三菱電機　変位センサＭＨ１１シリーズのご紹介

あらゆる製造現場の生産性および品質の向上を 可能にするレーザ変位センサMH11 こんなことでお困りありませんか？ 測定物の特性に合わせた測定が可能 業界最高ｸﾗｽの高速・高精度測定 サンプリング周期10μs □厚み、幅 例：基板,フィルム等厚み測定 最小分解能0.01μmを実現。 □高さ・段差 例：コネクタ,部品等高さ測定 □振れ・偏芯 例：ディスクロータ振れ測定 □振動 例：超音波溶接機の振動測定 □反り平坦度 例：ガラス基板の平坦度測定 ウェハの平面度測定 三菱電機製品との親和性を追及したコントローラ Before After のメリット バイナリ・アナログ接続 ①測定値変換のプログラム工数がかかる・・・ ①サイクリック通信で簡単に測定値を取込でき、 ②バイナリやアナログ接続はそれぞれ アナログよりもノイズ影響が少なく安心。 ユニットが必要… ②CPU直結でユニットコスト削減。

センサヘッド製品ラインアップ 　　　　　　　　　:拡散　反　射　測　定　　 　　　:正反射測定 形名 MH11H11□0□ MH11H08□0□ MH11H05□0□ MH11H03B0□ MH11H01A2□ MH11H01A0□ MH11H01A1□ MH11H35C3□NA MH11H35□0□NA （※1） (NA) (NA) (NA) (NA) (NA) (NA) (NA) 外観 測定中心 距離 および測 350±200mm 350±50mm 110±15mm 85±20mm 50±5mm 30±5mm 15±1mm 10±1mm 8±0.8mm 定範囲 （※2） 分解能 0.1μm 0.15μm 0.05μm 0.025μm 0.01μm 0.01μm 0.01μm （2μm） （0.5μm） （※3） （0.25μm） （0.25μm） （0.25μm） （0.25μm） （0.25μm） （0.25μm） （0.25μm） ±0.03（※4）直線性 ／ ±0.04～±0.08 ±0.03 ±0.03 ±0.03 ±0.03 ±0.02 ±0.02 ±0.02 ［％F.S.］ ±0.1（※5） 温度特性 ［％ 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.02 0.01 0.02 F.S./℃］ ビーム径 約400× 約250× 約80× 約100× 約70× 約30× 約30× 約20× 約20× ［μm］ 約ø400 約ø250 約ø80 約ø100 約ø70 約ø30 約ø30 約ø20 約ø20 6500 3500 1700 1200 1000 1200 1400 700 700 （※6） ※1 形名の末尾がNAではない機種は分解能が0.25μm未満の機種です。 ※1~6. 詳細は商品カタログをご確認ください。 ※2 MH11H01□の値は正反射測定時の仕様です。MH11H01□以外の機種の値は拡散反射測定時の仕様です。 ※3 かっこで囲まれている値は形名の末尾がNAの機種の仕様です。かっこで囲まれていない値は形名の末尾がNAではない機種の仕様です。 ※4 拡散反射測定時の仕様ですG。OTから設定・モニタが可能 システム構成 ※5 正反射測定時の仕様です。 ※6 各機種の左側の欄は小スポットタイプの機種の仕様です。右側の欄はラインスポットタイプの機種の仕様です。 受光波形表示 条件設定 RS 232C 測定データ表示 USB Ethernet/ GOT GT2104PMBD2にサンプル画面データを登録して、コントローラの USB 設定・モニタを行えます。サンプル画面データは三菱電機FAサイト （www.MitsubishiElectric.co.jp/fa)のサンプルライブラリコーナーより /アナログ ダウンロードできます。 Ethernet 他 お問い合わせは下記へどうぞ アナログ