小形真空レギュレータ VSRVVシリーズ　プッシュロックタイプ

New Products 新商品 小形真空レギュレータ VSRVVシリーズ プッシュロックタイプ COMPACT VACUUM REGULATOR VSRVV SERIES カンタン調整で作業性アップ！ 調 整 固 定 片手で簡単調整！ 「ワンプッシュ ロック」 装置の軽量化に貢献 銅を不使用 耐オゾン材料を標準使用 50％※の軽量化を実現 二次電池製造工程に最適 特殊ニトリルゴムを採用 本体を樹脂に、金属部 質量 流路部にSUS、アルミ 流路 弁部、ダイヤフラム部 耐オゾン 材質はアルミニウムを 合金を使用。 には劣化防止用の 特殊 使用。 50％ 銅イオンを嫌う用途に 銅系材料 耐オゾン材料を ニトリルゴム ※当社従来品(エルボタイプ)比 ダウン（最大） 最適。 制限 標準採用。 採用 豊富な配管バリエーション エルボAタイプ エルボBタイプ ユニオンタイプ 真空源の真空ポートに 真空パッドのホルダに 1次側と2次側の継手が 直接接続可能。 接続可能。 個別に回転し、 れ方向ア流 流れ方 向 自由に配管可能。 エ エア CC-1588

元圧の制御はもちろん、末端部の制御も可能です。 小形真空レギュレータ VSRVV Series ●接続口径：φ6、φ8、R1/4 JIS記号 特 長 ■小形真空ポンプの元圧制御に適します。 ■真空弁と吸着パッドの間に入れ個々のパッドの圧力制御も可能。 ■真空ポンプの真空ポートに直接接続できるエルボAタイプ（R1/4）を用意。 ■エルボBタイプ（R1/4）は、パッド径φ150、φ200mm用のホルダに直に取付け圧力制御できます。 配管例 真空供給時 真空ポンプ対応ユニット 真空ポンプ 真空レギュレータ プッシュロックタイプ 真空圧力を 制御（減圧） 真空パッド 真空破壊時 ワーク コンプレッサ ドライユニット 1

VSRVV Series 形番表示方法 形番表示方法 ●小形真空レギュレータ VSRVV 6 Z A RA B 1 接続サイズ 4 ブラケット 2 形状・流れ方向 3 圧力表示 1 接続サイズ 2 形状・流れ方向 6 φ6ワンタッチ継手 A エルボAタイプ（R1/4） 8 φ8ワンタッチ継手 B エルボBタイプ（R1/4） U ユニオンタイプ A B U 2次側 2次側 2次1側次側 1次側 1次1次側側 1次側 1次側 （SET）（SET）（S（EVTA）C）（VAC）（（VAVCA）C）（VAC）（VAC） 1次側 1次側 1次2側次側 2次側 2次側 2次側 2次側 2次側 （VAC）（VAC）（V（ASCE）T）（SET）（SET） （SET）（SET）（SET） 注1：U の場合は●4は無記号のみ選択可能。（ブラケットは標準装備） 注2：AタイプとBタイプは外形寸法は同じですが、後から変更は できません。 3 圧力表示 4 ブラケット 無記号 圧力表示なし（止栓付） 無記号 なし M 圧力表示なし（M5×0.8めねじ仕様） B ブラケット付 G 圧力表示付（φ30真空用圧力計） 注1：●2がUの場合は●4は無記号のみ選択可能。  RA デジタル圧力表示付（NPN_SW2点+アナログ出力） （ブラケットは標準装備） RAP デジタル圧力表示付（PNP_SW2点+アナログ出力） RC デジタル圧力表示付（NPN_SW2点+コピー機能） RCP デジタル圧力表示付（PNP_SW2点+コピー機能） 無記号 M G RA/RAP/RC/RCP 圧力表示なし 圧力表示なし 圧力表示付 止栓付 M5×0.8めねじ仕様 φ30mm真空用負圧計 デジタル圧力表示付 エルボタイプの制御方向について 制御方向 エルボタイプは、制御方向によってAタイプとBタイプがあります。AタイプとBタイプは、継手部の Aタイプ Bタイプ マーキングで見分けることができます。 継手部マーキング 継手部マーキング SET VAC 2次側（SET） 1次側（VAC） 1次側（VAC） 2次側（SET） ●専用部品形番 ・専用ブラケット VSRVV-B 2

VSRVV Series レギュレータ部の仕様 項 目 VSRVV 圧力表示 圧力計なし 大形デジタル表示付真空用圧力スイッチ φ30真空用圧力計 使用流体 空気 使用圧力 kPa -100～100 -100～0 設定圧力 kPa -100～-1.3 吸込流量ℓ/min（ANR） 30 使用温度 ℃ 0～50（但し、凍結なきこと） 0～40（但し、凍結なきこと） デジタル表示付圧力センサ仕様 デジタル表示付圧力センサ 項 目 アナログ出力（RA） コピー機能付（RC） アナログ出力（RAP） コピー機能付（RCP） 使用圧力 -100～100kPa 耐圧力 300kPa 保護構造 IEC規格IP40相当 周囲温度（保存時） -10～60℃（結露と凍結なきこと） 耐環境 周囲温度（使用時） 0～50℃（結露と凍結なきこと） 周囲湿度 （保存時/使用時） 35～85%RH（結露なきこと） 電源電圧 DC12～24V±10% リップル（P-P）±10%以下 消費電流 40mA以下（無負荷時） 表示回数 5回/秒 圧力表示 表示精度 ±2%F.S.　±1digit デジタル表示 メインディスプレイ：2色（赤、緑） サブディスプレイ：橙 出力点数 2点 スイッチ 出力方式 NPNオープンコレクタ PNPオープンコレクタ 出力 スイッチ定格 30VDC125mA以下 24VDC125mA以下 内部降下電圧 1.5V以下 アナログ 1～5V±2.5%F.S.以下 出力 出力電圧 直進性±1%F.S.以下 出力インピーダンス約1kΩ 温度特性 ±2.5%F.S.以下（0～50℃、at25℃） 繰り返し性 ±0.2%F.S.　±1digit 応差（ヒステリシス） 調整可能 応答性 選択可能 （2.5以下/25/100/250/500/1000/1500msec） 表示倍率（単位） 圧力レンジ（定格表示範囲） ×1（kPa） -100～100 ×1（MPa） - ×0.75（cmHg） -75～75 ×0.01（bar） -1.00～1.00 ×0.145（psi） -14.5～14.5 真空用圧力計部の仕様 項 目 真空用圧力計 圧力表示 kPa -100～0 圧力表示精度 5％F.S.（25℃時） 3

VSRVV Series 圧力特性・流量特性 圧力特性・流量特性 ■エルボAタイプ 圧力特性図 流量特性図 45 0 設定圧 : -50kPa 10 50 20 設定圧 : -55kPa 30 二 二 次 次 40 圧 55 圧 50 (-kPa) 設定圧 : -60kPa (-kPa) 60 60 70 80 65 90 95 90 85 80 75 70 65 0 5 10 15 20 25 30 一次圧(-kPa) 流量(ℓ/min(ANR)) ■エルボBタイプ 圧力特性図 流量特性図 45 0 10 設定圧 : -50kPa 50 20 30 二 次 設定圧 : -55kPa 二 次 40 圧 55 圧 50 (-kPa) (-kPa) 設定圧 : -60kPa 60 60 70 80 65 90 95 90 85 80 75 70 65 0 5 10 15 20 25 30 一次圧(-kPa) 流量(ℓ/min(ANR)) ■ユニオンタイプ 圧力特性図 流量特性図 45 0 10 設定圧 : -50kPa 50 20 二 二 30 次 設定圧 : -55kPa 次 圧 40 圧 55 (-kPa) (-kPa)50 設定圧 : -60kPa 60 60 70 80 65 90 95 90 85 80 75 70 65 0 5 10 15 20 25 30 一次圧(-kPa) 流量(ℓ/min(ANR)) 4

VSRVV Series 外形寸法図 ●エルボタイプ、圧力表示なし（止栓付）　VSRVV-□A/VSRVV-□B 29 ブラケット 25 18.5 20 2 φ14.2 M16×1 HEX19 2-φ6.5 ブリード孔 ※左 の外形寸法図は、 C ブラケット付タイプ の場合の図面です。 R1/4 φ22 E 単位(mm) 形番 適用チューブ外径 A B 質量 φD ロック時 調整時 ロック時 調整時 C E （ｇ） VSRVV-6ZA･6ZB 63 6 17 29 VSRVV-6ZA･6ZB-B 87 84.9 87.4 81.4 78.9 VSRVV-8ZA･8ZB 63 8 18.1 28.9 VSRVV-8ZA･8ZB-B 88 注1：B 寸法はねじ締付後の参考寸法です。 ●エルボタイプ、圧力表示なし（M5×0.8めねじ仕様）　VSRVV-□AM/VSRVV-□BM 29 ブラケット 25 21.3 20 2 6 φ14.2 M16×1 4 HEX19 2-φ6.5 HEX10 ブリード孔 M5×0.8 ※左の外形寸法図は、 C ブラケット付タイプ の場合の図面です。 R1/4 φ22 E 単位(mm) 形番 適用チューブ外径 A B 質量 φD ロック時 調整時 ロック時 調整時 C E （ｇ） VSRVV-6ZAM･6ZBM 64 6 17 29 VSRVV-6ZAM･6ZBM-B 88 84.9 87.4 81.4 78.9 VSRVV-8ZAM･8ZBM 64 8 18.1 28.9 VSRVV-8ZAM･8ZBM-B 89 注1：B 寸法はねじ締付後の参考寸法です。 5 61.6 12.3 33.6 61.6 12.3 23 2 33.6 4 23 2 11 32 4 12.5 11 32 12.5 11.3 29 29 A A B B φ14.5 φ14.5 φD φD

VSRVV Series 外形寸法図 外形寸法図 ●エルボタイプ、圧力表示付（φ30真空用圧力計）　VSRVV-□AG/VSRVV-□BG 29 ブラケット HEX12 HEX10 25 42.3 20 M16×1 2 16.5 φ14.2 HEX19 2-φ6.5 負圧計 ブリード孔 ※左の外形寸法図は、 C ブラケット付タイプ の場合の図面です。 R1/4 φ22 E 単位(mm) 形番 適用チューブ外径 A B 質量 φD ロック時 調整時 ロック時 調整時 C E （ｇ） VSRVV-6ZAG･6ZBG 120 6 17 29 VSRVV-6ZAG･6ZBG-B 145 84.9 87.4 81.4 78.9 VSRVV-8ZAG･8ZBG 120 8 18.1 28.9 VSRVV-8ZAG･8ZBG-B 145 注1：B寸法はねじ締付後の参考寸法です。 ●エルボタイプ、圧力表示付（デジタル表示付圧力センサ付）　VSRVV-□AR□/VSRVV-□BR□ 29 ブラケット 2画面デジタル表示付圧力センサ 25 61.1(※2) □30 20 ケーブル長さ：約2000 2 25.2 φ14.2 M16×1 HEX19 2-φ6.5 ブリード孔 HEX12 HEX14 ※左 の外形寸法図は、 C ブラケット付タイプ の場合の図面です。 R1/4 φ22 E 単位(mm) 形番 適用チューブ外径 A B φD ロック時 調整時 ロック時 調整時 C E 質量 （ｇ） VSRVV-6ZAR□･6ZBR□ 146 6 17 29 VSRVV-6ZAR□･6ZBR□-B 170 84.9 87.4 81.4 78.9 VSRVV-8ZAR□･8ZBR□ 146 8 18.1 28.9 VSRVV-8ZAR□･8ZBR□-B 170 注1：B寸法はねじ締付後の参考寸法です。　　　　注2：圧 力センサの取扱い方法は取扱説明書をご覧ください。 6 61.6 12.3 33.6 61.6 12.3 23 2 33.6 4 23 2 11 32 4 11 32 12.5 12.5 φ30 φ30 30 A A B B φ14.5 φ14.5 φD φD

VSRVV Series 外形寸法図 ●ユニオンタイプ、圧力表示なし（止栓付）　VSRVV-□U 29 ブラケット 25 18.5 20 2 φ14.2 M16×1 HEX19 2-φ6.5 1次側 （VAC） ブリード孔 φ28 2次側 （SET） 2-C 単位(mm) E1 形 番 適用チューブ外径 A 質量 E2 φD C E1 E2 ロック時 調整時 （ｇ） VSRVV-6ZU 6 17 29 31.1 108 85.3 87.8 VSRVV-8ZU 8 18.1 29.5 31 109 ●ユニオンタイプ、圧力表示なし（M5×0.8めねじ仕様）　VSRVV-□UM 29 ブラケット 25 21.3 20 2 6 φ14.2 M16×1 4 HEX19 2-φ6.5 HEX10 1次側 （VAC） ブリード孔 M5×0.8 φ28 2次側 （SET） 単位(mm) 2-C 形 番 適用チューブ外径 A 質量 E1 φD C E1 E2 ロック時 調整時 （ｇ） E2 VSRVV-6ZUM 6 17 29 31.1 109 85.3 87.8 VSRVV-8ZUM 8 18.1 29.5 31 110 7 62 12.3 62 12.3 18 34.5 18 34.5 23 2 23 2 4 4 11 11 32 32 29 11.3 29 A φ14.5φ14.4 2-φD A φ14.5φ14.4 2-φD

VSRVV Series 外形寸法図 外形寸法図 ●ユニオンタイプ、圧力表示付（φ30真空用圧力計）　VSRVV-□UG 29 ブラケット HEX12 HEX10 25 42.3 20 2 16.5 φ14.2 M16×1 HEX19 2-φ6.5 負圧計 1次側 （VAC） ブリード孔 φ28 2次側 （SET） 単位(mm) 2-C A 質量 形 番 適用チューブ外径 φD C E1 E2 E1 ロック時 調整時 （ｇ） E2 VSRVV-6ZUG 6 17 29 31.1 137 85.3 87.8 VSRVV-8ZUG 8 18.1 29.5 31 138 ●ユニオンタイプ、圧力表示付（デジタル表示付圧力センサ付）　VSRVV-□UR□ 29 ブラケット 25 61.1(※1) 2 ケーブル長さ：約2000 25.2 20 2画面デジタル表示付圧力センサ φ14.2 M16×1 HEX19 2-φ6.5 1次側 （VAC） ブリード孔 HEX12 HEX14 φ28 2次側 単位(mm) （SET） 適用チューブ外径 A 質量 2-C 形 番 φD C E1 E2 ロック時 調整時 （ｇ） E1 VSRVV-6ZUR□ 6 17 29 31.1 190 E2 85.3 87.8 VSRVV-8ZUR□ 8 18.1 29.5 31 191 注1：圧力センサの取扱い方法は取扱説明書をご覧ください。 8 62 12.3 62 12.3 18 34.5 18 34.5 23 2 23 2 4 4 11 11 32 32 φ30 φ30 30 A φ14.5φ14.4 2-φD A φ14.5 φ14.4 2-φD

VSRVV Series 内部構造図および部品リスト 品番 部品名 材質（処理） 1 1 調圧ツマミ ポリアセタール 2 2 調圧ねじ 鋼（無電解ニッケルメッキ） 3 ボンネット ポリブチレンテレフタレート 3 4 ガイドブッシュ アルミニウム合金（アルマイト） 4 5 調圧ブッシュ アルミニウム合金（アルマイト） 25 5 6 止ピン ステンレス鋼 24 6 7 7 Oリング 水素化ニトリルゴム 8 8 カートリッジ アルミニウム合金（アルマイト） 23 9 9 センタディスクA アルミニウム合金（アルマイト） ブリード孔 10 10 ダイヤフラム 水素化ニトリルゴム 11 11 センタディスクB アルミニウム合金（アルマイト） 22 リリーフ孔 12 開放リング ポリアセタール 21 13 ガイドリング 特殊ステンレス（オーステナイト系またはフェライト系） 7 14 ロック爪 特殊ステンレス（オーステナイト系またはフェライト系） 20 13 12 チューブ 15 弾性体スリーブ 水素化ニトリルゴム 19 16 プラグ アルミニウム合金（アルマイト） 18 17 金属本体 アルミニウム合金（アルマイト） 17 18 バルブスプリング ステンレス鋼 7 15 14 7 16 19 プレート アルミニウム合金（アルマイト） 20 バルブ アルミニウム合金（アルマイト） 21 樹脂本体 ポリブチレンテレフタレート 22 本体プレート アルミニウム合金（アルマイト） 23 調圧スプリング ステンレス鋼 24 ブラケット 鋼（無電解ニッケルメッキ） 25 M16×1六角ナット 鋼（亜鉛メッキ） 製品固定方法について ①エルボタイプ固定方法 エルボタイプ固定方法は、四角部（対辺：14mm）を利用し、適正な工具を使用して12～14N･mの締付トルクにて固定します。 取付けの際は工具を使用して回転させられる十分なスペースを確保してください。また、ゲージ及びセンサ付タイプの場合、ゲージ及び センサが付いた状態で回転させられる十分なスペースを確保してください。 ②ブラケットを利用した固定方法 ●ブラケット固定方法 ユニオンタイプ、及びエルボタイプブラケット付は、ブラケットの固定穴を利用し、M6ねじ（お客様にてご用意ください）で締付け 固定します。 ブラケット取付寸法 25 41 13 25 単位：㎜ ●本体固定方法 ユニオンタイプ、及びエルボタイプブラケット付は、ブラケットを固定した後、ブラケットの本体固定用穴を利用し、付属のM16×1 ナットを適正な工具を使用して3～4N･mのトルクにて締付けてください。 取付ける際は工具で回転させられる十分なスペースを確保してください。 ③隔壁取付穴を利用した固定方法 隔壁取付穴を利用して固定する際は、付属のM16×1ナットを適正な工具を使用して3～4N･mのトルクにて締付けてください。 取付ける際は工具で回転させられる十分なスペースを確保してください。 〈適用取付穴寸法〉 　内径：16.5㎜～17㎜ 　厚さ：8㎜以下 9 20 32

VSRVV Series 使用上の注意事項 使用上の注意事項 ご使用になる前必ずお読みください。 真空システム機器一般の注意事項については「、真空システム機器セルバックス（CC-796）」 をご確認ください。 警告 ■レギュレータに正圧を印加する際、φ30真空用圧力計は使用しないでください。正圧使用の場合は大形デジタ ル表示付真空用圧力スイッチをご使用ください。過大な正圧の印加は、機器破損の危険性があります。 ■ご 使用にあたっては接続する真空源の取扱説明書も合わせて熟読の上、十分な試験を行ってから運転してください。 注意 ■圧 力設定は、真空度上昇方向（時計回り）で設定してください。真空度低下方向（反時計回り）では、正確な 設定ができません。 ■圧力計、圧力スイッチ、ゲージポートに過大な荷重・衝撃を加えないでください。機器の破損や表示精度の 低下が発生する危険性があります。 ■ゲージポートにゲージ・配管などを取付ける場合、ゲージポート六角部（対辺：12mm）にスパナなどをかけ て締付けてください。またM5×0.8ポートへの締付けは、下表の推奨締付けトルクを参考に締付けてくださ い。機器の破損や漏れによる表示精度の低下が発生する危険性があります。 表.推奨締付けトルク ねじサイズ 締付けトルク M5×0.8mm 1.0～1.5N·m ■ゴ ミや粒体などを吸い込む可能性がある場合は、真空レギュレータの調圧側（ワーク側）に真空フィルタを 必ず取付けてください。異物の吸い込みにより作動不良が発生する恐れがあります。 ■二 次圧が不安定になりますのでブリード孔、及びリリーフ孔を塞がないでください。 ■レギュレータに正圧を印加する場合は、ブリード孔からエアが流出します。クリーンルームなどでご使用の場 合は注意してください。 ■破壊エアを印加する場合、ブリード孔からの漏れの量を考慮し、設定してください。 ■調 圧ツマミを全開状態から反時計回り、または全閉状態から時計回りに過剰に回さないでください。  調圧ツマミ、本体の破損の原因となります。（製品出荷時は全閉状態です。） ■調 圧ツマミは押すとロックされ、引くと解除されます。調圧後は必ずロック状態にしてください。  ロックしない状態で使用すると調圧ツマミが回転し圧力が変化する恐れがあります。 ■調圧ツマミを押込む際に回転の位置によってはロック状態とロック解除状態の中間位置で停止することがあり ます。この状態では完全にロックできていないため、ロック状態の位置まで調圧ツマミが押込まれていること を確認してください。 ■調圧ツマミロック時に調圧ツマミを無理に回転させるとロック機構部が破損する恐れがあります。 ■φ30mm負圧計は、圧力変動が大きい（ハイサイクル）所では使用しないでください。 ■デジタル表示付圧力センサの取扱いは、製品カタログの圧力計・センサの共通注意事項及びそれぞれの個別注 意事項をご確認ください。 ■製 品を固定する際は、付属の取扱説明書内の製品固定方法をよく読み、適切な箇所を指定されたトルクで締付 けてください。その他の部位や指定されたトルク以上で締付けた場合、本体が破損する危険性があります。 ■エルボタイプのゲージ位置は締付け位置で調整してください。継手部及び調圧ツマミ以外は回転しません。  無理に回転させると本体が破損する危険性があります。 10

(器)和中ﾓ非該(22.5)H-38.ai VSRVV Series 関連商品 真空システム機器　SELVACS（セルバックス） カタログNo.CC-796 ■コンパクト設計 　各機器がコンパクト設計にされており、省スペースです。 ■豊富な機種バリエーション 真空システム機器 セルバックス 　シリーズの機種・バリエーションが豊富で、幅広い分野・用 Selex Vacuum System エジェクタシステム 真空ポンプシステム 途にお応えできます。 吸着パッド 真空関連機器 5版 Ver.2 ■ユニット化・モジュール化 カタログNo.CC-796-5 　核となるエジェクタシステム／真空ポンプシステムには、ユ ニット化・モジュール化をはかり、さらに省スペース、使い 易さを追求しました。 5 2 Vacuum 真空レギュレータ VRA2000シリーズ 繊細なワークの吸着システムや検査システムなどの精密な圧力 調整に最適。 （カタログNo.CB-024S） 真空フィルタ VFAシリーズ 真空ポンプやエジェクタの吸い込み時に一緒に吸い込まれるダ ストや水分を効果的に除去。 （カタログNo.CB-024S） 本製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported from Japan, Japanese laws require the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 機器営業統括部 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)74-1303 FAX(0568)77-3410 Overseas Sales Dept. 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan TEL(0568)74-1338 FAX(0568)77-3461 ＜Website＞ 東京オフィス 〒105-0013 東京都港区浜松町 1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 https://www.ckd.co.jp/ 大阪オフィス 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） TEL(06)6152-9415 FAX(06)4866-5391 ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 0120-771060 ●Specifications are subject to change without notice. フリーアクセス 　 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 ○C CKD Corporation 2022 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2022.7.ACC