富士電波工業　総合カタログ【雰囲気炉・ホットプレス炉・黒鉛化炉・誘導加熱装置】

P r o d u c t s L i n e u p aluminum oxide tungsten carbide silicon nitride amorphous silicon silicon carbide carbon nanotube synthetic quarts fine ceramics special steel single crystal semiconductor g n e t i c s r o m a l e c t E metallurgy ecology M a t e r i a l I n n o v a t i o n new energy nanotechnology Widely tried and true! T h e r m a l T e c h n o l o g y hotpressing melting casting quenching annealing carbonizing sintering Challenge is the name of the game! Our missio n is to help connect the ring of manufacturing by our key technology. We work closely with you to help find the best solutions for your particular process. l n t r o o V a c u u m C

熱加工技術が活きるシーン。 溶かす､焼き固める､保温する…｡ あらゆる業種､分野で「ものづくりの環」をつなぐ富士電波工業の熱加工技術｡ 身近な品物の中で､そして意外な部品の中で活きています｡ これからも飽くなき技術開発とニーズを鋭く見通す眼で､ よりよいソリューションを提供していきます｡ 炭化珪素（SiC） アルミナ（Al2O3） 窒化アルミ（AIN） 窒化珪素（Si3N4） 熱処理 ジルコニア（ZrO2） 窒化ホウ素（BN） 焼成 超高温 加熱 炭化ホウ素（B4C） 　積層セラミックス 焼結 接合 シリコン（Si） カーボン（C） 石英（SiO2） 熱間 鍛造 拡散 合成石英（SiO2） 接合 フッ化マグネシウム（MgF2） 焼き 金（Au） バメ 銀（Ag） 熱加工法 熱CVD 銅（Cu） 白金（Pt） 加熱 鉄（Fe） 対象 焼き 入れ アルミニウム（AI） ニッケル（Ni） ホット コバルト（Co） プレス アトマイズ チタン（Ti） マグネシウム（Mg） サマリウム（Sm） ニオブ（Nb） 結晶 溶解 育成 金属化合物 ステンレス（SUS） 特殊鋼 真空 溶解 乾燥 耐熱鋼 希土類磁性材料 水素吸蔵合金（MH合金） 溶融 真空 鋳造 シリンダーヘッド 鋳造 エンジンブロック 廃タイヤ 1

半導体 ＳｉＣ単結晶 P5、8 シリコンウエハー 単結晶引上げ用ルツボ セラミックパッケージ 半導体製造関連 半導体製造用セラミックヒーター 半導体放熱板 熱処理 P5、6、7 フォトマスク 静電チャック 焼成 超高温 半導体製造用冶具 加熱 ＨＤＤ部品 単結晶レンズ 焼結 接合 レンズ用蒸着材料 電子・光学・通信 スパッタリングターゲット材 P5、6、7 光ファイバー フェルール 熱間 光記憶ディスク 鍛造 拡散 ＬＥＤ用材料 接合 希土類磁石 エンジン部品 焼き 自動車 ターボチャージャー バメ エンジン用プラグ 熱加工法 熱CVD P5、6、7 シャフト 排気触媒 Ｃ/Ｃコンポジット 焼き 入れ 超硬工具 メカニカルシール 機械 ベアリングケース ホット ポンプ、バルブ プレス P5、6、8 高温潤滑・高温伝導・高温耐食材料 アトマイズ アトマイズ金属粉末 ボンド磁石 リチウムイオン電池 結晶 ニッケル水素電池 溶解 育成 環境・エネルギー 太陽電池パネル 核融合炉材 P5、8 廃棄物処理 貴金属リサイクル 真空 燃料電池用触媒 溶解 乾燥 歯科合金 医療・生活 人口骨 溶融 真空 P6、8 ゴルフクラブのメタルヘッド 鋳造 装飾貴金属 鋳造 航空機用ＣMC 先端材料 カーボンナノチューブ フラーレン P6、7 超伝導材料 圧電素子 2

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製造品目 加熱方式/Heating Type 抵抗加熱炉/Resistance Heating 誘導加熱炉/Induction Heating 真空・常圧 真空・常圧 大気 加圧 大気 加圧 Vacuum Normal Vacuum Normal Air Atmosphere Pressurized Air Atmosphere Pressurized pressure pressure 加熱炉 FOS-R FVS-R FVPS-R FOS-I FVS-I FVPS-I Heating Furnace ホットプレス炉 FHP-R FVHP-R FVPHP-R FHP-I FVHP-I FVPHP-I Hotpress Furnace 溶解炉 FBT FVM FVPM Melting Furnace 抵抗式/Resistance Type 高周波式/High Frequency Type FTH FTH FTH 電源/Power Unit FTRI FTRI FTRI FRET FRET FRET FTR FTR FTR FRT FRT FRT 型式 加熱炉 有効寸法 mm F OS 300/500 O S：大気加熱 加熱方式 V S：真空・常圧加熱 R VPS：加圧加熱 R：抵抗式 ホットプレス炉 I：誘導式 プレス圧（総圧） ton F HP 650 H P：大気ホットプレス VHP：真空ホットプレス PHP：加圧ホットプレス 溶解炉 溶解量 kg（鉄換算） F BT 100 B T：大気溶解炉 V M：真空溶解炉 VPM：加圧溶解炉 電源 容量 kW 周波数 kHz 用途（誘導加熱炉のみ） F RET 30 3 M ＲＥＴ：抵抗加熱炉用　サイリスタレギュレータ式 M ：大気溶解炉 Ｔ Ｈ：誘導加熱炉用　サイリスタインバータ式 VM：真空溶解炉 ＴＲＩ：誘導加熱炉用　ＩＧＢＴインバータ式 H ：大気加熱炉 Ｔ Ｒ：誘導加熱炉用　トランジスタインバータ式 V H：真空加熱炉 Ｒ Ｔ：誘導加熱炉用　真空管式 4

〈抵抗加熱炉〉 低温から高温（3400℃）までご希望に応じて、黒鉛、金属の発熱体を選択いたします。 真空から加圧まで、横型や縦型など仕様、スペース、生産性向上に繋がる炉をご提供いたします。 抵抗加熱炉 加熱炉 形　状 横丸型 横角型 縦前割型 縦丸型（ボトムローディング型） 縦丸型（上蓋型） ホットプレス 形　状 軸　数 プレス方式 フレーム式 単　軸 油圧式 ノンフレーム式 多　軸 電動式（ボールネジ） 加熱炉 横丸型 型式 Model FVPS-R-450/450/1500 FRET-300 温度　Temperature Max.2100℃ Nor.2000℃ 昇温時間　Heat up time 3.2hrs.(RT〜2000℃) 均熱　Temp.uniformity ±5℃　⊿t10℃ 到達真空圧力　Ultimate pressure 0.7Pa以下 排気時間　Evacuation time Within 大気圧〜7Paまで30分以内 ケースサイズ　Case size 450(W)×450(H)×1500(D)mm 電力　Electoric power 300kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.92MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 6.0(W)×7.0(D)×4.0(H) m 横角型 型式 Model FVS-R-1800/1800/800 FRET-280x3 温度　Temperature Max. 2400℃ Nor. 2300℃ 昇温時間　Heat up time 6 hrs(RT〜2300℃) 均熱　Temp. uniformity ±20℃ (⊿t40℃) at 2300℃ 到達真空圧力　 6.65Pa以下 Ultimate pressure 排気時間　Evacuation time 大気圧〜13.3Paまで30分以内 ケースサイズ　Case size 1800(W)×1800(H)×800(D)mm 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.01MPaG(Max) 電力　Electoric power 840kW 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 8.0(W)×10.0(D)×5.5(H) m 5

型式 超高温炉 Model FVS-R-26/55 FRET-40 温度　Temperature Max.3400℃ nor.2800℃ 昇温時間　Heat up time 100min(RT〜3400℃) 到達真空圧力　Ultimate pressure 10-5Pa台 ケースサイズ　Case size φ26×55(D)mm 電力　Electoric power 40kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.015MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere Ar,N2,Ar+He 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 1.8(w)×2.2(D)×2.0(H) m 型式 縦前割型 Model FVS-R-850/2200 FRET-250 温度　Temperature Max. 2100℃ Nor. 2000℃ 昇温時間　Heat up time 13 hrs.(RT〜2000℃) 均熱　Temp. uniformity ±20℃ (⊿t40℃) at 2000℃ 到達真空圧力　 6.65×10-1Pa以下 Ultimate pressure 排気時間　Evacuation time 大気圧〜10Paまで30分以内 ケースサイズ　Case size φ850×2200(H)mm 電力　Electoric power 250kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.01MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 6.7(W)×7.8(D)×5.0(H) m 型式 縦丸型(ボトムローディング型) Model FVPS-R-640/1200 FRET-85x2 温度　Temperature Max. 2200℃ Nor. 1900℃ 昇温時間　Heat up time 4.75 hrs(RT〜1900℃) 均熱　Temp. uniformity ±10℃ (⊿t20℃) at 1900℃ 到達真空圧力　 7×10-3Pa以下 Ultimate pressure 排気時間　Evacuation time 大気圧〜7×10-2Paまで20分以内 ケースサイズ　Case size φ640×1200(H)mm 電力　Electoric power 170kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.92MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 6.0(W)×7.0(D)×6.0(H) m 6

ホットプレス炉 型式 単軸　フレーム式 Model FVHP-R-750 FRET-300 温度　Temperature Max. 2000℃ Nor. 1700℃ 昇温時間　Heat up time 4hrs(RT〜1400℃) 均熱　Temp. uniformity ±10℃ (⊿t20℃) at 1400℃ プレス圧力　Pressure of press 7.35×103kN 到達真空圧力　 1×10-2Pa以下 Ultimate pressure 排気時間　Evacuation time 大気圧〜1×10-2Paまで40分以内 電力　Electoric power 300kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.01MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 7.5(W)×6.0(D)×5.5(H) m 型式 多軸　ノンフレーム式 Model FVHP-R-4 x 10 FRET-90 温度　Temperature Max. 1000℃ Nor. 850℃ 昇温時間　Heat up time 3hrs(RT〜850℃) 均熱　Temp. uniformity ±20℃ (⊿t40℃) at 850℃ プレス圧力　Pressure of press 39.2kN×10 到達真空圧力　Ultimate pressure 1.3×10-2Pa以下 排気時間　Evacuation time 大気圧〜3.3×10-2Paまで40分以内 電力　Electoric power 90kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.01MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 3.5(W)×6.5(D)×3.5(H) m 単軸　ノンフレーム式 型式 Model （拡散接合炉） FVHP-R-50 FRET-130 温度　Temperature Max. 2000℃ Nor. 2000℃ 昇温時間　Heat up time 常温から 2000℃ まで 400 Hr（リニア昇温） 均熱　Temp. uniformity ±5℃ (⊿t10℃) at 2000℃ プレス圧力　Pressure of press 0.49〜490kN プレス精度　Press accuracy 上部プレス　4.9kN〜490kN ±1%FS以内 下部プレス　0.49kN〜11.76kN ±2%FS以内 到達真空圧力　Ultimate pressure 7×10-3Pa以下 排気時間　Evacuation time 大気〜0.1Paまで15分以内 有効寸法　Effective dimension φ510×400H 電力　Electoric power 125kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.19MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 5.6(W)×4.8(D)×4.1(H) m 多目的高温炉 型式 Model (ハイマルチ5000) FVPHP-R-5 FRET-18 温度　Temperature Max. 2300℃ Nor. 2200℃ 昇温時間　Heat up time 1hrs(RT〜2200℃) 均熱　Temp. uniformity ±10℃ (⊿t20℃) at 2200℃ プレス圧力　Pressure of press 4.9×104N 到達真空圧力　 6.65×10-3Pa以下 Ultimate pressure 排気時間　Evacuation time 大気圧〜6.65×10-3Paまで40分以内 ケースサイズ　Case size φ110×110(H)mm 電力　Electoric power 18kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.92MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 発熱体　Heating element Graphite 設置領域　Installation area 1.8(W)×0.81(D)×1.78(H) m 7

〈誘導加熱炉〉 加熱コイルを用いて、電磁誘導作用により発熱。急速昇温、局所加熱を得意とします。 加熱対象物に合わせて周波数を選定、最適な効率の炉を提案いたします。 誘導加熱炉 加熱炉 形　状 外熱式 内熱式 溶解炉 雰囲気 形　状 タイプ 大　気 横　型 バッチ式 真　空 縦　型 連続式 加　圧 加熱炉 昇華炉 型式 Model FVS-I-250/400 FTR-30-40VH FTR-40-20VH 温度　Temperature Max. 2500℃ Nor. 2400℃ 昇温時間　Heat up time 2hrs(RT〜2400℃) 均熱　Temp. uniformity ±15℃ (⊿t30℃) at 2200℃ 到達真空圧力　 5×10-4Pa以下 Ultimate pressure 排気時間　Evacuation time 大気圧〜5×10-4Paまで12時間以内 ケースサイズ　Case size φ250×400(H)mm 周波数　Frequency 40kHz+20kHz 電力　Electoric power 30kW+40kW 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.01MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 設置領域　Installation area 6.5(W)×5.0(D)×6.0(H) m 溶解炉 型式 大気溶解炉 Model FBT-50 FTRI-30-3M 溶解量　Volume 50kg 温度　Temperature 1200℃ 溶解時間　Melting time 45min 耐火物　Refractory マグネシア 周波数　Frequency 3kHz 電力　Electoric power 30kW 傾動方式　Tilting サーボモータ 設置領域　Installation area 6.0(W)×5.0(D)×3.5(H) m 型式 加圧溶解炉 Model FVPM-30 FTRI-75-3VM 溶解量　Volume 30kg 温度　Temperature Max. 1700℃ 溶解時間　Melting time 45min 到達真空圧力　 6.65×10-3Pa以下 Ultimate pressure 排気時間　Evacuation time 大気圧〜0.6Paまで40分以内 雰囲気ガス圧力　Gas pressure 0.92MPaG(Max) 雰囲気　Atmosphere N2 Ar 周波数　Frequency 3kHz 電力　Electoric power 75kW 設置領域　Installation area 6.5(W)×5.5(D)×5.0(H) m 8

○設備オプションラインナップ（一例） ・ 放電検知器 　 「 インピーダンス変化」および「電圧変動」によって炉内の接触不良や放電の異常を検知し、 　 異常を知らせます。 ・ 接地抵抗検知器 　 ヒーターと接地間の抵抗値を測定し「炉内ヒーター絶縁の状態」の監視をおこない、 　 異常を知らせます。 ・ 真空圧力変化（上昇率）検出器 　 真空装置の炉内真空圧力の「急激な変化」を検知し、 　 製品品質やより安全な作業環境を確保します。 ・ 湯漏れ検知器 　 溶解炉体にアンテナを設置し、湯漏れの監視をおこない、異常を知らせることで、 　 より安全な作業環境を確保します。 ・ 寿命監視システム 　 ヒータ抵抗値や温度変化の記録からヒーターや断熱材の寿命を予測。 　 トラブル発生を未然に検知することで安定操業を図ります。 ・ 強制冷却装置 　 強制対流との熱交換により装置内の温度を急冷。 　 試料取り出しまでの時間を短縮し、生産性向上を図ります。 ・ スマート監視システム 　 各種測定値や稼働状態/異常をWeb画面で閲覧でき、メールで通報。 省力化、安定操業、品質ロスコスト削減に貢献します。 9

○受託実験 　 実験をおこないたいのに設備や時間がないなどの困りごとはありませんでしょうか？ 　 ご希望に応じて冶具の設計・製作、実施から結果報告までおこないます。 　 実験結果に基づき、新規設備のご提案までトータル的にサポートいたします。 　保有設備 　　・ 多目的高温炉（ハイマルチ5000） 　　　　試料ケースサイズ（内寸）　 φ100×90H 　　　　ダイスサイズ　　　　　　 φ100×φ60×110H 　　　　 加熱温度　　　　　　　　2200℃ プレス圧力　　　　　　　 49kN（5ｔｏｎ） 真空圧力　　　　　　　　6.65×10-3Pa 雰囲気圧力　　　　　　　0.92MPaG 雰囲気　　　　　　　　　N2,Ar 　　・ 高周波誘導　高温雰囲気炉 　　　　 試料ケースサイズ（内寸）　 φ100×90H 加熱温度　　　　　　　　3000℃ 真空圧力　　　　　　　　5Pa 雰囲気　　　　　　　　　Ar 　　・ ホットプレス炉（拡散接合炉） 　　　　プ レス圧力　　　　　　　 490kN（50ｔｏｎ） 有効寸法　　　　　　　 φ510×400H 加熱温度　　　　　　　　2000℃ 真空圧力　　　　　　　　7×10-3Ｐａ 雰囲気　　　　　　　　　Ｎ2、Ａｒ 　　・ 真空溶解炉　 　　　　 溶解量　　　　　　　　　3kg（鉄換算） 加熱温度　　　　　　　　1600℃ 真空圧力　　　　　　　　10-2Pa 雰囲気　　　　　　　　　Ar 　　・ 大気溶解炉 　　　　 溶解物　　　　　　　　　銅合金（黒鉛ルツボ使用） 溶解量　　　　　　　　　20kg（鉄換算） 加熱温度　　　　　　　　1600℃ 雰囲気　　　　　　　　　大気 ○熱・温度・構造解析 　 その他、ご要望に応じて各種ご相談を承ります。 10

aluminum oxide tungsten carbide silicon nitride amorphous silicon silicon carbide carbon nanotube synthetic quarts fine ceramics special steel single crystal semiconductor g n e t i c s r o m a l e c t E metallurgy ecology M a t e r i a l I n n o v a t i o n new energy nanotechnology Widely tried and true! T h e r m a l T e c h n o l o g y hotpressing melting casting quenching annealing carbonizing sintering 本 社 〒532-0033 大阪市淀川区新高2丁目4番36号 Head office: 4-36,Niitaka 2-chome,Yodogawa-ku,Osaka 532-0033,Japan TEL（06）6394-1151　FAX（06）6394-1156 Tel +81-6-6394-1151 Fax +81-6-6394-1156 東 京 営 業 所 〒110-0016 東京都台東区台東1丁目12番8号（金子ビル） Tokyo: 12-8,Taito 1-chome,Taito-ku,Tokyo 110-0016,Japan TEL（03）3839-2881　FAX（03）3839-2883 Tel +81-3-3839-2881 Fax +81-3-3839-2883 名古屋営業所 〒464-0075 名古屋市千種区内山3丁目18番10号（千種ステーションビル） Nagoya: 18-10,Uchiyama 3-chome,Chikusa-ku,Nagoya 464-0075,Japan TEL（052）745-0315　FAX（052）732-6821 Tel +81-52-745-0315 Fax +81-52-732-6821 滋 賀 工 場 〒520-3213 滋賀県湖南市大池町8番地 Challenge is the name of the game! TEL（0748）75-0321　FAX（0748）75-0457 つくば事業所 〒300-0315 茨城県稲敷郡阿見町香澄の里26番地 TEL（029）889-1455　FAX（029）889-2839 URL http://www.fujidempa.co.jp/ 23.02 1000 Our missio n is to help connect the ring of manufacturing by our key technology. We work closely with you to help find the best solutions for your particular process. l n t r o o V a c u u m C