HTEヒーター・OLED有機/金属蒸発セル

HTE heater for high temperature crucible heater, OLED, thermal evaporation HTEヒーター・OLED有機・金属蒸発源 最高使用温度 Max1500℃ るつぼ内材料を蒸発昇華させる真空高温加熱ヒータとして幅広い用途に活用いただけます。 フリップ式シャッターを追加し真空蒸着装置の低温有機材料蒸発源（～800℃）又、金属材料 蒸発源（～1500℃）両用の蒸着ソースとしてもお使いいただけます。 左から、HTE-1cc、HTE-10ccシャッター付、HTE-10cc

製品概要 HTE/OLED の最高使用温度は 1500℃。蒸発温度の高い材料も使用することができますので、真空蒸着成膜用途のみならず、真 空用高温加熱ヒーターユニットとして様々な用途に応用できるバーサタイルなヒーターユニットです。有機 EL 開発等の低温加熱有 機蒸着（～ 800℃）・高温抵抗加熱蒸着（～ 1500℃）など、真空成膜用蒸着ソースとしてお使いの場合はシャッターも追加可能。 800℃以上の高温ヒーターとしてお使いの場合は、内部にシールド構造を備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計となっております。 シャッターはスイング式ではなく、フリップ式を採用。チャンバー内に複数の蒸着ソースを設置しても他のコンポーネントに干渉する ことがありません。上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。 HTE/OLED 本体部は、1cc 坩堝用（最大充填量 1.5cc）、10cc 坩堝用（最大充填量 15cc）があり、固定ベースをチャンバー から外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換することが可能。熱電対は蒸発温度により 2 種類、Kタイプ、Cタイプのい ずれかをご指定いただけます。 るつぼ材質は、蒸発レートの低下を防ぐ為、材料・目的に合わせてアルミナ（標準）、石英、PBN、カーボンなどの多彩な材質オプショ ンから選ぶことができます。独自設計の熱電対により応答速度が速く、又、熱ロスがない為オーバーシュートせず正確で精度の高い 制御が可能となりました。 参考図（HTE-1CC） 外観 Φ45 キャップ 熱電対プラグ 本体ソケット 固定ベース 主仕様 オプション ●最高制御温度：800℃、又は1500℃ ●るつぼ材質：PBN, グラファイト, 石英 ●使用環境：真空中・不活性ガス（*O2は800℃まで） ●ヒーター：NiCr 線 , カンタル線 ●ヒーター：タングステンフィラメント ●るつぼ容積：10cc（最大充填量15cc） ●るつぼ容積：1cc（最大充填量1.5cc） ●シャッター：空圧式 , 又はモーター駆動 ●るつぼ材質：アルミナ（標準）, ●水冷ジャケット ●ケース材質：SUS304, 又はモリブデン ●ヒーター・シャッターコントローラー ●熱電対：Kタイプ、又はCタイプ 117

シャッター *シャッターブラケット部を、本体ベース部に差し込み固定します。 シャッター・アクチュエータ （ KF25, 又は 1” Oリングシール式） Model. No 1 2 3 4 5 6 7 8 HTE 1.るつぼ容積 ：1（1cc）, 10（10cc） 2.るつぼ材質 ：A（アルミナ）, P（PBN）, G（グラファイト）, Q（石英） 3.最高使用温度 ：8（800℃）, 15（1500℃） 4.熱電対 ：K（K type）, C（C type） 5.シャッター ：S（付属）, x（シャッター無し） 6.シャッター駆動 ：A（圧空）, M（モーター駆動） , x（シャッター無し） 7. O2（800℃まで） ：N（NiCr素線）, K（カンタル素線） , x（O2無し） OLED 8. 水冷 ：W（付属）, x（水冷無し） *蒸着ソース用途の場合は OLED型番でご指定下さい。 HTEと内部シールド構造が異なります。 *型番構成例：OLED1-A8KSAxx（1cc, アルミナ , 800℃, K熱電対 , シャッター , 空圧制御 , 真空・不活性ガス）

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