質量ガス分析計　Transpector(R) XPR 3+（プラス）

M A X I M I Z E Y I E L D A N D M I N I M I Z E S C R A P I N R E A L T I M E Transpector® XPR 3+（プラス） 質量ガス分析計

センサーを利用したイノベーション 半導体とディスプレイの製造状況は競争がますます激化し ツールのアップタイムを最大化して収益率を増やす ており、常にスループットと歩留まりを最大化する必要性に • セ ンサーの設計には現場で実証された四重極とデュアル 迫られています。より高性能な半導体は、その製造において イオンソースを採用 複雑さの増大が要求され、費用も嵩みます。トランスペクター • 差動排気システムが不要で、寿命の長い部品や問題の XPR 3+は、PVDやスパッタリングのプロセスでのウェーハ 速やかな検出と診断を組み合わせることで、ツールのアップ やパネルのリアルタイムの保護を実現することにより、スルー タイム、製造のスループット、および歩留まりを最大化 プットと歩留まりを最適化します。 - センサーは差動排気なしに、高真空から 2.6 Paまでの 間で連続的に作動できます。 迅速なプロセス変更のモニタリングと制御 - トランスペクター XPR 3+のデュアルイオンソースの チャンバーは、イオンソースの感度を維持するために 新しいトランスペクターXPR 3+は、今日の半導体やディス 汚染を軽減し、センサーのメンテナンスまでの平均時間 プレイの製造に求められる速やかなプロセスの変更をモニター が拡張されるように設計されています。 して制御する、業界最先端の測定スピードを備えています。 トランスペクターXPR 3+は、現場のエアリーク、ガス純度、 • トランスペクター XPR 3+は、過圧からフィラメントを 炭化水素、および汚染をモニターするのに最適です。トラン 自動的に保護するためのピラニーインターロックを使用した スペクターXPR 3+によるリアルタイムの測定は、定期的な 構成が可能 ビルドアップリーク試験に比べてはるかに優れた製品保護 • ト ランスペクターXPR 3+はチャンバー内の信頼性の高い を実現します。 分析をすることでツールの予防保全をより効果的かつ効率 化します。 製造プロセスへのパワフルな組み込み インフィコンは、半導体やディスプレイ市場向けにトータル ソリューションとしてのガス分析を提供しています。トラン スペクターXPR 3+は、インフィコンの FabGuard®ソフトウェア と組み合わせることにより、パワフルなデータ収集と同期化 トランスペクター XPR 3+の用途 を通じた製造ライン間に継目のない異常検知とプロセス ■ P VDプロセスモジュール 制御を実現します。 ■ プレクリーンモジュール センサーを利用したイノベーション ■ ノンクラスター PVDツール インフィコンのトランスペクター製品群は、設備のスループット ■ デガスモジュール と歩留まりを最大化するためのあらゆるガス分析ソリュー ションを提供しています。トランスペクターのガス分析装置 は、大気から高真空まで、独自のニーズを最適化するよう に構成することが可能です。 2

FABGUARDによるデータの収集と分析 業界最先端の インフィコンの FabGuardのソフトウェアはトランスペクター 測定スピード XPR 3+と組み合わせることにより、プロセスをモニターして 先端の電子回路に 診断するパワフルなツールになり、次のようなことが可能に より、ポイント当たり なります。 1.8 msという短い時間 での計測が可能です。 ■ Advanced Process Control（APC） ■ Statistical Process Control（SPC） ■ Run-by-runおよびリアルタイムの異常検知と分類（FDC） 現場で実証された メンテナンス間の平均時間を最大化し、コスト・オブ・ センサー設計 オーナーシップを最小化 半導体やディスプレイ アングルバルブオプションは蒸着材料の進入を制限する 製造向けの PVDで市 ことにより、トランスペクター XPR 3+のイオンソース 場をリードし、世界中 の寿命を保護します。 に設置されています。 ピラニーゲージインターロックはフィラメントを過圧から 自動的に保護し、センサーのイオンソースの寿命を伸ば します。 デュアルイオンソース設計 プロセス制御用 I/Oの 全圧を測定するフィラメントとイオン電流を測定する 追加 フィラメントを使用します。 デジタルとアナログの 入力／出力の数が増え 超小型の四重極 たことにより、プロセス 高圧の EM（電子増倍管）と組み合わせることにより、 への柔軟な統合が可能 2.6 Paまでの圧力で作動できます。 です。 3

仕　様 質量範囲 1～ 100 amu 分解能（1993 AVSの推奨方法による） < 1 ＠ 10%、質量 4、20、28、40で測定 質量フィルタータイプ 四重極 検出器タイプ Off-axis FCおよびマイクロチャンネルプレートEM 温度係数（FC信号 Ar 1.3E-2 Pa時） ピーク高さとして 1°Cあたり< 1% 質量ピーク安定性 （FC信号 Ar 1.3E-2 Pa時、STP一定） 24時間で < 0.1 amu* 質量ピーク比安定性（ 2/40、4/40、20/40、28/40） 24時間で < 2% 感度（公称） FC ＠ 40 eV/200 μA ≧3E-9 amps/Pa EM ＠ 40 eV/400 μA ≧3E-5 amps/Pa 最小検出分圧 ** FC ＠ 40 eV/200 μA ≦1.3E-7 Pa EM ＠ 40 eV/400 μA ≦8E-10 Pa 最大動作圧 FCまたは EM 2.6 Pa FCまたは EM（Linear operation） 1.3 Pa センサーの最大動作温度 150°C 最大ベークアウト温度（ 電装部は取り外す） 200°C PPM検出限度（ @ 0.13 - 0.65Paプロセス圧力） 10 ppm 動作温度 5～ 50°C 入力電源 20～ 30 V DC、最大 30 W イーサネット通信インタフェース 標準：CAT5eイーサネットケーブル接続 標準 I/O アナログ入力 x 1、デジタル入力 x 2、リレー x 1、24 V、0.5 A 拡張 I/O（オプション） アナログ入力 x 4、アナログ出力 x 4、リレー x 4、24 V、0.5 A、 デジタル入力または出力 x 12 注： すべての仕様値は 30分間暖機を行った後の値です。 * 24時間の質量ピーク安定性についてはピークロックがオン。 ** MDPP（最小検出分圧）は、ノイズの標準偏差を、滞留時間 4秒で測定したときのセンサー感度で除して求めた値です。 寸　法 121.7 mm (4.79 in.) 292.1 mm 115.0 mm (11.5 in.) (4.53 in.) インフィコン株式会社 本社オフィス　横浜市港北区新横浜2-2-8 新横浜ナラビル 5F 〒222-0033 技術サービスセンター 　横浜市港北区新横浜2-2-3 新横浜第1竹生ビル1F 〒222-0033 TEL : 0 4 5 – 4 7 1 – 3 3 2 8 　　　FAX : 0 4 5 – 4 7 1 – 3 3 2 7 TEL : 0 4 5 – 4 7 1 – 3 3 2 6 　　　FAX : 0 4 5 – 4 7 1 – 3 3 2 7 www.inficon.jp 本カタログの記載内容について性能向上のため予告なく変更する事がありますのでご了承下さい。 TranspectorとFabGuardはインフィコンの登録商標です。 aibg83a1 © 2017 INFICON