ノズルフラッパ型空圧サーボ弁 - J814シリーズ

空圧サーボ弁 J814シリーズ ノズルフラッパ型小型空気圧サーボ弁 WHAT MOVES YOUR WORLD

概要 J814シリーズ J814シリーズ空圧サーボ弁は、3方弁および4方弁の用途に利用される 高応答、高精度の空気圧サーボ弁です。指令信号対制御圧力の再現性 が良いので空圧式のシステムで圧力または力の制御、振動制御や位置 制御等を行なうのに適しています。また、3方弁では真空を応用した使 い方も可能です。 3方弁は、0.5MPaの弁圧力損失で標準タイプは1～ 50NL/min、大 流量タイプは～200NL/minの定格流量の1段型サーボ弁です。その構 造は、1対のノズルとフラッパーが1組のエアギャップを持つトルクモー タで駆動される方式です。サーボ弁の設計はシンプルで堅牢であり、長 時間の使用に対して信頼性が保たれるものになっています。 4方弁は、一対のノズルの上流にそれぞれオリフィスを設け、制御ポート を2つ有しています。0.5MPaの弁圧力損失で1～14NL/minの定格 流量の1段型サーボ弁です。 目次 概要 2 作動原理 3 特長 3 技術データ 3 一般技術データ 3 サーボ弁流量特性グラフ 3 サーボ弁圧力特性グラフ 3 断面構造 4 取付寸法図 4 使用事例 5 空圧アプリケーション例 5 画像の左側は大流量タイプ 注記：本書に記載されている情報、内容は予告なく変更する場合があります。最新情報は弊社までお問い合わせください。 2

概要／技術データ J814シリーズ 作動原理 特長 ● 入力電流がトルクモータのコイルに流れ、アマチュアに ● トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁 磁気による力と極性を与えます。 ● 高い分解能と低いヒステリシス ● アマチュアは、上下磁極との磁気的関係により、入力電 ● 小型軽量 流の大きさと極性に応じて傾きます（トルク発生）。 ● 低消費電力 ● 左右のノズルの中間に位置していたフラッパは、アマ ● 高応答性 チュアと一体のため、アマチュアの傾きにつれて変位し、 左右のノズルの開度を変化させます。 ● 摺動部がなく頑強で長寿命設計 ● 3方弁では左右のノズルの開度に応じて制御圧力が供給 圧力から大気圧力まで変化するので、入力電流に応じて 制御圧力を出力することができます。 ● 4方弁では、2つの制御ポートの差圧力が入力電流にほ ぼ比例して出力されます。 技術データ 一般技術データ（標準タイプ） 項目 J814（3方弁） J814（4方弁） 定格流量 （ 弁圧力降下500 kPa時） 1～ 50 NL/min 1～ 14 NL/min 定格圧力 1,000 kPa 制御圧力範囲 0～ 1,000 kPa 供給側耐圧 1,500 kPa 戻り側耐圧 1,500 kPa 定格電流 0～ 100 mA ±100 mA ヒステリシス　 ≦3.0 ％ 使用温度範囲　 －10～ 60 ℃ 適合流体 圧縮空気 質量　 約 400 g 200 NL/minまでの定格流量の大流量弁もあります。日本ムーグまでご相談ください。 サーボ弁流量特性グラフ（3方弁） サーボ弁圧力特性グラフ（3方弁） 50 700 45 600 40 35 500 30 400 25 20 300 15 200 10 100 5 0 0 0 20 40 60 80 100 0 20 40 60 80 100 入力信号 [％ ] 入力信号 [％ ] サーボ弁流量特性グラフ（4方弁） サーボ弁圧力特性グラフ（4方弁） 30 700 25 600 2 500 C2 15 P-C1流量 400 P-C2流量 300 10 200 C1 5 100 0 0 -100 -50 0 50 100 -100 -50 0 50 100 入力信号 [％ ] 入力信号 [％ ] 3 出力流量 [NL/min] 出力流量 [NL/min] 出力圧力 [kPa] 出力圧力 [kPa]

技術データ J814シリーズ 3方弁 4方弁 断面構造（ノズルフラッパ弁） 断面構造（ノズルフラッパ弁） 大気 コントロールポート 供給ポート コントロール 供給 大気 コントロール （真空）（コントロールポート）（大気） ポート1 ポート ポート2 ※（ ）内は真空での使用時 取り付け寸法図 取り付け寸法図 銘板 銘板 φ38 φ38 ケーブル長 ケーブル長 約250mm 約250mm ラベル ラベル 43 43 タンクポート EX Oリング タンクポート EX 制御ポート C2 JIS B2401-P5 16.9 Oリング JIS B2401-P5 供給ポート IN 4.6 33.8 制御ポート C 制御ポート C1 21.5 12.7 リング 供給ポート INO 2-JIS B2401-P9 43 Oリング 4.6 33.8 (4.6)3-JIS B2401-P9 取付ボルト 取付ボルト 4-M4×25L 4-M4×25L C1 IN C IN EX 赤 白 EX 赤 白 C2 結線 ブロック図 結線 ブロック図 4 43 4.6 33.8 4.2 7 18 17.9 47（最大） 29.6 43 11.6 11.6 21.5 7 18 47（最大） (4.6) 33.8 4.6

使用事例 J814シリーズ 使用事例 ● ロボット ● 半導体製造装置 ● アクティブ除振装置 ● アニマトロニクス ● 荷重試験機 ● 押し付け力制御装置 ● 内圧制御装置 空圧アプリケーション例 荷重試験装置 アクティブ除振システム サーボアンプ サーボアンプ 指令信号 指令信号 J814 J814 シリンダ 加速度センサ テーブル 供給 供給 〔空気バネ〕 位置センサ チャンバ ロードセル ワーク チャンバ内圧力制御 位置、荷重制御装置 サーボアンプ サーボアンプ 指令信号 指令信号 J814 J814 P 圧力センサ 荷重制御または 位置制御 供給 供給 位置センサ 流体 ロードセル 5

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