流量計・窒素ガス発生装置　コフロック　製品カタログ

FLOW INSTRUMENTS General Catalog

流体を科学する K O F L O C c o n t r i b u t e s t o S D G s b y o u r c u t t i n g e d g e t e c h n o l o g i e s o f  o w m e a s u re m e n t a n d c o n t ro l f o r g a s a n d l i q u i d .

流体を科学する K O F L O C c o n t r i b u t e s t o S D G s b y o u r c u t t i n g e d g e t e c h n o l o g i e s o f  o w m e a s u re m e n t a n d c o n t ro l f o r g a s a n d l i q u i d .

人と地球の新時代を見つめる。 地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の微少流量域を主とした計測・制御技術を探究すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。 003 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 004

人と地球の新時代を見つめる。 地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の微少流量域を主とした計測・制御技術を探究すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。 003 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 004

CONTENTS マ ス フ マスフローコントローラ/メータ(電子式流量計) ロ ー コ ン Mass Flow Controller / Mass Flow Meter ト ロ ー マスフローコントローラ/メータは、メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受 ラ ／ メ ー けづらく、また、流量を電気信号でやりとりできる特徴があります。精度、再現性、応答性、コストを要求される、半導体、光ファイバー、 タ（ 電 分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置で用いられ MODEL EX-700R MODEL FML-300 子 式 ています。それ以外にも、液体用の電子式流量計として、カルマン渦流量計や超音波流量計もラインナップしております。 SERIES SERIES 流 量 計 ） フローメータ Variable Flow Meter フ ロ ー フローメータ(面積式流量計)は、上端が下端より拡がった円錐状の筒(テーパ管)の中に浮子(フロート)を入れたもので、流量の大小によりフロー メ トが上下し、その釣り合う位置を読み取り、流量を求めるものです。弊社では流量計測だけでなく流量制御も行うことができるバルブ付フロー MODEL RK1200 MODEL RK20T ー SERIES SERIES タ メータや警報機能付フローメータなど様々な製品を取り揃えております。 流量制御バルブ MODEL 2412D Flow Control Valve SERIES 流 量 MODEL 2412 制 流量制御バルブは、小さなオリフィスとなった流路を針状あるいは棒状のニードルで開度調整しその流路抵抗変化により流量制御す SERIES 御 バ るニードルバルブが一般的です。弊社では精密タイプや簡易タイプなど様々なニードルバルブに加え、ニードルバルブとダイヤフラ ル ブ ムを組み合わせたフローコントローラや、電気的に流量制御を行う比例ソレノイドバルブまで製造しております。 2412L 2412T 圧力制御バルブ MODEL 6610 圧 Pressure Control Valve 力 制 圧力制御バルブには減圧弁と背圧弁があり、減圧弁は、一次側の変動する圧力に対し二次側の圧力を一定にするための調節弁で、一 御 バ 般に装置の初段に多く用いられます。これに対し背圧弁は、一次側圧力が設定値以上になった時、圧力を逃がして一次側圧力を一定 ル MODEL 6600 ブ にする弁です。 SERIES その他配管部品 そ Pressure gauge and other parts の 他 配 管 部 DU/DRMU/DMT MODEL 2300 品 SERIES SERIES ガ ス ガス発生装置/エンジニアリング装置 発 生 装 The Gas Generator / Engineering Device 置 ／ エ ン ジ ニ BRENDA Mini-CUBE ア SERIES SERIES リ ン グ 装 置 005 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 006

CONTENTS マ ス フ マスフローコントローラ/メータ(電子式流量計) ロ ー コ ン Mass Flow Controller / Mass Flow Meter ト ロ ー マスフローコントローラ/メータは、メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受 ラ ／ メ ー けづらく、また、流量を電気信号でやりとりできる特徴があります。精度、再現性、応答性、コストを要求される、半導体、光ファイバー、 タ（ 電 分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置で用いられ MODEL EX-700R MODEL FML-300 子 式 ています。それ以外にも、液体用の電子式流量計として、カルマン渦流量計や超音波流量計もラインナップしております。 SERIES SERIES 流 量 計 ） フローメータ Variable Flow Meter フ ロ ー フローメータ(面積式流量計)は、上端が下端より拡がった円錐状の筒(テーパ管)の中に浮子(フロート)を入れたもので、流量の大小によりフロー メ トが上下し、その釣り合う位置を読み取り、流量を求めるものです。弊社では流量計測だけでなく流量制御も行うことができるバルブ付フロー MODEL RK1200 MODEL RK20T ー SERIES SERIES タ メータや警報機能付フローメータなど様々な製品を取り揃えております。 流量制御バルブ MODEL 2412D Flow Control Valve SERIES 流 量 MODEL 2412 制 流量制御バルブは、小さなオリフィスとなった流路を針状あるいは棒状のニードルで開度調整しその流路抵抗変化により流量制御す SERIES 御 バ るニードルバルブが一般的です。弊社では精密タイプや簡易タイプなど様々なニードルバルブに加え、ニードルバルブとダイヤフラ ル ブ ムを組み合わせたフローコントローラや、電気的に流量制御を行う比例ソレノイドバルブまで製造しております。 2412L 2412T 圧力制御バルブ MODEL 6610 圧 Pressure Control Valve 力 制 圧力制御バルブには減圧弁と背圧弁があり、減圧弁は、一次側の変動する圧力に対し二次側の圧力を一定にするための調節弁で、一 御 バ 般に装置の初段に多く用いられます。これに対し背圧弁は、一次側圧力が設定値以上になった時、圧力を逃がして一次側圧力を一定 ル MODEL 6600 ブ にする弁です。 SERIES その他配管部品 そ Pressure gauge and other parts の 他 配 管 部 DU/DRMU/DMT MODEL 2300 品 SERIES SERIES ガ ス ガス発生装置/エンジニアリング装置 発 生 装 The Gas Generator / Engineering Device 置 ／ エ ン ジ ニ BRENDA Mini-CUBE ア SERIES SERIES リ ン グ 装 置 005 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 006

カタログの利用について ■ 製品の保証及び期間 平素はコフロック製品をご愛用いただきまして誠にありがとうございます。さて本カタログにより弊社製品をご注文いただく際、見積書、 契約書、仕様書などに特記事項の記載がない場合は、下記の通りとさせて頂きます。 保証内容 ① 保証期間 保証期間は、弊社仕様範囲内にて出荷後１年間といたします。 ② 保証範囲 保証期間中に弊社の責に帰するべき事由により弊社製品に不具合が生じた場合には、代替品の提供または弊社工場にて無償により 修理いたします。なお、弊社の責に帰すことが出来ない事由により生じた損害、弊社製品の故障に起因するお客様での機会損失、逸失 利益、二次災害、事故、弊社製品以外への損傷及びその他の補償については、弊社の保証対象外といたします。 ③ 保証範囲外 保証期間内であっても次の事由に該当する場合は、保証範囲外となります。 a 使用上の誤り、及び不当な修理や改造による故障。（製作仕様とご使用時の条件が異なる場合を含みます） b ご購入後の落下等にる損傷および故障。 c 火災、地震、水害、落雷等の自然災害または暴動によって生じた故障。 d 配管内からの異物混入により生じた故障。 e 組込まれた装置との組合せに起因する特有の問題から生じた故障。 f その他弊社の責任外と判断される場合。 尚、弊社製品の故障に起因するお客様あるいはお客様の顧客殿での機会損失ならびに弊社製品以外への損傷、その他の損害は弊社の保証外とい たします。　　 ■ 各種指令・規制への対応について ■ 価格について 各種指令・規制への対応については、製品名をご指定頂き、弊社営 ● 製品の価格については、都度ご照会ください。 業所にお問い合わせください。 ● 価格はできる限り維持するよう努めますが、原材料、人件費等の 高騰により予告なく変更する場合がありますので、ご了承ください。 ■ 圧力表記について ● 運送費・荷造費・保険料・据付料は別途加算させて頂きます。 弊社カタログにて使用している圧力基準は全て「ゲージ圧力（G）」と して表記しております。「絶対圧力（abs）」表記ではございません。 ■ ご使用にあたって ■ 技術サポート 取扱説明書をご熟読の上、仕様に合致した方法でご使用くださいま 弊社製品に関する技術資料、FAQ等は、ホームページにて公開・更 すようお願い致します。 新しております。 ■ 製品の改良と規格変更 ■ お問い合わせ より一層の性能向上のため、仕様・外観・付属品などをおことわりな 弊社製品に関するご質問・ご意見・ご要望は、ホームページのお問い合 しに変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。 わせフォームをご使用いただくか、弊社営業所までご連絡ください。 各セクション名 注文方法 ページ項 このカタログはホームページでもご覧になれます。 https://www.kooc.co.jp 007 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 008

マスフロー コントローラ/ メータ Mass Flow Controller / Mass Flow Meter FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 008

Mass Flow Control ler / Mass Flow Meter マ マ ス ス フ ロ マスフローコントローラ/メータ（電子式流量計） 商品一覧 流体 MFC FC コントローラ MFM FM メータ フ ロ ー ー コ 気 体 液 体 コントローラ コントローラ メータ メータ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ラ ／ ／ メ メ ー ー タ FC FM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM （ タ（ 電 電 子 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ※バルブ付有 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ ※バルブ付有 子 式 流 温度補正付液体用 表示器付デジタル 小型デジタル メタルシール メタルシール 表示器付ローコスト 式 流 量 量 計 NEW ） 小型カルマン渦流量計 マスフローメータ マスフローコントローラ/メータ マスフローコントローラ マスフローメータ マスフローメータ 計 ） MODEL FML-300 EXE-FLOW™ SERIES MODEL EX-250S SERIES MODEL 5100 SERIES MODEL 5410 SERIES MODEL 3810DSⅡ SERIES MODEL EX-700R SERIES フ フ ロ 最大流量 : 液 体 2.5～100L/min 最大流量 : 気 体 10SCCM～500SLM 最大流量 : 気 体 5SCCM～10SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM ロ ー ー メ 精 度：±2～3%F.S. 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±2～3%F.S. メ ー 電 源： 12～24VDC ー タ 電 源： 24VDC 電 源：±15VDC/24VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源： 24VDC タ ■ 温度センサ搭載 ■ 表示器付 ■ 高速応答 ■ 接液部オールPFA ■ ガス種切替 ■ ガス種切替 ■ ダイヤフラム ■ 表示器付 （ オーリングレス） ■ RS485通信 ■ RS485通信 　 シートバルブ P017 P019 P021 P031 P032 P033 精密ニードルバルブ 流 流 量 量 制 制 御 MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM 御 バ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ バ ル ル ブ メタルシールデジタル 表示器付 スタンダード ローコスト 大流量用 大流量用 ブ マスフローコントローラ/メータ マスフローコントローラ/メータ NEW マスフローコントローラ マスフローセンサ マスフローコントローラ マスフローメータ MODEL EX-550 SERIES MODEL 8700 SERIES MODEL 3660 SERIES MODEL 3810S SERIES MODEL HFC-303 SERIES MODEL HFM-301 SERIES 最大流量 : 気 体 10SCCM～5SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～50SLM 最大流量 : 気 体 100～1000SLM 最大流量 : 気 体 100～1000SLM 圧 圧 力 精 度：±1%S.P（. 25～100%F.S.） 力 制 ±0.25%F.S（. ～25%F.S.） 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±3～5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 制 御 電 源：±15VDC/24VDC 御 バ 電 源： 24VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC バ ル ル ブ ■ 高速応答 ■ ガス種切替 ■ 表示器付 ブ ■ RS485通信 ■ RS485通信 P023 P025 P027 P034 P035 P036 そ 圧 の MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM FC FM 力 他 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 制 配 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 御 管 スタンダード ハイグレード ハイグレード 低圧力損失大流量用 液体用小型 バ 部 ル 品 マスフローメータ マスフローコントローラ マスフローメータ マスフローメータ ハンディ質量流量制御/計測ユニット カルマン渦流量計 ブ MODEL 3760 SERIES MODEL 3200 SERIES MODEL 3100 SERIES MODEL HFM-200W/LS SERIES FLOW COMPO™ MODEL FM01 SERIES ガ ス 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 1500～15000SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 液 体 4～150L/min 発 生 装 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±3～5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±3%F.S. 圧 置・ 力 エ 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源： 100VAC 電 源： 12～24VDC 制 ン ジ 御 ニ ■ ダイヤフラム ■ ハンドル付 バ ア ル リ 　 シートバルブ ブ ン グ 装 P028 P029 P030 P037 P038 P039 置 009 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 010

Mass Flow Control ler / Mass Flow Meter マ マ ス ス フ ロ マスフローコントローラ/メータ（電子式流量計） 商品一覧 流体 MFC FC コントローラ MFM FM メータ フ ロ ー ー コ 気 体 液 体 コントローラ コントローラ メータ メータ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ラ ／ ／ メ メ ー ー タ FC FM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM （ タ（ 電 電 子 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ※バルブ付有 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ ※バルブ付有 子 式 流 温度補正付液体用 表示器付デジタル 小型デジタル メタルシール メタルシール 表示器付ローコスト 式 流 量 量 計 NEW ） 小型カルマン渦流量計 マスフローメータ マスフローコントローラ/メータ マスフローコントローラ マスフローメータ マスフローメータ 計 ） MODEL FML-300 EXE-FLOW™ SERIES MODEL EX-250S SERIES MODEL 5100 SERIES MODEL 5410 SERIES MODEL 3810DSⅡ SERIES MODEL EX-700R SERIES フ フ ロ 最大流量 : 液 体 2.5～100L/min 最大流量 : 気 体 10SCCM～500SLM 最大流量 : 気 体 5SCCM～10SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM ロ ー ー メ 精 度：±2～3%F.S. 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±2～3%F.S. メ ー 電 源： 12～24VDC ー タ 電 源： 24VDC 電 源：±15VDC/24VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源： 24VDC タ ■ 温度センサ搭載 ■ 表示器付 ■ 高速応答 ■ 接液部オールPFA ■ ガス種切替 ■ ガス種切替 ■ ダイヤフラム ■ 表示器付 （ オーリングレス） ■ RS485通信 ■ RS485通信 　 シートバルブ P017 P019 P021 P031 P032 P033 精密ニードルバルブ 流 流 量 量 制 制 御 MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM 御 バ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ バ ル ル ブ メタルシールデジタル 表示器付 スタンダード ローコスト 大流量用 大流量用 ブ マスフローコントローラ/メータ マスフローコントローラ/メータ NEW マスフローコントローラ マスフローセンサ マスフローコントローラ マスフローメータ MODEL EX-550 SERIES MODEL 8700 SERIES MODEL 3660 SERIES MODEL 3810S SERIES MODEL HFC-303 SERIES MODEL HFM-301 SERIES 最大流量 : 気 体 10SCCM～5SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM 最大流量 : 気 体 10SCCM～50SLM 最大流量 : 気 体 100～1000SLM 最大流量 : 気 体 100～1000SLM 圧 圧 力 精 度：±1%S.P（. 25～100%F.S.） 力 制 ±0.25%F.S（. ～25%F.S.） 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±3～5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 制 御 電 源：±15VDC/24VDC 御 バ 電 源： 24VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC バ ル ル ブ ■ 高速応答 ■ ガス種切替 ■ 表示器付 ブ ■ RS485通信 ■ RS485通信 P023 P025 P027 P034 P035 P036 そ 圧 の MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM FC FM 力 他 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 制 配 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 御 管 スタンダード ハイグレード ハイグレード 低圧力損失大流量用 液体用小型 バ 部 ル 品 マスフローメータ マスフローコントローラ マスフローメータ マスフローメータ ハンディ質量流量制御/計測ユニット カルマン渦流量計 ブ MODEL 3760 SERIES MODEL 3200 SERIES MODEL 3100 SERIES MODEL HFM-200W/LS SERIES FLOW COMPO™ MODEL FM01 SERIES ガ ス 最大流量 : 気 体 10SCCM～100SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 気 体 1500～15000SLM 最大流量 : 気 体 1SCCM～20SLM 最大流量 : 液 体 4～150L/min 発 生 装 精 度：±1～1.5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±3～5%F.S. 精 度：±1%F.S. 精 度：±3%F.S. 圧 置・ 力 エ 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源：±15VDC 電 源： 100VAC 電 源： 12～24VDC 制 ン ジ 御 ニ ■ ダイヤフラム ■ ハンドル付 バ ア ル リ 　 シートバルブ ブ ン グ 装 P028 P029 P030 P037 P038 P039 置 009 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 010

Mass Flow Control ler / Mass Flow Meter マ マ ス ス フ フ ロ マスフローコントローラ/メータ（電子式流量計） 商品一覧 流体 MFC FC コントローラ MFM FM メータ ロ ー ー コ 気 体 液 体 コントローラ コントローラ メータ メータ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ラ ／ ／ メ メ ー ー タ FC FM FC FM FC FM MFC MFM MFC MFM （ タ（ 電 電 子 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 子 式 式 流 液体用小型 マスフローコントローラ/ 流 量 量 計 カルマン渦流量計 液体用超音波流量計 液体用超音波流量計 計 ） メータ用ACアダプタ ） MODEL FM31 SERIES MODEL FML-500 MODEL HLF800 PSK-83CE/PSK-85CE/ マスフローコントローラ/ SERIES PSK-38DSⅡ メータ用ケーブル/アクセサリ適応表 フ フ ロ 最大流量 : 液 体 4～100L/min 最大流量 : 液 体 5L/min 最大流量 : 液 体 2～80L/min ロ ー ー メ 精 度：±3%F.S. 精 度：±30mL/min～1.5%F.S. 精 度：±1%R.D. メ ー ー タ 電 源： 12～24VDC 電 源： 24VDC 電 源： 24VDC タ ■ 接液部オールPFA 　（ オーリングレス） P040 P041 P043 P048 P049 流 流 量 量 制 制 御 MFC MFM MFC MFM MFC MFM 御 バ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ バ ル ル ブ ブ コンパクトリードアウトユニット 流量設定器 瞬時流量表示器 MODEL CR-400B MODEL CK SERIES MODEL DPM-3 圧 圧 力 力 制 制 御 御 バ バ ル ル ブ ブ CK-1A CK-2A CK-3A P045 P046 P046 CK-1A CK-2A CK-3A そ の MFC MFM MFC MFM MFC MFM 圧 力 他 配 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 制 御 管 マスフローコントローラ/ バ 部 品 瞬時/積算流量表示器 メータ用電源 マスフローメータ用電源 ル ブ MODEL DPM-243/ MODEL PSK-FB SERIES MODEL PSK-2TFX DPM-2441 ガ ス 発 生 装 圧 置・ 力 エ 制 ン ジ PSK-1FB PSK-3FB PSK-6FB 御 ニ バ ア ル リ ブ ン グ PSK-P1SFKB-1FB PSK-P3SFKB-3FB PSK-P6SFKB-6FB 装 P046 P047 P048 置 011 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 012

Mass Flow Control ler / Mass Flow Meter マ マ ス ス フ フ ロ マスフローコントローラ/メータ（電子式流量計） 商品一覧 流体 MFC FC コントローラ MFM FM メータ ロ ー ー コ 気 体 液 体 コントローラ コントローラ メータ メータ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ラ ／ ／ メ メ ー ー タ FC FM FC FM FC FM MFC MFM MFC MFM （ タ（ 電 電 子 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 子 式 式 流 液体用小型 マスフローコントローラ/ 流 量 量 計 カルマン渦流量計 液体用超音波流量計 液体用超音波流量計 計 ） メータ用ACアダプタ ） MODEL FM31 SERIES MODEL FML-500 MODEL HLF800 PSK-83CE/PSK-85CE/ マスフローコントローラ/ SERIES PSK-38DSⅡ メータ用ケーブル/アクセサリ適応表 フ フ ロ 最大流量 : 液 体 4～100L/min 最大流量 : 液 体 5L/min 最大流量 : 液 体 2～80L/min ロ ー ー メ 精 度：±3%F.S. 精 度：±30mL/min～1.5%F.S. 精 度：±1%R.D. メ ー ー タ 電 源： 12～24VDC 電 源： 24VDC 電 源： 24VDC タ ■ 接液部オールPFA 　（ オーリングレス） P040 P041 P043 P048 P049 流 流 量 量 制 制 御 MFC MFM MFC MFM MFC MFM 御 バ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ バ ル ル ブ ブ コンパクトリードアウトユニット 流量設定器 瞬時流量表示器 MODEL CR-400B MODEL CK SERIES MODEL DPM-3 圧 圧 力 力 制 制 御 御 バ バ ル ル ブ ブ CK-1A CK-2A CK-3A P045 P046 P046 CK-1A CK-2A CK-3A そ の MFC MFM MFC MFM MFC MFM 圧 力 他 配 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 気 体 液 体 コントローラ メータ 制 御 管 マスフローコントローラ/ バ 部 品 瞬時/積算流量表示器 メータ用電源 マスフローメータ用電源 ル ブ MODEL DPM-243/ MODEL PSK-FB SERIES MODEL PSK-2TFX DPM-2441 ガ ス 発 生 装 圧 置・ 力 エ 制 ン ジ PSK-1FB PSK-3FB PSK-6FB 御 ニ バ ア ル リ ブ ン グ PSK-P1SFKB-1FB PSK-P3SFKB-3FB PSK-P6SFKB-6FB 装 P046 P047 P048 置 011 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 012

マ マ ス ス フ フ ロ ロ ー マスフローコントローラ/メータについて Mass Flow Controller / Mass Flow Meter ー コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ■ 体積流量と質量流量 ラ ／ ／ メ メ ー ー タ（ 気体の流量計には、大きく分けて体積流量計と質量流量計 膜流量計、乾式・湿式ガスメータ等では微少な抵抗でもあ 図4　マスフローメータ構造略図 図5　マスフローコントローラ構造略図 タ（ 電 電 子 子 式 があります。体積流量計には、面積式流量計、容積式流量 りますと大きく影響されますので、原則大気開放で使用し 電　源 電　源 表示器 設定器 式 流 流 量 計、差圧式流量計等があり、質量流量計にはコリオリ式流 ます。〈 KOFLOC〉のフローメータ（面積式流量計）も同じ 量 計 ±15V 計 ） 量計、渦式流量計、熱式流量計等があります。〈KOFLOC〉 ±15V 流量信号 設定信号 で、圧力が大きく変動したり、ガス温度が変わったりして、ガ 0～5V 0～5V ） のメカニカルなフローメータは体積式流量計のうち面積式 ス密度が変化すると、正確な指示ができなくなる為、圧力、 流量計に分類され、マスフローコントローラ（MFC）やマス 温度条件をあらかじめ一定に決めておくか、もしくは読み ブリッジ回路 増幅回路 表示器 比較制御回路 フ フローメータ（ 値に各ファクタの補正計算を行う必要が生じます。 増幅回路 MFM）は質量流量計のうち熱式流量計に分 流量信号 ソレノイド フ ロ アクチュエータ 類されます。 それに対して質量流量計は文字の示す通り、流量を重さで センサ　 0～5V ロ ー ー メ ブリッジ回路 メ ー 体積流量計と質量流量計の違いを簡単な例を挙げてご説 検知しますので、流体が圧縮されたりして密度が変わった ー タ 明します。体積流量計の多くは、図1のように流量計各部を 状態でも同じ状態を定義する事ができます。ガスを質量で センサ　 タ 大気開放するような状態、すなわち流量計内部に圧力がか 検知しますと、前記フローでも図2のような加圧状態でも IN OUT からない状態で用います。ここに圧力がかかりますと大気 同一指示が得られますので、事実上、あらゆるフローシート バイパス 開放で校正された体積流量計は正しい流量を表示しなくな のどこにでも設置でき非常に便利である上、流量の読み値 り、読み値に対する補正計算が必要となります。特に石ケン に誤差の少ないシステムが組めます。 IN OUT バイパス バルブ 流 図1 大気開放 図2 圧力計 流 量 量 制 P1 制 御 御 バ バ ル ル ブ ■ 流量単位 ブ 体積式流量計 MF 流量制御バルブ 質量流量計であるマスフローコントローラ/メータは、前述 ラ /メータに関する標準単位として採用しております。 マスフローメータ 流量制御バルブ のごとく圧力、温度に関係なく質量流量を計測するわけで SCCMはStandard Cubic Centimeter per Minuteの略 すが、質量で流量を表しますとg/min、kg/min等、一般的 で0℃ 大気圧状態におけるcc/min、SLMはStandard Liter な流体計測で用いられる単位になじみがないものとなりま per Minuteの略で同条件のL/minに換算した値です。 圧 ■ マスフローコントローラ/メータの原理 すので、基準圧力、温度を決めた条件での体積流量で表す また、半導体関連以外の業界では、SCCM、SLMを20℃ 圧 力 力 制 〈KOFLOC〉のマスフローコントローラ/メータに使用され が流れ始めると、温度分布が図3グラフの破線のように変 ことが一般です。現在ではSI単位系に準じPa・㎥/sといっ 大気圧状態、NCCM、NLMを0℃ 大気圧状態と定義するな 制 御 た単位を用いますが、一般的に古くからマスフローコント ど業界によります。その為、弊社マスフローコントローラ/ 御 バ ている流量センサは、一般的には熱式流量センサと呼ばれ 化します。このとき上流側は流体により熱を奪われ、逆に下 バ ル るものです。その検出原理を以下に記します。 流側には上流側から奪われた熱があたえられることになり ローラ/メータで用いられていた単位SCCM、SLMが、ま メータの流量表記に関しましては、例えばSCCM（0℃、 ル ブ だ主流として扱われます。 1atm）、NLM（0℃、1atm）といった基準温度・圧力を併記 ブ センサ部である毛細管（図3）には、抵抗温度係数が大きい ます。つまり、上流と下流の間に温度差（ΔT）が生じるとい 抵抗体を上流側（Rus）、下流側（Rds）にそれぞれ巻きつ うことです。 本単位の定義に関しまして、〈KOFLOC〉では、1998年10 して製品ご注文時にご指定ください。 けてあります。これに電流を流すことにより、2つの抵抗体 この温度差（ΔT）が流体の質量流量に対して、関数関係で 月よりSEMI standardによる定義をマスフローコントロー は発熱します。この時毛細管の内部に流体が流れない状態 あることに着目し、各々の抵抗値の変化を電気信号として ですと、上流、下流ともに同じ温度でバランスします。（図3 取り出し、増幅、補正することにより、ある条件下で質量流 そ 圧 の グラフの実線、流量ゼロ＝マスフローコントローラ/メータ 量を計測できる熱式質量流量計として機能するのです。こ 力 他 で一般的にいうゼロ点の位置になります。）この状態で流体 れがマスフローメータ（図4）です。 ■ 実ガス校正とコンバージョンファクタ法 制 配 さらにマスフローコントローラ（図5）では、センサ部から出 御 管 熱式センサは、原則的には実ガス校正されたものしか精度 ますが、実際のガスの状態（温度、圧力）、マスフローコント バ 部 は保証できません。現在、弊社で実ガスでの校正が可能な ローラ/メータのセンサ方式、バイパス（層流素子）の組み ル 品 図3　センサ部の構造略図 力された流量信号を基に、外部からの流量設定信号との比 ブ 較制御でソレノイドアクチュエータにより流量制御バルブ のは、N₂、Air、O₂、H₂、He、CO₂、Arです。その他のガスに 合わせにより、一つのガスでも偏差があったり、複数存在し の開度をコントロールすることで、温度、圧力等の諸条件 関しましてはN₂に対する一定の変換係数＝コンバージョン たりすることもあります。C.F.はあくまで目安としてお考え Rus Rds が変化してもほとんど影響を受けない、安定した質量流量 ファクタ（C.F.）を用いて、N₂又はAirにて校正いたします。 いただきたく思います。 ガ ス 制御を行うことができるのです。 例えば、N ₂仕様のマスフローコントローラ/メータを用い C.F.を用いずあくまで実ガスでの校正をご希望の場合は、 発 生 てArを流した場合、ArのC.F.を1.4とするとマスフローコ 実ガスを提供して頂く形をとらせていただき校正を行いま 装 ガス1 ントローラ/メータの指示値より実際は1.4倍多く流れま す。その為、別途実ガス校正料金が必要になります。ただし 圧 置・ 力 エ す。つまりAr流量＝1.4×N₂マスフローコントローラ/メー 一部危険ガスにつきましては、製品、設備等の関連でご希 制 ン ジ タの指示値になるのです。C.F.は、計算上もしくは実ガス 望に添えない場合もございますので、前もって弊社までご 御 ニ ゼロ点 T バ ア 測定によるデータの蓄積で種々のガスについて出しており 確認ください。 ル リ ブ ン グ 装 置 温度分布 013 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 014 センサ温度

マ マ ス ス フ フ ロ ロ ー マスフローコントローラ/メータについて Mass Flow Controller / Mass Flow Meter ー コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ■ 体積流量と質量流量 ラ ／ ／ メ メ ー ー タ（ 気体の流量計には、大きく分けて体積流量計と質量流量計 膜流量計、乾式・湿式ガスメータ等では微少な抵抗でもあ 図4　マスフローメータ構造略図 図5　マスフローコントローラ構造略図 タ（ 電 電 子 子 式 があります。体積流量計には、面積式流量計、容積式流量 りますと大きく影響されますので、原則大気開放で使用し 電　源 電　源 表示器 設定器 式 流 流 量 計、差圧式流量計等があり、質量流量計にはコリオリ式流 ます。〈 KOFLOC〉のフローメータ（面積式流量計）も同じ 量 計 ±15V 計 ） 量計、渦式流量計、熱式流量計等があります。〈KOFLOC〉 ±15V 流量信号 設定信号 で、圧力が大きく変動したり、ガス温度が変わったりして、ガ 0～5V 0～5V ） のメカニカルなフローメータは体積式流量計のうち面積式 ス密度が変化すると、正確な指示ができなくなる為、圧力、 流量計に分類され、マスフローコントローラ（MFC）やマス 温度条件をあらかじめ一定に決めておくか、もしくは読み ブリッジ回路 増幅回路 表示器 比較制御回路 フ フローメータ（ 値に各ファクタの補正計算を行う必要が生じます。 増幅回路 MFM）は質量流量計のうち熱式流量計に分 流量信号 ソレノイド フ ロ アクチュエータ 類されます。 それに対して質量流量計は文字の示す通り、流量を重さで センサ　 0～5V ロ ー ー メ ブリッジ回路 メ ー 体積流量計と質量流量計の違いを簡単な例を挙げてご説 検知しますので、流体が圧縮されたりして密度が変わった ー タ 明します。体積流量計の多くは、図1のように流量計各部を 状態でも同じ状態を定義する事ができます。ガスを質量で センサ　 タ 大気開放するような状態、すなわち流量計内部に圧力がか 検知しますと、前記フローでも図2のような加圧状態でも IN OUT からない状態で用います。ここに圧力がかかりますと大気 同一指示が得られますので、事実上、あらゆるフローシート バイパス 開放で校正された体積流量計は正しい流量を表示しなくな のどこにでも設置でき非常に便利である上、流量の読み値 り、読み値に対する補正計算が必要となります。特に石ケン に誤差の少ないシステムが組めます。 IN OUT バイパス バルブ 流 図1 大気開放 図2 圧力計 流 量 量 制 P1 制 御 御 バ バ ル ル ブ ■ 流量単位 ブ 体積式流量計 MF 流量制御バルブ 質量流量計であるマスフローコントローラ/メータは、前述 ラ /メータに関する標準単位として採用しております。 マスフローメータ 流量制御バルブ のごとく圧力、温度に関係なく質量流量を計測するわけで SCCMはStandard Cubic Centimeter per Minuteの略 すが、質量で流量を表しますとg/min、kg/min等、一般的 で0℃ 大気圧状態におけるcc/min、SLMはStandard Liter な流体計測で用いられる単位になじみがないものとなりま per Minuteの略で同条件のL/minに換算した値です。 圧 ■ マスフローコントローラ/メータの原理 すので、基準圧力、温度を決めた条件での体積流量で表す また、半導体関連以外の業界では、SCCM、SLMを20℃ 圧 力 力 制 〈KOFLOC〉のマスフローコントローラ/メータに使用され が流れ始めると、温度分布が図3グラフの破線のように変 ことが一般です。現在ではSI単位系に準じPa・㎥/sといっ 大気圧状態、NCCM、NLMを0℃ 大気圧状態と定義するな 制 御 た単位を用いますが、一般的に古くからマスフローコント ど業界によります。その為、弊社マスフローコントローラ/ 御 バ ている流量センサは、一般的には熱式流量センサと呼ばれ 化します。このとき上流側は流体により熱を奪われ、逆に下 バ ル るものです。その検出原理を以下に記します。 流側には上流側から奪われた熱があたえられることになり ローラ/メータで用いられていた単位SCCM、SLMが、ま メータの流量表記に関しましては、例えばSCCM（0℃、 ル ブ だ主流として扱われます。 1atm）、NLM（0℃、1atm）といった基準温度・圧力を併記 ブ センサ部である毛細管（図3）には、抵抗温度係数が大きい ます。つまり、上流と下流の間に温度差（ΔT）が生じるとい 抵抗体を上流側（Rus）、下流側（Rds）にそれぞれ巻きつ うことです。 本単位の定義に関しまして、〈KOFLOC〉では、1998年10 して製品ご注文時にご指定ください。 けてあります。これに電流を流すことにより、2つの抵抗体 この温度差（ΔT）が流体の質量流量に対して、関数関係で 月よりSEMI standardによる定義をマスフローコントロー は発熱します。この時毛細管の内部に流体が流れない状態 あることに着目し、各々の抵抗値の変化を電気信号として ですと、上流、下流ともに同じ温度でバランスします。（図3 取り出し、増幅、補正することにより、ある条件下で質量流 そ 圧 の グラフの実線、流量ゼロ＝マスフローコントローラ/メータ 量を計測できる熱式質量流量計として機能するのです。こ 力 他 で一般的にいうゼロ点の位置になります。）この状態で流体 れがマスフローメータ（図4）です。 ■ 実ガス校正とコンバージョンファクタ法 制 配 さらにマスフローコントローラ（図5）では、センサ部から出 御 管 熱式センサは、原則的には実ガス校正されたものしか精度 ますが、実際のガスの状態（温度、圧力）、マスフローコント バ 部 は保証できません。現在、弊社で実ガスでの校正が可能な ローラ/メータのセンサ方式、バイパス（層流素子）の組み ル 品 図3　センサ部の構造略図 力された流量信号を基に、外部からの流量設定信号との比 ブ 較制御でソレノイドアクチュエータにより流量制御バルブ のは、N₂、Air、O₂、H₂、He、CO₂、Arです。その他のガスに 合わせにより、一つのガスでも偏差があったり、複数存在し の開度をコントロールすることで、温度、圧力等の諸条件 関しましてはN₂に対する一定の変換係数＝コンバージョン たりすることもあります。C.F.はあくまで目安としてお考え Rus Rds が変化してもほとんど影響を受けない、安定した質量流量 ファクタ（C.F.）を用いて、N₂又はAirにて校正いたします。 いただきたく思います。 ガ ス 制御を行うことができるのです。 例えば、N ₂仕様のマスフローコントローラ/メータを用い C.F.を用いずあくまで実ガスでの校正をご希望の場合は、 発 生 てArを流した場合、ArのC.F.を1.4とするとマスフローコ 実ガスを提供して頂く形をとらせていただき校正を行いま 装 ガス1 ントローラ/メータの指示値より実際は1.4倍多く流れま す。その為、別途実ガス校正料金が必要になります。ただし 圧 置・ 力 エ す。つまりAr流量＝1.4×N₂マスフローコントローラ/メー 一部危険ガスにつきましては、製品、設備等の関連でご希 制 ン ジ タの指示値になるのです。C.F.は、計算上もしくは実ガス 望に添えない場合もございますので、前もって弊社までご 御 ニ ゼロ点 T バ ア 測定によるデータの蓄積で種々のガスについて出しており 確認ください。 ル リ ブ ン グ 装 置 温度分布 013 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 014 センサ温度

マ マ ス マスフローコントローラ/メータについて カルマン渦流量計/超音波流量計について ス フ フ ロ ロ ー ー コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ■ 配線取り合い～KFC standard ■ カルマン渦流量計の原理 ラ ／ ／ メ メ ー ー タ（ 〈KOFLOC〉では、1999年より省配線対応として、各種電気 は本カタログ仕様欄にKFC s tanda rdと表記しておりま 流体の流れの中に物体を置いたときに、その下流側に交互 図2にレイノルズ数とストローハル数の関係を示します。 タ（ 電 電 子 子 式 配線取り合いの標準化に取り組んでおります。現在、 す。それ以外のコネクタ規格の製品は、個々のマスフロー に規則正しい渦列が発生することを流体力学者セオドア・ （１）式により、ストローハル数をあらかじめ把握しておけ 式 流 流 量 20SLM以下の小流量マスフローコントローラ/メータは コントローラ/メータのページにて配線取り合いをご紹介し フォン・カルマンが1911年に理論的に解明しました。この ば、渦周波数を計測することにより流量を測定することが 量 計 計 ） （特殊・コンパクトモデルをのぞく）D-sub9ピンのKFC ておりますが、詳細は製品取扱説明書をご参照ください。 渦列を解明した彼の名前に因んでカルマン渦（列）と呼び できます。〈KOFLOC〉のカルマン渦流量計には、温度セン ） standard規格へ統一されております（図6）。対応完了製品 ます。カルマン渦流量計はこのカルマン渦の計測原理に基 サを内蔵することによってレイノルズ数とストローハル数 づいた流量計です。 の非線形領域に対して温度補正（レイノルズ補正）を行うも フ 図6　KFC standard 図1に示すように流れの中に渦発生体を置くと、下流側に のもございます。 フ ロ 本体コネクタ…D-sub9ピンオス（M2.6ショートスクリュー） ロ ー 適合コネクタ…D-sub9ピンメス（M2.6ショートスクリュー） カルマン渦列が発生します。このとき渦列の周波数を f、流 ー メ メ ー 速をv、渦発生体の幅をdとすると、 ピン番号 信号名称 ピン番号 信号名称 ー タ 1 バルブ開閉信号 6 流量設定信号：Hi 　 f=St・ v 図2　レイノルズ数とストローハル数の関係 タ d 　 （ １） 2 流量出力信号 7 流量出力信号COM の関係があります。カルマン渦列は渦発生体の後方に配置 測定可能範囲 3 電源＋15V 8 流量設定信号：Lo 4 電源COM 9 バルブ電圧モニタ された圧電素子により、渦周波数として検出します。一定の ス ト 補正範囲 正常動作範囲 ロ0.2 5 電源－15V レイノルズ数範囲において、この渦周波数は流速に比例す 非線形 Stは Reに対して線形 ー ※ マスフローメータの場合ピン番号1、6、8、9はNCとなります。 るため、渦周波数を計測することにより、流速・流量を測定 ハ ル ※ ピン番号9は機種によって異なります。 数0.1 流 できます。ストローハル数Stとは渦発生体の形状、寸法に 流 量 よって決まる無次元数で、形状、寸法を適切に選ぶことによ 量 制 0.0 制 御 り、広いレイノルズ数範囲にわたって一定の値になります。 下限レイノルズ数 臨界レイノルズ数 Rex 上限レイノルズ数 御 バ レイノルズ数 バ ル ル ブ ■ 仕様表記 図1　カルマンの渦列 ブ 本カタログのマスフローコントローラ/メータの仕様表記については、基本的にSEMI standardに準じています。 以下代表的な仕様の定義を説明します。 流れ 【1】精度 【 d 2】再現性 渦 V ±○％F. S（. フルスケール）という形で表示していま 指定の動作条件で指定の期間に渡り、上下両方向から 渦発生体 圧 圧 力 す。この値は弊社基準流量計に対する校正基準とし 設定したある設定値において、繰り返された設定値が 力 制 たガス（N 2等）での誤差のフルスケール値に対する％ 近似する度合いのことです。 制 御 御 バ 値です。従って、例えばフルスケール50SCCMのレ 【3】応答性 バ ル ンジの場合、精度が±1％であれば、50×（１/100）＝ ル ブ 流量ゼロから制御を開始し、マスフローコントローラ ブ ±0.5SCCMの「不確かさ」で弊社基準流量に対して の出力がフルスケール98％に安定する時間で示して ■ 超音波流量計の原理 保証されるという事になります。 います。100％は、漸近線状の場合、解析しづらい為、 超音波とは、人間の耳に聞こえない高い振動数を持つ弾性 図3　超音波伝搬時間差方式の原理図 一方、±○％S.P（. セットポイント）という形で表記する 通常この様に表記します。 振動波（音波）で、一般的には20kHz以上の音響振動と定 L 場合もございます。この場合は設定した流量値に対す 義されます。 る％値になります。 そ 超音波は音響振動ですから、これが伝わるために気体、液 圧 の ※仕様表の流量、応答性、精度、動作差圧等の項目については、N2またはAirでの仕様となりますことをご了承ください。 体等の媒体を必要とします。また、超音波は同様な媒体を 他 流速 力 制 配 使う電波（電磁波）に比較して伝搬速度が遅く波長が短い 御 管 部 ので、通信機器の様に遠くまで信号を到達する必要のない V バ ル 品 流量計に適しています。 ブ 送受信器1 送受信器2 ■ 修理 超音波流量計の計測方法としては、超音波伝搬時間差方 ご使用になられた製品が経時変化等で何らかのトラブル、故障を生じました際は、原則お預り修理対応とさせていただきま 式、超音波伝搬時間逆数方式（周波数差法）、ドップラー方 ガ す。これはマスフローコントローラ/メータ自体が非常に微細な部品で構成された精密機器であるためです。トラブル、故障を 式等いくつかの方法があります。弊社が採用している「超 送信 受信 ス 発 発見された際は、まず取扱説明書を確認いただいた上、弊社までご連絡ください。 音波伝搬時間差方式」は、図3に示すように配管に超音波 生 装 送受信器を上流側と下流側に配置し、送受信器１⇒送受信 圧 置・ 器２、又は、送受信器２⇒送受信器１と交互に超音波を送受 力 エ 制 ン 信しています。交互に受信する超音波伝搬時間の差から流 ジ 御 ニ バ ア 速を算出し、流路断面積と補正係数を乗じることで流量を ル リ 求めることができます。 ブ ン グ 装 置 015 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 016

マ マ ス マスフローコントローラ/メータについて カルマン渦流量計/超音波流量計について ス フ フ ロ ロ ー ー コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ラ ■ 配線取り合い～KFC standard ■ カルマン渦流量計の原理 ラ ／ ／ メ メ ー ー タ（ 〈KOFLOC〉では、1999年より省配線対応として、各種電気 は本カタログ仕様欄にKFC s tanda rdと表記しておりま 流体の流れの中に物体を置いたときに、その下流側に交互 図2にレイノルズ数とストローハル数の関係を示します。 タ（ 電 電 子 子 式 配線取り合いの標準化に取り組んでおります。現在、 す。それ以外のコネクタ規格の製品は、個々のマスフロー に規則正しい渦列が発生することを流体力学者セオドア・ （１）式により、ストローハル数をあらかじめ把握しておけ 式 流 流 量 20SLM以下の小流量マスフローコントローラ/メータは コントローラ/メータのページにて配線取り合いをご紹介し フォン・カルマンが1911年に理論的に解明しました。この ば、渦周波数を計測することにより流量を測定することが 量 計 計 ） （特殊・コンパクトモデルをのぞく）D-sub9ピンのKFC ておりますが、詳細は製品取扱説明書をご参照ください。 渦列を解明した彼の名前に因んでカルマン渦（列）と呼び できます。〈KOFLOC〉のカルマン渦流量計には、温度セン ） standard規格へ統一されております（図6）。対応完了製品 ます。カルマン渦流量計はこのカルマン渦の計測原理に基 サを内蔵することによってレイノルズ数とストローハル数 づいた流量計です。 の非線形領域に対して温度補正（レイノルズ補正）を行うも フ 図6　KFC standard 図1に示すように流れの中に渦発生体を置くと、下流側に のもございます。 フ ロ 本体コネクタ…D-sub9ピンオス（M2.6ショートスクリュー） ロ ー 適合コネクタ…D-sub9ピンメス（M2.6ショートスクリュー） カルマン渦列が発生します。このとき渦列の周波数を f、流 ー メ メ ー 速をv、渦発生体の幅をdとすると、 ピン番号 信号名称 ピン番号 信号名称 ー タ 1 バルブ開閉信号 6 流量設定信号：Hi 　 f=St・ v 図2　レイノルズ数とストローハル数の関係 タ d 　 （ １） 2 流量出力信号 7 流量出力信号COM の関係があります。カルマン渦列は渦発生体の後方に配置 測定可能範囲 3 電源＋15V 8 流量設定信号：Lo 4 電源COM 9 バルブ電圧モニタ された圧電素子により、渦周波数として検出します。一定の ス ト 補正範囲 正常動作範囲 ロ0.2 5 電源－15V レイノルズ数範囲において、この渦周波数は流速に比例す 非線形 Stは Reに対して線形 ー ※ マスフローメータの場合ピン番号1、6、8、9はNCとなります。 るため、渦周波数を計測することにより、流速・流量を測定 ハ ル ※ ピン番号9は機種によって異なります。 数0.1 流 できます。ストローハル数Stとは渦発生体の形状、寸法に 流 量 よって決まる無次元数で、形状、寸法を適切に選ぶことによ 量 制 0.0 制 御 り、広いレイノルズ数範囲にわたって一定の値になります。 下限レイノルズ数 臨界レイノルズ数 Rex 上限レイノルズ数 御 バ レイノルズ数 バ ル ル ブ ■ 仕様表記 図1　カルマンの渦列 ブ 本カタログのマスフローコントローラ/メータの仕様表記については、基本的にSEMI standardに準じています。 以下代表的な仕様の定義を説明します。 流れ 【1】精度 【 d 2】再現性 渦 V ±○％F. S（. フルスケール）という形で表示していま 指定の動作条件で指定の期間に渡り、上下両方向から 渦発生体 圧 圧 力 す。この値は弊社基準流量計に対する校正基準とし 設定したある設定値において、繰り返された設定値が 力 制 たガス（N 2等）での誤差のフルスケール値に対する％ 近似する度合いのことです。 制 御 御 バ 値です。従って、例えばフルスケール50SCCMのレ 【3】応答性 バ ル ンジの場合、精度が±1％であれば、50×（１/100）＝ ル ブ 流量ゼロから制御を開始し、マスフローコントローラ ブ ±0.5SCCMの「不確かさ」で弊社基準流量に対して の出力がフルスケール98％に安定する時間で示して ■ 超音波流量計の原理 保証されるという事になります。 います。100％は、漸近線状の場合、解析しづらい為、 超音波とは、人間の耳に聞こえない高い振動数を持つ弾性 図3　超音波伝搬時間差方式の原理図 一方、±○％S.P（. セットポイント）という形で表記する 通常この様に表記します。 振動波（音波）で、一般的には20kHz以上の音響振動と定 L 場合もございます。この場合は設定した流量値に対す 義されます。 る％値になります。 そ 超音波は音響振動ですから、これが伝わるために気体、液 圧 の ※仕様表の流量、応答性、精度、動作差圧等の項目については、N2またはAirでの仕様となりますことをご了承ください。 体等の媒体を必要とします。また、超音波は同様な媒体を 他 流速 力 制 配 使う電波（電磁波）に比較して伝搬速度が遅く波長が短い 御 管 部 ので、通信機器の様に遠くまで信号を到達する必要のない V バ ル 品 流量計に適しています。 ブ 送受信器1 送受信器2 ■ 修理 超音波流量計の計測方法としては、超音波伝搬時間差方 ご使用になられた製品が経時変化等で何らかのトラブル、故障を生じました際は、原則お預り修理対応とさせていただきま 式、超音波伝搬時間逆数方式（周波数差法）、ドップラー方 ガ す。これはマスフローコントローラ/メータ自体が非常に微細な部品で構成された精密機器であるためです。トラブル、故障を 式等いくつかの方法があります。弊社が採用している「超 送信 受信 ス 発 発見された際は、まず取扱説明書を確認いただいた上、弊社までご連絡ください。 音波伝搬時間差方式」は、図3に示すように配管に超音波 生 装 送受信器を上流側と下流側に配置し、送受信器１⇒送受信 圧 置・ 器２、又は、送受信器２⇒送受信器１と交互に超音波を送受 力 エ 制 ン 信しています。交互に受信する超音波伝搬時間の差から流 ジ 御 ニ バ ア 速を算出し、流路断面積と補正係数を乗じることで流量を ル リ 求めることができます。 ブ ン グ 装 置 015 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 016

温度補正付液体用小型カルマン渦流量計 マ マ ス 標準仕様 ス フ フ ロ MODEL FML-300 SERIES NEW FC FM MODEL FML-301 FML-302 FML-303 FML-304 FML-305 ロ ー ー コ 気 体 液 体 コントローラ メータ 接続部 3/8"チューブエンド 1/2"チューブエンド 3/4"チューブエンド 1"チューブエンド コ ン ン ト 対象流体 液 体 水、純水、薬液 流量レンジ 0.3～2.5L/min 0.4～4.0L/min 2.0～16L/min 5.0～50L/min 10～100L/min ト ロ ロ ー 測定流体 ー ラ 水、純水、薬液 ラ ／ ／ メ 最大流量 液 体 2.5～100L/min 精度 ±2%F.S（. 25℃） ±3%F.S（. 25℃） メ ー ー タ 温度精度 （ ±2℃ ±0.15×ΔT℃（ΔT：周囲温度－流体温度） タ（ 電 電 子 精　　度 ±2～3%F.S. 再現性 ±0.5%F.S. 子 式 式 流 流体温度 0～90℃（凍結、沸騰なきこと） 流 量 量 計 精度保証温度 流体温度：15～60℃ 計 ） ■ 温度センサ搭載により流体温度を計測、 最高使用圧 1MPa（G）@25℃ 0.75MPa（G）@25℃ 0.65MPa（G）@25℃ ） 　 温度補正により液温変化による精度誤差軽減 許容環境温度 0～50℃（凍結なきこと） 許容周囲湿度 95%RH以下（結露なきこと） ■ 接液部New PFA（オーリングレス） 保存温度 －10～70℃（凍結なきこと） フ ■ コンパクト設計 保護構造 フ ロ IP65相当（防滴、防塵仕様） ロ ー 接液部材質 New PFA ー メ ■ 幅広い流量レンジに対応（0.3～2.5L/minから10～100L/minまで） 表示器なし 電流4-20mA、許容負荷抵抗 24VDC入力時250～500Ω 12VDC入力時250Ω以下 or メ ー ー タ ■ IP65相当の防水性 パルス出力（1kHz@F.S.Duty 50% NPNオープンコレクタ出力Max.DC30V/80mA） タ 流量出力 電流4-20mA、許容負荷抵抗 24VDC入力時250～500Ω 12VDC入力時250Ω以下 or 信号出力 表示器あり パルス出力（1kHz@F.S.Duty 50% NPNオープンコレクタ出力Max.DC30V/80mA） 積算出力：パルス出力 温度出力 表示器なし 1-5VDC（ 0～100℃） 外部負荷抵抗250kΩ以上 （通水時のみ） 寸法図 表示器あり 電流4-20mA（0～100℃） 許容負荷抵抗 24VDC入力時250～500Ω 12VDC入力時250Ω以下 警報出力 警報接点：2点　NPNオープンコレクタ出力Max.DC30V/80mA（表示器ありのみ） 流 デジタル通信 RS485（MODBUSプロトコル、RTUモード（）表示器ありのみ） 流 量 《FML-300 表示器無し》 《FML-300 表示器付》 電源電圧 12～24VDC ±10% 　消費電流（表示器なし：80mA以下　表示器あり：140mA以下） 量 制 ケーブル長 3m端末処理済　予備ハンダ付 制 御 御 バ 重量 表示器なし 160g以下 175g以下 200g以下 バ ル 表示器あり 165g以下 180g以下 205g以下 ブ 26 ル ブ 注文方法 50 26 50 26 205 205 圧 力 42 4-M4,深サ5.5 42 4-M4,深サ 圧 5.5 MODEL 出力信号 表示器 ケーブル長 接続タイプ 力 制 制 御 FML-301 I：4-20mA N：なし 0：3m 0：チューブエンド 御 バ バ ル FML-302 P：パルス D：あり ル ブ ブ 寸法（mm） 寸法（mm） FML-303 MODEL 接続チューブサイズ MODEL 接続チューブサイズ OD ID H H0 OD ID H H0 FML-304 FML-301-N 3/8インチ 9.52 6.35 50.0 13.0 FML-301-D 3/8インチ 9.52 6.35 50.5 13.0 FML-302-N 3/8インチ 9.52 6.35 50.0 13.0 FML-302-D 3/8インチ 9.52 6.35 50.5 13.0 FML-305 FML-303-N 1/2インチ 12.70 9.52 50.0 13.0 FML-303-D 1/2インチ 12.70 9.52 50.5 13.0 FML-304-N 3/4インチ 19.05 15.87 52.0 12.0 FML-304-D 3/4インチ 19.05 15.87 52.5 12.0 記 FML-305-N 1インチ 25.40 20.20 60.7 15.7 FML-305-D 1インチ 25.40 20.20 61.2 15.7 入 FML-301 I D 0 0 そ 例 圧 の 力 他 制 配 FML-300　温度補正なしと温度補正ありの精度変化比較 ※注文・見積もりは、注文方法・記入例にそってご指定頂き、お近くの販売店または弊社営業所にご連絡ください。 御 管 バ 部 ル 品 使用製品：FML-303　25℃データに対する偏差（%F.S.） 使用製品：FML-303　25℃データに対する偏差（%F.S.） ブ 5.0% 5.0% 3.0% 3.0% ガ ス 1.0% 1.0% 発 生 装 -1.0% -1.0% 圧 置・ 力 エ -3.0% -3.0% 制 ン ジ 御 ニ バ ア -5.0% -5.0% 10 15 25 35 45 55 65 10 15 25 35 45 55 65 ル リ ブ ン 流体温度（℃） 流体温度（℃） グ 装 16L/min時の流体温度による精度変化（温度補正なし） 16L/min時の流体温度による精度変化（温度補正あり） 置 017 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 018 流量精度（%F.S.） 18 OD ID H0 H 流量精度（%F.S.） 18 OD ID H0 H

温度補正付液体用小型カルマン渦流量計 マ マ ス 標準仕様 ス フ フ ロ MODEL FML-300 SERIES NEW FC FM MODEL FML-301 FML-302 FML-303 FML-304 FML-305 ロ ー ー コ 気 体 液 体 コントローラ メータ 接続部 3/8"チューブエンド 1/2"チューブエンド 3/4"チューブエンド 1"チューブエンド コ ン ン ト 対象流体 液 体 水、純水、薬液 流量レンジ 0.3～2.5L/min 0.4～4.0L/min 2.0～16L/min 5.0～50L/min 10～100L/min ト ロ ロ ー 測定流体 ー ラ 水、純水、薬液 ラ ／ ／ メ 最大流量 液 体 2.5～100L/min 精度 ±2%F.S（. 25℃） ±3%F.S（. 25℃） メ ー ー タ 温度精度 （ ±2℃ ±0.15×ΔT℃（ΔT：周囲温度－流体温度） タ（ 電 電 子 精　　度 ±2～3%F.S. 再現性 ±0.5%F.S. 子 式 式 流 流体温度 0～90℃（凍結、沸騰なきこと） 流 量 量 計 精度保証温度 流体温度：15～60℃ 計 ） ■ 温度センサ搭載により流体温度を計測、 最高使用圧 1MPa（G）@25℃ 0.75MPa（G）@25℃ 0.65MPa（G）@25℃ ） 　 温度補正により液温変化による精度誤差軽減 許容環境温度 0～50℃（凍結なきこと） 許容周囲湿度 95%RH以下（結露なきこと） ■ 接液部New PFA（オーリングレス） 保存温度 －10～70℃（凍結なきこと） フ ■ コンパクト設計 保護構造 フ ロ IP65相当（防滴、防塵仕様） ロ ー 接液部材質 New PFA ー メ ■ 幅広い流量レンジに対応（0.3～2.5L/minから10～100L/minまで） 表示器なし 電流4-20mA、許容負荷抵抗 24VDC入力時250～500Ω 12VDC入力時250Ω以下 or メ ー ー タ ■ IP65相当の防水性 パルス出力（1kHz@F.S.Duty 50% NPNオープンコレクタ出力Max.DC30V/80mA） タ 流量出力 電流4-20mA、許容負荷抵抗 24VDC入力時250～500Ω 12VDC入力時250Ω以下 or 信号出力 表示器あり パルス出力（1kHz@F.S.Duty 50% NPNオープンコレクタ出力Max.DC30V/80mA） 積算出力：パルス出力 温度出力 表示器なし 1-5VDC（ 0～100℃） 外部負荷抵抗250kΩ以上 （通水時のみ） 寸法図 表示器あり 電流4-20mA（0～100℃） 許容負荷抵抗 24VDC入力時250～500Ω 12VDC入力時250Ω以下 警報出力 警報接点：2点　NPNオープンコレクタ出力Max.DC30V/80mA（表示器ありのみ） 流 デジタル通信 RS485（MODBUSプロトコル、RTUモード（）表示器ありのみ） 流 量 《FML-300 表示器無し》 《FML-300 表示器付》 電源電圧 12～24VDC ±10% 　消費電流（表示器なし：80mA以下　表示器あり：140mA以下） 量 制 ケーブル長 3m端末処理済　予備ハンダ付 制 御 御 バ 重量 表示器なし 160g以下 175g以下 200g以下 バ ル 表示器あり 165g以下 180g以下 205g以下 ブ 26 ル ブ 注文方法 50 26 50 26 205 205 圧 力 42 4-M4,深サ5.5 42 4-M4,深サ 圧 5.5 MODEL 出力信号 表示器 ケーブル長 接続タイプ 力 制 制 御 FML-301 I：4-20mA N：なし 0：3m 0：チューブエンド 御 バ バ ル FML-302 P：パルス D：あり ル ブ ブ 寸法（mm） 寸法（mm） FML-303 MODEL 接続チューブサイズ MODEL 接続チューブサイズ OD ID H H0 OD ID H H0 FML-304 FML-301-N 3/8インチ 9.52 6.35 50.0 13.0 FML-301-D 3/8インチ 9.52 6.35 50.5 13.0 FML-302-N 3/8インチ 9.52 6.35 50.0 13.0 FML-302-D 3/8インチ 9.52 6.35 50.5 13.0 FML-305 FML-303-N 1/2インチ 12.70 9.52 50.0 13.0 FML-303-D 1/2インチ 12.70 9.52 50.5 13.0 FML-304-N 3/4インチ 19.05 15.87 52.0 12.0 FML-304-D 3/4インチ 19.05 15.87 52.5 12.0 記 FML-305-N 1インチ 25.40 20.20 60.7 15.7 FML-305-D 1インチ 25.40 20.20 61.2 15.7 入 FML-301 I D 0 0 そ 例 圧 の 力 他 制 配 FML-300　温度補正なしと温度補正ありの精度変化比較 ※注文・見積もりは、注文方法・記入例にそってご指定頂き、お近くの販売店または弊社営業所にご連絡ください。 御 管 バ 部 ル 品 使用製品：FML-303　25℃データに対する偏差（%F.S.） 使用製品：FML-303　25℃データに対する偏差（%F.S.） ブ 5.0% 5.0% 3.0% 3.0% ガ ス 1.0% 1.0% 発 生 装 -1.0% -1.0% 圧 置・ 力 エ -3.0% -3.0% 制 ン ジ 御 ニ バ ア -5.0% -5.0% 10 15 25 35 45 55 65 10 15 25 35 45 55 65 ル リ ブ ン 流体温度（℃） 流体温度（℃） グ 装 16L/min時の流体温度による精度変化（温度補正なし） 16L/min時の流体温度による精度変化（温度補正あり） 置 017 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 018 流量精度（%F.S.） 18 OD ID H0 H 流量精度（%F.S.） 18 OD ID H0 H

表示器付デジタルマスフローメータ マ マ ス 標準仕様 ス フ フ ロ EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES MFC MFM MODEL EX-700R ロ ー ー コ 気 体 液 体 コントローラ メータ ※バルブ付有 センサ方式 熱式巻線センサ コ ン ン ト ト ロ 対象流体 気 体 N（2 Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替） 対象ガス N（2 Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替） N（2 Air、Ar/C.F.切替） N（2 Air/C.F.切替） ロ ー ー ラ フルスケール流量（N2換算） 10/50/100/500SCCM　1/5/10/20SLM 50/100/200SLM 300/400/500SLM ラ ／ 最大流量 気 体 10SCCM～500SLM 精度 ±1%F.S. ±1.5%F.S. ／ メ メ ー ー タ（ 再現性 ±0.2%F.S. タ（ 電 電 子 精　　度 ±1～1.5%F.S. 入口最大圧 500kPa（G） 子 式 式 流 耐圧 1MPa（G） 流 量 量 計 許容周囲温度 5～50℃ 計 ） ■ 表示器一体型で各種機能使用可能 精度保証温度 15～35℃ ） 　 瞬時/積算流量表示、ガス種切替、C.F.任意設定、アラーム設定、校正温度切替ほか 許容保存温度 －10～60℃ 許容周囲湿度 10～90%RH（結露なきこと） ■ RS485通信機能あり、アナログ出力4-20mAあり（0-5VDC/1-5VDCに変更可能）、 接ガス部材質 SUS316L、SUS316、PTFE、PCTFE、 フ SUS316L、SUS316、PTFE、FKM（オプション NBR or CR） フ ロ 　 積算パルス出力あり FKM（オプション NBR or CR） ロ ー 電気接続 D-sub9ピン ー メ ■ ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能 流量出力信号 4～20mA（負荷抵抗500Ω以下）／0～5VDC（負荷抵抗10kΩ以上）／1～5VDC（負荷抵抗10kΩ以上） メ ー ー タ イベント出力 NPNオープンコレクタ2点（最大定格30VDC 50ｍA） タ デジタル通信 RS485（MODBUSプロトコル、RTUモード） 表示器 4桁7セグメントLED 寸法図 所用電源 24VDC（±10%） 100mA以下 標準：1/4SWL　　　　　 標準：3/8SWL　 標準：1/2SWL　 ■ F.S.10SCCM～F.S.20SLM ■ F.S.10SCCM～F.S.20SLM（精密ニードルバルブ付） 継手（本体口径） オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 オプション：1/2VCR、Rc3/8 オプション：1/2VCR、Rc1/2 （9/16-18 UNF） 　　　　（ 3/4-16 UNF） 　　　　（ 3/4-16 UNF） 継手 L寸法（mm） 継手 L寸法（mm） 流 重量 約600g（バルブ含まず） 約700g（バルブ含まず） 約1000g（バルブ含まず） 流 量 1/4SWL 127.4 1/4SWL 157.4 ※ドライ且つ腐食成分・ダスト・ミストが含まれないクリーンガスでご使用ください。 量 制 1/8SWL 122.8 1/8SWL 152.8 制 御 ※N2ガスでの精度保証です。 1/4VCR 123.8 1/4VCR 153.8 御 バ ※ガス種切替時はN2のフルスケール流量と同じ割り振りとなります。 バ ル 30 76 Rc1/4 102 30 106 Rc1/4 132 L±1 L±1 　計測データを元にしたガス種補正ですが、精度保証するものではありません。 ル ブ ブ 38 19 38 　登録済みのガス種以外にもC.F.値が0.50～1.50のガス種はお客様で追加登録可能です。C.F.値についてはお問い合わせください。 ※流量出力信号は表示器にて変更可能です（出荷時 4-20mA）。 2-M4 深サ4 2-M4 深サ4 ■ F.S.50、100、200SLM ■ F.S.50、100、200SLM（精密ニードルバルブ付） 30 注文方法 30 圧 圧 力 継手 L寸法（mm） 継手 L寸法（mm） 力 制 3/8SWL 131.8 3/8SWL 165.8 MODEL ニードルバルブ 継手 流体 フルスケール流量 校正温度 出力信号 一次側圧力 二次側圧力 オプション ※バルブ有のみ ※バルブ有のみ 制 御 御 バ 1/2VCR 131.4 1/2VCR 165.4 バ ル Rc3/8 112 Rc3/8 146 EX-700R V：有 1/4SW N2 F1：10SCCM F8：20SLM 0℃ I：4-20ｍA NBR：NBRシール ル ブ 34 76 34 34 0：無 1/8SW F2：50SCCM F9：50SLM 20℃ CR：クロロプレンシール ブ 110 F1～F8 L±1 L±1 1/4VCR F3：100SCCM F10：100SLM 25℃ 21 34 Rc1/4 F4：500SCCM F11：200SLM 3/8SW F5：1SLM F12：300SLM 34 2-M4 深サ4 2-M4 深サ4 F9～F11 1/2VCR F6：5SLM F13：400SLM Rc3/8 F7：10SLM F14：500SLM ■ F.S.300、400、500SLM ■ F.S.300、400、500SLM（精密ニードルバルブ付） 1/2SW そ 圧 の F12～F14 1/2VCR 力 他 継手 L寸法（mm） 継手 L寸法（mm） Rc1/2 制 配 1/2SWL 153.5 1/2SWL 185.5 御 管 1/2VCR 147.4 1/2VCR 179.4 バ 部 記 Rc1/2 132 Rc1/2 144 ル 品 入 EX-700R V 1/4SW N2 F5 20℃ I 0.2MPa 0MPa 例 ブ 40 92 40 124 L±1 L±1 ※注文・見積もりは、注文方法・記入例にそってご指定頂き、お近くの販売店または弊社営業所にご連絡ください。 ガ ※ACアダプタPSK-83CEはP48をご参照ください。 ス 40 4-M4深サ5, 下穴深サ6.5 40 4-M4深サ5, 下穴深サ6.5 　EX-700RとEX-700はACアダプタの極性が異なります。EX-700で使用されているACアダプタPSK-85及びPSK-85CEはEX-700Rでは使用できません。 発 生 ※外部ケーブルCP-EX-700-CFはP49をご参照ください。 装 ■ D-sub コネクタ（オス） ■ DCジャック 圧 置・ 1 2 3 4 5 ピン番号 信号名 内容 1 電源 ＋24V 電源入力 DC＋24V 1 2 力 エ 制 ン 2 電源 COM 電源 COM ジ 3 OUT1 イベント出力1 ピン番号 信号名 内容 御 ニ 4 OUT2 イベント出力2 1 電源GND 電源GND バ ア 5 OUT COM イベント出力 COM 2 電源＋24V 電源入力 DC＋24V ル リ 6 流量アナログ出力 流量アナログ出力 ブ ン 6 7 8 9 7 TR＋ RS485通信 8 TR－ RS485通信 グ 流量アナログ出力 COM 流量アナログ出力 COM 装 9 TR COM RS485通信 COM 置 019 FLOW INSTRUMENTS GENERAL CATALOG 020 95 89 80 20 34 25 17.5 17 18.5 12.7 30 95 89 20 34 80 25 30 17 12.7 （ （83）91） 18.5