300㎜FOUP対応ロードポート Smart SELOP-8シリーズ

ロードポート ロードポートトップシェアブランド 50,000台以上 微細化をサポート 納入実績! （累計） 300㎜FOUP対応ロードポート Smart SELOP-8シリーズ 独自機構の採用でよりスムーズな FOUPドア開閉を実現 パーティクルフリー 高信頼性 幅広い互換性 エアー／電動のハイブリッド動作機構により、 ドア開閉時の振動を抑制し、 パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。 最新の高気密性FOUPにも対応。 仕様 適用キャリア SEMI規格準拠300mmFOUP 外形寸法 W470ｘD547ｘH1373（mm） 本体重量 65kｇ（標準仕様時） 動作サイクル 開動作：12秒（マッピング動作含む）､閉動作：9秒（マッピング動作不含） ドア保持 真空吸着方式 位置決め精度 FOUP前後軸：±0.1㎜､FOUPドア昇降軸：±0.1㎜ ①FOUP有無 ②FOUP正常戴置 ③FOUPドア確認 ④ウェーハ･マッピング ⑤ウエーハ飛出 検出機能 ⑥手挟み防止 ①ドア動作（昇降･開閉）・ウエーハ・マッピング動作：ステッピングモータ・タイミングベルト 機　　構 ②クランプ･ドック･ラッチキー：エアシリンダ ①マッピング機能 ②コントローラ内蔵 ③キャリアベースのアンドック位置調整機構 標準機能 ④BOLTS面位置調整機構 ⑤自立・搬送キャスタ ⑥1人取付機構 ⑦FOSB※1対応 ⑧Ethernet※2通信仕様 ユーティリティ ①電源：DC24V 5A ②エア：0.45～0.6MPa 20NL/min ③真空エア：－40kPa 5L/min インターフェース 通信 RS232C ①インジケータ ②オペレータ操作スイッチ ③BOLTS取付パッキン ④警告ラベル 本体付属品 ※インジケータ、オペレータ操作スイッチに関しては別途手順書に基づき貴社にて設定をお願いいたします。 ①CIDブラケット ②インフォパッドピン（ハードピン、センサピンとも）ABCD一式 オプション ③PIOブラケット ④石英ウェーハマッピング対応 ※オプションにCID本体、PIO本体は含まれておりません。別途手順書に基づき貴社にて取付、設定をお願いいたします。 ※1 使用するFOSBによって、開閉特性が異なります。詳細はお問い合せ下さい。 ※2 Ethernetは、米国Xerox Corp.の登録商標です。

300㎜FOUP対応ロードポート 外形寸法図 オペレータ操作スイッチ 単位：mm インフォパッド マッピングセンサ キャリア着座センサ(標準３個) クリーン搬送システム営業部 ウェーハ飛び出しセンサ 東京本社 ☎03-5473-1838 503-5473-1847 〠154075-8564 東京都港区芝大門1-1-30 芝NBFタワー 430 6-M8ボルト穴 ドア閉時57以下 244 インジケータパネル(８点) 470 ●本カタログの内容は、製品改良のために 71キャリアベースST 　予告なく変更することがあります。 ＊ホームページアドレス B OhLttTpS:面//www.sinfo-t.jp キャリアベース キャリア有無センサ -HDP- -HDP- 電源用コネクタ AIR SUPPLY φ6 Clean Transport System Sales Department SINFONIA TECHNOLOGY (AMERICA) INC. Shiba NBF Tower, 1-30, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, 4043 ACIRli pEpXeHrA UCStT, φFr6emont, CA 94538- 6540, USA Tokyo, 105-8564, Japan TEL +1- 4V0A8C-U2U3M5 φ-88684 TEL +81-3-5473-1838 FAX +81-3-544723ド-ア1開84閉7ST URL https://www.sinfo-t.jp/usa/ ■ Company and product names in this catalog are registered trademarks.　 ■ Due to technical upgrading, design and specifications are subject to change without notice. ■ Images shown on screens or as prints are composites. Home page address htドtpア:/開/w時w1w0.0s以in下fo-t.jp/eng/sem3i9c1on 190 配線、配管取入口 企業環境ステートメント 企業環境ステートメント SINFONIA TECHNOLOGY CO., LTD. SINFONIA TECHNOLOGY (AMERICA) INC. Clean Transport System Sales Department 4043 Clipper Ct, Fremont, CA 94538- 6540, USA Shiba NBF Tower, 1-30, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, TEL +1-408-235-8684 Tokyo, 105-8564, Japan TEL +81-3-5473-1838 FAX +81-3-5473-1847 ■ Company and product names in this catalog are registered trademarks.　 ■ Due to technical upgrading, design and specifications are subject to change without notice. ■ Images shown on screens or as prints are composites. Home page address https://www.sinfo-t.jp/usa/ シンフォニアテクノロジーでは「ECOing（エコイング）TM エコで行こう！ エコへ移行！」を環境ステートメントとして掲げ、 温暖化防止と地球にやさしい循環型社会の創出を目指し、環境重視の技術開発と のづくり を推進しています。 クリーン搬送システム営業部 東京本社 ☎03-5473-1838 503-5473-1847 〠105-8564 東京都港区芝大門1-1-30 芝NBFタワー 代理店 企業環境ステートメント コード ●本カタログの内容は、製品改良のために N14-686 　予告なく変更することがあります。 ＊ホームページアドレス http://www.sinfo-t.jp 2211A02PP 900 68 681.75 605.75 1287.5 25.5 370ドア昇降ST 900 166.5 8 1373