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様々な形状、材質のバリエーションをご用意しております。各種あらゆるワークと多様な搬送環境に対応可能できるワイドバリエーションを揃えています。
【パッド形状】
スタンダード、スポンジ、ベローズ、多段ベローズ、長円、ソフト、ソフトベローズ、すべり止め、薄物用、フラット、吸着痕防止タイプ
【新タイプ:フラットタイプ】
シート・ビニールなど、薄物ワークの搬送に最適なフラットタイプ。
吸着時にワークの変形・シワ軽減に配慮。
【新タイプ:吸着痕防止タイプ】
液晶ガラス、塗装工程、半導体設備の搬送に最適な吸着痕防止タイプ。
フレキシブルを設けた吸着痕がつきにくい樹脂材質でワークを吸着。
材質:PEEK,POM,導電性PEEK
このカタログについて
ドキュメント名 | 真空システム機器 セルバックス 吸着パッドVSPシリーズ バリエーション追加 |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 5.2Mb |
取り扱い企業 | CKD株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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New Products 新商品
真空システム機器 セルバックス
吸着パッドVSPシリーズ
バリエーション追加
SELEX VACUUM SYSTEM
食品製造工程用 低発塵環境用
ニーズにバリエーションで応える。
搬送 半導体製造工程用
CC-1604
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広がるニーズに応える 充実のラインナップ
食品、搬送、半導体、二次電池など、様々な業界で広がる真空ニーズに応え るため、吸着パッドVSPシリーズはさらにバリエーションを追加しました。
食品製造 用 半導体製造工程用
食の安全に応える 工程
小物に応える 不揃いワークに応える 傾いたワークに応える
食品業界向け極軟質シリコーン 小径サイズを追加。 バッファストロークの選択幅を追加。 首振りオプションにフレキシブルホルダを
の新材質パッドを追加。 対応パッド形状 ● 多段ベローズ、ソフト、ソフトベローズ、薄物用に 追加。
● 食品衛生法適合、FDA適合材料を採用。 ● ベローズタイプ:φ2、φ4 ● 多段ベローズタイプ:φ6、φ8 ロングストロークを拡充。 フレキシブルホルダ(CF)
(材質:N、S、SEのみ) (材質;N、S、F、NE、G、HN、EP)
極軟質シリコーン 1mmのストローク付でワーク接触時の衝撃緩和。
硬度20° 硬度40°
対応パッド形状 ワーク離脱時、スプリングにより元位置に復帰。
【記号 YS2】【記号 YS4】
● ベローズタイプ:φ15~φ50 フレキシブル
(φ15は材質YS2のみ) ホルダ
1mm
● 多段ベローズタイプ:φ20~φ50 傾きのある ストローク
ワーク
8°
発塵環境用
クリーン化に応える 低
半導体製造工程用
新パッドホルダ低発塵ホルダを追加。 薄物に応える
● 従来のスプリング式ホルダに比べ発塵を低減。 薄物ワーク搬送に最適なフラットタイ
● 可動時の低騒音を実現。 プ(F)にフラット吸込流量増大タイプ 搬送
騒音レベル (FH)を追加。
45db ● 流路穴を増やし、吸着力と吸着力が格段に
向上。
※)当社測定条件による。 標準タイプ 吸込流量増大タイプ
吸込流量 Max. 2.5倍
吸着力 Max. 6倍
流 路
ワークの外観品質に応える 4穴追加
パッド表面に特殊処理を施し吸着痕を軽減するパッドゴム表面処理(オプション)を追加。 推奨ワーク ● ねじアダプタが高さを抑え小形化、軽量化。
繊維起毛タイプ(-NF、-SF) 貼付防止タイプ(-DL) 標準タイプ用 吸込流量増大タイプ用
パッド表面の繊維(ナイロンまたはシルク)により、 滑りの良い特殊コーティング。 質量 Max. 45.5%ダウン
ワークに直接触れないことで、ゴム材質転写を防止。 軽量ワーク、薄物ワークの貼付防止に効果的。 高さ Max. 27.4%ダウン
透明アクリル材 塗装メッキ樹脂 ガラス
吸着痕軽減タイプ(-ER) フッ素コーティングタイプ(-FG)
二次電池製造工程用
薬液によるニトリルゴムの表面改質で吸着痕を軽減。 特殊処理による表面改質により、ワークへの貼付き 二次電池に応える
や蛇腹部の貼付きを防止。パッドの耐久性、耐摩耗性
向上。 二次電池対応仕様(-P4)を標準化。
化粧箱 レンズ 樹脂
※ 吸着痕軽減の程度は環境やワークにより異なりますので、 ※ 本頁提載以外にも選択可能な対応オプションを拡充しました。
必ず、実機にて吸着試験を行って機種選定してください。 詳細は吸着パッドシリーズ体系表を参照ください。
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吸着パッド シリーズ体系表
パッド形状-パッドサイズ・パッド材質・オプション一覧表
パッドサイズ パッド材質 オプション
導電性
パッド ブタジエン 導電性 食品
パッド形状 形状 ニトリル シリコーン ウレタン フッ素 導電性 耐油 質 極軟質 クロロ キ 二次
記号 0.7 1 1.5 2 3 3.5 4 5 6 8 10 15 20 25 30 35 40 50 60 70 80 100 150 200 ゴム ゴム ゴム ゴム シリコーン ゴム NBR 衛生法 フロロ 極軟
ゴム (低抵抗(低抵抗 適合 HNBR EPDM シリコーン BR シリコーン シリコーン プレン PEEK POM 導電性 フリー フレ
ゴム ゴム ゴム PEEK ホルダ シブル 落下 表面 樹脂
防止弁 処理 アタッチ 電池
タイプ)タイプ) NBR
ゴム N
20° 40° (首振り)ホルダ メント 対応
N S U F SE E NE G HN EP FS NH YS2 YS4 無記号 K M KE (首振り) ゴム 仕様
一般形 R − ● − ● ● − ● − ● ● ● ● ● ● ● − ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● − − − − − − − − ● ● ● ● − ●
スタンダード
タイプ 深形 A − − − − − − − − − − − ● ● ● ● − ● ● ● − ● ● − − ● ● ● ● ● − ● ● ● ● − − − − − − − − ● ● ● ● − ●
小形 RM ● ● ● ● ● − ● − − − − − − − − − − − − − − − − − ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● − − − − − − − − − ● ● ● − ●
スポンジタイプ S − − − − − − − − − − ● ● ● ● ● ● − ● − ● − ● − − − ● − − − − − − − − − − − − ● − − − ● ● ● − − ●
●
ベローズタイプ B − − − ● − − ● − ● ● ● ● ● ● ● − ● ● ● − ● ● − − ● ● ● ● ● − ● − ● ● − − ● ● − − − − ● ● ● ● 装着用 ●
パーツ
多段ベローズタイプ W − − − − − − − − ● ● ● − ● − ● − ● ● − − − − − − ● ● ● ● − − ● ● ● ● − − ● ● − − − − ● ● ● ● − ●
4×10 5×10 6×10
長円タイプ E − − − 2×4 3.5×7 4×20 5×20 6×20 8×20
● − ● 4×30 5×30 6×30 8×30 − − − − − − − − − − − − − − ● ● ● ● ● ● ● − ● ● − − − − − − − − ● ● ● ● − ●
● ● ● ●
ソフトタイプ L − − − − − − ● − ● ● ● ● ● − ● − ● − − − − − − ● ● − − ● − ● − − − ● − − − − − − − ● ● ● ● − ●
ソフトベローズタイプ LB − − − − − − − − ● ● ● ● ● − − − − − − − − − − − ● ● ● − ● − ● − ● ● − − − − − − − − ● ● ● ● − ●
滑り止めタイプ K − − − − − − − − − − ● − ● − ● − ● ● − − − − − − − ● ● ● − − ● − − − − ● − − − − − − ● ● ● − − ●
薄物用タイプ P − − − − − − − − − ● ● ● ● − − − − − − − − − − − ● ● ● ● − − ● − − − ● − − − − − − − − ● ● ● − ●
吸込流量
フラット 標準 F − − − − − − − − − − ● ● ● ● ● − − − − − − − − − ● ● ● ● ● − ● − − − − − − − − − − − ● ● ● ● − ●
タイプ 吸込流量
増大 FH − − − − − − − − − − ● ● ● ● ● − − − − − − − − − ● ● − ● ● − ● − − − − − − − − − − − ● ● ● ● − ●
吸着痕防止タイプ Q − − − − − − − − − − ● − ● − ● − − − − − − − − − − − − − − − − − − − − − − − − ● ● ● − 標準
● ● − − ●
は、新規追加バリエーションとなります。
パッド形状-ホルダ形状一覧表 ホルダ形状
ホルダ形状 VSP-A VSP-B VSP-C VSP-D VSP-E 標準 VSP-A VSP-B VSP-C VSP-D VSP-E VSP-F VSP-LFC VSP-LFD
パッド形状 VSP-MA VSP-MB VSP-MC VSP-MD VSP-ME VSP-F VSP-LFC VSP-LFD VSP-HC VSP-HD VSP-HDW VSP-HE VSP-HEW VSP-AE VSP-BE 記号
小形 VSP-MA VSP-MB VSP-MC VSP-MD VSP-ME − − −
スタンダードタイプ ● ● ● ● ●
● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● − −
固定式 固定式 バッファ式 バッファ式 直付形 直付形 低発塵 低発塵
スポンジタイプ ● ● ● ● − 真空取出口 上 真空取出口 横 真空取出口 上 真空取出口 横 固定式 バッファ式 バッファ式 バッファ式
● ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● − − 真空取出口 上 真空取出口 横
ベローズタイプ ● ● ● ● ●
● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● − − 形状
多段ベローズタイプ ● ● ● ● ●
● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● − −
長円タイプ ● ● ● ● −
● ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●
ソフトタイプ ● ● ● ● −
● ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● − −
記号 標準 VSP-HC VSP-HD VSP-HDW VSP-HE VSP-HEW VSP-AE VSP-BE
ソフトベローズタイプ ● ● ● ● −
● ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● − − 軽量形 軽量形 軽量形 低背形 低背形 ねじ止め式 ねじ止め式
バッファ付 バッファ付 バッファ付 直付固定式 直付固定式 真空取出口 上 真空取出口 横
滑り止めタイプ ● ● ● ● −
● ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● − − 真空取出口 上 真空取出口 横 真空取出口 両横 真空取出口 横 真空取出口 両横
薄物用タイプ ● ● ● ● ● 形状
● ● ● ● ● ● ● ● − ● ● ● ● − −
フラットタイプ ● ● ● ● −
● ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● − −
吸着痕防止タイプ ● ● ● ● −
● ● ● ● − ● ● ● ● ● ● ● ● − −
は、新規追加バリエーションとなります。
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吸着パッド 選定資料
パッド形状一覧 各ゴム材質、スポンジ材質
パッド形状 用途例 特長 パッドサイズ 導電性 クロロプ シリコーン
平らなワーク(硬くてペラペラし パッド材質 ニトリル 食品衛生法 導電性 極軟質 フロロ 導電性ブタ
一般形タイプ ない厚さのワークに最適 ゴム 適合NBR HNBR
シリコーン
ゴム シリコーン シリコーンゴム ウレタン フッ素 NBR レンゴム ゴム
1 2 3 4 6 8 ゴム 硬度20°硬度40° ゴム ゴム シリコーン EPDM ジエンゴム
ゴム (低抵抗タイプ)(低抵抗タイプ)(スポンジタイプ)(スポンジタイプ)
10 15 20 25 30 40 項目 注文記号 N,
NH(※1) G HN S SE YS2 YS4 U F FS EP E NE 無記号 S
50 60 80 100 150 200 段ボール 段ボール 半導体 食品関係 段ボール 薬品の 金型 耐光、耐 半導体 半導体 表面に 表面に
ベニヤ板 ベニヤ板 金型成形品取出し ベニヤ板 雰囲気 成形品 オゾンが の一般 凹凸 凹凸
鉄板 鉄板 薄物ワーク 鉄板 高温の 取出し 求められ ワーク のある のある
ス 球状ワーク(リンゴやボール)に もっとも汎用的で一般的な形状のパッド
タ 深形タイプ 最適 タイプ。 用 途 食品関係 食品関係 食品関係 ワーク る用途水(静電気 ワーク ワーク
ン パッドサイズ、パッド材質、ホルダ形状を幅 15 20 25 30 40 50 その他一般ワーク その他一般 分のある 対策) 食品関係
ダ ワーク 雰囲気中
ー 広く取り揃えている。
低濃度オゾン での使用
ド パッド形状は3種類(一般形、深形、小形)を 60 80 100
用意。 環境下での使用
小形タイプ 小形半導体部品に最適 パッド色 ブラック ライト ブラック クリア ブラック ピンク ブルー ダーク グレー ダーク ブラック ブラック ブラック ブラック ダーク
0.7 1 1.5 2 3 4 グレー ホワイト ブルー オレンジ オレンジ
パスタンダードタイプ 50°~80°60°~70°50°~70° 50° 60° − − 55°~70°60°~70° − 50°~70° 70° 60°~70° − −
ッ
ドベローズタイプ 50° − 50° 50° 60° 20° 40° 55° 60° − 50° − 60° − −
建物の外壁材や小さな石物や 形
スポンジタイプ 状多段ベローズタイプ 50° 50° 50° 50° − 20° 40° 55° 50° − 50° − 60° − −
貝殻のようなワークに最適 別
表面に凸凹のあるワーク 10 15 20 25 30 35 表長円タイプ 40°~50° − 50° 40°~50°50°~60° − − 55° 50° − 50° 70° 70° − −
面ソフトタイプ 40° − − 40° 60° − − − − 40° − − 50° − −
(建物の外壁材、小さな石物・貝殻) 50 70 100 硬
度ソフトベローズタイプ 40° − 50° 40° 60° − − 55° − − 50° − 60° − −
(
シ滑り止めタイプ 50° − − 50° − − − 55° 60° − − − 60° − −
ョ
ベローズタイプ アフラットタイプ 60° − − 40° 40° − − 50° 50° − − − 60° − −
レトルトパックや食料品などが 蛇腹構造でワークに柔らかく倣うベローズ 2 4 6 8 10 15 諸 A
入った袋に最適 パッド。 物)薄物用タイプ 40° − − 40° − − − 55° 50° 40° − − 60° − −
温度 110℃ 140℃ 180℃ − − 60℃ 230℃ 180℃ 150℃ 100℃ 110℃ 80℃ 180℃
吸着痕防止樹脂アタッチメントを付けるこ 20 25 30 40 50 60 性高温使用限界
とでFPD、ガラス基板等の搬送に適します。 低温使用限界温度 -30℃ -30℃ -40℃ − − -20℃ -10℃ -50℃ -40℃ -50℃ -30℃ -45℃ -40℃
80 100 耐候性 − −
多段ベローズタイプ 蛇腹構造でワークに柔らかく倣うベローズ 耐オゾン性 × − − × ×
パッド。 6 8 10 20 30 40 耐酸性 − − ×
4段の蛇腹構造によりパッド吸着面が、 50 耐アルカリ性 − − × ×
大きく振ってワークに倣います。 耐(ガソリン・軽油) − − × × ×
油
吸着スペースが限られるワーク 性(ベンゼン・トルエン) × − − × ×
(基板、半導体、丸棒)に最適 2×4 3.5×7 体積抵抗率 − − − 10⁵Ω·cm以下 − − − − − − 200Ω·cm以下 200Ω·cm以下 − −
長円タイプ 円状に吸着面を確保できないケースで、 4×10 4×20 4×30 評価の見方➡◎:最適、○:適、△:良好、×:不適
便利な長円形状のパッド。 ※1:パッド材質注文記号:NHは、滑り止めタイプのみの設定となります。
吸着面が小さいワークに対応する小サイズ 5×10 5×20 5×30 注1:諸物性については、パッド材質に使用されている一般的な合成ゴムの特性について示したものです。
(2×4~)からラインナップ。 6×10 6×20 6×30 注2:使用限界温度に於ける実使用は瞬時に於けるものであり、一定時間継続する場合には十分確認の上ご使用ください。
注3:表面処理(オプション)の繊維起毛タイプを選択した場合、フッ素ゴムの高温使用限界温度は200℃となります。
8×20 8×30
ソフトタイプ
パッドが柔軟性に優れ、ワークに優しいパッド。 4 6 8 10 15 20
成形品の取り出しや傷つきやすい 傷のつきやすいワークのみ優しく、吸着痕
ワークに最適 も少ない。 30 40 各樹脂材質
パッド材質 PEEK POM 導電性PEEK
ソフトベローズタイプ 項目 注文記号 K M KE
パッドが柔軟性に優れ、ワークに優しいパッド。 各種製造ライン
ベローズ構造により、ワークが傾いている 6 8 10 15 20 用 途 半導体・液晶製造装置 食品関連機器 半導体・液晶製造装置
時に使用可能。 包装機械 電子機器部品
パッド色
滑り止めタイプ プレス部品などの油が付着した
ワークに最適 ベージュ ホワイト ブラック
パッド吸着面にグリップ溝を設け、油が付着 高温使用限界温度 250℃ 95℃ 250℃
した鉄板搬送時の滑りを防止するパッド。 10 20 30 40 50 低温使用限界温度 -50℃ -60℃ -50℃
耐候性 ×
諸耐酸性 ×
薄物用タイプ 物
パッド吸着面のリブ部を薄くして、ワークへ 性耐アルカリ性
シートやビニールなど薄物ワーク の密着性を向上させた吸着パッド。 自己潤滑性
に最適 薄物ワークの吸着に適しており、重複吸着 8 10 15 20
耐摩耗性
(2枚取り)も軽減。 体積抵抗率 − − 10⁵~10⁶Ω·cm
フラットタイプ 評価の見方➡◎:最適、○:適、△:良好、×:不適
吸着面をフラット形状にすることで吸着時 注1: 諸物性については、パッド部樹脂材質の物であり、吸着痕防止パッドのホルダ部を含めた特性ではありません。
のワーク変形を抑え、シワを軽減すること 10 15 20 25 30 使用する真空パッドホルダ、及び吸着痕防止パッドホルダ部分の仕様を考慮して選定を行ってください。
を重視した吸着パッド。 注2: 諸物性については、各材質の一般的な特性であり保証値ではありません。使用に際しては実機での確認を行ってください。
注3: 高温使用限界温度に於ける実使用は瞬時に於ける物であり、一定時間継続する場合には十分確認の上ご使用ください。
液晶ガラス・塗装工程・半導体 注4: 体積抵抗率は、材料メーカーの公表する代表値であり、保証値ではありません。
吸着痕防止タイプ 製造装置などに最適 パッド素材に樹脂材を使用したタイプ。
ワークの微小な傾斜に追従するフレキシブ
ルホルダを標準装備。吸着痕が付きにくく 10 20 30
真空破壊時のワーク離脱性も良好です。
Page5
(器)和英カ(23.7)E-64.ai
関連商品
真空システム機器 SELVACS(セルバックス)
●コンパクト設計
各機器がコンパクト設計にされており、省スペースです。
●豊富な機種バリエーション
シリーズの機種・バリエーションが豊富で、幅広い分野・用途にお応え
できます。
●ユニット化・モジュール化
核となるエジェクタシステム/真空ポンプシステムには、ユニット化・モ
ジュール化をはかり、さらに省スペース、使い易さを追求しました。
カタログNo.CC-796
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