下さい。 (4) 取り付け時に発生する切りくずやゴミなどを計器内部、端子部に付着させないで下さい。 (5) 油煙、蒸気のある雰囲気中には設置しないで下さい。 (6) 本製品の上には重い物を置かないで下さい。 (7) IG-10 と真空容器を接続するクランプ、ねじは金属製の製品を使用し、真空容器がアー スと接続されていることを確認して下さい。 11

6. 操作方法 電源電圧定格を確認すること △！ 警告 本製品の電源電圧定格は DC24V です。電源投入前に使用電圧を確認して下さ い。 定格以上の電圧を使用した場合、破損及び出火の恐れがあります。 本製品に大気圧を超える内圧をかけないこと △！ 警告 本製品は真空用に設計されていますので、大気圧を超える内圧をかけますと本製 品の飛散により人的障害を起こす恐れがあります。 6-1 電源の投入 IG-10 を真空装置に取り付け、必要な結線が正しく行われましたら、本製品に電源を供給して 下さい。(11.I/O コネクタ参照) ※注意 電源の接続は Analog コネクタ又は RS-485COM コネクタのいずれか一方からのみにして下 さい。両方から投入しますと故障の原因になります。 電源が投入されますと、本製品は数秒間の内部動作チェックを行います。その後、計測画面にな ります。 ※注意 電源の投入時に外部入力からフィラメント ON の信号が入っていないことを確認して下さい。 故障・動作不良の原因となります。 12

6-2 フィラメントの ON/OFF IG-10 ではフィラメントを ON/OFF させるのに 3 つの方法があります。それぞれ、フィラ メントを ON させた方法でのみ OFF することが出来ます。 また、フィラメントを ON した際、圧力の表示まで 10 秒程度の時間を必要とします。 ※フィラメントのステータス信号は表示と連動しております。 (1) FRONT PANEL ※ IG CNTL が FRONT PANEL になっている必要があります。 ① IG-10 の電源を入れます。 ② MENU ボタンを押します。 ③ 「IG ON」を選び、ENT ボタンを押します。 ※ 「IG OFF」を選択すると、フィラメントが消灯します。 ※ 「IG ON」を選択すると、計測画面に戻り、圧力表示まで「IG STARTING」を表示し ます。 (2) 外部接点入力 ※ IG CNTL が DIGI/RS485 になっている必要があります。 ① IG-10 の電源を入れます。 ② Analog コネクタの①ピン-②ピン間を短絡させます。(11.I/O コネクタ参照) ※ 短絡している間はフィラメントが点灯し続けます。 ※ 表示画面が計測画面の状態で短絡をして下さい。 (3) RS-485 ※ IG CNTL が DIGI/RS485 になっている必要があります。 ① RS-485COM コネクタの⑥ピン-⑨ピンをコンピュータに接続します。 (11.I/O コネクタ参照) ② IG-10 の電源を入れます。 ③ コンピュータからフィラメント ON のコマンドを送信します。 (例：#01IG1<CR> / 10-2 通信コマンド一覧参照) ※ OFF コマンドを送信することでフィラメントが消灯します。 ※ 表示画面が計測画面の状態で通信を行って下さい。 13

6-3 デガスについて デガスとは デガスはフィラメントなど、センサー内部に吸着・堆積した分子を熱などの力で真空中に放 出することをさします。デガスを実施することでセンサーの機能が回復する場合があります。 基本的に計測している圧力が明らかに異なっている場合などに実施をしますが、回復しない 場合はセンサーの寿命が考えられます。 IG-10 ではデガスを ON/OFF させるのに 3 つの方法があります。デガスはフィラメントが ON になっている時に、6.00E-3[Pa]以下で実行できます。また、それよりも高い圧力では実 行できません。 デガスは終了時間(DEGAS TIME で設定)になるか、OFF になる動作を実行すると終了します。 (1) FRONT PANEL ※ IG CNTL が FRONT PANEL になっている必要があります。 ① MENU ボタンを押します。 ② 「DEGAS ON」を選び、ENT ボタンを押します。 ※ 「DEGAS OFF」を選択するとデガスが終了します。 (2) 外部接点入力 ※ IG CNTL が DIGI/RS485 になっている必要があります。 ① Analog コネクタの⑥ピン-②ピン間を短絡させます。(11.I/O コネクタ参照) ※ 表示画面が計測画面の時に実行して下さい。 ※ 外部接点入力で OFF させる場合はフィラメントを OFF にしてください。 (3) RS-485 ※ IG CNTL が DIGI/RS485 になっている必要があります。 ① RS-485COM コネクタの⑥ピン-⑨ピンをコンピュータに接続します。(11.I/O コネ クタ参照) ② コンピュータからフィラメント ON のコマンドを送信します。 (例：#01DG1<CR> / 10-2 通信コマンド一覧参照) ※ OFF コマンドを送信することでデガスが終了します。 ※ 表示画面が計測画面の時に通信を行って下さい。 14

6-4 エミッション電流について IG-10 では 2 種類のエミッション電流を選択することができます。それぞれのエミッション電 流の測定範囲につきましては、「4-2 測定範囲」をご覧ください。また、エミッション電流に は自動切替と手動切替の二つの制御方法があり、自動切替の場合、設定された圧力になると自 動的にエミッション電流が切り替わります。 ここでは手動でのエミッション電流の切替について説明します。 (1) FRONT PANEL ※ IG CNTL が FRONT PANEL になっている必要があります。 ① MENU ボタンを押します。 ② 「EMISSION SEL」を選び、ENT ボタンを押します。 ③ 4mA もしくは 100uA を選択し、ENT ボタンを押します。 (2) 外部接点入力 ※ IG CNTL が DIGI/RS485 になっている必要があります。 Analog コネクタの⑧ピン-②ピン間を短絡させると 4mA になります。また、開放にする と 100uA になります。(11.I/O コネクタ参照) (3) RS-485 ※ IG CNTL が DIGI/RS485 になっている必要があります。 ① RS-485COM コネクタの⑥ピン-⑨ピンをコンピュータに接続します。(11.I/O コネ クタ参照) ② コンピュータからエミッション電流を設定するコマンドを送信します。 (例：#01SE1<CR> / 10-2 通信コマンド一覧参照) ※ 表示画面が計測画面の時に通信を行って下さい。 6-5 スクリーンセーバー機能について IG-10 にはスクリーンセーバー機能があります。スクリーンセーバー機能は電源投入から 12 時間ごとに明暗部が入れ替わる機能です。 スクリーンセーバー機能が動作中でも測定に影響はございません。 また、パネル面からの操作でこの機能を OFF にすることができます。 15

6-6 モードの種類／切り替え IG-10 には以下のモードがあり、MENU ボタン、ENT ボタンで切り替わります。 8-1 計測画面 (IG ON) (IG OFF) 8-2 SETUP DISP SET CONTRAST MODE FLIP SCREEN SCREEN SAVER 8-3 SETUP　UNIT UNITS DEFAULTS GAS TYPE CLR IG ERROR OVR PRESS 100 IG CNTL 8-4 SETUP IG DEGAS TIME SENSITIVITY FILAMENT NUM RLY1 LO TRIP RLY1 HI TRIP RELAY 1 TEST FIL USAGE AUTO IE EN AUTO IE TRIP 8-5 ANALOG OUTPUT 8-6 SETUP COMMS BAUD RATE ADDR ADDR OFFSET 8-7 SERVICE MENU INFO OP TIME (EMISSION SEL) (DEGAS OFF) (DEGAS ON) (1) 計測画面で MENU ボタンを押すと画面が 8-2～8-6 の設定画面になります。 (2) 8-2～8-7 で ENT ボタンを押すとそれぞれに対応した設定画面になります。 (3) 計測画面以外で MENU ボタンを押すとひとつ前の画面になります。 (4) 「IG ON」、「IG OFF」、「EMISSION SEL」、「DEGAS OFF」、「DEGAS ON」は IG CNTL が FRONT PANEL のときのみ表示されます。 16

6-7 工場出荷時の設定 IG-10 の工場出荷時の設定は以下のようになります。 モードの種類 工場出荷時の設定 CONTRAST 10 MODE NORMAL FLIP SCREEN NORMAL SCREEN SAVER ON UNITS PASCAL GAS TYPE N2 OVR PRES 100 6.66E+00 IG CNTL FRONT PANEL DEGAS TIME 2 SENSITIVITY 10 (※1) FILAMENT NUM FILAMENT 1 RLY Ⅰ LO TRIP 1.33E-04 RLY Ⅰ HI TRIP 6.66E-04 AUTO IE EN ENABLE AUTO IE TRIP 1.33E-03 ANALOG OUTPUT 0 BAUD RATE 19,200、8、N、1 ADDR 1 ADDR OFFSET 0 EMISSION SEL AUTO ※1 センサー部によって異なります。 17

7. セットポイント 7-1 セットポイントの定義 セットポイントは圧力の RLY HI、RLY LO の２つの設定値から構成されています。セットポイ ントはメインディスプレイで状態を表示します。 測定圧力が RLY LO 以下になると RLY Ⅰが表示され、RS-485COM コネクタの①ピン-⑦ピ ン間の接点が閉、⑤ピン-⑦ピン間の接点が開になります（接点容量：DC30[V]，1[A]）。 逆に測定圧力が RLY HI 以上になると RLY Ⅰが消え、RS-485COM コネクタの①ピン-⑦ピ ン間の接点が開、⑤ピン-⑦ピン間の接点が閉になります。 (11-2 RS-485COM コネクタ参照) 圧力値 RLY HI この幅が ヒステリシス RLY LO ①-⑦閉 、⑤-⑦開 セットポイント出力 ①-⑦開 、⑤-⑦閉 7-2 セットポイントの設定値について セットポイントの上限値をセットポイントの下限値より低く、又は同じ値に設定しないで下さい。 設定した場合、誤動作の原因などになります。また、設定値を変更する際にセットポイントが意 図しない時に動作する恐れがあるため、計測中の変更は注意して行って下さい。 ※設定値は計測画面に戻った際に有効になります。 7-3 ヒステリシスについて 本製品はセットポイント出力の不安定な動作を防止するため、ヒステリシス特性を設けてありま す。このため、セットポイント値近辺では若干の応差があります。 18