リオン社　微粒子計測器総合カタログ 2018

P A R T I C L E C O U N T E R S 微 粒子計測器総合カタログ 2018

PARTICLE COUNTERS パーティクルカウンタの基本原理 光散乱の原理 光散乱方式 粒子の大きさが光の波長より小さくな インレットノズルから導入された試料に光を照射し、粒子がその光を通過すると、散乱光を発します。 ると、反射や屈折に比べて粒子によ その散乱光を受光素子で受け、電気信号に変換します。 る光エネルギの散乱が支配的になり 電気信号の大きさが粒径となり、散乱光を受光した回数が粒子数となります。 ます。この散乱光の強さは粒子の大 試料が液体の場合は、合成石英・サファイアで作られた粒子検出セル（フローセル）を用います。 きさや粒子と媒質の屈折率、光の波 長などと一定の関係があり、散乱光 光散乱方式センサ概略図 量を測定することで、粒子の大きさを 気中 液中 知ることができます。 インレットノズル 半導体レーザ 半導体レーザ 照明レンズ系 フローセル フォト 光と粒子の相互作用 ダイオード 散乱光集光用 反射 レンズ系 粒子 屈折 粒子 照明レンズ系 散乱光集光用レンズ系 アウトレットノズル 吸収 フォトダイオード 粒子 回折 装置内配管図 粒子信号と粒径、粒子数の関係 波長・粒子の屈折率・媒質の屈折率が一定 気 中 シースエアー 半導体レーザ フォトダイオード 1μm 散乱光の強度は粒径に依存 パージエアー 電 0.5μ 圧 0.5μmm 出力部各種 インタフェース 0.3μm 時間 POWER 0.3 μm以上の粒子数：6個 START 交流電源 0.5 μm以上の粒子数：1個 操作パネル カウンタ フィルタ ポンプ 1μm以上の粒子数：0個バルブ 波高分析器 INDEX 光遮蔽方式 2 パーティクルカウンタの基本原理／目次 3 気中パーティクルカウンタ概説 光源と受光素子を対面させ、光を電気信号に変換し ポリスチレンラテックス粒子の波高分析結果 4 ISO ／気中パーティクルカウンタの測定例 ます。その光を粒子が通過すると、受光素子が受け 5 気中パーティクルカウンタ る光が弱くなります。電気信号の減衰量が粒径となり、 9 液中パーティクルカウンタ概説 10 ISO ／液中パーティクルカウンタの測定例 光が遮られた回数が粒子数となります。 11 液中パーティクルカウンタのシステム例 12 液中パーティクルカウンタ 光遮蔽方式センサ概略図 17 ガス用パーティクルカウンタ概説／KS-93 液 中 試料 18 多点モニタリングシステム設置例 フォトダイオード （センサ・チューブ） 19 ソフトウェア／多点監視ソフトウェア 粒子 20 医薬概説／医薬の規格／KL-04A／ 注射剤測定システム 21 バリデーション フローセル 22 オプション 照射光 23 会社概要 2

気中パーティクルカウンタの主な使用分野 気中パーティクルカウンタはクリーンルーム、 製造、食品製造、病院･手術室などで用いる エアーシャワー、ミニエンバイロンメント BCR(biological clean room)に分けられ、 （FOUP：front opening unified podなど） それぞれの産業分野において管理粒径が異 などの微粒子管理やフィルタ性能試験、 なります。 HDD（hard disc drive）部品の発塵試験な ど、空気中に浮遊する微粒子数を計測します。 1m31 ft3＝1 cf≒28.3 L クリーンルームは半導体製造やFPD（flat =1000 L panel display）製造など工業分野で用いる 1ft ICR（industrial clean room）と医薬品 1m 清浄度の表示 清浄度のクラス表示は、ISO 14644-1に バイオテクノロジー、医療、製薬、食品工 より定められている。 業でも異物混入、感染を防ぐ目的からク 清浄度クラスと測定粒径ごとの上限濃度 リーンルームを使用し、管理しています。 は表１のように定められています。 クリーンルームの管理は粒子数による上限 古くから用いられてきた「クラス100」、 濃度だけでなく微生物の管理も必要に 「クラス10 000」という表現は、米国の なってきます。PIC/S、GMP、JP、FDAなど 規格であるFed-Std-209Eに由来して で浮遊菌の濃度が規定されており、粒子 おり、0.5μm以上の粒子が1 c（f 立方フィー の上限濃度はISO14644-1などを参考に ト：約28.3 L）中に100個を上限とするク しています。 リーンルームをクラス100としていました。 しかしこの規格はISOの制定を受けて 各粒径における上限濃度の求め方 2001年11月に廃止されました。 クラス数 2.08 表1の右側にISOの清浄度クラスに対応し N たFed-Std-209Eのクラスを示します。 上限濃度 Cn＝10 × ( 粒 0 .1径 D ) 表1 清浄度クラスと測定粒径ごとの上限濃度 上限濃度（個／m3） 清浄度 測定粒径 Fed-Std-クラスN 209E 0.1μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1μm 5μm クラス1 10 クラス2 100 24 10 クラス3 1000 237 102 35 1 クラス4 10000 2370 1020 352 83 10 クラス5 100000 23700 10200 3520 832 100 クラス6 1 000000 237000 102000 35200 8320 293 1000 クラス7 352000 83200 2930 10000 クラス8 3 520000 832000 29300 100000 クラス9 35200000 8320000 293000 表 2 クリーンルームの評価方法 項目 通常の評価方法 逐次サンプリング評価方法 測定対象空間 クリーンルームまたは粒子環境が制御された空間 PARTICLE COUNTERS 測定対象粒子径 0.1 から5μmの内、1粒径または複数の粒径 AIR BORNE 清浄度クラスの表示 表１による評価方法 各測定点の粒子濃度が清浄度クラスの 逐次サンプリング評価適合線図で適合領気中 上限濃度を超えないこと。 域に入れば測定点は清浄度クラスを満足すると判定。 評価対象の清浄度クラス 清浄度クラス　1～9 清浄度クラス　1～4 測定器 光散乱式気中粒子計数器 サンプリング容量 評価対象の清浄度クラスの上限粒子数は20個となる容量または、 クリーンな空気が 測定時間1分または容量2Ｌの内の大きい容量とする。サンプリング位置 原則として作業台高さ 高い品質を造り出します 表3 測定点の数 クリーンルームの 測定点数 クリーンルームの 測定点数 クリーンルームの 測定点数 面積A（m2） （NL） 面積A（m2） （NL） 面積A（m2） （NL） 2 1 52 10 148 19 ナノテクノロジー時代の今日、製品の 4 2 56 11 156 20 微細化、精密化への要求はますます高 6 3 64 12 192 218 4 68 13 232 22 まるばかりです。人体に影響する微生 10 5 72 14 276 2324 6 76 15 352 24 物、埃などの研究も盛んです。 28 7 104 16 436 2532 8 108 17 636 26 どの産業分野でも高清浄度空間の関 36 9 116 18 1000 27 A が1000 m 2以上の時、NL=27x　 A 心は高まっています。 1000 ISO 14644-1：2015 の主な変更点 ● 最終的な清浄度判定をする上限濃度の値が、測定点全体の平均値から各測定点が超えない値 ● 上記表3に基づき測定点数を決定 ● Class 5における5μm粒子の上限濃度を削除 ● 測定点数が2～9か所の場合に適用されていた95 %上限信頼限界の判定基準を削除 3 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS AIR BORNE 無菌医薬品製造区域の空気清浄度 JP（日本薬局方） FDA（米国食品医薬品局） 空気の清浄度レベル 最大許容粒子数　個 /m3 空中微生物 最大許容粒子数　個 /m3 空中微生物 グレード 非作業時0.5μm 非作業時5μm 作業時0.5μm 作業時5μm cfu/m3 清浄域のクラス 0.5μm cfu/m3 A 3 520 20 3 520 20 ＜1 100 3 520 ＜1 B 3 520 29 352 000 2 900 10 1 000 35 200 7 C 352 000 2 900 3 520 000 29 000 100 10 000 352 000 10 D 3 520 000 29 000 ……… ……… 200 100 000 3 520 000 100 EU-GMP（欧州薬局方） 空中浮遊菌と浮遊粒子の関係 NASA NHB 5340.2 最大許容粒子数　個 /m3 3 グレード 空中微生物 cfu/m 清浄域のクラス 空中微生物（cfu/m3） 落下菌（cfu/m2 週）非作業時0.5μm 非作業時5μm 作業時0.5μm 作業時5μm 作　業　時 A 3 520 20 3 520 20 ＜1 100 3.5 12 900 B 3 520 29 352 000 2 900 10 10 000 18 64 600 C 352 000 2 900 3 520 000 29 000 100 D 3 520 000 29 000 ……… ……… 200 100 000 88 323 000 パーティクルカウンタに関する規格　「光散乱式気中パーティクルカウンタ」 （ 抜粋） ISO 21501- 4 Light Scattering Airborne Particle Counter for clean spaces JIS B 9921 光散乱式気中粒子計数器ー校正方法及び検証方法 計数効率 計数損失 ある粒径およびその個数が既知である粒子をパーティクルカウ パーティクルカウンタは粒子濃度が低濃度の場合比較的有効で ンタに導入したときパーティクルカウンタが計数する割合。 あるが、高濃度の場合は複数個の粒子が光ビームに同時に存在 最小可測粒径において30～70 %、最小可測粒径の1.5～2倍の する確率が高くなる。この場合、粒子を１個として検出するため、 粒径において90～110 % 実際の粒子数よりも少なく表示される。 偽計数 最大粒子個数濃度 本来、試料中に粒子がないのに計測するという現象、電気的また 計数損失が10 %になるときの粒子濃度。 は光学的なノイズやセンサー内部の残留粒子が原因で生じる。 １立方メートル当たり何個の偽計数が発生するかを製造業者が 校正周期 開示する。 １年以内 流量精度 パーティクルカウンタに導入する試料流体の流量であり、体積流 量で表す。定格流量の5 %以内 気中パーティクルカウンタの測定例 一般的な測定 フィルタ性能試験 クリーンルーム、クリーンベンチ、手術室、無菌室、etc... フィルタ プリンタと接続 コンピュータと接続 PARTICLE COUNTER KC-22B LE PARTICLE COUNTER ING KC-22B ALL S ATAD ED FE H6 SIZ E C 5E CL C H I AR T 4 P C H 3 CH H2C CH 1 XP-49 POWER T ES AEROSOL DILUTION SYSTEM R START STOP STOP LAM P START STOP STOP XP-M8 -06P ER K INT PR 0011 02 03 04 05 01 01 02 0305 04 CENTER OF BALL FLOW ADJUST はつじん はつじんげん ハードディスクの発塵試験 発塵源の調査 Audio モードを使用 吸引 PARTICLE COUNTER KC-22B 低 高 HD START STOP STOP 02 03 04 粒子濃度 アウトレット 広 アラーム間隔 狭 （クリーンエアー） ピ!.....ピ!.....ピ! ピ!.ピ!.ピ!.ピ!.ピ! 4

パーティクルカウンタ KC-22A （光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起型固体レーザ（波長1 064 nm） 定格流量 2.83Ｌ/min 粒径区分（５段階） 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、 0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 10 000個/L（計数損失5 %以内） サンプリングチューブ径 外径：φ7mm、内径：φ5mm 電源 AC100 V、50/60 Hz、約80 VA 大きさ・重さ 約185（H）×155（W）×330（D）mm・約7.5 kg パーティクルカウンタ KC-22B （光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起型固体レーザ（波長1 064 nm） 定格流量 0.3Ｌ/min 粒径区分（５段階） 0.08μm以上、0.1μm以上、0.2 μm以上、 0.3μm以上、0.5 μm以上 最大粒子個数濃度 100 000個/L（計数損失5 %以内） サンプリングチューブ径 外径：φ7mm、内径：φ5mm 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、約90 VA 大きさ・重さ 約185（H）×155（W）×330（D）mm・約7 kg パーティクルカウンタ KC-24 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起型固体レーザ（波長1 064 nm） 定格流量 28.3Ｌ/min 粒径区分（５段階） 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、 0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 2 000 000個/m（3 計数損失10 %以内） サンプリングチューブ径 外径：φ11mm、内径：φ7mm 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、約300 VA 大きさ・重さ 約280（H）×320（W）×450（D）mm・約19.4 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 5 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS AIRBORNE 気中 パーティクルカウンタ KC-31 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力100mW） 定格流量 28.3Ｌ/min 粒径区分（6段階） 0.3μm以上、0.5μm以上、1.0 μm以上、 2.0μm以上、5.0μm以上、10.0 μm以上 最大粒子個数濃度 28 000 000個/m3（ 計数損失10%以内） サンプリングチューブ径 外径：φ16mm、内径：φ12mm 電源 リチウムイオン電池またはACアダプタ（AC100 V～240 V、50/60 Hz） 大きさ・重さ 約203（H）×260（W）×266（D）mm・ 約5.5 kg（バッテリ1個搭載時） この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルカウンタ KC-32 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力100mW） 定格流量 50Ｌ/min 粒径区分（6段階） 0.3μm以上、0.5μm以上、1.0 μm以上、 2.0μm以上、5.0μm以上、10.0 μm以上 最大粒子個数濃度 16 000 000個/m3（ 計数損失10%以内） サンプリングチューブ径 外径：φ16mm、内径：φ12mm 電源 リチウムイオン電池またはACアダプタ（AC100 V～240 V、50/60 Hz） 大きさ・重さ 約203（H）×260（W）×266（D）mm・ 約5.5 kg（バッテリ1個搭載時） この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルカウンタ KC-20A （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力3mW） 定格流量 30Ｌ/min 粒径区分（５段階） 10μm以上、20μm以上、30μm以上、 50μm以上、100μm以上 最大粒子個数濃度 2 000個/L（計数損失5%以内） サンプリングチューブ径 外径：φ11mm、内径：φ7mm 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、約160 VA 大きさ・重さ 約135（H）×300（W）×401（D）mm・約11.6 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 6

ハンドヘルドパーティクルカウンタ KC-51 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力35mW） 定格流量 2.83Ｌ/min 粒径区分 3段階：0.3μm以上、0.5μm以上、５.0μm以上（初期値） （右の組み合せから選択） 2段階：0.3μm以上、0.5μm以上 2段階：0.5μm以上、5.0μm以上 最大粒子個数濃度 140 000 000個/m（3 計数損失10 %以内） サンプリングチューブ径 外径：φ8mm、内径：φ6mm 電源 内蔵バッテリまたはACアダプタ （AC100 V～240 V、50/60 Hz） 大きさ・重さ 約304（H）×86.6（W）×45.1（D）mm・約780 g この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 ハンドヘルドパーティクルカウンタ KC-52 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力35mW） 定格流量 2.83Ｌ/min 粒径区分（５段階） 0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、 2μm以上、5μm以上 最大粒子個数濃度 140 000 000個/m（3 計数損失10 %以内） サンプリングチューブ径 外径：φ8mm、内径：φ6mm 電源 内蔵バッテリまたはACアダプタ （AC100 V～240 V、50/60 Hz） 大きさ・重さ 約304（H）×86.6（W）×45.1（D）mm・約780 g この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルカウンタ KC-01E （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力40mW） 定格流量 0.5Ｌ/min 粒径区分（５段階） 0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、 2μm以上、5μm以上 最大粒子個数濃度 100 000個/L（計数損失5 %以内） サンプリングチューブ径 外径：φ7mm、内径：φ5mm 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、約50 VA 大きさ・重さ 約135（H）×300（W）×300（D）mm・約6.3 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルカウンタ KC-03B （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力40 mW） 定格流量 3Ｌ/min 粒径区分（５段階） 0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、 2μm以上、5μm以上 最大粒子個数濃度 30 000個/L（計数損失5 %以内） サンプリングチューブ径 外径：φ7mm、内径：φ5mm 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、約65 VA 大きさ・重さ 約135（H）×300（W）×300（D）mm・約7.3 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 7 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS AIRBORNE 気中 多点監視用パーティクルセンサ KA-05 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長785 nm、定格出力70 mW） 定格流量 28.3 L/min 粒径区分（2段階） 0.5μm以上、5.0μm以上 最大粒子個数濃度 28 000 000個/m3 (計数損失10 %以内) サンプリングチューブ径 内径：6 mm 電源 DC9 V～28 V（外部ユニットから供給、オプション） 大きさ・重さ 90（H）×130（W）×56（D）mm（突起部を除く）・ 約650 g この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 多点監視用パーティクルセンサ KA-02 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力35mW） 定格流量 2.83Ｌ/min 粒径区分（2段階） 0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 140 000 000個/m3（ 計数損失10%以内） サンプリングチューブ径 内径：1/8インチ（約3.2 mm） 電源 DC9 V～28 V（外部ユニットから供給、オプション） 大きさ・重さ 約52（H）×107（W）×52（D）mm（突起部を除く）・ 約360 g この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 多点監視用パーティクルセンサ KA-03 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力35mW） 定格流量 2.83Ｌ/min 粒径区分（5段階） 0.3μm以上、0.5μm以上、1.0 μm以上、 2.0μm以上、5.0μm以上 最大粒子個数濃度 140 000 000個/m3（ 計数損失10%以内） サンプリングチューブ径 外径：φ7mm、内径：φ5mm 電源 ACアダプタ（AC100 V～240 V、50/60 Hz） 大きさ・重さ 約126（H）×87（W）×204（D）mm（突起部を除く）・ 約2 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 多点監視用パーティクルセンサ KA-82 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起型固体レーザ（波長1 064 nm） 定格流量 2.83Ｌ/min 粒径区分（５段階） 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、 0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 10 000個/L（計数損失5%以内） サンプリングチューブ径 外径：φ7mm、内径：φ5mm 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、約100 VA 大きさ・重さ 約185（H）×155（W）×330（D）mm・約7.5 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 8

液中パーティクルカウンタの主な使用分野 液中パーティクルカウンタは、半導体材 のスラリー中の粗大粒子の管理や、フォ 料用化学薬品、SOG（spin on glass）な トレジスト溶液の粒子管理、表面付着粒 どの液体塗布材料中に含まれる粒子管 子の管理など生産ラインや受け入れ検査 理や、純水、洗浄用化学薬品、（例：酸、アル などにも用いられます。測定方法としてイ カリ、有機溶剤、フッ化水素酸）などの粒 ンライン測定とバッチ測定があります。 子 管 理に用いられます。また、CMP （chemical mechanical polishing）用 薬液管理 精密電子工業において、薬液は洗浄をは HDD 製造ではヘッドとメディアのクリア じめとして酸化膜の除去やフォトレジス ランスが 0.01μmを切るまでに至って トの剥離などに使用されます。特に、半導 います。FPDにおいてはテレビ、モニタな 体、ハードディスク（HDD）、およびフラッ どの大画面化と高画質化が求められ、１ トパネルディスプレイ（FPD）の製造に代 ～２m角の大型ガラス基板上に画素の 表される分野では、純水や薬液を多く使 欠陥の存在は許されません。このように 用します。このような電子デバイスの微細 微細加工技術が向上し、より高性能な電 化・高集積化により液体中の微粒子管理 子デバイスを製造するには、その周辺の は、品質や歩留りの向上のため欠かせな 粒子管理が重要であり、液中微粒子計は いものとなっています。半導体製造では その測定器として重要な地位を占めてい その配線幅が 0.1μmを下回るに至り、 ます。 洗浄工程の評価・管理 半導体製造においてはウェハに付着した 素に対して管理をおこなう必要がありま 微粒子は洗浄工程で取り除きます。また、 す。これらの要素とスループットや歩留り 発塵を抑えなければならない製品におい などの関係を明らかにし、問題点を解決 ては、構成する部品自体の発塵が製品の する手段として液中パーティクルカウンタ 品質、性能に大きく影響をおよぼすので、 による粒子計測が有効です。特に洗浄槽 個々に洗浄し、その効果を測定しなけれ の供給、循環ラインにパーティクルカウン ばなりません。効率よく確実な洗浄を行 タを直結し、連続的にモニタリングするこ うためには使用前の洗浄液の粒子数、洗 とで洗浄槽内や洗浄ラインの粒子変動を 浄液の最適供給量、洗浄槽のオーバーフ 読み取り、生産ラインの改善を科学的に ロー量、最適な洗浄時間、リサイクルした 行うことができます。 洗浄液の清浄度の確認などさまざまな要 波高分析ソフトウェア PARTICLE COUNTERS KF-50A LIQUID-BORNE ●パーティクルカウンタの内部で波高分析された結果 液中 を表示 ●電圧値から粒径に自動換算 して表示 純水からフッ化水素酸まで、 ●パーティクルカウンタの粒 さまざまな液体に対応します 経区分の正確さの確保とメ ンテナンスに最適 ●粒度分布から、粒子発生装 置の安定度を検証 波高分析例 製品に直接作用する液体中の微粒子 ●レジストなど、ノイズ成分 の上昇がみられるサンプル は製品の品質に大きく影響をおよぼ のノイズチェックが可能 します。 また、人体に作用する液体は浮遊微粒 波高分析ソフトウェアKF-50A 子の性質によっては人命に影響する ことも考えられます。 LASER OFFADDRESS PARTICLE MONITOR LIQUID LEAK CELL あらゆる分野で、液体中の微粒子管理 LASERDATA LINK PARTICLE SENSORKS-41B POWER は必要となっています。 レジスト液 パーティクルセンサ KS-41Bなど コンピュータ 9 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE パーティクルカウンタに関する規格 「光散乱式液中パーティクルカウンタ」（抜粋）「光遮蔽式液中パーティクルカウンタ」（抜粋） ISO 21501-2 Light Scattering Liquid Borne Particle Counter ISO 21501-3 Light Extinction Liquid Borne Particle Counter JIS B 9925 光散乱式液中粒子計数器ー校正方法及び検証方法 JIS B 9916 光遮へい式液中粒子計数器ー校正方法及び検証方法 偽計数 計数効率 本来、試料中に粒子がないのに計測するという現象、電気的また ある粒径およびその個数が既知である粒子をパーティクルカウ は光学的なノイズやセンサー内部の残留粒子が原因で生じる。 ンタに導入したときパーティクルカウンタが計数する割合。 １リットル当たり何個の偽計数が発生するかを製造業者が開示 最小可測粒径の1.5～ 2 倍の粒径において 80～120 % する。 粒径分解能 計数効率 大きさが近接した粒子をどの程度識別できるかを表す。 ある粒径およびその個数が既知である粒子をパーティクルカウ 10 % 以内。 ンタに導入したときパーティクルカウンタが計数する割合。 最小可測粒径において20～ 80 %、最小可測粒径の1.5～ 3 倍 試料容量 の粒径において70～130 %。 測定に要した試料の容積。定格の 5 % 以内。 計数損失 計数損失 パーティクルカウンタは粒子濃度が低濃度の場合比較的有効で パーティクルカウンタは粒子濃度が低濃度の場合比較的有効で あるが、高濃度の場合は複数個の粒子が光ビームに同時に存在す あるが、高濃度の場合は複数個の粒子が光ビームに同時に存在す る確率が高くなる。この場合、粒子を１個として検出するため、実 る確率が高くなる。この場合、粒子を１個として検出するため、実 際の粒子数よりも少なく表示される。 際の粒子数よりも少なく表示される。 規格は10 % 以下であること。 最大粒子個数濃度 校正周期 計数損失が10 % になるときの粒子濃度。 １年以内 校正周期 １年以内 液中パーティクルカウンタの測定例 液中測定例1 液中測定例2 （ウェットステーション） （部品発塵試験） PARTICLE SENSOR KS-16 PARTICLE SENSOR KS-16F PARTICLE SENSOR KS-17B LIQUID LEAK CELL CELL CONTROLLER CELL LD OUTLET INLET LD KE-40B1 OUTLET INLET LD POWER POWER POWER KS-17B KS-16 KS-16F 純水 薬液 フッ化水素 供給ライン 供給ライン 供給ライン KE-40B1 KS-42D 洗浄槽 オーバーフロー槽 フィルタ KS-42-S39 PARTICLE SENSOR KS-28B PARTICLE SENSOR KS-28B CONTROLLER KE-40B1 START STOP SAMPLER PURGE MEAS. COMBI. KS-28Bなど 循環ポンプ KS-28Bなど フィルタ 洗浄で落ちた PARTICLE SENSOR KS-18F 効果測定 ゴミ測定 PARTICLE SENSOR KS-28B KS-18F ポンプ KE-40B1 発塵測定 超音波洗浄槽 KZ-31W KZ-31Wなど KS-28Bなど 適用例 用途 対象試料 対応機種 ウェットプロセス 酸（HFを含む）、アルカリ、有機溶剤、純水など KS-19F、KS-18F/18FX、KS-17B、KS-42A/42AF、KS-16/16F、KS-28B/28BF 薬液 KS-19F、KS-28B、KS-16/16F プラント 純水 KL-30A/30AX、KL-30B、KS-17B 成膜 絶縁膜材料、成膜塗布剤など KS-42A、KS-42B メッキ 硫酸銅など KS-42B、KS-42C、KS-42D リソグラフィ レジスト、現像液、反射防止剤など KS-42B、KS-41A、KS-41B 部品発塵試験 純水、IPA KS-42C 注射剤、洗浄度 注射剤、注射用水、輸液、ゴム栓など KL-04A 10

液中パーティクルカウンタのシステム例 インライン測定システム インライン測定システム1（フローコントローラ使用） KE-28B 通信ケーブル KE-28B PARICLE COUNTERCC-61A 通信ケーブル CC-61DP DPU-414 THERMAL PRINTER ON LINE FEED コンピュータ DPU-414 継手（外径φ4） PARTICLE SENSOR KS-28B 接続ケーブル 3方向継手（外径φ4） チューブ チューブ インレット・外径φ4 （外径φ4・1.5 m） KS-28B （外径φ4・1.5 m） （100 kPa～400 kPa） KS-28BF 排出ライン外径φ4 供 PURGE用ライン 給 ラ MFC イ ン 通信ケーブル CC-61A コンピュータ 継手（外径φ4） PARTICLE SENSOR KS-16 3 方向継手（外径φ4） CELL チューブ LD OUTLETPOWER チューブ インレット・外径φ4 （外径φ4・1.5 m） （外径φ4・1.5 m） （100 kPa～400 kPa） KS-16/16F 排出ライン外径φ4 KS-17B PURGE用ライン MFC バッチ測定システム バッチ測定システム1（サブミクロン粒子向け・最大10ch） CONTROLLER KE-40B1 通信ケーブルCC-61A 接続ケーブル KZ30S180 コンピュータ KE-40B1 接続ケーブル （1 m） チューブ チューブ チューブ チューブ （外径φ4・1.5 m） Q U A R T Z （外径φ4・1.5 m） （外径φ4・0.8 m） （外径φ4・0.8 m） FLOW CELL PARTICLE COUNTER LIQUID LEAK CELL LASER PARTICLE SENSOR KS-42A POWER 継手（外径φ4） KS-42A/42AF 試料ボトル KZ-31W 廃液ボトル バッチ測定システム2（加圧吸引） CONTROLLER 通信ケーブル KE-40B1CC-61A 接続ケーブル KZ30S180 チューブ コンピュータ （外径φ4・1.5 m） KE-40B1 接続ケーブル（1 m） チューブ （外径φ4・0.8 m） LASER OFF ADDRESS PARTICLE MONITOR LIQUID LEAK CELL LASER DATA LINK PARTICLE SENSOR KS-41B POWER KS-41B KZ-28M チューブ チューブKZ-30U（改）など 継手（外径φ4） KZ-31W 廃液ボトル（外径φ4・1.5 m） （外径φ4・0.8 m） バッチ測定システム3（ミクロン粒子向け・最大10ch） CONTROLLER 通信ケーブル KE-40B1CC-61A 接続ケーブル KZ30S180 接続ケーブル（1 m） コンピュータ KE-40B1 チューブ チューブ チューブ KS-42D （外径φ4・1.5 m） （外径φ4・0.8 m） （外径φ4・0.8 m） 継手（外径φ4） KS-42-S39 KZ-31W 廃液ボトル 11 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE 液中 コントローラ KE-40B1 接続対応器種 KS-19F、KS-18FX/18F、KS-42A/42AF、 KS-42B/42BF、KS-42C、KS-42D、KS-41A、KS-41B 粒径区分 最大10段階 数値表示 計数値（最大8桁） 測定時間 10秒～2時間、手動 電源 AC100 V～ 240 V、50/60 Hz、130 VA 大きさ・重さ 140（H）×240（W）×146（D）mm・約3 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルセンサ KS-41A レジスト用（光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長：830 nm、定格出力：200 mW） 接液部材質 合成石英、PFA 定格流量 10 mL/min 設定範囲 0.15μm～0.5μm 　出荷時（4段階） 0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 1 200個/mL（計数損失5 %以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 160（H）×300（W）×250（D）mm・約7.5 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルセンサ KS-41B レジスト用（光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起固体レーザ（波長：532 nm、定格出力：500 mW） 接液部材質 合成石英、PFA 定格流量 5 mL/min 設定範囲 0.1μm～0.5μm 　出荷時（5段階） 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、 0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 9 600個/mL（計数損失10%以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 164（H）×464（W）×305（D）mm（突起物を除く）・約12.5 kg （シリンジサンプラに10 mLガラスシリンジが必要） この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 12

パーティクルセンサ KS-19F （光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532 nm、定格出力800 mW） 接液部材質 サファイア、PFA 定格流量 10 mL/min 設定範囲 0.03 μm～0.13 μm 　出荷時（4段階） 0.03μm以上、0.06μm以上、0.1μm以上、0.13μm以上 最大粒子個数濃度 40 000個/mL（計数損失10 %以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 約 170（H）×487（W）×310（D）mm・約13.5 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルセンサ KS-18FX （光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532 nm、定格出力500 mW） 接液部材質 サファイア、PFA 定格流量 10 mL/min 設定範囲 0.04μm～0.15μm 　出荷時（4段階） 0.04μm以上、0.08μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上 最大粒子個数濃度 30 000個/mL（計数損失10 %以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 約 147（H）×272（W）×442（D）mm・約12 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルセンサ KS-18F （光散乱方式） 光源 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532 nm、定格出力500 mW） 接液部材質 サファイア、PFA 定格流量 10 mL/min 設定範囲 0.05μm～0.2μm 　出荷時（4段階） 0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上 最大粒子個数濃度 30 000個/mL（計数損失10%以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 約 147（H）×272（W）×442（D）mm・約12 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルセンサ KS-42A/42AF （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長：830 nm、定格出力：200 mW） 接液部材質 KS-42A：合成石英、PFA　KS-42AF：サファイア、PFA 定格流量 10mL/min 設定範囲 0.1μmおよび0.13μm～0.5μm 　出荷時（5段階） 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、 0.5μm以上（オプションで1.0μmまで対応） 最大粒子個数濃度 1 200個/mL（計数損失5%以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 125（H）×240（W）×151（D）mm・約4 kg ●KS-42AF：フッ化水素酸対応 この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 13 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE 液中 パーティクルセンサ KS-42B/42BF （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長：780 nm、定格出力：40 mW） 接液部材質 KS-42B：合成石英、PFA、PTFE　KS-42BF：サファイア、PFA、PTFE 定格流量 10mL/min 設定範囲 0.2μm～2μm 　出荷時（5段階） 0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、 2μm以上 最大粒子個数濃度 1 200個/mL（計数損失5%以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 125（H）×240（W）×151（D）mm・約3.2 kg ●KS-42BF：フッ化水素酸対応 この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルセンサ KS-42C （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長：780 nm、定格出力：5 mW） 接液部材質 合成石英、PFA、PTFE　 定格流量 10mL/min 設定範囲 0.5μm～20μm 　出荷時（7段階） 0.5μm以上、1μm以上、2μm以上、3μm以上、 5μm以上、10μm以上、20μm以上 最大粒子個数濃度 1 200個/mL（計数損失5%以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 125（H）×240（W）×151（D）mm・約3 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルセンサ KS-42D （光遮蔽方式） 光源 半導体レーザ（波長：780 nm、定格出力：5 mW） 接液部材質 合成石英、PFA、パーフロ 定格流量 25 mL/min 設定範囲 2μm～100μm 　出荷時（8段階） 2μm以上、3μm以上、5μm以上、7μm以上、 10μm以上、25μm以上、50μm以上、 100μm以上（オプションで150μmまで対応） 最大粒子個数濃度 10 000個/mL（計数損失10%以内） 電源 DC12 V（KE-40B1より供給） 大きさ・重さ 125（H）×140（W）×150（D）mm・約 2.2 kg （スタンド KS-42-S39、オプション） 14

パーティクルカウンタ 純水用 KL-30AX （光散乱方式） プリンタ内蔵 光源 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532 nm、定格出力500 mW） 接液部材質 合成石英・フッ素ゴム・フッ素樹脂・PVC・ SUS304/316・パイレックスガラス・POM 試料流量 定格流量20 mL/min とパージ流量0.1 ～ 1 L/min の合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動） 設定範囲 0.04 μm～0.15 μm 　出荷時（4段階） 0.04 μm以上、0.08 μm以上、0.1 μm以上、0.15 μm以上 最大粒子個数濃度 15 000個/ｍL（計数損失10 %以内） 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、130 VA 大きさ・重さ 約 230（H）×385（W）×570（D）mm・約24.8 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルカウンタ 純水用 KL-30A （光散乱方式） プリンタ内蔵 光源 半導体レーザ励起固体レーザ（波長532 nm、定格出力500 mW） 接液部材質 合成石英・フッ素ゴム・フッ素樹脂・PVC・ SUS304/316・パイレックスガラス・POM 試料流量 定格流量20 mL/min とパージ流量0.1 ～ 1 L/min の合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動） 設定範囲 0.05 μm～0.2 μm 　出荷時（4段階） 0.05 μm以上、0.1 μm以上、0.15 μm以上、0.2 μm以上 最大粒子個数濃度 15 000個/ｍL（計数損失10 %以内） 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、130 VA 大きさ・重さ 約 230（H）×385（W）×570（D）mm・約24.8 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 パーティクルカウンタ 純水用 KL-30B （光散乱方式） プリンタ内蔵 光源 半導体レーザ（波長830 nm、定格出力200mW） 接液部材質 合成石英・フッ素ゴム・フッ素樹脂・PVC・ SUS304/316・パイレックスガラス・POM 試料流量 定格流量10mＬ/min とパージ流量0.1 ～ 1 L/min の合計 （ただしパージ流量は試料圧力により変動） 設定範囲 0.05 μm～0.2 μm 　出荷時（4段階） 0.05 μm以上、0.1 μm以上、0.15 μm以上、0.2 μm以上 最大粒子個数濃度 200 000個/ｍL（計数損失10 %以内） 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz、約80 VA 大きさ・重さ 約 230（H）×330（W）×570（D）mm・約19.8 kg この製品は当社基準の有害化学物質を含有していないグリーンな製品です。 15 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE 液中 パーティクルセンサ KS-17B（ 純水用光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長830 nm、定格出力200mW） 接液部材質 合成石英・PFA・特殊フッ素ゴム 定格流量 10mＬ/min 粒径区分（2段階） 0.05μm以上、0.1μm以上（オプションにて4段階） 最大粒子個数濃度 100 000個/ｍL（計数損失5 %以内） 電源 AC100 V～240 V、40 VA （外部電源 KZ-50（付属）を含む） 大きさ・重さ 約 160（H）×300（W）×250（D）mm・約6 kg パーティクルセンサ KS -16/16F （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長830 nm、定格出力200mW） 接液部材質 KS-16：合成石英・PFA KS-16F：サファイア・PFA 定格流量 10mＬ/min 粒径区分（５段階） 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、 0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 1 200個/ｍL（計数損失5 %以内） 電源 AC100 V～240 V、40 VA （外部電源 KZ-50（付属）を含む） 大きさ・重さ 約 110（H）×240（W）×150（D）mm・約3.5 kg ●KS-16F：フッ化水素酸対応 パーティクルカウンタ KL-28B/28BF （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力40mW） 接液部材質 KS-28B：合成石英、PFA、PTFE KS-28BF：サファイア、PFA、PTFE 定格流量 10mＬ/min 粒径区分（２段階） 0.2μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 1 200個/ｍL（計数損失5 %以内） 電源 KE-28Bより供給、 AC100 V～240 V、 23 VA 大きさ・重さ 約 70（H）×85（W）×118（D）mm・約0.6 kg コントローラ KE-28B（KS-28B/28BF専用） ●KS-28BF：フッ化水素酸対応 16

PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE ガス 半導体ラインの材料ガスをそのまま測定します。 半導体やFPD、太陽電池などの生産工程において、毒性や可燃性、腐食 性、反応性を有した材料ガスが多く使用されています。このようなガスは、 水分などと反応して容易に粒子状物質を生成してしまうことがあります。 このような反応を抑制しつつ、漏れのない安全な測定をおこなうことが、 材料ガス中の粒子汚染管理には求められています。 ガス用パーティクルカウンタKS-93は、粒子検出部にフローセルを用いた 流路部を採用し、リーク量を1×10-10 Pa・m3/s以下（真空フード法）を実 現し、万一の事故に備え、筐体も1×10-6 Pa・m3/s以下（スニファー法）の 密閉構造を有しています。流路部はSUS316管と石英製フローセルで構成 され、デッドスペースのない直管接続で容易にパージすることが可能です。 はつじん 材料ガス供給系の発塵測定例 PROCESS COUNTER KS-93 CELL LD POWER 水分計 パーティクルセンサ MFC バルブ 100 sccm バルブ 99 slm ロータリー SiH H 除害装置へ ポンプ4 2 除害装置へ 除害装置へ エピタキシャル成長装置 900 sccm バルブ シリンダキャビネット MFC はつじん シリンダガスの粒子発塵測定例 PROCESS COUNTER KS-93 CELL レギュレータ LD POWER バルブ 圧力計 バルブ パーティクルセンサ MFC バルブ 除害装置へ BCl3 N2 バルブ MFC バルブ シリンダ パーティクルセンサ KS-93 （光散乱方式） 光源 半導体レーザ（波長830 nm、定格出力200mW） 接ガス部材質 合成石英・SUS316L、フッ素ゴム 定格流量 100mL/min 粒径区分（５段階） 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、 0.3μm以上、0.5μm以上 最大粒子個数濃度 30 000個/min（計数損失5 %以内） 電源 AC100 V～240 V、40 VA （外部電源 KZ-50（付属）を含む） 大きさ・重さ 約135（H）×280（W）×150（D）mm・約6.5 kg （受注生産） 17 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS Monitoring system 多点モニタリングシステム クリーンルームの環境管理例 微粒子数、圧力、湿度、温度、振動などの同時監視。 工程管理における例 　１．多種類の薬液を集中管理する薬液供給システムへの適用。 　２．ペットボトル飲料液の充填工程における充填部のエアー管理やキャップ装着部におけるエアー管理。環境管理や水の管理。 　３．ミニエンバイロメントのウェハハンドリングエリア（FIMS）の常時監視など、多岐にわたる。 センサ多点モニタリングシステム それぞれの測定点にセンサを設置。すべての測定ポイントを同時に測定。 ●測定点が増えても同じ周期で測定できる　●連続測定をすることで一般の粒子濃度変化を把握できる 多点モニタリング設置例 AP 気中パーティクルカウンタ LP 液中パーティクルカウンタ 温湿度計 P 差圧 +0 差圧計 半導体 バイオクリーンルーム 監 安全棚 安全棚 搬 視 エッチング AP LP 送 LP AP 室 AP AP 路 COMPUTER 遺伝子操作室 細胞調整室 AP AP AP フォト AP AP AP P差圧 ±0 2次前室 P差圧 ±0 リソグラフィー AP AP AP P差圧 +2 Pass Pass 機 Box Box 拡散CVD AP AP FOUP AP AP 械室 後室 後室 AP AP AP 通路 AP P 差圧 -1 P差圧 +1 P 差圧 -1 PVD・CVD AP AP AP AP AP LP 1次前室 準備室 搬入室 AP 薬 AP AP AP ウェット 液 ステーション AP LP FOUP AP LP AP 処 P 差圧 -1 P 差圧 -1 Pass 理 Box 室 通路 一般環境 クラス6 クラス5（製造装置） 一般環境 クラス8 クラス7 クラス5 自動車工場 チューブ多点モニタリングシステム 車体工場 エアーカーテン 塗装工場 AP 一台のカウンタからチューブを分配し、 それぞれの測定ポイントを順次切り替えて測定。 AP ●センサ多点にくらべ安価にシステム構成できるプレス行程 溶接行程 LP 洗浄 ●滅菌区域に導入が容易 AP チューブ多点モニタリングシステム構成例 洗浄 乾燥 下塗り LP 脱脂 AP AP 中塗り 乾燥 LP 洗浄 上塗り 組立工場 AP ブロア 完成 AP マニホールド 最終組立 エアー 乾燥 カーテン KC-24 18 半導体

ソフトウェア RPモニタ EVO K0505 Ver. 2/EVO K0505P Ver. （2 21CFR Part11対応） 対応器種 ■KC-01E、KC-03B、KC-20A、KC-22A、KC-22Ｂ、KC-31、KC-32 ■KC-52 ■KL-28B/28BF、KE-40B1 K0505 Ver.2 ■KS-16/16F、KS-17B、KL-30A、KL-30AX K0505P Ver.2 ○パーティクルカウンタの測定開始、停止／光源・内蔵ポンプのON、OFFを制御 ○測定時刻、周期、回数、アラーム、換算などを設定 ○コメント入力可能（測定開始時および履歴グラフ入力可能、K0505のみ） ○アーカイブ機能を保有（K0505Pのみ） シリアルポート（COMポート）を複数認識するコンピュータでは、 その数だけパーティクルカウンタを制御することが可能（最大8ポート） CONTROLLERKE-40B1 START STOP SAMPLER PURGE MEAS. COMBI. ■対応OS： Windows XP、７（32 bit） Q U A R T Z ■データ形式： バイナリファイル形式 FLOW CELLPARTICLE COUNTER LIQUID LEAK CELL （テキストファイル形式（CSV形式）に変換可能） LASER PARTICLE SENSORKS-42A POWER KE-40B1 KL-28B/28BF KC-01E KC-22A KC-52 KS-42A RPモニタ EVO K0505 Ver. 3/EVO K0505P Ver. （3 21CFR Part11対応） 対応器種 ■KA-02、KA-03、KA-05、KA-82、KC-52、KC-31M GROUP1 マ二ホールド ■KS-16/16F、KS-17B、KS-41A/41B コンバータ POINT1 ■KL-28B/28BF（要オプションボード） ■KC-24（マニホールドシステム） PARTICLE COUNTER KC-24 マ二ホールドコントローラ POINT20 ○測定の開始、停止／光源・内蔵ポンプのON、OFFを制御 ○測定時刻、周期、回数、アラーム、換算などを設定 パーティクルカウンタ ○最大32台（拡張160台接続）まで同時に制御可能 KC-24 ○コメント入力可能（測定開始時および履歴グラフ入力可能、 チューブ多点モニタリングシステム 　K0505のみ） ○アーカイブ機能を保有（K0505Pのみ） GROUP2 周辺器種 　自動異常メール通報システムK0410 　パーティクル指示警報計K0205A/B コンバータ 　デジタル温湿度変換器TH-EV6A 　信号灯 ■対応OS： Windows XP、７（32 bit） ■データ形式： バイナリファイル形式 （テキストファイル形式（CSV形式）に変換可能） POINT1 POINT2 POINT19 POINT20KA-82 KA-05 KC-31M KA-03 GROUP3 コンバータ K0205A/B K0205A/B K0505 Ver.3 K0410 信号灯 K0505P Ver.3 社内・社外 インターネット POINT1 POINT2 POINT19 POINT20 TH-EV6A KC-52 KA-02 KA-03 パーティクルカウンタ（環境センサなど）、 GROUP8 多点モニタリングシステム コンバータ PARTICLE SENSOR KS-16 INLET Q U A R T Z PARTICLE SENSOR FLOW CELL KS-17B PARTICLE COUNTER Multi-Point Unit KZ-51 LIQUID LEAK CELL CELL LIQUD LEAK LASERCELL DATA LINK LD OUTLET PARTICLE SENSORLD POWER KS-41A POWER POWER POINT1 POINT2 POINT19 POINT20 KL-28B/28BF KS-16/16F KS-17B KZ-51/KS-41A 19 PARTICLE COUNTERS AIRBORNE PARTICLE COUNTERS LIQUID-BORNE PARTICLE COUNTERS GAS-BORNE PARTICLE COUNTERS MONITORING SYSTEM PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS PARTICLE COUNTERS VALIDATION PARTICLE COUNTERS OPTION COMPANY OUTLINE 気中 液中 ガス 多点モニタリングシステム 医薬 バリデーション オプション 会社概要

PARTICLE COUNTERS PHARMACEUTICAL PRODUCTS 医薬 注射剤管理 注射剤は直接人体に注入されるため、その不溶性微粒子の粒径と 場合は、パーティクルセンサKS-42D・コントローラKE-40B1・ 粒子数は薬局方において規定されています。製薬においては、電 シリンジサンプラKZ-30W1の組み合わせで薬局方（オプション） 子工業とは異なり不良品の発生を工場で確認することができな に準じた測定が可能です。 いこともあり、最悪の場合、患者にまで影響がおよぶこともあり JP、USP、EP、KP、ChPの不溶性微粒子試験の判定規格 ます。従ってその製造工程および検査は、注射剤が目的とする成 JP/KP/ChP USP/EP 分であり、不溶性微粒子や微生物および異物が含まれていないこ 10 μm以上 25個以下/mL（100 mL以上） 25個以下/mL（100 mL超） 大容量 とを科学的に証明できる方法で行う必要があります。 25 μm以上 ３個以下/mL（100 mL以上） ３個以下/mL（100 mL超） 日本薬局方には不溶性微粒子を測定する装置「光遮蔽型自動粒 10 μm以上 6000個以下/容器（100 mL未満） 6 000個以下/容器（100 mL以下）小容量 25 μm以上 600個以下/容器（100 mL未満） 600個以下/容器（100 mL以下） 子測定装置」についても規定しています。主な規定項目として、測 定原理、校正用粒子、粒径精度、粒径分解能、試料容量精度、計 数率などがあります。測定原理は、光遮蔽方式でなければなりま KL-04AにXP-54 せん。米国薬局方や欧州薬局方においても，光遮蔽方式の適切な を追加することで、 装置を用いることを求められています。 加圧しながら試料を 測定することが可能 光遮蔽型自動微粒子測定装置KL-04Aは各薬局方（オプション） に準じた測定が可能です。センサ・コントローラ・シリンジサンプ 加圧チャンバー ラの各部が一体化しています。測定データ・測定パラメータは 自動的に本体に保存され、合否判定機能も持っています。外部出 XP-54 力する機能を利用することでLIMS（Laboratory Information 対象試料 試料およびそのガスにより本装置の材質を腐食させない液体 チャンバー内圧力 50 kPa Management System）などにも対応可能です。 接液部材質 PTFE、PFA、PP、FKM（フッ素ゴム） またセンサ・コントローラ・シリンジサンプラの分離型を希望の 大きさ・重さ 約 340（H）×245（W）×245（D）mm・約12 kg（ポンプ除く） （受注製品） 光遮蔽型自動微粒子測定装置 KL-04A（　光遮蔽方式） 21CFR Part 11 対応 光源 半導体レーザ（波長780 nm、定格出力3mW） 接液部材質 サンプリングチューブ：PFA　 センサ部：合成石英、PFA、パーフロ シリンジポンプ：ほうけい酸ガラス、Kel-F（PCTFE）、PTFE、PFA チューブ、パッキン、継手：PTFE、PCTFE　 試料台試料瓶受皿：ポリアセタール 定格流量 25ｍL/min（工場オプションにて10 mL/min） 可測粒径範囲 1.3 μm～100μm 粒径区分 1～20段階の範囲で任意に設定可能 最大粒子個数濃度 10 000個/ｍL（計数損失10 %以内） 電源 AC100 V～240 V、50/60 Hz 、約 100 VA 大きさ・重さ 約 363（H）×360（W）×236（D）mm・約13 kg 20