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有機蒸着源〜800℃、金属蒸着源〜1500℃、真空用 高温るつぼ加熱ヒーターとしても利用できる高性能真空成膜用蒸発源です。
OLED蒸発源は最高使用温度1500℃の真空蒸着用 高温蒸着ソースです。
蒸発温度の高い材料も蒸発することができますので、有機EL等の低温有機蒸着(~ 800℃)のみならず金属材料用抵抗加熱蒸着(~ 1500℃)まで、真空蒸着成膜用として幅広い様々なアプリケーションに応用いただけます。
真空成膜用ソースとしてお使いの場合はシャッター・アクチュエータも用意。
800℃以上の高温ヒーターとしてお使いの場合は、内部シールド構造を備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計。
シャッターはフリップ式を採用。チャンバー内に複数のOLEDソースを設置しても他のコンポーネントに干渉することがありません。
上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。
本体部は、1cc 坩堝用(最大充填量1.5cc)、10cc 坩堝用(最大充填量15cc)があり、固定ベースをチャンバーから外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換可能。
熱電対はK タイプ、C タイプのいずれかをご指定いただけます。
るつぼ:アルミナ(標準)、石英、PBN、カーボンが選択できます。
このカタログについて
ドキュメント名 | HTEヒーター・OLED有機/金属蒸発セル |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 1.6Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | テルモセラ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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HTE heater for high temperature crucible heater, OLED, thermal evaporation
HTEヒーター・OLED有機・金属蒸発源
最高使用温度 Max1500℃
るつぼ内材料を蒸発昇華させる真空高温加熱ヒータとして幅広い用途に活用いただけます。
フリップ式シャッターを追加し真空蒸着装置の低温有機材料蒸発源(~800℃)又、金属材料
蒸発源(~1500℃)両用の蒸着ソースとしてもお使いいただけます。
左から、HTE-1cc、HTE-10ccシャッター付、HTE-10cc
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製品概要
HTE/OLED の最高使用温度は 1500℃。蒸発温度の高い材料も使用することができますので、真空蒸着成膜用途のみならず、真
空用高温加熱ヒーターユニットとして様々な用途に応用できるバーサタイルなヒーターユニットです。有機 EL 開発等の低温加熱有
機蒸着(~ 800℃)・高温抵抗加熱蒸着(~ 1500℃)など、真空成膜用蒸着ソースとしてお使いの場合はシャッターも追加可能。
800℃以上の高温ヒーターとしてお使いの場合は、内部にシールド構造を備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計となっております。
シャッターはスイング式ではなく、フリップ式を採用。チャンバー内に複数の蒸着ソースを設置しても他のコンポーネントに干渉する
ことがありません。上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。
HTE/OLED 本体部は、1cc 坩堝用(最大充填量 1.5cc)、10cc 坩堝用(最大充填量 15cc)があり、固定ベースをチャンバー
から外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換することが可能。熱電対は蒸発温度により 2 種類、Kタイプ、Cタイプのい
ずれかをご指定いただけます。
るつぼ材質は、蒸発レートの低下を防ぐ為、材料・目的に合わせてアルミナ(標準)、石英、PBN、カーボンなどの多彩な材質オプショ
ンから選ぶことができます。独自設計の熱電対により応答速度が速く、又、熱ロスがない為オーバーシュートせず正確で精度の高い
制御が可能となりました。
参考図(HTE-1CC) 外観
Φ45
キャップ
熱電対プラグ
本体ソケット
固定ベース
主仕様 オプション
●最高制御温度:800℃、又は1500℃ ●るつぼ材質:PBN, グラファイト, 石英
●使用環境:真空中・不活性ガス(*O2は800℃まで) ●ヒーター:NiCr 線 , カンタル線
●ヒーター:タングステンフィラメント ●るつぼ容積:10cc(最大充填量15cc)
●るつぼ容積:1cc(最大充填量1.5cc) ●シャッター:空圧式 , 又はモーター駆動
●るつぼ材質:アルミナ(標準), ●水冷ジャケット
●ケース材質:SUS304, 又はモリブデン ●ヒーター・シャッターコントローラー
●熱電対:Kタイプ、又はCタイプ
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シャッター
*シャッターブラケット部を、本体ベース部に差し込み固定します。
シャッター・アクチュエータ ( KF25, 又は 1” Oリングシール式)
Model. No
1 2 3 4 5 6 7 8
HTE
1.るつぼ容積 :1(1cc), 10(10cc)
2.るつぼ材質 :A(アルミナ), P(PBN), G(グラファイト), Q(石英)
3.最高使用温度 :8(800℃), 15(1500℃)
4.熱電対 :K(K type), C(C type)
5.シャッター :S(付属), x(シャッター無し)
6.シャッター駆動 :A(圧空), M(モーター駆動) , x(シャッター無し)
7. O2(800℃まで) :N(NiCr素線), K(カンタル素線) , x(O2無し)
OLED 8. 水冷 :W(付属), x(水冷無し)
*蒸着ソース用途の場合は OLED型番でご指定下さい。
HTEと内部シールド構造が異なります。
*型番構成例:OLED1-A8KSAxx(1cc, アルミナ , 800℃, K熱電対 , シャッター , 空圧制御 , 真空・不活性ガス)
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