『魔法のニップル／キューブ／チャンバー_製品資料』

XHV Products for extreme high vacuum 極高真空（XHV）製品 低ガス放出を実現する 魔法のニップル / 魔法の6面体 Cube/魔法のチャンバー １．真空計のガス放出が 1/7 に減る ２．到達真空が １桁程度良くなる MNBA (70mm) ３．消費電力が ½ 以下に減る ４．0.2% BeCu 合金製 ５．銅表面は NiP 不動態化処理 ６．300℃ までのベーキング可能 ７．銅ガスケットが使える MNEX (40mm) ガス放出速度 魔法のニップル ステンレス製 ニップル 200℃ × 2h ベーク後18h 経過後の値 BAゲージ （1/4） 2.1×10-11 Pa・m3/s 8.9×10-11 Pa・m3/s （スループット法で測定） EXゲージ (1/7) 5.6×10-12 Pa・m3/s 3.9×10-11 Pa・m3/s 原理 SUS のニップル 0.2% BeCu のニップル 熱伝導率 (W/m/℃) 熱伝導率 (W/m/℃) 16 210 熱輻射率 熱輻射率 0.36 ＜0.05 Hot Cool ガス放出 ガス放出 真空チャンバー 反射 反射 F F 電力大 電力小 輻射率が 0.36 と大きいのでフィラメントから放 輻射率が小さいためフィラメントから放射さ 射される赤外線（グリッドからの軟X線吸収も大 れる赤外線が壁に吸収され難い。壁で反射さ きい）がステンレスの壁に吸収され易く、フィラ れた赤外線はフィラメントに戻り、電子を放 メントに戻らないため、フィラメントから電子を 出できる温度まで加熱する電力が小さい。 放出できる温度まで加熱する電力を大きくする必 要がある。 熱伝導が良いので吸収された熱は速やかに 壁内に拡散し、壁の温度が低くなる。 沢山の熱を吸収した上、熱伝導が悪いため吸収し 吸収される赤外線の量も少ない。 た熱が真空壁に滞留する。 壁の温度が上昇しないためガス放出が小さ ICF 70 Cube 真空壁の温度が上昇し、ガス放出が大きくなる。 い。さらに 0.2% BeCu 合金材料自体のガ ス放出が極めて小さい。 東京電子株式会社 http://www.toel.co.jp 本社 〒185-0012 東京都国分寺市本町 2-22-7 TEL 042-329-5090 FAX 042-329-5091 E-mail : sales@toel.co.jp