プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」

New Products 新商品 プロセスガス用レギュレータ PGMシリーズ REGULATOR FOR PROCESS GAS PGM SERIES 高精度な圧力 / 流量調整で 超安定プロセスを実現 CC-1596

プロセスコントロールを 高シール性 新たな次元 プロセス安定化に貢献 へ ● 弁座部の最適設計と超精密加工 最小限の圧力上昇 ● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで 2次側バルブ 早期安定 抑制 Close プロセスガス用レギュレータ ※1： 流量0で2次側圧力をキープする弁閉動作を想定した場合 時間（T） （※1） PGM Serie s の2次側圧力上昇イメージ。 業界最高クラスのシール性能・ 高い微小流量制御性 圧力アンダー ヒステリシス・繰り返し再現性を誇る シュート低減 CKDのプロセスガスレギュレータ。 安定かつスムーズな動作を実現 ● 弁座部形状の最適設計 供給ガスの高精度な圧力/流量調整で ● 微小流量でも安定制御 安定プロセスを実現します。 ※2： 流量10sccmで制御した時の圧力変動イメージ。 圧力 流量 流量オーバー シュート低減 時間（T） （※2） エッチング・成膜装置におけるプロセスガスの高精度コントロール 圧力制御・減圧 圧力安定化 ヒステリシス低減 １次側 圧力状態 2次側 圧力状態 １次側 圧力状態 2次側 圧力状態 高圧 高圧 高圧 高圧 使用 狙いの圧力に確実にミート ヒステリシス低減 安定 事例 High Low ● 高品質材料の採用 変動 ● 超精密加工 低圧 低圧 低圧 低圧 ※3： 流量を増加→減少させた際の2次側圧力の変動イメージ。 １次側 2次側 １次側 2次側 流量 （※3） 高耐食・高品質材料 最適設計 豊富な製品ラインナップ ● 高耐食材料の採用 ● 極限まで摺動部を削減 ● 電解研磨・超精密加工・超精密洗浄の実施 ● ダイヤフラム構造の最適化 2次側設定圧 ● 材質の最適化でスムーズな動作を実現 PSI －10 0 10 30 50 70 90 100 MPa 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 シート PFA FlowRate Model PGM-30V ポペット SUS316L 20L/min PGM-30 （ANR） PGM-50 バネ SUS316 PGM-100 50L/min PGM-H-60 ボディ SUS316L （ANR） PGM-H-100 異なる高耐食材質への変更も可能 PGM-2H-30V ハイスペック材料＆デザインで実力耐久300万回以上を実現 200L/min PGM-2H-30 （ANR） PGM-2H-60 長期使用後も高い制御性と高清浄度を確保 PGM-2H-100 2次側圧力（P2) 2次側圧力（P2) 2次側圧力（P2) 流量（Q）

プロセスガス用　レギュレータ PGM Series 仕様 PGM- 30V 30 50 － 100 項目 PGM-H- － － － 60 100 PGM-2H- 30V 30 － 60 100 使用流体 不活性ガス・プロセスガス 最高使用圧力 MPa 1.0 設定圧力 MPa -0.07～0.21 0～0.21 0～0.35 0～0.42 0～0.7 流体温度 ℃ PGM・PGM-H ： -5～40 PGM-2H ： 20～50 弁座漏れ Pa･m3/s（He） PGM・PGM-H ： 1.0×10-8以下 PGM-2H ： 2.0×10-8以下 外部漏れ Pa･m3/s（He） 2.8×10-12以下 耐圧力 MPa 1.5 周囲温度 ℃ PGM・PGM-H ： -5～40 PGM-2H ： 20～50 保存周囲温度 ℃ -5～60（PGM-2Hのみ） 接ガス部表面処理 電解研磨仕様 接続方式 各種集積インタフェース対応　（PGM-※-1、2、3、4、5）（PGM-2H-※-6、7） 1/4″JXR継手（VCR継手と接続可能）　（PGM-※-4R、4RM、4MF、4FM） 3/8″JXR継手（VCR継手と接続可能）　（PGM-2H-※-6R、6RM、6MF、6FM） 質量 kg 0.39（PGM-※-4） JIS記号 1

PGM Series 形番表示方法・内部構造図および部品リスト 形番表示方法 PGM H 60 4R イ 機種形番 流量シリーズ イ 流量シリーズ 無記号 H 2H 20 50 200 L/min L/min L/min 記号 内　容 PGM PGM-H PGM-2H ロ 2次側設定圧力 ロ 2次側設定圧力 30V -0.07～0.21MPa｛-10～30psi｝ ● ● 30 0～0.21MPa｛0～30psi｝ ● ● 50 0～0.35MPa｛0～50psi｝ ● 60 0～0.42MPa｛0～60psi｝ ● ● 100 0～0.7MPa｛0～100psi｝ ● ● ● ハ 継手タイプ：接続方式 ／集積タイプ：ボディサイズ（シール方式） ハ 継手タイプ：接続方式 ／ 集積タイプ：ボディサイズ 4R 1/4″JXRメス継手 ● ● 　（シール方式） 4RM 1/4″JXRオス継手 ● ● 4MF 1/4″JXRオス→メス継手 ● ● 4FM 1/4″JXRメス→オス継手 ● ● 6R 3/8″JXRメス継手 ● 6RM 3/8″JXRオス継手 ● 6MF 3/8″JXRオス→メス継手 ● 6FM 3/8″JXRメス→オス継手 ● 1 □1.125″(1.125″Cシール) ● ● 2 □1.5″(1.5″Cシール) ● ● 3 □1.5″(1.5″CSシール) ● ● 4 □1.5″(1.5″Wシール) ● ● 5 □1.125″(1.125″Wシール) ● ● 6 □1.5″(1.5″ハイフローCシール) ● 7 □55mm (3/8″Wシール) ● ニ オプ ション ニ オプション 無記号 オプションなし ● ● ● ポペット：ハステロイ®C-22 S ● ばね：Ni-Co合金 P 弁シート：PI ● ※1：流量は公称値です。流量特性のグラフより圧力条件についてご確認ください。 ※2：ゲージポート付き・誤操作防止カバー付き・パネルマウントタイプにつきましては お問い合わせください。 内部構造図および部品リスト 2 3 4 接ガス部材質 5 品番 部品名称 材質 1 1 ボディ SUS316L 2 ダイアフラム ハステロイ®C-22 IN OUT 3 シート PFAまたはP（I オプション） 4 ポペット SUS316Lまたはハステロイ®C-22（ オプション） 5 ばね SUS316またはNi-Co合金（オプション） ハステロイ®はヘインズインターナショナルインコーポレイテッドの登録商標です。 2

PGM Series 外形寸法図 注：流路方向はボディに矢印で表示しています。 ●PGM-※-4R ●PGM-※-4RM ●PGM-※-1 （1/4″JXRメス継手） （1/4″JXRオス継手） （1.125″Cシール） φ28.5 φ28.5 φ28.5 IN OUT IN OUT 70.6 70.6 IN OUT 7.75 18 4－M5深7 18 4－M5深7 21.74 29 29 4－φ4.7 28.5 ●PGM-※-2 ●PGM-※-3 ●PGM-※-4 ●PGM-※-5 （1.5″Cシール） （1.5″CSシール） （1.5″Wシール） （1.125″Wシール） φ28.5 φ28.5 φ28.5 φ28.5 IN OUT IN OUT IN OUT IN OUT 7.75 20 30.18 4－φ5.2 26 4－φ5.5 26 4－φ5.5 28.5 4－φ4.4 38 39 39 3 30.18 8 104（MAX114） 38 18 30 11.2 85（MAX95） 30 8 104（MAX114） 39 18 30 11.2 85（MAX95） 30 8 104（MAX114） 39 6.5 21.74 99（MAX109） 28.5 21.8 6.5 28.5 99（MAX109）

PGM Series 外形寸法図 外形寸法図 ●PGM-2H-※-6R ●PGM-2H-※-6RM （3/8″JXRメス継手） （3/8″JXRオス継手） φ38 φ38 IN OUT IN OUT 94 94 2－M5深7 2－M5深7 22.4 22.4 38 38 ●PGM-2H-※-6 ●PGM-2H-※-7 （1.5″ハイフローCシール） （3/8″Wシール） φ38 φ38 IN OUT 4－φ5.2 IN OUT 4－φ6.5 11.56 30.2 38 36 55 4 30.2 8 （MAX108） 38 38 17.5 （MAX97） 38 42 15 （MAX121） 55 17.5 （MAX97）

PGM Series 流量特性 ※当社試験データによる ●PGM-30V,30,50 ●PGM-100 P1=0.7MPa P1=0.7MPa 0.40 P1=0.5MPa 0.60 P1=0.5MPa P1=0.3MPa 0.35 P1=0.3MPa 0.50 0.30 2 2 0.40 次 0.25 次 側 側 圧 0.20 圧 0.30 力 力 （MPa）0.15 （MPa）0.20 0.10 0.10 0.05 0.00 0.00 0 10 20 30 40 50 60 0 10 20 30 40 50 60 流量（L/min（ANR）)（N2） 流量（L/min（ANR）)（N2） ●PGM-H-60 ●PGM-H-100 P1=0.7MPa P1=0.7MPa 0.40 P1=0.5MPa 0.60 P1=0.5MPa 0.35 P1=0.3MPa P1=0.3MPa 0.50 0.30 2 2 0.40 次 0.25 次 側 側 圧 0.20 圧 0.30 力 力 （MPa）0.15 （MPa）0.20 0.10 0.05 0.10 0.00 0.00 0 20 40 60 80 100 0 20 40 60 80 100 流量（L/min（ANR）)（N2） 流量（L/min（ANR）)（N2） ●PGM-2H-30V,30 ●PGM-2H-60 P1=0.7MPa P1=0.7MPa 0.40 P1=0.5MPa 0.40 P1=0.5MPa 0.35 P1=0.3MPa 0.35 P1=0.3MPa 0.30 0.30 2 2 次 0.25 次 0.25 側 側 圧 0.20 圧 0.20 力 力 （MPa）0.15 （MPa）0.15 0.10 0.10 0.05 0.05 0.00 0.00 0 50 100 150 200 0 50 100 150 200 流量（L/min) 流量（L/min) ●PGM-2H-100 P1=0.7MPa 0.60 P1=0.5MPa P1=0.3MPa 0.50 2 0.40 次 側 圧 0.30 力 （MPa）0.20 0.10 0.00 50 100 150 200 流量（L/min（ANR）)（N2） 5

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な 装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用（屋外仕様品は除 きます）、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、 万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･ プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JISB8370（空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでください。 ❶機械 ･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 ❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム 内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて いるか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ危険 （DANGER）発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 （WARNING） 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じること （CAUTION）が想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 保証について 1 保証期間 本製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1.5年間といたします。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の 無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログ、仕様書、取扱説明書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②耐久性（回数、距離、時間など）を超える場合、および消耗品に関する事由による場合 ③故障の原因が本製品以外の事由による場合 ④製品本来の使い方以外のご使用による場合 ⑤当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑥納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑦天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 注）耐久性および消耗品については最寄りの当社営業所にお問合わせください。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 6

プロセスガス用機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 プロセスガス用機器一般の注意事項は「ドライファイン機器総合」（カタログNo.CB-035）を ご覧ください。 プロセスガス用レギュレータ　PGMシリーズ 設計・選定時 警告 ■レギュレータの設定圧力を越えた出力圧が二次側装 ■取付の際は、必ず流体の流れを矢印方向となるよう 置の破損や作動不良を招く場所には必ず安全装置を 配管してください。 付けてください。 使用時 1.使用上の注意 ③調圧ノブを時計回りに回転させ、調整圧力範囲内 に出口圧力を調整し、出口圧力が安定してから最 注意 低10分間放置し、出口圧力の上昇の有無を確認し ■本製品へのガスの供給を行なう前に調圧ノブを反時 てください。 計方向（DEC）に完全に緩めてください。 ④前述②，③で出口圧力が継続して上昇し続ける場合 ■入口側供給バルブを開けるときはゆっくりと操作し、 が出流れ現象です。 異常な圧力上昇、漏れがあったときは入口側供給バ ■ ルブをすぐ閉められる状態で操作してください。 出流れが確認できた場合直ちに使用を中止し、ガス抜 きを行い、必要に応じてパージを行った後、本製品を ■入口側圧力を供給後、出流れ現象がないことを確認 してください。 取外し、現品の交換をお願いします。 ■遮断弁として使用しないでください。 ■使用中に金属音と共に出口圧力が小刻みに激しく振 4.気密チェック方法について れる現象が発生することがあります。（バイブレー ション現象）この様な現象が確認されましたら、直ち 注意 に入口供給バルブを閉じ使用を中止してください。 本製品入口側 ①本製品の調圧ノブが反時計方向にいっぱいに回っ 2.操作方法 ている事を確認後、本製品の入口側へ清浄な不活性  注意 ガス（N2，Ar等）を供給してください。 ②入口圧力が安定したら、入口側供給バルブを閉じて ■調圧ノブを時計方向（INC）に回すことにより設定圧 力が上がります。 ください。 ③上記状態より時間の経過に伴い、入口圧力が徐々に ■ガスが流れている状態で、調圧ノブを反時計方向 （DEC）に回すことにより設定圧力が下がります。 降下するようであれば、本製品までの漏れが考えら れます。 ■本製品はリリーフ機能がありませんので、ガスが流 れていない場合にはベントする必要があります。 　（但し、出流れ現象がないこと。） ■調圧ノブを反時計方向に回転（閉止）させる場合、回転 本製品出口側 端からさらに回す力を加えないよう注意してください。 調圧ノブ ①本製品の調圧ノブが反時計方向にいっぱいに回っ ている事を確認後、本製品の入口側へ清浄な不活性 減圧時： 昇圧時： 反時計方向 時計方向 ガス（N2，Ar等）を供給してください。 回転（DEC） 回転（INC） ②本製品の出口側バルブを閉じ、調圧ノブにより圧力 を設定してください。 ③入口・出口圧力が安定したら、本製品の入口側供給 バルブを完全に閉じてください。 ④上記状態より時間の経過に伴い、入口・出口圧力共 3.出流れチェック方法について に大きな変動があれば、本製品出口側よりの漏れが 注意 考えられます。 ①ゆっくりとした開操作で入口側ガス供給バルブを 　（但し、出漏れ現象がないこと。） 開け、入口圧力を供給してください。 ■漏れが確認できた場合直ちに使用を中止し、ガス抜 ②出口側と入口側のバルブを閉じ、最低10分間放置 きを行い、必要に応じてパージを行った後、本製品 し、出口圧力の上昇の有無を確認してください。 を取外し、現品の交換をお願いします。 7

PGM Series 関連ホームページ・カタログ紹介 Webサイトのご案内 CKD半導体スペシャルサイト 半導体製造工程に使用される高清浄度（UHP=Ultra High Purity）製品に特化したスペシャルサイトです。 プロセス名や気になるキーワードから検索でき、お探し PC画面 の製品がきっと見つかります。 こちらからアクセス URL:https://www.ckd.co.jp/  semiconductor/jp スマホにも対応 関連商品カタログのご案内 プロプセロスセガススガ用ス機用器機・器真・空真用空機用器機器 プ プ ドドラライイフファァイインン機機器器総総合合 ロ ロ セ セ 半導体製造プロセス制御の高度ニーズに応える ス ス ガ ガ ス ス 用 用 機 機 器 器 ・ ・ 真 真 空 空 用 用 機 機 ドライファイン機器総合 器 器 　 カタログNo.CB-035 GaGsa asn adn Vda Vcaucuumu mPr Pocroecsessese Cso Cmopmopnoenetsnts ●業界トップの実績と信頼性 ●高度仕様のスーパークリーンルーム、設計から組立・包装までの一貫した 生産体制で高いクオリティを実現 ●多種・多彩な継手バリエーション CB-0C3B5-01135 11 クリーン機器システム クリーン機器システム Pneumatic components for clean room specification 空圧シリンダ 方向切換弁 ＦＲユニット 空圧補助機器 エアユニット機器 センサ機器 エアーブロー用バルブ 5 カタログNo.CB-033S 版 カタログNo.CB-033S-5 多様な分野、レベルのクリーンルーム清浄度に対応 8

(器)和英カ(22.5)E-64.ai お問合せは お近くの営業所へどうぞ 北 陸 ・ 信 越 ●大阪オフィス 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） ●長岡営業所 TEL（06）6152-9415　FAX（06）4866-5391 北　海　道 〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33（高野不動産ビル2階） TEL（0258）33-5446　FAX（0258）33-5381 中 　 国 ●札幌出張所 ●松本営業所 ●広島営業所 〒003-0023 北海道札幌市白石区南郷通20丁目北3-28（札幌南郷ビル2階） 〒390-0852 長野県松本市大字島立399-1（滴水ビル4階） 〒730-0029 広島県広島市中区三川町2番6号（くれしん広島ビル3階） TEL（011）862-5071　FAX（011）862-5070 TEL（0263）40-0733　FAX（0263）40-0744 TEL（082）545-5125　FAX（082）244-2010 東　　　　北 ●富山営業所 ●岡山営業所 〒939-8071 富山県富山市上袋100-35 〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町2丁目6番25号（朝日生命岡山柳町ビル10階） ●北上営業所 TEL（076）421-7828　FAX（076）421-8402 TEL（086）224-7220　FAX（086）224-7221 〒024-0061 岩手県北上市大通り２丁目３番８号（岩手地所北上駅前ビル4-1） ●金沢営業所 ●山口営業所 TEL（0197）63-4147　FAX（0197）63-4186 〒920-0025 石川県金沢市駅西本町3-16-8 〒747-0801 山口県防府市駅南町6-25 ●仙台営業所 TEL（076）262-8491　FAX（076）262-8493 TEL（0835）38-3556　FAX（0835）22-6371 〒981-3133 宮城県仙台市泉区泉中央４丁目1-5（SAKAE泉中央ビル401） TEL（022）772-3041　FAX（022）772-3047 東 　 海 四 　 国 ●山形営業所 ●名古屋営業所 ●高松営業所 〒990-0834 山形県山形市清住町3-5-19 〒460-0008 愛知県名古屋市中区栄一丁目12番17号 〒761-8071 香川県高松市伏石町2158-10 TEL（023）644-6391　FAX（023）644-7273 TEL（052）223-1121　FAX（ 052）223-1127 TEL（087）869-2311　FAX（087）869-2318 ●郡山出張所 ●小牧営業所 ●松山営業所 〒963-8046 福島県郡山市町東一丁目35（メイプルコート1-A） 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒790-0053 愛媛県松山市竹原2-1-33（サンライト竹原1階） TEL（022）772-3041　FAX（022）772-3047 TEL（0568）73-9023　FAX（0568）75-1692 TEL（089）931-6135　FAX（089）931-6139 北　関　東 ●豊田営業所 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 九 　 州 ●さいたま営業所 TEL（0565）54-4771　FAX（0565）54-4755 ●福岡営業所 〒331-0812 埼玉県さいたま市北区宮原町3-297-2（杉ビル6 5階） ●三河営業所 〒812-0013 福岡県福岡市博多区博多駅東1-10-27（アスティア博多ビル5階） TEL（048）652-3811　FAX（048）652-3816 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 TEL（092）473-7136　FAX（092）473-5540 ●茨城営業所 TEL（0565）54-4771　FAX（0565）54-4755 ●北九州営業所 〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1（関鉄つくばビル4階C） ●静岡営業所 〒802-0081 福岡県北九州市小倉北区紺屋町12-4（大樹生命北九州小倉ビル8階） TEL（029）841-7490　FAX（029）841-7495 〒422-8035 静岡県静岡市駿河区宮竹1-3-5 TEL（093）513-2331　FAX（093）513-2332 ●宇都宮営業所 TEL（054）237-4424　FAX（054）237-1945 ●熊本営業所 〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7（メットライフ宇都宮ビル1階） ●浜松営業所 〒869-1103 熊本県菊池郡菊陽町久保田2799-13 TEL（028）638-5770　FAX（028）638-5790 〒435-0016 静岡県浜松市東区和田町438 TEL（096）340-2580　FAX（096）340-2584 ●太田営業所 TEL（053）463-3021　FAX（053）463-4910 〒373-0813 群馬県太田市内ケ島町946-2（大槻商事ビル1階） ●四日市営業所 本 　 社 TEL（0276）45-8935　FAX（0276）46-5628 〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800 ●本社・工場 南　関　東 TEL（059）339-2140　FAX（059）339-2144 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 関 　 西 TEL（0568）77-1111　FAX（0568）77-1123 ●東京営業所 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） ●大阪営業所 TEL（03）5402-3628　FAX（03）5402-0122 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） ●立川営業所 TEL（06）6152-9412　FAX（06）4866-5392 〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30（朝日生命立川錦町ビル3階） ●滋賀営業所 TEL（042）527-3773　FAX（042）527-3782 〒524-0033 滋賀県守山市浮気町字中ノ町300-21（第2小島ビル4階） ●千葉営業所 TEL（077）514-2650　FAX（077）583-4198 〒274-0825 千葉県船橋市前原西2-12-5（朝日生命津田沼ビル5階） ●京都営業所 TEL（047）470-5070　FAX（047）493-5190 〒612-8414 京都府京都市伏見区竹田段川原町241 ●神奈川営業所 TEL（075）645-1130　FAX（075）645-4747 〒243-0438 神奈川県海老名市めぐみ町2番2号（ViNA GARDENS OFFICE12階1208） ●奈良営業所 TEL（046）289-0300　FAX（046）289-0301 〒630-8115 奈良県奈良市大宮町7丁目1番33号（奈良センタービルディング3階） ●甲府営業所 TEL（0742）32-2511　FAX（0742）32-2512 〒409-3867 山梨県中巨摩郡昭和町清水新居1509 ●神戸営業所 〒673-0016 フリーアクセス 　0120-771060 TEL（055）224-5256　FAX（055）224-3540 兵庫県明石市松の内2-6-8（西明石スポットビル3階） ●東京オフィス TEL（078）923-2121　FAX（078）923-0212 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） （土日、休日除く） TEL（03）5402-3620　FAX（03）5402-0120 □ 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan Website https://www.ckd.co.jp/ □ PHONE +81-568-74-1338 FAX +81-568-77-3461 ASIA PT CKD TRADING INDONESIA 台湾喜開理股份有限公司 喜開理（上海）機器有限公司 ●HEAD OFFICE TAIWAN CKD CORPORATION CKD(SHANGHAI)CORPORATION Menara Bidakara 2, 18th Floor, Jl. Jend. Gatot Subroto Kav. 71-73, Pancoran, Jakarta 12870, Indonesia ●HEADQUARTERS ●営業部 /上海浦西事務所（SALES HEADQUARTERS / SHANGHAI PUXI OFFICE） PHONE +62-21-2938-6601 FAX +62-21-2906-9470 16F-3, No. 7, Sec. 3, New Taipei Blvd., Xinzhuang Dist., Room 601, 6th Floor, Yuanzhongkeyan Building, No. 1905 ・MEDAN OFFICE New Taipei City 242, Taiwan Hongmei Road, Xinhui District, Shanghai 200233, China ・BEKASI OFFICE PHONE +886-2-8522-8198 FAX +886-2-8522-8128 PHONE +86-21-61911888 FAX +86-21-60905356 ・KARAWANG OFFICE ・新竹営業所（HSINCHU OFFICE） ・上海浦東事務所（SHANGHAI PUDONG OFFICE） ・SEMARANG OFFICE ・台中営業所（TAICHUNG OFFICE） ・寧波事務所（NINGBO OFFICE） ・SURABAYA OFFICE ・台南営業所（TAINAN OFFICE） ・杭州事務所（HANGZHOU OFFICE） ・高雄営業所（KAOHSIUNG OFFICE） ・無錫事務所（WUXI OFFICE） CKD KOREA CORPORATION CKD VIETNAM ENGINEERING CO.,LTD. ・昆山事務所（KUNSHAN OFFICE） ●HEADQUARTERS ・蘇州事務所（SUZHOU OFFICE） （3rd Floor）, 44, Sinsu-ro, Mapo-gu, Seoul 04088, Korea ●HEADQUARTERS ・南京事務所（NANJING OFFICE） PHONE +82-2-783-5201～5203 FAX +82-2-783-5204 18th Floor, CMC Tower, Duy Tan Street, Cau Giay ・合肥事務所（HEFEI OFFICE） ・水原営業所（SUWON OFFICE） District, Hanoi, Vietnam ・成都事務所（CHENGDU OFFICE） ・天安営業所（CHEONAN OFFICE） PHONE +84-24-3795-7631 FAX +84-24-3795-7637 ・武漢事務所（WUHAN OFFICE） ・蔚山営業所（ULSAN OFFICE） ・HO CHI MINH OFFICE ・鄭州事務所（ZHENGZHOU OFFICE） ・長沙事務所（CHANGSHA OFFICE） M-CKD PRECISION SDN.BHD. EUROPE ・重慶事務所（CHONGQING OFFICE） ●HEAD OFFICE CKD EUROPE B.V. ・西安事務所（XIAN OFFICE） ・広州事務所（GUANGZHOU OFFICE） Lot No.6,Jalan Modal 23/2, Seksyen 23, Kawasan MIEL, ●HEADQUARTERS ・中山事務所（ZHONGSHAN OFFICE） Fasa 8, 40300 Shah Alam,Selangor Darul Ehsan, Malaysia Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, the Netherlands ・深圳西事務所（WEST SHENZHEN OFFICE） PHONE +60-3-5541-1468 FAX +60-3-5541-1533 PHONE +31-23-554-1490 ・深圳東事務所（EAST SHENZHEN OFFICE） ・JOHOR BAHRU BRANCH OFFICE ・CKD EUROPE GERMANY OFFICE ・東莞事務所（DONGGUAN OFFICE） ・PENANG BRANCH OFFICE ・CKD EUROPE UK ・厦門事務所（XIAMEN OFFICE） ・福州事務所（FUZHOU OFFICE） CKD SINGAPORE PTE. LTD. ・CKD EUROPE CZECH O.Z. ・瀋陽事務所（SHENYANG OFFICE） No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industr ial CKD CORPORATION EUROPE BRANCH Building, Singapore 347789, Singapore Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, the Netherlands ・大連事務所（DALIAN OFFICE） ・長春事務所（CHANGCHUN OFFICE） PHONE +65-67442623 FAX +65-67442486 PHONE +31-23-554-1490 ・北京事務所（BEIJING OFFICE） CKD CORPORATION BRANCH OFFICE ・天津事務所（TIANJIN OFFICE） No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industr ial NORTH AMERICA & LATIN AMERICA ・青島事務所（QINGDAO OFFICE） Building, Singapore 347789, Singapore CKD MEXICO, S. DE R.L. DE C.V. ・潍坊事務所（WEIFANG OFFICE） PHONE +65-67447260 FAX +65-68421022 Cerrada la Noria No. 200 Int. A-01, Querétaro Park II, ・済南事務所（JINAN OFFICE） ・烟台事務所（YANTAI OFFICE） CKD THAI CORPORATION LTD. Parque Industrial Querétaro, Santa Rosa Jáuregui, Querétaro, C.P. 76220, México CKD INDIA PRIVATE LTD. ●HEADQUARTERS PHONE +52-442-161-0624 ●HEADQUARTERS 19th Floor, Smooth Life Tower, 44 North Sathorn Road, Unit No. 607, 6th Floor, Welldone Tech Park, Sector 48, Silom, Bangrak, Bangkok 10500, Thailand CKD USA CORPORATION Sohna Road, Gurgaon-122018, Haryana, India PHONE +66-2-267-6300 FAX +66-2-267-6304-5 ●HEADQUARTERS PHONE +91-124-418-8212 ・NAVANAKORN OFFICE 1605 Penny Lane, Schaumburg, IL 60173, USA ・BANGALORE OFFICE ・EASTERN SEABOARD OFFICE PHONE +1-847-648-4400 FAX +1-847-565-4923 ・LAMPHUN OFFICE ・LEXINGTON OFFICE ・PUNE OFFICE ・KORAT OFFICE ・SAN ANTONIO OFFICE ・AMATANAKORN OFFICE ・SAN JOSE OFFICE/ TECHNICAL CENTER ・PRACHINBURI OFFICE ・DETROIT OFFICE ・SARABURI OFFICE ・BOSTON OFFICE 本カタログに記載の製品及び関連技術は、外国為替及び外国貿易法のキャッチオール規制の対象となります。 本カタログに記載の製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 The goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are subject to complementary export regulations by Foreign Exchange and Foreign Trade Law of Japan. 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