半導体製造産業向け流量計

Flow measurement of cooling water Flowmeters for Utility 冷却水の流量測定 ユーティリティ Mini Wheel Flowmeter Mini Wheel Flowmeter W-2000/W-2000N W-3000 Clamp-on Ultrasonic Flowmeter ミニホイールフローメータ ミニホイールフローメータ UL330 UL350 ・低温流体の測定に対応 ・ 流体温度150℃ シンプル機能スタンダードモデル UL330の高機能モデル ・各種冷却水装置、半導体チラー装置に W-2000 まで対応可能 ・幅広い流量レンジ ・半導体純水設備等の純水流量測定に ・25A～1000Aの幅広い配管にフレキシブルに対応 ・25A～400Aの配管にフレキシブルに対応 ・RS-485デジタル通信に対応 測定対象 液体全般 流量レンジ 最大：10～100L/min　最小：0.5～3L/min 流体温度 -40～100℃ 流体圧力 1.0MPa max. プロセス接続 Rc3/8, Rc1/2, Rc3/4 材質 SCS14、ポリカーボネート、NBR、FKM、EPDM、 FVMQ、PPS、PTFE、石英ガラス、HC-276 測定対象 液体全般 流量レンジ 最小：0.5～3L/min　最大：6～60L/min 流体温度 5～150℃ Mini Turbine Flowmeter 流体圧力 1.0MPa max. サイズ Rc3/8, Rc1/2, Rc3/4 材質 SCS14、SUS316、PPS、PTFE、石英ガラス、 TW-080/TW-090 FKM、FVMQ 羽根車流量計 ・各種冷却水の流量測定に最適 Manifold mini-wheel ・ コストパフォーマンスに優れた汎用の羽根車流量計 TW-080 Flowmeters 測定対象 液体 測定対象 液体 機能 瞬時流量表示、積算流量表示、 機 能 瞬時流量表示、積算流量表示、電流出力、 測定対象 液体全般 電流出力、パルス出力、状態出力 パルス出力、状態出力、RS485シリアル出力（オプション） 流量範囲 最大：2～20L/min　最小：0.2～2L/min 最小流量レンジ（水換算） 0～0.3m/s 最小流量レンジ（水換算） 0～0.3m/s 流体温度 0～60℃ MU-1000 最大流量レンジ（水換算） 0～10m/s 最大流量レンジ（水換算） 0～10m/s 流体圧力 1MPa max. マニホールドミニホイール プロセス接続 25A～400A プロセス接続 25A～1000A サイズ Rc1/4､ Rc3/8 配管材質 金属管・樹脂管 配管材質 金属管・樹脂管、ポリエチレンライニング管 材質 SCS14、ナイロン ZrO2、NBR TW-090 フローメータ ・ 低温流体の測定に対応 ・ 各種冷却水装置、半導体チラー装置に Mini Wheel Flowmeter W-1000 ミニホイールフローメータ Thermal Flowmeter TH シリーズ サーマルフローメータ　気体用熱式流量計 ・ 樹脂タイプの羽根車流量計で材質PTFEも選択可 ・幅広い流量レンジに対応 ・各種ガスの流量測定に　・圧力および温度変動に影響されない質量流量の計測が可能 ・ 各種出力選択可能 測定対象 水相当の液体 TH-1100 TH-1200 TRX-600 測定対象 液体全般 流量レンジ 最小：0.6～3L/min.　最大：2～20L/min. 配管挿入形センサ フランジ取付形センサ コンバータ 流量レンジ 最小：0.3～1L/min　最大：6～60L/min 流体温度 0～120℃ 流体温度 5～80℃ 流体圧力 1.0MPa max. ・THシリーズと組み合わせて使用 流体圧力 0.7MPa max. 接続 Rc3/4 サイズ Rc1/4, Rc3/8, Rc1/2, Rc3/4 材質 SCS14、SUS304、PPS、PTFE、石英ガラス、 材質 PP、PVC、PTFE PTFE、ポリカーボネート、NBR Gas flow measurement プロセス接続 配管ノズルフランジ（標準32AJIS10K） プロセス接続 配管ノズルフランジ（標準JIS10K） ハウジング構造 IP65相当 ガスの流量測定 配管口径 50A～350A、オプション400A～1500A 配管口径 50A～150A 表示 上段：瞬時流量6桁LED 流体温度 240℃ max. 流体温度 180℃ max. 下段：積算流量8桁LED 使用圧力 1.0MPa max. 使用圧力 1.0MPa max. 出力 パルス、電流、警報、RS485 流量レンジ 最大：空気0～681490m³/h（nor） 流量レンジ 最大：空気0～7360m³/h（nor） 電源 AC100,110,115V ±10% Mini Thermal Mass Flowmeter TF-641D 最小：空気0～45m³/h（nor） 最小：空気0～5m³/h（nor） AC200,220,240V ±10% 材質 SUS304、SUS316、SUS316L、フッ素ゴム 材質 SUS304、SUS316、SUS316L、フッ素ゴム 精度 2.0% F.S. ±1digit TF-600D/600V 測定対象 空気、窒素、他 流量レンジ 最大：0～1000L/min（nor） ミニサーマルマス 最小：0～5L/min（nor） Specication is subject to change without notice. フローメータ 流体温度 0～50℃ 流体圧力 -0.05～0.75MPa ・ 視認性に優れた表示器を搭載 出力 パルス、電流、警報、RS485 精度 ±3% F.S. ・ 空気、窒素、その他ガスの測定に 接続 Rc1/4、1/4VCR、Rc3/8、3/8SWL、 ・ 流量調整バルブ搭載モデルも 3/8VCR、Rc1/2、1/2SWL、1/2VCR、 Rc3/4、3/4SWL ラインアップ 材質 SCS16、SUS316、POM、Ni、 TF-621V 本　社 〒105-8558 東京都港区芝公園1-7-24 芝東宝ビル ポリイミド、エポキシ、フッ素ゴム TEL：03-3434-0441（代）　FAX：03-3434-0455 https://www.tokyokeiso.co.jp 半導体製造産業向け流量計 SP-F2260-J00 初版 2022 12 E P5 H4 H1

Flowmeters for Semiconductor manufacturing equipment 半導体製造装置向け流量計 純水、水、 High precision Ultrasonic Flowmeter Clamp-on Ultrasonic Flowmeter Ultrasonic Flow Monitor 薬液に Flow Controller Integrated Flow Controller UCUF-E/UCUF-K GST/SFC011GS UF FC6000 CLFC300 超音波流量計 検出器 ガイド波式クランプオン超音波流量計 PFA一体形超音波流量計 流量コントローラ 一体形流量コントローラ ・小流量の超純水や各種薬液などの高精度計測用に ・PFA小口径チューブ用のクランプオン超音波流量計 ・ 表示付きの変換器一体形超音 ・超 音波流量計とコントロールバルブおよび ・一体形でコンパクト、省スペース ・接液部はすべてPFAで可動部、機械的シール部はなし ・既設のチューブに挟み込むだけで流量計測可能 波流量計 変換器で構成される分離形の流量コントローラ ・ 純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量 ・半導体製造装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに ・変換器は1台で最大6台までの検出器を接続可能 ・ストレートPFAチューブを採用 ・ 純水、超純水、各種薬液、 制御に ・SFC形変換器と組み合わせて使用 ・ 超純水、純水、水、薬液、 CMPスラリーなどの流量制御に ・流量検出にPFA製高精度超音波流量計を採用 CMPスラリー等の流量測定に ・広範囲の流量制御が可能 測定対象 液体全般 流量範囲 最大：0～80L/min 流体温度 10～60℃ 最小：0～50mL/min 測定対象 各種液体 流体圧力 0.5MPa max. サイズ UCUF-E：4mm, 6mm 流体温度 10～90℃ UCUF-E UCUF-K 精度 ±1% R.D（. 流速≧1m/s） UCUF-K：10mm, 15mm, 20mm 流体圧力 0.5MPa max. 電源 DC24V ±10 % 流量範囲 最大：0～150L/min 最小：0～20L/min サイズ 1/2", 3/4", 1" 精度 ±2% F.S（. 1digit） GST FCA6000 UCUF-E Ultrasonic Flowmeter Converter SFC3000 SFC4000 FCV-3400 DINレール取付形 超音波流量計 変換器 パネルマウント形 超音波流量計 変換器 Ultrasonic Flow Monitor 測定対象 液体全般 測定・制御対象 液体全般（安定した計測には、液体に気泡を含まないこと。） 流量レンジ 最大：0～10L/min 流量レンジ スラリー用（ピンチチューブバルブ）50～500mL/min ・UCUF検出器と組み合わせて使用 ・UCUF検出器と組み合わせて使用 SFC011GS 最小：0～2.5mL/min 純水、薬液用（ニードルバルブ） 5～50mL/min～ 200～2000mL/min ・コンパクト、省スペース仕様 ・視認性の良いLCDモニターを採用 UCF006 測定対象 純水、フォトレジスト、 流量範囲 最大：0～2.0L/min 流体温度 5～50℃ 使用最大圧力 0.4MPa max. ・従来品と比べ流体に含まれる気泡に対する影響を軽減 ・瞬時流量や積算流量、各種ステータスを表示・変更が可能 Low-K材、シンナー 最小：0～0.5L/min コンパクト超音波流量モニタ 流体圧力 0.3MPa max. プロセス接続 φ1/4" SUPER300 TYPE PILLAR FITTING 流体温度 常温 適合チューブ PFA 1/8”, 1/4”, 出力 パルス、電流、警報、RS485 φ1/4" FLARE TYPE FITTING （温度変化 ±0.5℃） サイズ 4mm, 5mm, 6mm 材質 SCS16、SUS316、POM、Ni、ポリイミド、エポキシ、 材質 PFA、PTFE（ピンチチューブ） 流体圧力 0.5MPa max. 精度 ±2% R.D（>0.8L/min） フッ素ゴム 電源 DC24V ±10 % 変換器取付 DINレール ・ 超純水、純水、水の 測定対象 純水、水 Small Variable Area Flowmeter 出力 パルス・警報・電流 通信機能 RS485 Clamp-on Ultrasonic Flowmeter 流量測定に 流体温度 10～80℃ 流体圧力 0.5MPa max. ・ コンパクトで省スペース 出力 パルス・警報・電流 通信機能 RS485 表示 バックライト付LCD 電源 DC24V ±10% 電源 DC24V ±10% P series Purge meters 電源 DC24V ±10% 材質 ABS樹脂 材質 ABS樹脂 周囲温度 0～50℃ UCL/ ・低圧力損失 流量範囲 0～8L/min 周囲温度 0～60℃ 取付 DINレール 取付 パネルマウント サイズ 6mm パージメータ SFC010C（1ch） 精度 ±2% R.D （>1.7L/min） ・汎用の小形面積流量計で各種ガスから薬液・純水・水まで幅広い流体の測定に対応 SFC011C（6ch） ・現場指示と警報出力にも対応 クランプオン超音波流量計 ・装置組み込みからプロセスまで様々な場面で使用可能 Ultrasonic Flowmeter Ultrasonic Flowmeter for ・PFAチューブ用のクランプオン超音波流量計 ・小口径から1”まで幅広いチューブサイズに対応 for small flow rate high temperature liquid ・1台の変換器で最大6台までの検出器を接続可能 Vortex Flow Sensor UCUF-02M/SFC-010L UCUF-04MT/SFC-010T VF-2000/VF-3000 液体微小流量用超音波流量計 高温液体用小口径超音波流量計 渦式フローセンサ ・ 最小フルスケール流量10mL/minが ・流体温度180℃まで対応可能 ・冷 却水、超純水、純水 設定可能 ・ 純水や各種薬液などの高温流体を などの流量測定に ・ 超純水や各種薬液などの微小流量を 高精度で測定 ・ コストパフォーマンスに 高精度で測定 UCUF-02M 優れた汎用の渦式流量 P-880 P-510 P-771 P-710 ・ 接液部はすべてPFAで理想的なク センサ 形式 P-880 P-510 P-771 P-710 リーン構造 UCUF-04MT 測定対象 気体 気体・液体 液体 気体・液体 測定対象 液体全般 測定対象 液体全般 機能 現場指示 現場指示、警報出力 現場指示、警報出力 現場指示、警報出力 流体温度 10～90℃ 流体温度 10～180℃ VF-3000 最小流量レンジ（水換算） − 0.1～1L/min 3～15mL/min 3～30mL/min 流体圧力 0.5MPa max. 流体圧力 0.5MPa max（. 流体温度<120℃） 最大流量レンジ（水換算） − 3～30L/min 0.2～2L/min 0.4～2L/min 出力 パルス・警報・電流 出力 パルス・警報・電流 UCL SFC011C 形式 VF-2000 VF-3000 最小流量レンジ（空気換算） 0.15～1.5mL/min（nor） 2.5～25L/min（nor） − 50～500mL/min（nor） 電源 DC24V ±10% 電源 DC24V ±10% 測定対象 液体全般 液体全般 最大流量レンジ（空気換算） 6～60L/min（nor） 60～600L/min（nor） − 2～20L/min（nor） 流量範囲 最大：0～100L/min 流量範囲 最大：0.8～2.0L/min 測定対象 液体全般 適合チューブ PFA 6mm, 8mm, 流体温度 10～70℃ 10～90℃ 取付面間 115・130・145mm 200mm 80mm 79mm 最小：0～10mL/min 最小：0.1～0.8L/min 流体温度 10～60℃ サイズ 10mm, 6.35mm, 流体圧力 1MPa max. 1MPa max. プロセス接続 Rc1/4，SW1/4，VCR1/4 Rc3/8 Rc1/8 Rc1/8 サイズ 2.5mm サイズ 4mm 9.53mm, 12.70mm 流量範囲 最大：4～40L/min 最大：15～150L/min 各種継手チューブエンド 各種継手 SFC-010T 流体圧力 0.5MPa max. , 精度 ±1% R.D（≧25mL/min） 精度 ±1% R.D（流速≧1m/s以上） 電源 DC24V ±10% 19.05mm, 25.40mm 最小：0.5～4L/min 最小：0.3～2.5L/min 警報 − UL対応リードスイッチ オプティカルアラームユニット オプティカルアラームユニット 表示 4桁LED 瞬時流量（mL/min） 流量範囲 最大：0～80L/min 精度 ±2% R.D（>0.8L/min） 1/2 3/8", 3/4", 1" オプティカルアラームユニット 変換器取付 DINレール SFC-010L 表示 4桁LED（瞬時流量％） サイズ R3/8, R 変換器取付 DINレール 最小：0～3L/min 変換器取付 DINレール 本体材質 PPS樹脂 New PFA 材質 SCS14/SUS316 SCS14/SUS304 PFA ETFE P2 P3 P4