高性能残留ガス分析計　トランスペクターMPH

U n l o c k Yo u r P r o c e s s Transpector® MPH H i g h Pe r f o r m a n c e R e s i d u a l G a s A n a l y z e r F o r S e m i c o n d u c t o r M a n u f a c t u r i n g

Unparalleled Performance for Increased Yields and Maximum Uptime 上昇し続けるシリコンウェーハ価格と最終製品に対する需要 の拡大により、スクラップウェーハのコストは、これまで以 特長 上に工程を監視することが重要な課題となっています。トラ ■ 1 ポイント当たり1.8msの超高速データ収集 ンスペクター MPH ガス分析計は、あらゆるガス分析アプリ （アナログスキャン・選択ピーク） ケーションにおける業界最先端の性能を通じて、プロセスの ■ 標準校正器（オプション） 不具合を解消し、歩留まりの向上と装置のダウンタイムの短 ■ T CP/IPイーサネット接続が可能 縮を目的として設計されています。ランニングコストが小さ ■ デュアルフィラメント（2本） く、MTBF（平均故障間隔）が長いトランスペクター MPH は、 ■ 現場で交換可能な2次電子増倍管 市販のどの RGA（残留ガス分析計）よりもお客様の利益に貢 ■ ア ノード、カソード、およびリペラー電極を組み合わせ 献します。 たフィラメントキット INFICON は、ガス分析計に関する専門技術を活用し、業界 ■ コ ンパクトなセンサによる設置スペースの最小化 最先端のデータ収集速度、最小検出分圧、および S/N 比（信 ■ 9 桁のダイナミックレンジ 号対ノイズ）を誇る RGA を開発しました。これらはすべて、 ■ M DPP（最小検出分圧）は＜2.7E-13Pa（100amu） ユーザが INFICON のトランスペクターガス分析計に求める ■ S /N比（信号対ノイズ）の向上 信頼性のいずれも損なうこと無く実現されています。 ■ セ ンサと制御部(SCU)のマッチング不要 ■ クリーンルーム環境における組立・検査、および2重梱 RoHS に適合したトランスペクター MPH のセンサと電子部 包による出荷 品は、そのすべてが信号強度と測定速度を最大化できるよう ■ RoHSに適合 に設計されています。トランスペクター MPH は、一般的な 半導体 RGA アプリケーション（リークチェックや汚染の検 出）と、他の RGA には不可能な、より厳しい条件のアプリケー 新設計のセンサによるMTBFの向上とランニング ション（ウェーハ間プロセス監視、ALD、CVD、Etch）の コストの削減 両方に対して最適化されています。卓越した速度と感度によっ て RGA データの品質や統計的妥当性が高まり、異常検出や INFICON は、お客様からの幅広いフィードバックと徹底し その他のプロセス制御の計測精度も向上します。 た市場分析を通じて、トランスペクター MPH の RGA イオ ンソースのデザインを一新しました。新しいイオンソースは、 2 つのフィラメントをアノード、カソード、およびリペラー 電極を組み合わせたアセンブリとしています。メインおよび バックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、 センサを長期間に渡って使用することが可能になり、システ ムの致命的な障害を回避できます。また、トランスペクター MPH は用途に適したフィラメント（ハロゲンを含むプロセ スにはタングステン、酸素を含むプロセスにはイットリアコー C センサの図 A = 陽極と反射電極（リペラー）を内蔵した、現場で交換 可能なフィラメントアセンブリ A+B = 現場で交換可能なイオンソースアセンブリ B C = 現場で交換可能な電子増倍管 A 2

トイリジウム）を選択できるため、プロセスによりフィラメ ポートが必要になるため、オプションのルータあるいはイー ントの寿命が縮まるような事はありません。 サネットスイッチが必要になります。 トランスペクター MPH のフィラメントキットの交換は、 従来型 RGA のイオンソース全体を交換することに相当しま ニーズに適したソフトウェア す。このメンテナンス箇所の削減により、トータルコストは トランスペクター MPH は、FabGuard 大幅に削減されます。トランスペクター MPH では、一般的 Suite プログラムに対応しており、これに に長期使用で汚染されるフィラメントとイオンソースを交換 は FabGuard-IPM (Integrated Process することにより、RGA の寿命や感度に貢献します。 Monitor) や FabGuard Explorer が 含 新設計のセンサは、現場で交換可能な２次電子増倍管（EM） まれています。FabGuard Suite を使用すれば、現行の にも付加価値をもたらします（２次電子増倍管を装備してい Transpector 2 との互換性も確保でき、長年使用されてき る場合）。EM は定期メンテナンスの際に現場で速やかに交換 たトランスペクター RGA との共存が可能となります。 できます。新しい２次電子増倍管は、ファラデーカップ（FC） トランスペクター MPH には、オンボードのウェブサーバを の感度を更に高め、寿命を延ばすことに貢献しています。 備えているため、ネットワークに接続されたあらゆる端末か 最新の半導体工場に適した柔軟な通信拡張性 ら専用ソフトウェアを使用せずにトランスペクター MPH を 操作できます。このウェブサーバは、データの表示を可能に トランスペクター MPH は、RGA とコンピュータ間の標準 する単なるプログラムではありません。トランスペクター の通信方法としてイーサネットを使用します。１台のトラン MPH のウェブサーバを使用すれは、マニュアル操作による スペクター MPH のみ使用する場合は、既存のネットワーク あらゆるデータ表示に加え、リークチェックやセンサのキャ に接続、または直接コンピュータのイーサネットポートに接 リブレーションなどの標準的なメンテナンス機能も使用する 続できますが、複数の MPH を使用する場合は相当数の LAN ことが可能になります。 オンボードウェブサーバによる計測データの表示例 3 UNLOCK YOUR PROCESS

仕様 MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M センサ長（真空側） 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 質量範囲 1～100 amu 1～200 amu 1～300 amu 検出器タイプ FC EM/FC FC EM/FC FC EM/FC フィラメントタイプ Y2O3/I（r 一般用途用）またはタングステン（ハロゲン環境用）デュアルフィラメント 分解能（1993 AVS推奨方法） 全質量範囲に渡り、＜1 amu（ピーク高さの10%位置における値） 温度係数（30分の暖機運転後、 連続8時間計測） 1℃当たりピーク高さの＜1%（ FCのみ） 感度 ― amps/Pa FC 4.5x10-6 3.8x10-6 3x10-6 最小検知分圧 ― 256 ms dwell FC 1.6x10-10 N/A 2.1x10-10 N/A 2.7x10-10 N/A Pa * EM N/A 9.3x10-13 N/A 1.3x10-12 N/A 1.6x10-12 最小検知分圧 ― FC 4x10-11 4 s dwell N/A 5.3x10-11 N/A 6.7x10-11 N/A Pa * EM N/A 2.7x10-13 N/A 4x10-13 N/A 5.3x10-13 最大データ速度（アナログスキャン または選択ピーク） 1ポイント当たり1.8 ms ゼロブラスト（Mass 2において） <5 ppm <65 ppm <100 ppm 全圧測定範囲 -5 -2 Pa ** 2.7 x 10 - 6.7 x 10 最大動作圧力 Pa 6.7 x 10-2 最大ベーキング温度 （電子ユニット取り外し） 300°C センサ最大動作温度 FC 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C EM N/A 150°C N/A 150°C N/A 150°C 入力電源 20～30 VDC、30 W Max.　―　標準24 VDC 1.25 A Max. イーサネット通信インターフェイス 標準： CAT5eイーサネットケーブル接続 標準校正器（オプション） EM校正用のアルゴン、または調整用のミックスガス リレー出力 1系統、24 V、0.5 A 入力 アナログ入力 x 1系統、デジタル入力 x 2系統 LEDインジケータ（緑） 電源ステータスx 1、エミッションステータスx 1 * ベースラインノイズの標準偏差を窒素に対する感度で除算した値。 ** 分圧測定とは独立して計測（フィラメント保護用） N/A = 該当せず 16.60 in. [42.17 cm] 4.53 in. [11.5 cm] 6.69 in. [16.99 cm] 4.79 in. [12.17 cm] 14.40 in. [36.57 cm] 5.63 in. [14.3 cm] 7.83 in. [19.3 cm] 7.61 in. [19.33 cm] 9.81 in. [24.91 cm] MPH100F, MPH200F, MPH300F MPH100M, MPH200M, MPH300M ® インフィコン株式会社： 本社・技術センター　川崎市高津区坂戸3-2-1 かながわサイエンスパークR&D D棟7F　TEL：044-822-1111　FAX：044-812-0007 中部営業所　愛知県春日井市如意申町3-7-21　TEL：0568-29-7611　FAX：0568-29-7615 www.inficon.jp TranspectorとFabGuardはインフィコンの登録商標です。その他の商標はいずれも各所有者に帰属します。 継続的製品改善プログラムにより、製品の仕様は通知なしに変更される場合があります。 aibf17a1-c ©2014 INFICON