テクニカル社　総合カタログ

Established in 1989 株式会社テクニカル 光学部品製作 青森県弘前市大字神田5丁目2番地1 http://www.technical-prisms.com/

2 株式会社テクニカル 1989年に創業。光学部品の試作メーカーとして 様々な分野に高精度な光学部品をお納めしてお ります。 クロビット、特殊プリズム、高精度平面研磨、異形加工 http://www.technical-prisms.com/ T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年 λ/100　OPTICAL FLAT CHROVIT®

3 株式会社テクニカル 目次 3 特長 4 会社概要 6 クロビット 8 表面品質比較判断プレート 9 超滑らかな平面研磨技術 測定できるから、 ・超高精度角度測定器 10 超高精度平面研磨技術 　測定精度±0.2 秒（0.000056 度）の角 12 超高精度角度測定器 　加工ができる 度測定ができます。当社のプリズムの角 度は、このように非常に高精度な角度測 14 トレーサビリティ 定をしてお納めすることが可能です。 16 ピラミダル 　当社は光学部品の製造メーカーです。 ・充実した測定器 17 製品 特にプリズムや平面基板などの光学部品 の製造を粗ずりから研磨、測定まで一貫 　当社の高精度な測定器はすべて世界 20 加工・測定設備 して行っております。 の公的機関の測定室と同じ20℃±0.5℃ の恒温室に設置されており、信頼性の 22 通信販売 試作メーカーとして日々数百種 類の精 高い測定データをお出しすることが出来 密な光学部品を様々な分野の会社様、 ます。産総研との共同研究で開発した 研究機関、大学などにお納めしておりま λ/100の基準原器を搭載したレーザー干 す。 渉計をはじめ、高反射率のコートの測定 　精密業界には「測定できないものは作 が可能なZygo社のダイナフレクトコート れない」という言葉があります。 付き6インチ、λ/40の基準原器も保有し ています。 当社は測定の国家基準を司る産業技術 総合研究所との共同研究で、今までに無 ・ピラミダル かった世界最高水準の測定器を完備して 　ピラミダル誤差を1分以内に抑えるこ います。 とを信念として製造しています。 　これら国家標準とのトレーサビリティ を繋いだ各種測定器を使用することで 「測定できるから加工ができる」を実践 し、高精度な品質保証に伴う新しい製造 技術の開発に挑戦しています。 ・トレーサビリティを確保した測定器 　面精度（平面度）を測定するレーザー 干渉計のλ/100基準原器を保有してお り、極めて高い面精度測定が可能です。 高精度な平面の測定保証ができます。 ダイナフレクトコート Φ150mm　λ/40基準原器 特長 超高精度角度測定器 SelfA http://www.technical-prisms.com/characteristic.html

4 株式会社テクニカル 高精度の平面研磨技術と 特殊プリズムで時代を創る 会社概要 http://www.technical-prisms.com/ 株式会社テクニカルは1989年に創業しました。創業から 30年以上になりますが、プリズム製造メーカーとしてはい まだに日本国内で最も若い企業です。当社は、プリズム、 平面基板の製作におけるノウハウを理論と数値で管理し、 様々な精度を狙って作れる技術を確立しました。また、日 々何百種類もの製品を製作するため、見積から納品まで を一貫して管理する製造管理システムを構築しました。こ のシステムによりリアルタイムで製品管理を行うことがで き、お見積もりから納品までの工程をしっかり管理してお ります。この製造技術と製品管理システムにより、安定し た品質の製品を納期通りにお客様にお届けすることがで きます。 社　　名　株式会社テクニカル 平成元年6月　会社設立 事業内容　光学用特殊プリズム製造 平成17年7月　クラスター計画（新連携計画） 取引銀行　青森銀行堅田支店 東北認定第一号 　　　　　日本政策金融公庫青森支店 平成18年3月　中小企業庁より第一回「全国のモ 　　　　　商工中金青森支店 ノづくり中小企業300社」に認定 　　　　　七十七銀行盛岡支店 平成28年　一般財団法人機械振興協会「新機械 保険会社　プレデンシャル生命保険株式会社 振興賞」中小企業庁長官賞受賞 代表取締役　　山内　一秀 NEDO　「中堅・中小企業への橋渡し研究開発 取締役副社長　工藤　渉 促進事業」認定 常務取締役　　神　純子 平成30年1月　経済産業省「第7回ものづくり日 監　査　役　　三浦　武 本大賞」東北経済産業局長賞を受賞 経済産業省「地域未来牽引企業」に認定 T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

5 株式会社テクニカル

6 株式会社テクニカル Chrovit® T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

7 株式会社テクニカル 　クロビット®は当社の特許技術、登録商標 です。日本、アメリカ、イギリス、フランス、ド イツで特許を取得しています。 http://www.technical-prisms.com/chrovit.html クロビットとは？ クロビットは当社の精密プリズムを組み合わせて製 作する世界特許の製品です。検査装置やレーザーマ ーキングの分野で革新的な技術として広く活用されて います。ガラスの光路長補正機能を用いて多面を同 時にピントを合わせて撮像やレーザーマーキングが 出来ます。装置の簡素化、低コスト化、省スペース化、 タクトの改善に新たな方法をご提案します。 従来：3面撮像には3台のカメラが必要 ワーク多面の同時撮像 クロビット：１台のカメラで撮像可能 1回の照射で多面にレーザーマーキング可能

8 株式会社テクニカル 表面品質比較判断プレート http://www.technical-prisms.com/plate.html 表面品質比較判断プレートとは 当社の外観検査で比較検査の限度見本として独自に開発して使 用していたものです。この「表面品質比較判断プレート」は、来 社される多くのお客様のご要望にお応えして、更に外観検査が しやすくなるように改良し、外販用に製作したものです。 これまでMIL規格の外観検査用のプレートは他社様からも販売 されておりますが、このような比較用のプレートとの「キズやポ ツの見え方」という検査員の感覚での良否判定に頼っているの が現状です。検査員の感覚で納める製品の品質（不良品の流 出、過剰品質）が決まってしまい、売り上げや会社の信用に直 結する、会社にとっては危惧される状況です。 当社の「表面品質比較判断プレート」は、このような感覚での検 査から客観的な寸法での判断を行うために作成しました。比較 用のキズの線幅、ポツの直径の寸法は全てμm単位の絶対値で 表示しています。これにより、従来品に比べてより直接的で正確 な比較・判断が可能となります。 外観検査は検査員の目のコンディションが大きく影響します。 見えづらい朝、見慣れてくる昼、疲れがたまる夕方と、一日の中 でも大きく見え方が変わります。不良品の流出や過剰品質を防 ぐ為にも、判断に悩んだらすぐに当社の「表面品質比較判断プ レート」で比較判断することが必要です。 また、当社は試作メーカーとして多くの会社様とのお取引の経 験から、会社様によってMIL規格の解釈が異なることを認識して います。このためMIL規格だけではなく、スクラッチ幅、ディグの 直径を数値的に管理することが如何に重要かを認識しておりま す。このような理由から当社では、以前より規格をミクロン単位 でお見積に記載しております。 T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

9 株式会社テクニカル 超滑らかな平面研磨技術 http://www.technical-prisms.com/polishing.html 当社では表面粗さrms１Å以下の極めて滑らかな平面の研磨が 可能です。基板の表面が滑らかになると光の散乱や吸収が少な くなり、特にパワーレーザーの破壊耐量の向上につながります。 測定装置はZygo　NewView7300 です。 合成石英の表面粗さの測定結果 合成石英 rm蛍s：石0の.8表27Å 蛍石の表面粗さの測定結果 蛍石 rms：0.873Å サファイヤの表面の測定結果 サファイヤ rms：0.909Å

10 株式会社テクニカル 超高精度 平面研磨技術 http://www.technical-prisms.com/flatnessreference.html T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

11 株式会社テクニカル 測れないものは作れない 独立行政法人 産業技術総合研究所と の共同研究によってλ/100の超高精度 干渉計基準原器を製作 当 社 は 、産 総 研 と の 共 同 研 究 に よ っ て、Φ100mm の90％でλ/100 の平面基準原器 を保有しております。これにより当社で製作し λ/100基準原器 た製品の面精度は極めて高い精度での保証が 可能となりました。 　高精度な平面基板は、例えば、半導体やフラ ットパネルディスプレー用露光装置のマスク基 板や反射鏡などに用いられ、その性能を左右 する重要な基盤技術です。また、シリコンウエ ハーの平坦度測定装置などナノメートルレベル の凹凸を測定する装置には、測定の基準とな る高精度な平面基板が必要です。次世代の半 導体露光装置（EUV）では、より高精度のマス ク基板が必要とされるなど、これらの平面基板 に要求される精度は、年々高まる一方です。 産総研での測定結果 テクニカル社は、産総研での平面形状の評価 結果をもとに、独自の技術を用いて超高精度 平面ガラス基板の研磨に取り組みました。さ らに、研磨した平面ガラス基板の保持機構も 併せて開発しました。枠材や保持位置を工夫 することで設置時の変形やたわみの発生を抑 え、他の装置に組み込める状態でも研磨時の 平面度が損なわれず、λ/100の平面度を達成し ました（直径100 mm:有効径90 ％）。 産総研での測定結果

12 株式会社テクニカル 超高精度 角度測定器 http://www.technical-prisms.com/precision.html 当社では、産総研の技術であるSelfAテクノロジー を用いたエンコーダーを内蔵した回転テーブルと超 高精度オートコリメータを組み合わせた装置を製作 し、角度国家標準器と同じように自己校正を行うこ とにより角度精度±0．2秒以下での角度測定を可能 としました。この測定器により、±0．5秒以下の角度 精度での加工が可能となりました。 T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

13 株式会社テクニカル 当社保有超高精度角度測定器 産業技術総合研究所、工学計測標準研究部門で開 発された角度国家標準器は、等分割平均法を用いた 角度の自己校正法に基づく角度校正原理により、ロ ータリーエンコーダーを不確かさ0．01秒で高精度に 校正する能力があります。さらに、産総研ではこの原 理を組み込んだインテリジェントなロータリーエンコ ーダーが、自己校正機能付きロータリーエンコーダー 「SelfA」として開発されました。SelfAは、角度誤差を 産業技術総合研究所 自ら検出し補正することで不確かさ0．1秒の精度を達 角度国家標準器 成することが可能です。

14 株式会社テクニカル トレーサビリティ http://www.technical-prisms.com/traceability.html 当社は、国立研究開発法人 産業技術総合研究所との共同研究を通じて、 国家標準とのトレーサビリティを取得しております。お客様に信頼性の高い 製品をお納めすることができます。 T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

15 株式会社テクニカル 面精度トレーサビリティ 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター 平面度校正用フィゾー干渉計 国家標準器 株式会社テクニカル Φ90mm λ／100 基準原器 器物番号 TF 4-00001 株式会社テクニカル フィゾー干渉式平面測定システム Zygo 社Verifire XPZ 製造番号 12-26-653137 干渉計での測定例 その他角度、寸法もトレーサビリティを確保しています。 16

16 株式会社テクニカル ピラミダル http://www.technical-prisms.com/pyramidal.html 当社は創業以来「ピラミダル」にこだわり続けています。ピラミダ ル誤差は三次元での光路の精度に影響が大きい要素です。当社 は、ピラミダル誤差を通常1分以内で製作いたします。 正しい稜線の位置 実際の稜線の位置 ピラミダル 不適切な光路 90° 適切な光路 45° 45° 90° 極端にピラミダルを大きくした 直角プリズムの写真 45° 45° ピラミダルの説明図 光軸調整を簡単に！全製品でピラミ 側面からの倒れを指示される場合もあり ダル誤差±1分以内を実現！ ますが、倒れを３面共に１分以内を望む場合、ピラミダル誤差も約1分以下でな プリズムの加工時にピラミダル誤差の発 ければ、倒れを１分以内にする事は出来 生を抑えることは極めて難しく、一般的 ません。 にはあまり知られることがなかったこと から、一部の光学会社でしか規定される テクニカルは創業以来すべての製品のピ ことはありませんでした。近年、ピラミダ ラミダル誤差を1分以内に抑えることを ル誤差の少ないプリズムを使用する事で 信念として製造してまいりました。製品に 組立調整時間が大きく短縮され、大きな もよりますが、５秒以内の加工も可能で コスト削減に直接つながる事が認識さ す。お客様の望まれる本物のプリズムを れた事で、注目を集めるようになりまし ご提供させていただきます。 た。 T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

17 株式会社テクニカル 製品 プリズム、平面基板をはじめNC加工、精密切 断、コーティング、接着など様々な要素を複合し た光学製品を製造しております。 PBSコート ARコート ARコート ARコート ARコート 0.15mm 0.15mmビームスプリッタ 金属との接合品 ビームスプリッタ 異形加工プリズム http://www.technical-prisms.com/prism.html http://www.technical-prisms.com/baseplane.html http://www.technical-prisms.com/junction.html http://www.technical-prisms.com/coating.html http://www.technical-prisms.com/processing.html 0.15mm

18 株式会社テクニカル T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年

19 株式会社テクニカル ■ 高精度平面基板、平行平面基板 加工寸法：0.15mm～Φ600mm（異型加工可能） 加工厚み：0.03mm±0.001mm～ 外形寸法公差：±0.01mm～ 平行度：1秒～ 面精度：Φ90㎜の範囲内にてλ/100、φ150㎜の範囲内にてλ/60、 　　　 φ300㎜の範囲内にてλ/20（測定波長632.8nmにて） 　　　 ※各種条によって変わります。 表面粗さ：1Å(rms)以下 外観規格：スクラッチ1μm～（顕微鏡検査） ■ 段付、穴あけ、溝切、接着、異型加工 加工寸法：0.2mm～約450mm　高さ100mm 寸法公差：±0.01mm～　角度公差：±0.5秒～ 穴あけ寸法：Φ0.3mm～ 同心・同軸度：±0.01mm～ チッピング：0.05mm～ ■ 加工材料 一般光学ガラス、合成石英、シリコン、SUS、YAG、タングステン、 蛍石、サファイヤ、ルビー、酸化チタン、ジルコニア、アルミナ、 ゲルマニウム、フッ化マグネシウム他 ■ プリズム、角度原器、ウェッジ基板 加工寸法：0.15mm～約200mm（角度原器は30mm～100mm） 寸法公差：±0.01mm～ 角度公差：±0.2秒～（通常1分） 面精度：反射波面～λ/50（測定波長632.8nm） 表面粗さ：1Å(rms)以下 外観規格：スクラッチ1μm～（顕微鏡検査） ピラミダル：5秒～ 接合：5μmのエアギャップ接合可能 ■ コート・レンズ各種 反射防止膜（ARコート）、反射膜、偏光膜、各種フィルター、 パターニング、透明電導膜（ITO膜）、撥水膜、親水膜、 球面・非球面レンズ、コーンレンズ、シリンドリカルレンズ

20 株式会社テクニカル 加工・測定設備 http://www.technical-prisms.com/fabricatingequipment.html http://www.technical-prisms.com/measuringinstrument.html T E C H N I C A L C O . , LT D . 2 0 2 0 年