パワーデバイス用個片セラミックス基板の表裏面に発生する各種欠陥を弊社オリジナル検査ユニットにより高精度に検査する設備です
セラミックス基板の収納形態に応じローダ、アンローダの対応が可能です。2D検査では抽出が困難であった微小な「膨れ」や「凹み」といった欠陥も高密度3D検査を搭載する事で検出を可能にしています。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 個片セラミックス基板外観検査装置FV203CR |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.3Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社安永 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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個片セラミックス基板外観検査装置
ＦＶ２０３ＣＲ
■装置概要
FV203CRはパワーデバイス用個片セラミックス基板の
表／裏⾯に存在するバリや欠け、クラック、キズ、汚れ、
変色、ろう材はみ出し、異物、膨れ／凹み欠陥等の外観
検査を⾏う装置です。
セラミックス基板が収納されたマガジンやトレイ等をセット
し装置を稼働させる事で、セラミックス基板表／裏⾯の
外観検査を⾏い、検査結果に基づいて良品／不良品に
選別を⾏います。
■特⻑
① ⾼密度3D検査により「膨れ」「凹み」欠陥を検出
② マルチアングル照明を用いて最適な照明環境を実現
③ ⾼速照明切替と⾼速画像取込みで⾼速検査を実現
④ 表⾯及び裏⾯の両⾯検査に対応
■検査例
セラミックスバリ セラミックス変色 パターンショート スクラッチキズ
パターン膨れ ピンホール セラミックス欠け ろう材はみ出し
■外形寸法・ユーティリティ
◎外形寸法
Ｗ︓1950 ×Ｄ︓1500 ×Ｈ︓1960ｍｍ
◎供給電源
三相AC200V±10% 4KVA
◎供給エア
空圧︓0.39MPa以上（4kgf/cm2以上）
流量︓100ℓ/min以上
〒518-0834
三重県伊賀市緑ヶ丘中町3860
TEL : 0595 (24) 2252
FAX : 0595 (24) 2720
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