0201対応　実装精度計測顕微鏡　Eagle Scope

0201対応 実装精度計測顕微鏡 実装精度計測モデル 実装データから計測用データを自動生成 F�� �MT 実装精度を高精度に計測 基板実装ラインの工程組み換えの際、または、量産基板の 抜き取りチェックによる実装精度の確認にご使用いただけます。 部品ごとの位置のばらつきや傾向などをミクロン単位で測定することで、 品質を確認するためのオフライン計測機です。 0201 部品対応 メタルマスク検査対応モデル � Ma�� シリーズN��モデル F� メタルマスク検査用顕微鏡 高精度顕微鏡EagleScopeシリーズにメタルマスクステンシル検査対応 モデルが登場 フラックス残留などのクリーニング後の開口状態検査や、製品検査として 開口寸法精度の計測にお使いいただけます。 自動検査・計測データ生成 S M T 計測 富士機械製造㈱社製ライン管理システムNexim、FUJI Flexa、及び CADデータ 検査・計測プログラム から計測データを自動生成。 部品形状のデータベースにより、高精度な画像処理テンプレートを生成。 検査・計測に必要なプログラム または CADデータ が自動生成されます。 画像処理プログラム M A S K 計測 マスタ画像比較 使用前のマスクをマスタとして登録する画像比較検査と、 設計用のガーバーデータと比較するガーバーデータ比較検査の ステージ制御プログラム または ２通りの検査データ生成方法があります。 ガーバーデータ比較 ガーバーデータ比較は、製品検査としてもお使いいただけます。 自動外観計測・検査 S M T 計測 M A S K 計測 ・独自の高精度なステージ補正制御により、基準点からの 基板全体の実装精度を±5μm精度で計測します。 ・メタルマスク全体を自動外観検査。 異物の付着などを検出し、OK / NG を判定します。 ・計測結果を自動でレポート出力。 部品別の精度統計 (3σ,cpk) データを出力します。 ・NG箇所へステージを 自動で移動させ、 目視チェックが可能です。 ずれ量分布図 部品別統計データレポート

製品仕様 EagleScope-SMT EagleScope-MASK 用途 基板の実装精度測定 メタルマスクステンシル検査基板の実装精度測定 実装基板計測 ○ ○ メタルマスク検査 × ○ FUJI Flexa 対応 ○ ○ Nexim 対応 ○ 対応予定 CADデータ読込 オプションにより対応 （対応 CAD 一例：図研 CR500 PWS、図研 BD、CADENCE allegro、Mentor Expedition） サイズ Mサイズ基板（□50mm～ 400ｘ300mm） メタルマスク：650 x 550mm 対応ワーク 実装計測：Mサイズ基板（□50mm～ 400ｘ300mm） 重量 10kg サイズ 0.250mm x 0.125mm～ 74mm x 74mm 対象部品 高さ 0mm～ 25.4mm( 基板厚含む ) 筐体サイズ※1 965mm(W)×910mm(H)×960mm(D) 1330mm(W)×1000mm(H)×1500mm(D) 重量※1 220kg 290kg ステージストローク 400mm(X) × 300mm(Y) × 30mm(Z) CMOS カメラ モノクロ 2500 万画素 (5120 x 5120pixel) 撮像面積： 23.04 x 23.04mm 対角 32.58mm、ピクセルサイズ：4.5μm x 4.5μm 基板測定精度 ±5μm※3 レンズ倍率 10 倍 5 倍 2 倍 2 倍 メタルマスク全面検査時間※ - -2 - 38 分 0 秒 視野 2.304mm 4.608mm 11.520mm 11.520mm 分解能 0.45μm/pix 0.9μm/pix 2.25μm/pix 2.25μm/pix 照明 同軸落射照明 ( 白色 ) ・ リング照明 ( 白色 ) ※1 重量、及び寸法には、制御ボックス、測定台、モニタ、マウス、キーボードは含まれておりません。 ※2 当社実測による ( 計測部 400 x 300mm の全面検査の場合 ) ※3 校正済み疑似ワークを使用し、弊社独自方法にて測定した場合 EagleScope-SMT EagleScope-MASK 装置の保守・メンテナンスについて 保証精度を保って安全に稼動させる為に、1回／年の保守、点検及び再校正をお勧めしています。 お客様のところで行なう出張サービスをご用意しております。 詳細は代理店、又は、弊社担当営業までご連絡下さい。 製品の仕様は予告なく変更する場合があります。 2017.06 Rev 3.20 URL http://www.edeclinsey.jp/ 富士機械製造㈱グループ E-mail:sales@edeclinsey.jp 本社　〒441-8113　愛知県豊橋市西幸町字浜池 331番地 9 TEL:(0532)29-4133( 営業 )　FAX:(0532)29-4130 東京営業所　〒108-0075　東京都港区港南 2-4-15　品川サンケイビル 6階 TEL:(03)5461-1943　FAX:(03)5461-1950