アウトガス、温度コントロールの問題をこれで解決
低ガス放出で今までの常識を覆す全く新しい真空構造材0.2%BeCu。ウルトラクリーンを創造し製造工程、分析工程に革新をもたらします。アウトガスでお納屋並みの方、必見です。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 真空の常識を変える全く新しい真空構造材 0.2%BeCu |
|---|---|
| ドキュメント種別 | ハンドブック |
| ファイルサイズ | 3.1Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 東京電子株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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スライド番号 2
低ガス放出で今までの常識を覆す
全く新しい真空構造材0.2%BeCu
ウルトラクリーンを創造し
製造工程、分析工程に革新をもたらします。
0.2%BeCu
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スライド番号 3
About
0.2%BeCu
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スライド番号 4
0.2%BeCuとは
BeCu（ベリリウム銅）は軟らかく加工しやすい、導電性、熱伝導性
がよい、耐食性がよいという銅の持つ特徴に加え、ベリリウムを含有
させたことで特殊鋼に匹敵する高い強度と優れたバネ性を兼ね備えた
合金です。用途としては自動車や携帯電話、パソコン、通信機器など
の導電バネ材料、また非磁性であり火花が出ない特性、さらに金属加
工、成形、機械加工に向いた特性も持っており、危険な環境下での工
具、楽器、精密測定機器、弾丸、宇宙開発用の材料など、各種の応用
に用いられております。
金型部品
特殊工具
バネ電極 NGKファインモールド株式会社HP、
Wikipediaより
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スライド番号 5
0.2%BeCuとは
0.2%BeCuは銅にベリリウムを0.2%混ぜた合金です。
軟らかく加工しやすい
Cuの特性 導電性・熱伝導性がよい、耐食性がよい
加工しやすい
BeCuの特性 導電性・熱伝導性がよい ＋ 高い強度
耐食性がよい 優れたバネ性
【従来の用途】
非磁性で火花が出ない、金属加工、
成形、機械加工に向いている特性
導電性バネ材料としての工業材料、危険な環境下での工具、
精密測定機器、宇宙開発用の材料など
真空構造材に！
Copyright © Tokyo Electronics Co., Ltd.
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スライド番号 6
真空構造材としてのBeCu
真空構造材といえばステンレスやチタンがが一
般的ですが熱線（赤外線～可視光）の吸収率が
非常に大きく、しかも熱が伝わりにくい金属で
す。 そのため、一旦熱が吸収されると、熱が
逃げにくく真空チャンバーやフランジなどの温
度が上昇し、 結果、ガス放出が大きくなって
しまう問題が生じます。
SUSチャンバー
ベリリウム銅は銅の持つ特性として熱伝導率が極めて高く、さらに
熱輻射率が低いことから高温にならず、ガス放出を大きく抑えるこ
とができます。またベリリウムを含有させることにより硬質になり
、銅ガスケットの使用が可能となるため極・超高真空下での使用に
適している素材となります。
BeCu継手 BeCuチャンバー BeCuニップル
0.2％BeCu
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スライド番号 7
真空構造材としての
0.2%BeCuのメリット
●0.2%BeCuの特徴
熱伝導率が良く チャンバ、フランジを
熱輻射率が低い 低温に維持
低温化による低ガス放出化
●0.2%BeCuのメリット
到達圧力の極・超高真空化
真空引きの時間短縮
冷却設備の簡略化
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スライド番号 8
真空構造材としての
0.2%BeCuのメリット
BeCuはSUSと比較して熱伝導率は13倍、
熱輻射率は1/7以下の特性を持つ
低温化による低ガス放出化
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スライド番号 9
各種金属材料と純銅の熱伝導率
銅の持つ熱伝導特性のデーター
99.8%銅ベースの0.2%BeCuにおいても
極めて優れた熱伝導特性
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スライド番号 10
各種金属材料と純銅の熱伝導率
コンフラットフランジによる真空シール実績報告
のある合金のデータ
硬度、熱処理上限、熱伝導率で極めて優れている
線膨張係数が同等なのでフランジ接合ができる
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スライド番号 11
BeCuの排気曲線熱特性
低ガス放出の特性を十分に生かす排気特性は
わずか6Hで10-8 Pa台に到達
短時間で超高真空に到達可能
BeCuのガス放出速度は極めて低い
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スライド番号 12
真空金属材料の表面処理と
水素ガス放出率
各種材料の表面処理後の水素放出量
BeCuの水素ガス放出量は極めて低い
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スライド番号 13
真空構造材としての0.2%BeCu
銅ガスケットとの冷間結合を防止。
極・超高真空下のシールができる
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スライド番号 14
真空構造材
0.2%BeCuの製造工程
真空構造材として使用するための製造工程
低ガス放出なBeCuの完成
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スライド番号 15
0.2%BeCu
for Vacuum Instruments
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スライド番号 16
真空コンポーネントへの応用
0.2%BeCuの用途としてまず、真空コンポーネントへの応用が
挙げられます。東京電子では自社のコンポーネントである、質量
分析計、真空計、NEGポンプ、真空チャンバー等、ガス放出を
抑制しなければ行けない場所で使用し、コンポーネントの性能の
高度化を実現しています。
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スライド番号 17
NEG ポンプとフラックスモニター
●NEG ポンプ
0.2%BeCuをNEGポンプ（非蒸発型ゲッ
ターポンプ）のケーシングに使用して自
らのアウトガスを防ぎ極高真空を造り、
維持しています。
Pill type NEG Magic NEG
in cage
0.2% BeCu
casing
アウトガスを抑制する
●フラックスモニター
モニターから出た熱をBeCuに防着版
に接続したマニピュレーターを伝わ
って放熱する役目をしています。
manipulator (0.2%BeCu)
flux monitor cover (0.2%BeCu)
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スライド番号 18
0.2%BeCu
for QMS Analysis
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スライド番号 19
質量分析計への応用
0.2%BeCu for QMS
TOEL QMS ; WATMASS-MPH
BeCu Ion source
Heat flow
0.2%BeCu
Ion source Cu gasket
フィラメントを点灯し高温になってもアウトガスが抑制できる
アウトガスが抑制によりピークノイズを低減できる
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スライド番号 20
質量分析計への応用
0.2%BeCu for QMS System
分析室に0.2%BeCuを使用して計測に障害のあるアウトガスを
抑制して高精度なガス計測を実現
チップをセットして
破壊・計測する
0.2%BeCuを
使用した分析室
10-15Pa・m3/s（He)という極微少リークの計測を実現