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オージェ電子分光装置(CMA)/走査型電子顕微鏡に!
FAG502XPはオージェ電子分光(CMA)用に開発した製品です。熱電子銃とCMA分光器を高精度に制御することが可能です。
また外部制御用のポートを標準装備
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このカタログについて
ドキュメント名 | オージェ電子分光(CMA)装置用電子銃電源 FAG502XP |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 1017.3Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | フューテックス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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型式: FAG502XP オージェ電子分光(CMA)装置用電子銃電源
FAG502XP はオージェ電子分光(CMA)
用に開発した製品です。熱電子銃と
CMA分光器を高精度に制御することが
可能です。
また外部制御用のポートを標準装備、
用 途
◇ 低リップル,高安定度 ・ オージェ電子分光装置(CMA)
・ 走査型電子顕微鏡
◇ 加速電源0~-5kV
◇ フィラメント電流0~3.5A
OC OV INT RESET
◇ CMA分光器に必要な電源を全て内蔵 過電流モニタ 過電圧モニタ マニュアル リセットSW
◇ リモート用ポートを標準装備
V1 出力電圧設定ダイヤル V3 出力電圧設定ダイヤル V2 出力電流設定ダイヤル V4 出力電圧設定ダイヤル
◇ OEM特注可能
V1 電圧モニタ V3 電圧モニタ V2 電流モニタ V4 電圧モニタ
仕 様
主電源ON/OFF V1 出力ON/OFF V3 出力ON/OFF V2 出力ON/OFF V4 出力ON/OFF
・V1 電源 (加速電源)
出力電圧 -0.05~-5kV (GND規準) V1 電流モニタ V3 電流モニタ V4 電流モニタ
出力電流 100μA max
リップル・ノイズ 20mVp-p 以下(4ppm)
安定度 20ppm/1h 以下
・V2 電源 (フィラメント電源) (V1にフローティング)
出力電流 0~3.5A
リップル電流 13mAp-p 以下 EXT I/O CONNECTOR(ACC,VWEN,VLNS) EXT I/O CONNECTOR(FIL)
安定度 50ppm/1h 以下
SIGNAL SIGNAL
・V3 電源(V1にフローティング)
1 HV ON 1 FIL ON
出力電圧 0~+70V
2 com(pin1) 2 com(pin1)
出力電流 5mA max
3 O.V 3 NC
リップル・ノイズ 10mVp-p 以下
4 com(pin3) 4 NC
安定度 50ppm/1h 以下
5 O.C 5 O.C
・V4 電源
6 com(pin5) 6 com(pin5)
出力電圧 -0.02kV~-2.5kV(GND基準)
7 VOLT MONITOR(+5V:MAX) 7 NC
出力電流 100μA max
リップル・ノイズ 20mVp-p 以下(8ppm) 8 com(pin7) 8 NC
安定度 100ppm/1h 以下 9 CURR MONITOR(+5V:MAX) 9 CURR MONITOR(+5V:MAX)
10 com(pin9) 10 com(pin9)
・共通仕様 11 EXT RESET 11 EXT RESET
入力電圧 単相100VAC 50/60Hz 12 com(pin11) 12 com(pin11)
出力コネクタ HV BNC 13 EXT HV ON 13 EXT FIL ON
ローカル 前面パネル・ポテンショメータ 14 com(pin13) 14 com(pin13)
リモート 外部入力 0~+10VDC (BNC) 15 NC 15 NC
過電圧・過電流 各max値の110%
安全機能 インターロック保護
停電復帰時の再出力防止
外形寸法 480(W)×475(D)×199(H)
付属品 ACケーブル(2m)、取扱説明書
フューテックス株式会社 ホームページ
〒196-0031 東京都昭島市福島町2-28-3 http://www.futex.jp e-mail:info@futex.jp
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2016,06,09