４チャンネル出力静電レンズ用高圧電源 ESL102XP

４チャンネル出力静電レンズ用高圧電源 型式　：　ESL102XP "ESL102XP"は低加速電子ビーム・アプリケーション のEOSカラム内静電レンズ制御用に開発された４ チャンネル出力高圧電源です。４チャンネル中２ チャンネルはバイポーラ出力となっており、パネル スイッチ、または外部制御により極性の切り替えが 可能です。 用　　途 ・低加速電圧走査電子顕微鏡 ・電子ビーム半導体検査装置 ◇ ４CH出力電源 ◇ ﾘｯﾌﾟﾙﾓﾆﾀｰ機能搭載 ◇ 低リップル・高安定度 CH1選択 CH2選択 CH3選択 CH4選択 画面選択 ◇ 2出力の極性切替機能 設定値の桁設定 ◇ 16ﾋﾞｯﾄ設定分解能 POWER ON ：電源ON時点灯 リップルモニタ ◇ リモート制御可能 ALARM ：発生時点灯 帯域 20Hz～1MHz REMOTE ：外部通信時点灯 ◇ 出力電圧はカスタマイズ可能 ◇ RoHS対応 標 準 仕 様 ・CH1電源 出力電圧 ±0.1kV～±10kV 出力電流 300μA max 設定分解能 16BIT(0.5V LSB) オールOFF リップル・ノイズ 50mVp-p 以下 CH1 CH1 CH2 CH3 CH3 CH4 電圧設定 安定度 5ppm/1h 以下 HV ON 極性切替 HV ON HV ON 極性切替 HV ON ロータリエンコーダ ・CH2電源 アナログモニターコネクタ ＣＨ１電圧設定 CH1出力電圧値 CH1出力電流値 出力電圧 +0.1kV～+10kV 設定モード１ 信号 出力電流 300μA max 1 CH1電圧ﾓﾆﾀ（2.5V/±11kV) 設定分解能 16BIT(0.5V LSB) 2 com(pin1) リップル・ノイズ 50mVp-p 以下 3 CH2電圧ﾓﾆﾀ（2.5V/+11kV) 安定度 5ppm/1h 以下 4 com(pin3) 5 CH3電圧ﾓﾆﾀ（2.5V/±11kV) ・CH3電源 6 com(pin5) 出力電圧 ±0.1kV～±10kV 7 CH4電圧ﾓﾆﾀ（2.5V/-11kV) CH3電圧設定 CH3出力電圧値 CH3出力電流値 設定モード２ 出力電流 300μA max 8 com(pin7) 設定分解能 16BIT(0.5V LSB) 9 NC リップル・ノイズ 50mVp-p 以下 10 NC 11 NC 安定度 5ppm/1h 以下 12 NC ・CH4電源 13 NC 出力電圧 -0.1kV～-10kV 14 CH1電流ﾓﾆﾀ（2.5V/330μA) 出力電流 300μA max 15 com(pin14) CH1出力電圧値 CH1出力電流値 出力表示モード 設定分解能 16BIT(0.5V LSB) 16 CH2電流ﾓﾆﾀ（2.5V/330μA) 17 com(pin16) リップル・ノイズ 50mVp-p 以下/1h 以下 18 CH3電流ﾓﾆﾀ（2.5V/330μA) 安定度 5ppm/1h 以下 19 com(pin18) 20 CH4電流ﾓﾆﾀ（2.5V/330μA) ・共通仕様 21 com(pin20) 入力電圧 単相AC85～265V 22 NC 23 NC アラーム表示モード 出力コネクタ ERA.1Y.416.CLL(LEMO) 24 NC ローカル 前面ロータリースイッチ 25 NC リモート RS232C　 ◆オプションでLAN(Lantronix) 過電圧・過電流 各max値の110% 安全機能 インターロック保護 停電復帰時の再出力防止 カレンダー表示モード 外形寸法 48２.6(W)×600(D)×132.5(H) 重量 15kg 付属品 ACケーブル(2m)、取扱説明書 　 ホームページ フューテックス株式会社 　 http://www.futex.jp 　e-mail：info@futex.jp〒196-0031 東京都昭島市福島町2-28-3 フューテックスはISO 9001:2008認証企業です。 ESL-120031 TEL 042-549-2888、FAX 042-549-2900 2014,02,03 　

型式：　ESL102XP 制御ソフトコントロールパネル ノーマルモード ステータス （リモート / ローカル） 電圧モニタ 電流モニタ ステータス 設定現在値 設定 時刻設定 出力 ON/OFF 通信設定モニタ スローアップモード ステータス 設定現在値 スローアップ 時間設定 スローアップ ON/OFF アラームモード アラーム状態 通知設定 アラームログ （100件まで） アラーム ラッチクリア アラームログ クリア アラームログ 更新 インターロックラッチクリア 　 ホームページ フューテックス株式会社 　 http://www.futex.jp 　e-mail：info@futex.jp〒196-0031 東京都昭島市福島町2-28-3 フューテックスはISO 9001:2008認証企業です。 ESL-120031 TEL 042-549-2888、FAX 042-549-2900 2014,02,03