精密除振台ステイブルシリーズ総合カタログVol13.3

Vol.13.3 ※本カタログは予告なく仕様を変更することがありますので予めご了承ください。 本　　社 〒712-8555　倉敷市連島町矢柄四の町4630 詳しくはオフィシャルHPへ▶ TEL（. 086）465-1715（代）　FAX（. 086）465-1714 営業拠点 東京、大阪、名古屋、仙台、中四国、福岡 23.7.1250

INDEX PROLOGUE 除振台について 2 水平除振機構ジンバルピストン＆ドームジンバルピストン 3 e-Stable アクティブ除振ユニットラインナップ 4 e-Stable アクティブ除振ユニット［MB］ 5 e-Stable アクティブ除振ユニット［LH］ 6 e-Stable アクティブ除振ユニット［LHKP］ 7 e-Stable アクティブ除振ユニット［A/B/BLI］ 8 e-Stable［ コントローラ/電源ユニット］ 9 p-Stable パッシブ除振ユニットラインナップ 10 p-Stable パッシブ除振ユニット［PSB-D］ 11 p-Stable パッシブ除振ユニット［PST-D］ 12 p-Stable パッシブ除振ユニット［PST］ 14 e-Stable p-stable 卓上形除振台ラインナップ 15 e-Stable mini 卓上形アクティブ除振台 16 防音ボックス［mini専用オプション］ 17 mini搭載用架台［mini専用オプション］ 17 p-Stable 汎用卓上形除振台［50］ 18 p-Stable クリーンルーム用卓上形除振台［50C］ 19 p-Stable エアーダンパー防振ゴム式卓上形除振台［51］ 20 p-Stable 卓上形光学除振台［52S］ 21 p-Stable 天秤用卓上形除振台［53］ 22 p-Stable テーブル形除振台［71S］ 24 エアーコンプレッサー/特注対応事例 25 Stable除振台設計仕様書 26

INDEX PROLOGUE 除振台について 2 水平除振機構ジンバルピストン＆ドームジンバルピストン 3 e-Stable アクティブ除振ユニットラインナップ 4 e-Stable アクティブ除振ユニット［MB］ 5 e-Stable アクティブ除振ユニット［LH］ 6 e-Stable アクティブ除振ユニット［LHKP］ 7 e-Stable アクティブ除振ユニット［A/B/BLI］ 8 e-Stable［ コントローラ/電源ユニット］ 9 p-Stable パッシブ除振ユニットラインナップ 10 p-Stable パッシブ除振ユニット［PSB-D］ 11 p-Stable パッシブ除振ユニット［PST-D］ 12 p-Stable パッシブ除振ユニット［PST］ 14 e-Stable p-stable 卓上形除振台ラインナップ 15 e-Stable mini 卓上形アクティブ除振台 16 防音ボックス［mini専用オプション］ 17 mini搭載用架台［mini専用オプション］ 17 p-Stable 汎用卓上形除振台［50］ 18 p-Stable クリーンルーム用卓上形除振台［50C］ 19 p-Stable エアーダンパー防振ゴム式卓上形除振台［51］ 20 p-Stable 卓上形光学除振台［52S］ 21 p-Stable 天秤用卓上形除振台［53］ 22 p-Stable テーブル形除振台［71S］ 24 エアーコンプレッサー/特注対応事例 25 Stable除振台設計仕様書 26 1

精密な機器に床の振動を伝えたくない場合、除振台を使用する必要が ダイアフラム あります。一般に除振台は、図1のように空気ばねとそれによって支持さ れる質量によって表されます。この系において、除振台上の振動と床の 振動の比を振動伝達率と呼び、図2のような周波数特性をもっています。 低い周波数に共振ピークがあり、さらに周波数が高くなると振動伝達 率が1より小さくなる、すなわち除振効果が生じてきます。この共振周波 数が固有振動数と呼ばれ、除振台の性能の尺度となります。すなわち 固有振動数が低いほど、除振効果のある周波数領域が広くなり、振動 伝達率の値が小さくなります。この理由により、多くの高性能の除振台 には固有振動数が1～2Hzのダイアフラム形空気ばねが使用されています。 Stableも基本的にこのダイアフラム形空気ばねを利用しています。その ほか空気ばねの利点として、補助タンクをもうけ空気ばねと補助タンク の間にオリフィスを入れることで空気の粘性抵抗による減衰を得ること ができます。このことにより、図2のように固有振動数における共振ピー クを低くすることができるとともに、外乱による支持荷重のゆれをすみや ダイアフラム かに吸収することができます。また自動高さ調整バルブを使用すれば、荷 重の大きさにかかわらず一定の高さに荷重を支えることができます。 このように、空気ばね式除振台は様々な利点があり除振装置として理 想的です。しかし、以上の議論は上下方向のみを考慮していることに注 意が必要です。水平方向も含めて考えると、全く別の問題が生じてきます。 以上は上下方向のみの振動についての議論でした。ところが実際の 除振台は剛体なので上下だけでなく水平方向、回転方向の合計6個 の自由度を持っています。そのため除振台は実際には6個の固有振動 数を持っており、除振性能はそれらによって決定されます。一般に床の 水平方向の振動入力に対しては搭載盤の振動は水平方向の動きと 回転が連成して2つの共振ピークが生じます。このうちの高いほうの固 ください。 有振動数は、一般的なダイアフラム形空気ばねでは、上下方向の固有 振動数の数倍の値となることがしばしばです。その固有振動数付近では、 床に必ず含まれる振動成分により、除振台上の振動は大きく増幅され、 上下方向の除振効果より、大きく劣ることになります。このことは特に 建物の上層階において深刻になります。過去の除振の失敗例の多くは、 上下方向のみを考慮し、他の方向を無視したために生じています。このこ とにより、除振台は上下方向のみでなく水平方向の固有振動数も上下 方向と同等に低くすることが必要なのです。 2

精密な機器に床の振動を伝えたくない場合、除振台を使用する必要が ダイアフラム あります。一般に除振台は、図1のように空気ばねとそれによって支持さ れる質量によって表されます。この系において、除振台上の振動と床の 振動の比を振動伝達率と呼び、図2のような周波数特性をもっています。 低い周波数に共振ピークがあり、さらに周波数が高くなると振動伝達 率が1より小さくなる、すなわち除振効果が生じてきます。この共振周波 数が固有振動数と呼ばれ、除振台の性能の尺度となります。すなわち 固有振動数が低いほど、除振効果のある周波数領域が広くなり、振動 伝達率の値が小さくなります。この理由により、多くの高性能の除振台 には固有振動数が1～2Hzのダイアフラム形空気ばねが使用されています。 Stableも基本的にこのダイアフラム形空気ばねを利用しています。その ほか空気ばねの利点として、補助タンクをもうけ空気ばねと補助タンク の間にオリフィスを入れることで空気の粘性抵抗による減衰を得ること ができます。このことにより、図2のように固有振動数における共振ピー クを低くすることができるとともに、外乱による支持荷重のゆれをすみや ダイアフラム かに吸収することができます。また自動高さ調整バルブを使用すれば、荷 重の大きさにかかわらず一定の高さに荷重を支えることができます。 このように、空気ばね式除振台は様々な利点があり除振装置として理 想的です。しかし、以上の議論は上下方向のみを考慮していることに注 意が必要です。水平方向も含めて考えると、全く別の問題が生じてきます。 以上は上下方向のみの振動についての議論でした。ところが実際の 除振台は剛体なので上下だけでなく水平方向、回転方向の合計6個 の自由度を持っています。そのため除振台は実際には6個の固有振動 数を持っており、除振性能はそれらによって決定されます。一般に床の 水平方向の振動入力に対しては搭載盤の振動は水平方向の動きと 回転が連成して2つの共振ピークが生じます。このうちの高いほうの固 ください。 有振動数は、一般的なダイアフラム形空気ばねでは、上下方向の固有 振動数の数倍の値となることがしばしばです。その固有振動数付近では、 床に必ず含まれる振動成分により、除振台上の振動は大きく増幅され、 上下方向の除振効果より、大きく劣ることになります。このことは特に 建物の上層階において深刻になります。過去の除振の失敗例の多くは、 上下方向のみを考慮し、他の方向を無視したために生じています。このこ とにより、除振台は上下方向のみでなく水平方向の固有振動数も上下 方向と同等に低くすることが必要なのです。 3

アクティブ除振ユニット ラインナップ アクティブ除振ユニット ［LH］ 無共振除振効果による全周波数での優れた除振。 幅広いラインナップにより、装置用途に合わせた最適設計が可能です。 LHTYPE for H igh centre of gravity PAT 特長 ●ドームジンバルピストンとコイルばねのハイブリッド構造。 ●小フットプリントを実現。 除振用途 制振&除振用途 ●高重心装置に最適。 リニアモーター制御 MB・L series 空圧制御 A・B・BLI series 用途 ●透過型電子顕微鏡・走査型電子顕微鏡etc LHタイプ性能 EST-L6HF-L　4unit／積載質量1900kg 上下方向 振動伝達率 水平方向 MB type LH type LHKP type A type B type BLI 振動伝達率 type 40 40 30 使用用途 使用用途 使用用途 アクティブ非制御時 30 アクティブ非制御時 20 アクティブ制御時 20 アクティブ制御時 電子顕微鏡・精密測定装置など 半導体製造装置/検査装置・ 半導体製造装置/検査装置・FPD製造装置/検査装置 10 10 FPD製造装置/検査装置 0 0 -10 -10 -20 -20 -30 -30 除振用途 -40 -40 -50 -50 MB ～250ｋｇ MB -60 -60 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50 周波数（Hz） 周波数（Hz） 外形図 ●EST-L5HR-L／EST-L5HR-M／EST-L5HR-H ●EST-L6HF-L／EST-L6HF-M／EST-L6HF-H 4-M12（トッププレート） 4-M12（トッププレート） 4-M12（ベースプレート） 4-M12（ベースプレート） マウント側より取付の場合 マウント側より取付の場合 M8ボルトを使用する クランプボルト×2ヶ M8ボルトを使用する クランプボルト×2ヶ 装置搭載後、取り外し トッププレート トッププレート 装置搭載後、取り外し 1基あたり （4基あたり） コネクタ差込口 制振＆除振用途 コネクタ差込口 制振&除振用途 L8HKP-200 ～1250ｋｇ エア供給口 エア連絡口 エア供給口 エア連絡口 ベースプレート 200 220 ベースプレート ～670ｋｇ 220 240 B14W2LI 仕様表 EST-BLI B14WLI EST-L5HR-L EST-L5HR-M EST-L5HR-H EST-L6HF-L EST-L6HF-M EST-L6HF-H アクチュエータ リニアモーター 制御方法 FB・FF 6自由度制御 レベリング方式 自動レベリング コントローラ※1 デジタルコントローラ 搭載質量(kg)※2 190～320 240～350 290～400 340～570 500～660 630～750 アイソレータ外形寸法(mm) 220×220 240×240 アイソレータ取付寸法(mm) 200×200 220×220 作動時高さ(mm) 176 185 アイソレータ質量(kg) 20 29 1基あたり ※1: コントローラ、電源ユニットは別置きです。 （4基あたり） ※2: 空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。アイソレータ１基あたりです。 4 Mag（dB） 200 220 173（着座時） 179（最大高さ） 176（作動標準高さ） Mag（dB） 220 240 182（着座時） 188（最大高さ） 185（作動標準高さ）

アクティブ除振ユニット ［MB］ MBTYPE アクティブマルチプルベース 特長 ●薄型・小型・軽量 　搬入設置作業が劇的に簡易化しました。 ●オートレベリング＆調整レス 　ワンタッチで最適な状態に自動設定。 ●エアー源不要 　電源のみで動作します。 用途 ●電子顕微鏡・精密測定装置etc 従来品 MB 定盤・架台レスを実現 ■4基まで組み合わせ自由 品　番 構　　成 AMB1 除振ユニット1基＋コントローラ AMB2 除振ユニット2基＋コントローラ AMB3 除振ユニット3基＋コントローラ AMB4 除振ユニット4基＋コントローラ マルチプル構造により、定盤・架台が不要に。本体サイズも薄型コンパクトかつ軽量で、手荷物の様に運べます。 搭載機器に合わせて除振ユニットの数量を調整することで、無駄のない配置に。 MBタイプ性能 上下方向 振動伝達率 水平方向 振動伝達率 30 30 20 20 10 10 0 0 -10 -10 -20 -20 -30 -30 -40 -40 -50 -50 -60 -60 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50 freq.(Hz) freq.(Hz) 仕様表 外形図 ■除振ユニット仕様 378mm(取手展開時) 品　　　番 AMB 最大搭載質量 (kg) 250/1基 334mm(取手折畳時) 製品質量 (kg) 15 300mm WEBアプリケーション 管理システムでは、振動制御の切り替え や制御パラメーターの設定、エラーや故障 検知を確認することができます。ご要望に 合わせたシステムの開発・変更も可能な仕 様です。システム開発に関しては、別途ご 相談ください。 5 Mag（dB） Mag（dB） 100mm 300mm

アクティブ除振ユニット ［LH］ アクティブ除振ユニット ［LHKP］ LHTYPE for H igh centre of gravity PAT LHKPTYPE 制振リニアアクティブ除振台 特長 特長 ●ドームジンバルピストンとコイルばねのハイブリッド構造。 ●エアをほとんど消費しません。 ●小フットプリントを実現。 　小型のコンプレッサーでも使用可能です。 ●高重心装置に最適。 ●アクチュエータに高推力リニアモーターを採用。 　除振性能に優れるLHタイプを制振用途にも使用可能に。 ●MFF（モーションフィードフォワード制御）を搭載。 用途 　ステージ移動の情報を事前に入力することで、制振性能の向上を実現。 ●透過型電子顕微鏡・走査型電子顕微鏡etc 用途 ●半導体製造・検査装置 LHタイプ性能 EST-L6HF-L　4基／積載質量1900kg 制振リニアアクティブ除振台は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの両方の長所を追求しました。 上下方向 振動伝達率 水平方向 振動伝達率 40 40 アクティブ除振台の種類 30 アクティブ非制御時 30 アクティブ非制御時 リニアモーター制御タイプ 20 アクティブ制御時 20 アクティブ制御時 エア消費量：極小 制振 10 10 リニア 除 エア消費量： 0 0 極小 -10 -10 振 性 -20 -20 能 空圧制御タイプ エア消費量：大 -30 -30 -40 -40 制振性能 除振性能 -50 -50 荷重移動時の位置を制御 床からの振動を低減 -60 -60 ▶ 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50 制振性能 周波数（Hz） 周波数（Hz） 外形図 LHKPタイプ性能 ●EST-L5HR-L／EST-L5HR-M／EST-L5HR-H ●EST-L6HF-L／EST-L6HF-M／EST-L6HF-H 上下方向 水平方向 4-M12（トッププレート） 4-M12（トッププレート） 振動伝達率 振動伝達率 4-M12（ベースプレート） 4-M12（ベースプレート） マウント側より取付の場合 マウント側より取付の場合 30 30 M8ボルトを使用する クランプボルト×2ヶ M8ボルトを使用する クランプボルト×2ヶ 装置搭載後、取り外し トッププレート トッププレート 20 装置搭載後、取り外し アクティブ非制御時 20 10 10 アクティブ非制御時 0 アクティブ制御時 0 アクティブ制御時 －10 －10 コネクタ差込口 －20 －20 －30 －30 コネクタ差込口 －40 －40 －50 －50 エア供給口 エア連絡口 －60 －60 エア供給口 エア連絡口 ベースプレート 200 220 ベースプレート －70 －70 0　　　　　　10　　　　　　20　　　　　　30　　　　　　40　　　　　　50 0　　　　　　10　　　　　　20　　　　　　30　　　　　　40　　　　　　50 220 240 周波数（Hz） 周波数（Hz） 仕様表 仕様表 品　　　番 EST-L5HR-L EST-L5HR-M EST-L5HR-H EST-L6HF-L EST-L6HF-M EST-L6HF-H 品　　　番 EST-L6HKP-200L EST-L6HKP-200M EST-L6HKP-200H EST-L8HKP-200 アクチュエータ リニアモーター アクチュエータ リニアモーター 制御方法 FB・FF 6自由度制御 制御方法 FB · FF 6自由度制御、 MFF（モ ーションフィードフォワード） レベリング方式 自動レベリング レベリング方式 コントローラ※1 デジタルコントローラ 自動レベリング 搭載質量(kg)※2 190～320 240～350 290～400 340～570 500～660 630～750 コントローラ※1 デジタルコントローラ 除振ユニット外形寸法(mm) 220×220 240×240 搭載質量(kg)※2 340～570 460～670 570～750 640～1250 除振ユニット取付寸法(mm) 200×200 220×220 除振ユニット外形寸法(mm) 315 X 315 350 X 350 作動時高さ(mm) 176 185 作動時高さ(mm) 220 除振ユニット質量(kg) 20 29 除振ユニット質量(kg) 70 90 ※1: コントローラ、電源ユニットは別置きです。 ※2: 空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット１基あたりです。 ※1： コントロールボックスは別置きです。 ※2： 空気供給圧0.6MPaの場合、 最大搭載質量。 除振ユニット1基あたりです。 6 Mag（dB） 200 220 173（着座時） 179（最大高さ） 176（作動標準高さ） Mag（dB） 220 240 182（着座時） 188（最大高さ） 185（作動標準高さ） Mag（dB） Mag（dB） ▶

アクティブ除振ユニット ［LH］ アクティブ除振ユニット ［LHKP］ LHTYPE for H igh centre of gravity PAT LHKPTYPE 制振リニアアクティブ除振台 特長 特長 ●ドームジンバルピストンとコイルばねのハイブリッド構造。 ●エアをほとんど消費しません。 ●小フットプリントを実現。 　小型のコンプレッサーでも使用可能です。 ●高重心装置に最適。 ●アクチュエータに高推力リニアモーターを採用。 　除振性能に優れるLHタイプを制振用途にも使用可能に。 ●MFF（モーションフィードフォワード制御）を搭載。 用途 　ステージ移動の情報を事前に入力することで、制振性能の向上を実現。 ●透過型電子顕微鏡・走査型電子顕微鏡etc 用途 ●半導体製造・検査装置 LHタイプ性能 EST-L6HF-L　4基／積載質量1900kg 制振リニアアクティブ除振台は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの両方の長所を追求しました。 上下方向 振動伝達率 水平方向 振動伝達率 40 40 アクティブ除振台の種類 30 アクティブ非制御時 30 アクティブ非制御時 リニアモーター制御タイプ 20 アクティブ制御時 20 アクティブ制御時 エア消費量：極小 制振 10 10 リニア 除 エア消費量： 0 0 極小 -10 -10 振 性 -20 -20 能 空圧制御タイプ エア消費量：大 -30 -30 -40 -40 制振性能 除振性能 -50 -50 荷重移動時の位置を制御 床からの振動を低減 -60 -60 ▶ 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50 制振性能 周波数（Hz） 周波数（Hz） 外形図 LHKPタイプ性能 ●EST-L5HR-L／EST-L5HR-M／EST-L5HR-H ●EST-L6HF-L／EST-L6HF-M／EST-L6HF-H 上下方向 水平方向 4-M12（トッププレート） 4-M12（トッププレート） 振動伝達率 振動伝達率 4-M12（ベースプレート） 4-M12（ベースプレート） マウント側より取付の場合 マウント側より取付の場合 30 30 M8ボルトを使用する クランプボルト×2ヶ M8ボルトを使用する クランプボルト×2ヶ 装置搭載後、取り外し トッププレート トッププレート 20 装置搭載後、取り外し アクティブ非制御時 20 10 10 アクティブ非制御時 0 アクティブ制御時 0 アクティブ制御時 －10 －10 コネクタ差込口 －20 －20 －30 －30 コネクタ差込口 －40 －40 －50 －50 エア供給口 エア連絡口 －60 －60 エア供給口 エア連絡口 ベースプレート 200 220 ベースプレート －70 －70 0　　　　　　10　　　　　　20　　　　　　30　　　　　　40　　　　　　50 0　　　　　　10　　　　　　20　　　　　　30　　　　　　40　　　　　　50 220 240 周波数（Hz） 周波数（Hz） 仕様表 仕様表 品　　　番 EST-L5HR-L EST-L5HR-M EST-L5HR-H EST-L6HF-L EST-L6HF-M EST-L6HF-H 品　　　番 EST-L6HKP-200L EST-L6HKP-200M EST-L6HKP-200H EST-L8HKP-200 アクチュエータ リニアモーター アクチュエータ リニアモーター 制御方法 FB・FF 6自由度制御 制御方法 FB · FF 6自由度制御、 MFF（モ ーションフィードフォワード） レベリング方式 自動レベリング レベリング方式 コントローラ※1 デジタルコントローラ 自動レベリング 搭載質量(kg)※2 190～320 240～350 290～400 340～570 500～660 630～750 コントローラ※1 デジタルコントローラ 除振ユニット外形寸法(mm) 220×220 240×240 搭載質量(kg)※2 340～570 460～670 570～750 640～1250 除振ユニット取付寸法(mm) 200×200 220×220 除振ユニット外形寸法(mm) 315 X 315 350 X 350 作動時高さ(mm) 176 185 作動時高さ(mm) 220 除振ユニット質量(kg) 20 29 除振ユニット質量(kg) 70 90 ※1: コントローラ、電源ユニットは別置きです。 ※2: 空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット１基あたりです。 ※1： コントロールボックスは別置きです。 ※2： 空気供給圧0.6MPaの場合、 最大搭載質量。 除振ユニット1基あたりです。 7 Mag（dB） 200 220 173（着座時） 179（最大高さ） 176（作動標準高さ） Mag（dB） 220 240 182（着座時） 188（最大高さ） 185（作動標準高さ） Mag（dB） Mag（dB） ▶

アクティブ除振ユニット ［A/B/BLI］ ［コントローラ/電源ユニット］ A 特長 コントローラ 電源ユニット TYPE ●Aタイプ 低荷重用 除振重視タイプ 　ジンバルピストン内蔵 低固有値化による優れた基本性能 仕様表 品　　番 EST-A6 EST-A8 EST-A11 アクチュエータ 空気ばね 最大搭載質量(kg)※ 230 550 1120 除振ユニット外形 230×230×180 270×270×180 320×320×180 （W×D×Hmm） 除振ユニット質量(kg) 18 22 35 A/B/BLI　LHタイプ A/B/BLI　LHタイプ ※空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。 BTYPE BLITYPE 特長 特長 コントローラ ●Bタイプ 高荷重用 制振重視タイプ ●BLIタイプ 高荷重用 制振重視タイプ 　マルチレイヤー構造 フットプリントの削減、コンパクト化 　薄型、装置の低床化に貢献 （電源ユニット内蔵） LHKPタイプ MBタイプ ［LAN接続　タッチパネル］ 特長 ●アクティブ制御とパッシブ制御をスイッチで切り替え　 ●小さなコントローラ 仕様表 ●SmartComによりパソコンとの通信可能 オートチューニング 品　　番 EST-B11 EST-B11W EST-B14 EST-B14W EST-B14WLI EST-B14W2LI 振動のモニター アクチュエータ 空気ばね 制御特性の測定、パラメータの設定等 最大搭載質量(kg)※ 890 1400 2000 3950 3000 6000 除振ユニット外形 260×260×215 260×260×261 （W×D×Hmm） 360×360×260 360×360×330 430×600×190 730×630×190 USB 除振ユニット質量(kg) 35 45 70 90 90 155 ※空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。 Aタイプ性能 PC(SmartCom) コントローラ ステージ移動による変位 200 制振 パッシブ Aタイプの性能例です。 従来の制御 従来の制御方法に比べ弊社の独自技術であるフィードバック 仕様表 FBKEAP KEAP制御(FBKEAP)、フィードフォワードKEAP(FFKEAP)では、 100 FFKEAP ステージ移動時の振幅も小さく、さらに移動後も瞬時に目標 位置へ収束します。 0 実験データA6 コントローラ 電源ユニット コントローラ（電源ユニット内蔵） 品　　番 搭載重量 300kg A/B/BLI　LHタイプ用 A/B/BLIタイプ用 LHタイプ用 LHKPタイプ用 MBタイプ用 －100 ステージ加速度 7m/s² 外形(W×D×Hmm) 150×130×62 180×220×100 180×220×100 430×450×177 250×185×93 移動重量 10 kg 質量(kg) 1kg 1.9kg 2.6kg 測定方向 上下 15kg 2.3kg －200 ※AC85-264V　単相50Hz/60Hz 0 5 10 15 測定位置 定盤角 時間（sec） 8 変位（μm）

アクティブ除振ユニット ［A/B/BLI］ ［コントローラ/電源ユニット］ A 特長 コントローラ 電源ユニット TYPE ●Aタイプ 低荷重用 除振重視タイプ 　ジンバルピストン内蔵 低固有値化による優れた基本性能 仕様表 品　　番 EST-A6 EST-A8 EST-A11 アクチュエータ 空気ばね 最大搭載質量(kg)※ 230 550 1120 除振ユニット外形 230×230×180 270×270×180 320×320×180 （W×D×Hmm） 除振ユニット質量(kg) 18 22 35 A/B/BLI　LHタイプ A/B/BLI　LHタイプ ※空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。 BTYPE BLITYPE 特長 特長 コントローラ ●Bタイプ 高荷重用 制振重視タイプ ●BLIタイプ 高荷重用 制振重視タイプ 　マルチレイヤー構造 フットプリントの削減、コンパクト化 　薄型、装置の低床化に貢献 （電源ユニット内蔵） LHKPタイプ MBタイプ ［LAN接続　タッチパネル］ 特長 ●アクティブ制御とパッシブ制御をスイッチで切り替え　 ●小さなコントローラ 仕様表 ●SmartComによりパソコンとの通信可能 オートチューニング 品　　番 EST-B11 EST-B11W EST-B14 EST-B14W EST-B14WLI EST-B14W2LI 振動のモニター アクチュエータ 空気ばね 制御特性の測定、パラメータの設定等 最大搭載質量(kg)※ 890 1400 2000 3950 3000 6000 除振ユニット外形 260×260×215 260×260×261 （W×D×Hmm） 360×360×260 360×360×330 430×600×190 730×630×190 USB 除振ユニット質量(kg) 35 45 70 90 90 155 ※空気供給圧0.6MPaの場合、最大搭載質量。除振ユニット1基あたりです。 Aタイプ性能 PC(SmartCom) コントローラ ステージ移動による変位 200 制振 パッシブ Aタイプの性能例です。 従来の制御 従来の制御方法に比べ弊社の独自技術であるフィードバック 仕様表 FBKEAP KEAP制御(FBKEAP)、フィードフォワードKEAP(FFKEAP)では、 100 FFKEAP ステージ移動時の振幅も小さく、さらに移動後も瞬時に目標 位置へ収束します。 0 実験データA6 コントローラ 電源ユニット コントローラ（電源ユニット内蔵） 品　　番 搭載重量 300kg A/B/BLI　LHタイプ用 A/B/BLIタイプ用 LHタイプ用 LHKPタイプ用 MBタイプ用 －100 ステージ加速度 7m/s² 外形(W×D×Hmm) 150×130×62 180×220×100 180×220×100 430×450×177 250×185×93 移動重量 10 kg 質量(kg) 1kg 1.9kg 2.6kg 測定方向 上下 15kg 2.3kg －200 ※AC85-264V　単相50Hz/60Hz 0 5 10 15 測定位置 定盤角 時間（sec） 9 変位（μm）

パッシブ除振ユニット ラインナップ パッシブ除振ユニット ［PSB-D］ 設計の自由度を向上させた豊富なラインナップ 特長 装置用途に合わせた最適な設計が可能です。 ●優れた制振性能 ●ダンパー内蔵で装置の揺れを素早く収束 ●レベリングバルブにより高さ調整可能 ●下限ストッパー内蔵 ●クリーンルーム対応 ●サポートバルブシステム　オプション選択可能 PSB‐D type PST‐D type 外形図 配置図（例） 注意喚起シール 2×4－C （傾き角度） マウント側給気継手 ダンパー内蔵型 アウトポート （マウント側給気継手へ） ダンパーユニット 除振ユニット 給気用継手 PST type A 排気用継手 W トッププレート レベリングバルブ ゴムベローズ 使用用途 継手 ベースプレート シリコンオイル 電子顕微鏡、精密測定装置、半導体製造/検査装置、FPD製造/検査装置等 フィルター付レギュレーター レベリングバルブ付き除振ユニット p-Stableユニット搭載質量 仕様表 品　　　　番 PSB-D145 PSB-D170 PSB-D230 PSB-D300 PSB-D360 除振方法 ベローズ型空気ばね 作動時高さ(mm） 127 127 127 127 PSB-D 127 H パ 最小高さ(mm） 117 117 117 117 117 ッ W ×D 外形寸法(mm） 200×200 230×230 280×280 330×330 420×420 シ ブ A ×B 取付寸法(mm） 180×180 210×210 250×250 300×300 390×390 除 C 取付穴径(mm） φ12 φ16 振 ユ PST-D T1 上プレート厚さ(mm） 16 16 16 16 16 ニ T2 下プレート厚さ(mm） 9 9 9 9 9 ッ ト 製品質量(kg） 12 15 24 36 54 受圧面積(cm²） 196 260 470 750 1,070 PST 搭載質量(4基時)(kg) ～3,200 ～4,200 ～7,600 ～12,000 ～17,000 供給圧力(MPa） 0.5 ダンピング方式 シリコーンオイル 1基あたり （4基あたり） 固有振動数 上下:約3Hz　水平:約3Hz レベリング方式 自動レベリング 10 H D （T2） （T1） B 排気 給気

パッシブ除振ユニット ［PSB-D］ 特長 ●優れた制振性能 ●ダンパー内蔵で装置の揺れを素早く収束 ●レベリングバルブにより高さ調整可能 ●下限ストッパー内蔵 ●クリーンルーム対応 ●サポートバルブシステム　オプション選択可能 外形図 配置図（例） 注意喚起シール 2×4－C （傾き角度） マウント側給気継手 アウトポート （マウント側給気継手へ） 給気用継手 A 排気用継手 W トッププレート レベリングバルブ ゴムベローズ 継手 ベースプレート シリコンオイル フィルター付レギュレーター レベリングバルブ付き除振ユニット 仕様表 品　　　　番 PSB-D145 PSB-D170 PSB-D230 PSB-D300 PSB-D360 除振方法 ベローズ型空気ばね 作動時高さ(mm） 127 127 127 127 127 H 最小高さ(mm） 117 117 117 117 117 W ×D 外形寸法(mm） 200×200 230×230 280×280 330×330 420×420 A ×B 取付寸法(mm） 180×180 210×210 250×250 300×300 390×390 C 取付穴径(mm） φ12 φ16 T1 上プレート厚さ(mm） 16 16 16 16 16 T2 下プレート厚さ(mm） 9 9 9 9 9 製品質量(kg） 12 15 24 36 54 受圧面積(cm²） 196 260 470 750 1,070 搭載質量(4基時)(kg) ～3,200 ～4,200 ～7,600 ～12,000 ～17,000 供給圧力(MPa） 0.5 ダンピング方式 シリコーンオイル 固有振動数 上下:約3Hz　水平:約3Hz レベリング方式 自動レベリング 11 H D （T2） （T1） B 排気 給気

パッシブ除振ユニット ［PST‐D］ ダンパーとサポートバルブを標準採用し、 外形図 ステージ移動時の優れた制振性能を実現 （A） 200 4－φ（G）トッププレート （A（）B） （C） （C（）D） M12ボルト用穴 ダンパーユニット 除振ユニット 2×4－φ（G） トッププレート M12ボルト用穴 ダンパーユニット 水平ストッパー サポートバルブ レベリングバルブ サポートバルブ トッププレート SUSボールタイプ ベースプレート 配置図（例） 排気用継手 タンク側給気用継手 アウトポート 給気用継手 （タンク側給気用継手ヘ） ベースプレート 4－φ（G）ベースプレート M12ボルト用穴 ダンパーシステム 最適設計されたダンパーによりステージ移動時の 揺れを小さくします。 ■測定結果（時間軸波形/給気状態） 5 サポートバルブシステム 4 4-M12（トッププレート） 3 ステージ等の大きな重心移動をともなう装置を除振する （D） 2 （B） 場合、ステージの傾きを素早く水平復帰させるため大量の 1 0 エアーを給排気する素早い制御が必須条件となります。 －1 それを可能にしたのがサポートバルブシステムです。 －2 仕様表 ダンパーなし －3 ダンパーあり －4 PST-311D PST-314D ■測定モデル 品　　　　番 －5 除振ユニット ダンパーユニット 除振ユニット ダンパーユニット 0 5 10 ［s］ 除振方式 ジンバルピストン型空気ばね － ジンバルピストン型空気ばね － サポートバルブシステム 固有振動数 上下： 1.8～2.5Hz 水平： 1.5～2.0Hz 給気状態 排気状態 レベリング方式 自動レベリング 移動荷重 大量のエア給排気を行い、ステージの傾きを素早く 搭載質量（4基時）（kg） ～6,000 － ～12,000 － 水平に復帰させます。 供給圧力（MPa） 0.4～0.7 － 0.4～0.7 － ステージ ■測定結果（時間軸波形/排気状態） 外形寸法（A）（mm） 330×330 150×150 400×400 150×150 5 外形寸法（B）（mm） 240×240 150×150 330×330 150×150 4 取付寸法（C）（mm） 300×300 125×125 370×370 125×125 3 定　　盤 2 取付寸法（D）（mm） 210×210 125×125 300×300 125×125 1 作動高さ（E）（mm） 230 230 230 230 測 定 0 最小高さ（F）（mm） 225 220 225 220 点 サポートバルブシステム －1 取付穴径（G）（mm） 16 15 16 15 －2 サポートバルブあり（調整パターン１） 共通ポスト側 独立ポスト側 －3 サポートバルブあり（調整パターン２） 厚さ（H）（mm） 9 9 9 9 －4 サポートバルブなし 厚さ（I）（mm） 4.5 9 4.5 9 －5 製品重量（1基）（kg） 0 5 10 15 20 26 9 42 9 ［s］ 12 ［mm］ ［mm］ E（作動時高さ） （B） F（最小高さ） （A） （D） （C） （5mm浮上） （I） （H） 180 （E（）F） （A（）B） （I） （H） （C（）D）

パッシブ除振ユニット ［PST‐D］ ダンパーとサポートバルブを標準採用し、 外形図 ステージ移動時の優れた制振性能を実現 （A） 200 4－φ（G）トッププレート （A（）B） （C） （C（）D） M12ボルト用穴 ダンパーユニット 除振ユニット 2×4－φ（G） トッププレート M12ボルト用穴 ダンパーユニット 水平ストッパー サポートバルブ レベリングバルブ サポートバルブ トッププレート SUSボールタイプ ベースプレート 配置図（例） 排気用継手 タンク側給気用継手 アウトポート 給気用継手 （タンク側給気用継手ヘ） ベースプレート 4－φ（G）ベースプレート M12ボルト用穴 ダンパーシステム 最適設計されたダンパーによりステージ移動時の 揺れを小さくします。 ■測定結果（時間軸波形/給気状態） 5 サポートバルブシステム 4 4-M12（トッププレート） 3 ステージ等の大きな重心移動をともなう装置を除振する （D） 2 （B） 場合、ステージの傾きを素早く水平復帰させるため大量の 1 0 エアーを給排気する素早い制御が必須条件となります。 －1 それを可能にしたのがサポートバルブシステムです。 －2 仕様表 ダンパーなし －3 ダンパーあり －4 PST-311D PST-314D ■測定モデル 品　　　　番 －5 除振ユニット ダンパーユニット 除振ユニット ダンパーユニット 0 5 10 ［s］ 除振方式 ジンバルピストン型空気ばね － ジンバルピストン型空気ばね － サポートバルブシステム 固有振動数 上下： 1.8～2.5Hz 水平： 1.5～2.0Hz 給気状態 排気状態 レベリング方式 自動レベリング 移動荷重 大量のエア給排気を行い、ステージの傾きを素早く 搭載質量（4基時）（kg） ～6,000 － ～12,000 － 水平に復帰させます。 供給圧力（MPa） 0.4～0.7 － 0.4～0.7 － ステージ ■測定結果（時間軸波形/排気状態） 外形寸法（A）（mm） 330×330 150×150 400×400 150×150 5 外形寸法（B）（mm） 240×240 150×150 330×330 150×150 4 取付寸法（C）（mm） 300×300 125×125 370×370 125×125 3 定　　盤 2 取付寸法（D）（mm） 210×210 125×125 300×300 125×125 1 作動高さ（E）（mm） 230 230 230 230 測 定 0 最小高さ（F）（mm） 225 220 225 220 点 サポートバルブシステム －1 取付穴径（G）（mm） 16 15 16 15 －2 サポートバルブあり（調整パターン１） 共通ポスト側 独立ポスト側 －3 サポートバルブあり（調整パターン２） 厚さ（H）（mm） 9 9 9 9 －4 サポートバルブなし 厚さ（I）（mm） 4.5 9 4.5 9 －5 製品重量（1基）（kg） 0 5 10 15 20 26 9 42 9 ［s］ 13 ［mm］ ［mm］ E（作動時高さ） （B） F（最小高さ） （A） （D） （C） （5mm浮上） （I） （H） 180 （E（）F） （A（）B） （I） （H） （C（）D）

パッシブ除振ユニット ［PST］ ●設計の自由度を高める豊富なラインナップ。 　全サイズ、作動高さが185mmで統一。 PST-304 PST-305 PST-306 PST-308 性能 上下、水平両方向ともに低い固有振動数を実現しました。 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 　　　 品　　　番 PST-304 PST-305 PST-306 PST-308 除振方式 ジンバルピストン型空気ばね 固有振動数 上下:2.0Hz～2.5Hz 水平：1.5Hz～1.8Hz 上下:1.5Hz～2.0Hz 水平：1.5Hz～1.8Hz レベリング方式 自動レベリング 搭載質量（4基）（kg） ～400 ～700 ～1250 ～3000 供給圧力（MPa） 0.4～0.6 外形寸法（A）（mm） 170×170 170×170 200×200 250×250 取付寸法（B）（mm） 150×150 150×150 180×180 230×230 作動高さ（C）（mm） 185 185 185 185 最小高さ（D）（mm） 180 180 180 180 取付穴径（E）（mm） 10 10 10 13 上部プレート厚（T（）mm） 10 10 10 10 下部プレート厚さ（F）（mm） 6 6 6 6 製品質量（kg） 7 7 12 17 14 高さ 185cm

パッシブ除振ユニット ［PST］ 卓上形除振台 ラインナップ ●設計の自由度を高める豊富なラインナップ。 高い除振性能、機能美のデザイン、優れたコストパフォーマンス、 　全サイズ、作動高さが185mmで統一。 用途にあわせて選べる卓上形シリーズ。 卓上形アクティブ除振台 PST-304 PST-305 PST-306 PST-308 性能向上を実現。ディスプレイやデザインを一新し、 性能 使いやすさを追求した卓上形アクティブ除振台。 上下、水平両方向ともに低い固有振動数を実現しました。 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 卓上形パッシブ除振台 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 PST－308 4基／搭載質量2000kg時 在庫 限り 在庫分の販売で終了 50 薄型軽量設計、クラス最高レベルの除振性能 塵対策仕様でクリーンルーム対応の series 空気ばね式卓上形除振台 50C 発 series 高性能空気ばね式卓上形除振台 　　　 品　　　番 PST-304 PST-305 PST-306 PST-308 除振方式 ジンバルピストン型空気ばね 51 エアーダンパー防振ゴムを採用。 series ステンレスの外観が美しい軽荷重用卓上形除振台 固有振動数 上下:2.0Hz～2.5Hz 水平：1.5Hz～1.8Hz 上下:1.5Hz～2.0Hz 水平：1.5Hz～1.8Hz レベリング方式 自動レベリング 搭載質量（4基）（kg） ～400 ～700 ～1250 ～3000 用途 供給圧力（MPa） 0.4～0.6 電子天秤 外形寸法（A）（mm） 170×170 170×170 200×200 250×250 取付寸法（B）（mm） 150×150 150×150 180×180 230×230 作動高さ（C）（mm） 185 185 185 185 最小高さ（D）（mm） 180 180 180 180 取付穴径（E）（mm） 10 10 10 13 上部プレート厚（T）（mm） 10 10 10 10 下部プレート厚さ（F）（mm） 6 6 6 6 製品質量（kg） 7 7 12 17 52S スチールハニカム定盤を採用した 特殊高減衰ゴムと石定盤を採用 series 光学実験用卓上形除振台 53 series 天秤用卓上形除振台 15 高さ 185cm

mini卓上形アクティブ除振台 ※特注品については 　ご相談ください ディスプレイやデザインを一新し、 用途 使いやすさを追求しております。 SPM、AFM、レーザー顕微鏡、電子天秤、微小硬度計、 レーザー干渉計、白色干渉計、表面粗さ計、卓上SEM、 ハードディスク製造装置、マイクロマニピュレータ、 その他精密機器 MINI-560F MINI-450F 特長 ６自由度アクティブ制御 オートレベリング&クランプ ●６自由度アクティブ制御により全周波数で共振点が AutoLeveling &Clamp ●ボタン操作によるオートレベリングと輸送時のクランプが可能。 　存在しない優れた除振効果が得られます。 LCDモニター標準装備 USB通信 ●ばね上加速度時間波形表示。 ●USB通信により、振動状況を観測したり、リモートコント USB LCD Monitor ●ばね上加速度スペクトラム表示。 ロールでクランプ等が可能です。 クリーンルームでの使用が可能 ●クリーンエリアの空気を汚しません。 Clean Room ●エアーは使用しません。 仕様表 6自由度アクティブ制御を加えることにより、優れた除振効果が得られます。 ■MINI-450F除振性能 旧モデル 現行モデル 上 下 方 向 　振 動 品 番 MINI-450F MINI-560F 伝 達 率 製品寸法（W×D×Hmm） 400×500×80 500×600×84 ［dB］ 最 大 搭 載 質 量（kg） 120 100 製 品 質 量（kg） 19 28 電 源 仕 様 AC85-264V 単相50/60Hz 1 10 50 ※最大搭載質量は均等荷重搭載時。 周波数［Hz］ 16

防音ボックス ［mini専用オプション］ 特長 音による影響を軽減 広い周波数範囲にわたる防音効果 防音ボックスと除振台の組合せにより、除振効果はもちろん 音や風の影響がある場合でも16Hzの低周波から8kHzの高 のこと測定機器を囲い込むことによって音による計測精度へ 周波まで広い範囲で防音効果を発揮します。 の影響を軽減します。 防音性能例 応用例 120 60 防音ボックス外 防音ボックス内 100 音圧レベル差 50 80 40 60 30 40 20 20 10 0 0 125 250 500 1000 2000 4000 8000 ｍini卓上形アクティブ除振台と防音ボックスを組み合わせ 周波数（Hz） て音と振動からの影響を排除します。 仕様については支店・営業所へお問い合わせください （本製品は継続的なご注文に対して受注生産いたします。） mini搭載用架台 ［mini専用オプション］ 特長 使用例 mini専用に設計された十分な剛性をもつ架台です。 天板にはステンレスを使用。 mini固定用穴付き。 3色からお選びいただけます。 仕様表 　　品 番 色 製品質量 寸法(W×D×Hmm) 適合製品 81-0505-B ブラック 型 式 81-0505-I アイボリー 約80kg 520×520×6製7品0 寸法MINI-450F 81-0505-W ホワイト 最 大 搭 載 質 量 81-0606-B ブラック 製 品 質 量 81-0606-I アイボリー 約100kg 620×620×6電10 源MIN仕I-560様F 写真はアイボリー 81-0606-W ホワイト 10 50 17 音圧レベル（dB） 音圧レベル差（dB）

［50］ 在庫 限り 在庫分の販売で終了 18