【防塵・防水・IP65】　小形流量センサ ラピフローFSM3シリーズ　耐環境仕様

New Products 新商品 小形流量センサ ラピフロー® FSM3シリーズ 耐環境仕様 COMPACT FLOW SENSOR RAPIFLOW® FSM3 SERIES ENVIRONMENT-RESISTANT SPECIFICATIONS 防塵・防水でさらに 幅広いシーンに IP P CC-1537 1

防塵・防水構造 ソリューション事例 塵埃や水のかかる環境で使用可能 ATEX指令に対応（オプション） 塗装エアの流量管理 アーク溶接 IP65相当の保護構造を有しています。 仕様の詳細は26ページの「ATEX対応について」を 塗装吹き付け時のエア圧力を電空レギュレータによ アルゴン、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス）などのシー 塵埃のある環境、メンテナンス時や清掃時に水がか ご確認ください。 り可変し流量を制御します。 ルドガスの流量を管理します。 かっても安心してご使用いただけます。 ボタン LCD表示タイプでは、カバーを開けることでボタン 操作が可能となります。 ※カバー開時は保護構造ではなくなります。 高性能 高精度・高応答 米飯などの冷却 繰返精度：±1％F.S.以内 表示精度：±3％F.S.以内 加熱調理後、菌の増殖を防ぐため除菌フィ 応答時間：50msec ルタでろ過した安全な圧縮空気で短時間 に冷却を行います。 MEMS 双方向での流体計測が可能 MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で半導体集積回路の製造に用 タクトタイムの短縮に貢献 いられる微細加工技術を応用した超小型デバイスの事です。 流れ方向を任意に測定できます。 クリーン仕様 発塵防止包装（P70）、禁油仕様（P80）を標準でライン アップ 装置のグレードに合わせた使い分けが可能です。 アウトガス対応 双方向（順方向設定） 双方向 双方向（逆方向設定） 体系表 流路に樹脂を使用していないため、アウトガスを嫌 う工程に最適です。 外観 適用流体 接続口径 最大流量（L/min） 記載ページ 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 1000 多様性 Rc1/8 Rc1/4 1台で5種類のガスを測定可能 ※ ※ ①空気 Rc1/2 ガス種切替機能 本体のボタン操作で 専用モデル 　窒素 　炭酸ガス G1/8 ・LDC表示 （LCD表示タイプ（）フルスケール流量200L/min以下のモデル） 酸素 　アルゴン 　1ページ 空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、    禁油仕様の酸素専用 　混合ガス G1/4 ・バー表示 モデルも準備しています 　（アルゴン+ ※ ※ G1/2 　5ページ 混合ガス（混合比Ar：CO（2 ８：２））を1台の流量セン 　　炭酸ガス サで対応可能。 FSM3シリーズ NPT1/8 ガス種 ②酸素 本体のボタン操作でガス種の切替ができます。 切替 NPT1/4 ※ ※ NPT1/2 ※混合比のご希望がありましたら、弊社営業担当者までお問い合わせください。 ※適用流体は空気、窒素のみです。 空気 窒素 アルゴン 炭酸ガス 混合ガス （アルゴン＋炭酸ガス） クリーン仕様P70、P80シリーズに対応しております。

小形流量センサ　ラピフロー　耐環境仕様 FSM3 Series LCD表示タイプ ●ステンレスボディタイプ（流量レンジ：500mL/min～1000L/min） LCD表示タイプ仕様 FSM3-L[ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[ 　] 項　目 [ロ] 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 U 片方向 流れ方向 [ハ] B 双方向 U 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 測定流量レンジ 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L （□/min） [ロ] -500〜 -1000〜 -2.00〜 -5.00〜 -10.00〜 -20.0〜 -50.0〜 -100.0〜 -200〜 注1 B -15、 -30、 -0.06、 -0.15、 -0.30、 -0.6、 -1.5、 -3.0、 -6、 -500〜-15、-1000〜-30、 15〜 30〜 0.06〜 0.15〜 0.30〜 0.6〜 1.5〜 3.0〜 6〜 15〜500L 30〜1000L 500mL 1000mL 2.00L 5.00L 10.00L 20.0L 50.0L 100.0L 200L 表示の種類 4桁+4桁　2色LCD 流量表示範囲 U -49〜 -99〜 -0.19〜 -0.49〜 -0.99〜 -1.9〜 -4.9〜 -9.9〜 -19〜 -49〜 -99〜 （□/min） [ロ] 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L 注2 B -549〜 -1099〜 -2.19〜 -5.49〜 -10.99〜 -21.9〜 -54.9〜 -109.9〜 -219〜 -549〜 -1099〜 549mL 1099mL 2.19L 5.49L 10.99L 21.9L 54.9L 109.9L 219L 549L 1099L 表示範囲 0〜± 積算表示　注3 9999999mL 0.00〜±99999.99L 0.0〜±999999.9L 0〜±9999999L パルス出力 レート 5mL 10mL 0.02L 0.05L 0.1L 0.2L 0.5L 1L 2L 5L 10L 適用流体 清浄空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2）、窒素ガス 注4 アルゴン、炭酸ガス、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス） − 酸素（酸素仕様選択時は、㋻のクリーン仕様は選択できません。自動的に禁油処理仕様となります。） − 使用条件 温度範囲 0〜50℃（結露なきこと） 圧力範囲 -0.09〜1.00MPa -0.09〜0.75MPa 耐圧力 1.5MPa 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 保存温度 -10〜60℃ 精度　注6 ±3%F.S.以内（2次側大気開放）　　（保証範囲は「測定流量レンジ」による） 精度　注5 繰り返し精度 注7 ±1%F.S.以内（2次側大気開放） （流体：乾燥空気 にて） 温度特性 ±0.2%F.S./℃以内 　（15〜35℃、25℃基準） 圧力特性 ±5%F.S.以内　（2次側大気開放基準） ±5%F.S.以内 （0.35MPa基準） 応答時間 注8 50msec　以下（応答時間設定OFF時） A、B、E、F NPNオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） スイッチ出力 C、D、G、H PNPオープンコレクタ出力（50mA以下、電圧降下2.4V以下） アナログ出力 A、B、C、D 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス50kΩ以上） 注9 [ト] E、F、G、H 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0〜300Ω） 電源電圧 A、B、C、D DC12〜24V（10.8〜26.4V）　リップル率1%以下 注10 E、F、G、H DC24V（21.6〜26.4V）　リップル率1%以下 消費電流 注11 45mA以下 リード線 φ3.7　AWG26相当×5芯、絶縁体外径φ1.0 保有機能 注12 1 ガス種切替、2 設定コピー機能、3 流量積算、4 ピークホールド、他 保護構造 注13 IP65相当 保護回路 注14 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8 取付姿勢 注15 縦・横自在 取付 直管導入部 注16 不要 質量 16ページをご参照ください 1

FSM3 Series 仕様 注1： 標準状態（20℃　1気圧（101kPa）65％Rh）での体積流量に換算。 （空気以外のガス種では、20℃　1気圧（101kPa）、相対湿度0％Rh） 注2：各流量における表示は以下の様になります。 「Lo」表示 「０」表示 測定流量範囲 「Hi」表示 片方向タイプ −10 −1 0 1 3 100% 110% 「Lo」表示 測定流量範囲 「０」表示 測定流量範囲 「Hi」表示 双方向タイプ −110%−100% −3 −1 0 1 3 100% 110% 注3：積 算流量は計算（参考）値です。積算保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数（限界は100万回）を超えない 様にご注意ください（。各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。） 使用時間 保存回数 ＝　　　　　＜100万回 5分 瞬時流量が1％以下の時は、積算流量としてカウントされません。 注4： 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご 使用の場合は、JIS B 8392-1:2012 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ ン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ （最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。（21ページの推奨回 路を参照してください。） 酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。 注5：本製品の調整・検査には圧縮空気を使用しております。空気以外のガス種では精度は目安となります。 注6：精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。 使用環境・使用条件により別途考慮ください。 注7：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。） 注8：実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間の設定は目安として50msecから1.5secまで選択できます。 注9： アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくな ります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 注10：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。 注11：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 注12：ガ ス種切替機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80％＋炭酸ガス20％に切替える事ができます。切替後のフルスケール流量、ア ナログ出力は以下の様になります。（酸素タイプ、500L/minモデル、1000L/minモデルはガス種切替機能が設定できませんのでご注意 ください。） ガス種 流れ方向 フルスケール流量 アナログ出力 電圧 電流 ・空気 ・窒素 片方向 0〜100％ ・アルゴン 1〜5V 4〜20mA ・ア ル ゴン80％＋ 双方向 -100〜100％ 炭酸ガス20％ ・炭 酸ガス 片方向 0〜50％ 1〜3V 4〜12mA （タイプA設定） 双方向 -50〜50％ 2〜4V 8〜16mA ・ 炭酸ガス 片方向 0〜50％ （タイプB設定） 1〜5V 4〜20mA 双方向 -50〜50％ 「設定コピー機能」の有無は「㋣出力仕様」で選択します。 「設定コピー機能」有の機種は、「外部入力」機能がありませんのでご注意ください。 注13：21ページ「使用環境について」および26ページ「ATEX対応について」の注意事項を必ずご確認ください。 注14：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 注15：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 注16： 配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 2

FSM3 Series 形番表示方法 FSM3 L 005 U 4 AA 1 A 1 N B J R P80 EX 記号 内　容 イ 表示 L 液晶表示 ロ 流量レンジ（フルスケール流量） ロ 流量レンジ 機種形番 005 500mL/min 500 50L/min 　（ フルスケール流量） 010 1000mL/min 101 100L/min 表示 020 2L/min 201 200L/min イ 050 5L/min 501 500L/min 100 10L/min 102 1000L/min 200 20L/min ハ 流れ方向 ハ 流れ方向 U 片方向 B 双方向 ニ ボディ材質・適用流体 ニ ボディ材質・適用流体 ボディ材質 適用流体 4 SUS（耐環境仕様） エア（ガス種切替可能） 5 SUS（耐環境仕様） 酸素（禁油仕様） 注2 ホ 接続口径 ホ 接続口径 AA Rc1/8 BA Rc1/4 CA Rc1/2 AF G1/8 注3 BF G1/4 注3 CF G1/2 注3 AC NPT1/8 BC NPT1/4 CC NPT1/2 ヘ 配管方向 ヘ 配管方向 1 ストレート ト 出力仕様 ト 出力仕様 アナログ出力 スイッチ出力 設定コピー機能 A 1点 1点（NPN） あり B C （電圧出力） 2点（NPN） − 1-5V 1点（PNP） あり D 2点（PNP） − E F 1点 1点（NPN） あり G （電流出力） 2点（NPN） − H 4-20mA 1点（PNP） あり 2点（PNP） − 〈形番表示例〉 チ 単位仕様 FSM3-L005U4AA1A1N-BJR-P80-EX チ 単位仕様 1 SI単位系のみ 機種名：ラピフローFSM3シリーズ 2 単位切替機能付（海外向けのみ） 注4 イ 表示 L ：液晶表示 リ バルブオプション ロ 流量レンジ 005：500mL/min リ バルブ N なし ハ 流れ方向 U ：片方向 オプション ヌ リード線 ニ ボディ材質・適用流体 4 ：SUS（耐環境仕様）・エア ヌ リード線 A 5芯1m ホ 接続口径 AA：Rc1/8 B 5芯3m ヘ 配管方向 1 ：ストレート ル 取付アタッチメント 注5 ト 出力仕様 A ：アナログ電圧出力X1、 ル 取付アタッチ 無記号 なし NPNスイッチ出力Ｘ1、 メント J ブラケット2 設定コピー機能あり チ 単位仕様 1 ：SI単位系のみ ヲ 添付書類 ヲ 添付書類 リ バルブオプション N ：なし 無記号 なし R 検査成績書 ヌリード線 B ：5芯3m S 検査成績書＋トレーサビリティ証明書 ル 取付アタッチメント J ：ブラケット2 添付書類 R ：検査成績書 ワ ヲ クリーン仕様 注8 ワ クリーン 無記号 なし ワ クリーン仕様 P80：禁油処理 仕様 P70 発塵防止 注6 カ オプション（ATEX対応） EX：ATEX対応 P80 禁油処理 注7 形番選定にあたっての注意事項 カ オプション（ATEX対応） カ オプション 無記号 なし （ATEX対応） 注1：選定時には必ず次ページ対応表をご確認ください。 EX ATEX対応 注9 注2：500L/minと1000L/minは「3：酸素」を選択できません。 注3：Gねじ接続形状はISO16030に準拠。 注4：単位切り替え付モデルは国内では販売できません。 注5： オプション部品は製品に添付されます。組付られておりません。 注6： 包 装前に製品表面を脱脂し、クリーンベンチ（クラス1000以上）内 で、帯電防止袋にヒートシール包装します。 注7：P70仕様に加えて接ガス部を脱脂洗浄します。 注8：酸素タイプは選択不可（なしのみ） 注9： 仕様の詳細は26ページの「ATEX対応ついて」をご確認ください。 3

FSM3 Series 形番表示方法・外形寸法図 流量レンジと接続口径 ホ 接続口径 AA BA CA AF BF CF AC BC CC Rc1/8 Rc1/4 Rc1/2 G1/8 G1/4 G1/2 NPT1/8 NPT1/4 NPT1/2 005 ● ● ● 010 ● ● ● 020 ● ● ● ロ 050 ● ● ● 流 100 ● ● ● 量 200 ● ● ● レ ン 500 ● ● ● ジ 101 ● ● ● 201 ● ● ● 501 ● ● ● 102 ● ● ● 外形寸法図 オプション付外形寸法図 〈リード線長さ〉 ●FSM3-J リード線記号 L寸法 　ブラケット2 A 1000±20 B 3000±20 95.4 （65） 45±20 L 10 半田仕上げ 5×AWG26 30 95.4 65 30 5 4×6 t=1 8×R1.75 2×M3 深さ3 30 4 37 15 13 58.7 63.7 20 （50） （5） 30 30 40 50

小形流量センサ　ラピフロー　耐環境仕様 FSM3 Series バー表示タイプ ●ステンレスボディタイプ（流量レンジ：500mL/min～1000L/min） バー表示タイプ仕様 FSM3-B[ ロ ][ ハ ][ ニ ][ ホ ][ ヘ ][ ト ][ チ ][ リ ]-[　 ] 項　目 [ロ] 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102 U 片方向 流れ方向 [ハ] B 双方向 測定流量 U 15 30 0.06 0.15 0.30 0.6 1.5 3.0 6 15 30 レンジ [ロ] 〜500mL 〜1000mL 〜2.00L 〜5.00L 〜10.00L 〜20.0L 〜50.0L 〜100.0L 〜200L 〜500L 〜1000L （□/min） B -500〜-15、 -1000〜-30、 -2.00〜-0.06、 -5.00〜-0.15、 -10.00〜-0.30、 -20.0〜-0.6、-50.0〜-1.5、-100.0〜-3.0、-200〜-6、-500〜-15、-1000〜-30、 注1 15〜500mL 30〜1000mL 0.06〜2.00L 0.15〜5.00L 0.30〜10.00L 0.6〜20.0L 1.5〜50.0L 3.0〜100.0L 6〜200L 15〜500L 30〜1000L 表示の種類 LEDバー表示 適用流体 清浄空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1:2012 1.1.1〜1.6.2）、窒素ガス 注2 酸素（酸素仕様選択時は、㋻のクリーン仕様は選択できません。自動的に禁油処理仕様となります。） − 使用条件 温度範囲 0〜50℃（結露なきこと） 圧力範囲 -0.09〜1.00MPa -0.09〜0.75MPa 耐圧力 1.5MPa 使用周囲温度・湿度 0〜50℃、90%RH以下 保存温度 -10〜60℃ 精度 注3 ±3%F.S.以内（2次側大気開放） 　　（保証範囲は「測定流量レンジ」による） 繰り返し精度 注4 ±1%F.S.以内（2次側大気開放） 精度 温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内 　（15〜35℃、25℃基準） 圧力特性 ±5%F.S.以内　（2次側大気開放基準） ±5%F.S.以内 （0.35MPa基準） 応答時間 注5 50msec　以下 アナログ出力 J 1-5V電圧出力（接続負荷インピーダンス=50kΩ以上） 注6 K 4-20mA電流出力（接続負荷インピーダンス0〜300Ω） [ト] 電源電圧 J DC12〜24V（10.8〜26.4V）　リップル率1%以下 注7 K DC24V（21.6〜26.4V）　リップル率1%以下 消費電流 注8 45mA以下 リード線 φ3.7　AWG26相当×4芯、絶縁体外径φ1.0 保護構造 注9 IP65相当 保護回路 注10 電源逆接続保護 EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8 取付姿勢 注11 縦・横自在 取付 直管導入部 注12 不要 質量 16ページをご参照ください 5

FSM3 Series 仕様 注1： 標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）65％Rh）での体積流量に換算 （空気以外のガス種では、20℃、1気圧（101kPa）、相対湿度0％RH） 注2： 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご 使用の場合は、JIS B 8392-1:2012 等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレ ン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ （最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。（21ページの推奨 回路を参照してください。） 酸素ガス用は専用モデルとなります。発火事故を防ぐため、一度でも酸素以外の流体を流した場合は再び酸素を流さないでください。 注3：精度は当社の基準流量計を基準としており、絶対精度を示すものではありません。 なお、精度±3%F.S.には、繰り返し精度、温度特性、圧力特性は含まれておりません。 使用環境・使用条件により別途考慮ください。 注4：短時間での繰返し性です。経時変化は含みません。（詳細は製品仕様書をご確認ください。） 注5：実際の応答時間は配管条件によって変わります。 注6： アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きく なります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。 注7：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。 注8：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。 注9：21ページ「使用環境について」および26ページ「ATEX対応について」の注意事項を必ずご確認ください。 注10：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。 注11：本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。 縦方向に設置すると、対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。 注12： 配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには配管内径の10倍の直管部を設けてください。 500L/min、1000L/minモデルでは、内径9mm以上の配管をご使用ください。9mm以下の場合、精度が悪くなることがあります。 6

FSM3 Series 形番表示方法 FSM3 B 005 U 4 AA 1 J 1 N D J S P70 EX 記号 内　容 イ 表示 B バー表示 ロ 流量レンジ（フルスケール流量） 機種形番 ロ 流量レンジ 005 500mL/min 500 50L/min 　（ フルスケール流量） イ 表示 010 1000mL/min 101 100L/min 020 2L/min 201 200L/min 050 5L/min 501 500L/min 100 10L/min 102 1000L/min 200 20L/min ハ 流れ方向 ハ 流れ方向 U 片方向 B 双方向 ニ ボディ材質・適用流体 ニ ボディ材質・適用流体 ボディ材質 適用流体 4 SUS（耐環境仕様） エア 5 SUS（耐環境仕様） 酸素（禁油仕様） 注3 ホ 接続口径 ホ 接続口径 AA Rc1/8 BA Rc1/4 CA Rc1/2 AF G1/8 注4 BF G1/4 注4 CF G1/2 注4 AC NPT1/8 BC NPT1/4 CC NPT1/2 ヘ 配管方向 ヘ 配管方向 1 ストレート ト 出力仕様 注2 ト 出力仕様 J アナログ電圧出力ｘ1点 K アナログ電流出力ｘ1点 チ 単位仕様 チ 単位仕様 1 SI単位系のみ 〈形番表示例〉 FSM3-B005U4AA1J1N-DJS-P70-EX リ バルブオプション リ バルブ 機種名：ラピフローFSM3シリーズ オプション N なし イ 表示 B ：バー表示 ヌ リード線 ロ 流量レンジ 005：500mL/min ヌ リード線 C 4芯1m ハ 流れ方向 U ：片方向 D 4芯3m ニ ボディ材質・適用流体 4 ：SUS（耐環境仕様）・エア ル ホ 接続口径 AA：Rc1/8 取付アタッチメント 注5 ル 取付アタッチ ヘ 配管方向 1 ：ストレート メント 無記号 なし ト 出力仕様 J ：アナログ電圧出力X1 J ブラケット2 チ 単位仕様 1 ：SI単位系のみ ヲ 添付書類 リ バルブオプション N ：なし ヲ 添付書類 無記号 なし ヌリード線 D ：4芯3m R 検査成績書 ル 取付アタッチメント J ：ブラケット2 S 検査成績書+トレーサビリティ証明書 ヲ 添付書類 S ：検査成績書+トレーサビリティ証明書 ワ クリーン仕様 P70：発塵防止 ワ クリーン仕様 注8 ワ クリーン カ オプション（ATEX対応） EX：ATEX対応 仕様 無記号 なし P70 発塵防止 注6 形番選定にあたっての注意事項 P80 禁油処理 注7 注1：選定時には必ず次ページ対応表をご確認ください。 カ オプション（ATEX対応） 注2：分離表示器（FSM2-D）と組合せて使用する場合は、「J」を選択し カ オプション 無記号 なし てください。 （ATEX対応） EX ATEX対応 注9 注3：500L/minと1000L/minは「3：酸素」を選択できません。 注4：Gねじ接続形状はISO16030に準拠。 注5：オプション部品は製品に添付されます。組付られておりません。 注6：包装前に製品表面を脱脂し、クリーンベンチ（クラス1000以上）内 で、帯電防止袋にヒートシールを包装します。 注7：P70仕様に加えて接ガス部を脱脂洗浄します。 注8：酸素タイプは選択不可（無記号のみ） 注9： 仕様の詳細は26ページの「ATEX対応ついて」をご確認ください。 7

FSM3 Series 形番表示方法・外形寸法図 流量レンジと接続口径 ホ 接続口径 AA BA CA AF BF CF AC BC CC Rc1/8 Rc1/4 Rc1/2 G1/8 G1/4 G1/2 NPT1/8 NPT1/4 NPT1/2 005 ● ● ● 010 ● ● ● 020 ● ● ● ロ 050 ● ● ● 流 100 ● ● ● 量 200 ● ● ● レ ン 500 ● ● ● ジ 101 ● ● ● 201 ● ● ● 501 ● ● ● 102 ● ● ● 外形寸法図 オプション付外形寸法図 〈リード線長さ〉 ●FSM3-J リード線記号 L寸法 　ブラケット2 C 1000±20 D 3000±20 95.4 （65） 45±20 L 10 半田仕上げ 5×AWG26 30 95.4 65 30 5 4×6 t=1 8×R1.75 2×M3 深さ3 30 8 37 15 13 58.7 63.7 20 （50） （5） 30 30 40 50

FSM3 Series 内部構造図 ●LCD表示タイプ FSM3−L 14 11 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 15 16 11 12 17 13 18 19 20 21 22 23 24 品番 部品名称 材　　質 品番 部品名称 材　　質 1 保護カバー PC ポリカーボネート樹脂 13 パッキン FKM フッ素ゴム 2 スイッチ EPDM エチレンプロピレンゴム 14 ケーブルパッキン FKM フッ素ゴム 3 液晶カバー PMMA アクリル樹脂 15 パッキン押え PC ポリカーボネート樹脂 4 液晶 ― ― 16 ケーブル ― ― 5 電子基板 ― ガラスエポキシ樹脂 17 センサボディ SUS316L ステンレス 6 基板ホルダー PC ポリカーボネート樹脂 18 C形止め輪 SUS304 ステンレス 7 センサチップ ― 半導体シリコン 19 フィルタ SUS304 ステンレス 8 センサカバー SUS316相当 ステンレス 20 Oリング FKM フッ素ゴム 9 スイッチ EPDM エチレンプロピレンゴム 21 スペーサ SUS304 ステンレス 10 ガスケット ― シリコーンゴムスポンジ 22 フィルタ SUS304 ステンレス 11 カバーボルト SUSXM7 ステンレス 23 Oリング FKM フッ素ゴム 12 保護ケース PC ポリカーボネート樹脂 24 センサ基板 ― アルミナ ●バー表示タイプ FSM3−B 12 9 1 2 3 4 5 6 7 8 9 13 10 14 11 15 16 17 18 19 20 21 22 品番 部品名称 材　　質 品番 部品名称 材　　質 1 保護カバー PC ポリカーボネイト樹脂 12 ケーブルパッキン FKM フッ素ゴム 2 フロントシート ― PETフィルム 13 パッキン押え PC ポリカーボネート樹脂 3 ケース PA ポリアミド樹脂 14 ケーブル ― ― 4 電子基板 ― ガラスエポキシ樹脂 15 センサボディ SUS316L ステンレス 5 センサカバー SUS316相当 ステンレス 16 Oリングホルダ SUS304 ステンレス 6 ガスケット FKM フッ素ゴム 17 C形止め輪 SUS304 ステンレス 7 センサ基板 ― アルミナ 18 Oリング FKM フッ素ゴム 8 ガスケット ― シリコーンゴムスポンジ 19 スペーサ SUS304 ステンレス 9 カバーボルト SUSXM7 ステンレス 20 フィルタ SUS304 ステンレス 10 保護ケース PC ポリカーボネート樹脂 21 センサチップ ― 半導体シリコン 11 パッキン FKM フッ素ゴム 22 フィルタ SUS304 ステンレス 9

FSM3 Series 内部回路および負荷接続例 内部回路および負荷接続例 ●FSM3-L□□□□□B/F/□□（LCD表示タイプ　NPN出力） <CH2をSW出力として使用する場合> ＜CH2を外部入力として使用する場合＞ （茶）電源＋ （茶）電源＋ 1 1 （黒）CH1 （黒）CH1 負荷 負荷 2 SW出力1 2 SW出力1 主 負荷 主 　 ＋ 　 ＋ 　 　 （白）CH2 回 （白）CH2 回 SW出力2 − 　 外部入力 − 　 3 　 3 　 路 路 R※ （灰）アナログ出力 R※ （灰）アナログ出力 4 4 負荷 負荷 （青）電源− （青）電源− 5 5 ※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ 電流出力タイプ　R:約100Ω 端子No. リード線色 名称 茶 電源＋（電圧出力：12〜24V、電流出力：24V） 黒 CH1（スイッチ出力１：max50mA） 白 CH2（スイッチ出力２：max50mA、または外部入力） アナログ出力 電圧出力：1-5V　負荷インピーダンス50kΩ以上 灰 電流出力：4-20mA　負荷インピーダンス300Ω以下 青 電源−（GND） ●FSM3-L□□□□□D/H/□□（LCD表示タイプ　PNP出力） <CH2をSW出力として使用する場合> ＜CH2を外部入力として使用する場合＞ （茶）電源＋ （茶）電源＋ 1 1 （黒）CH1 （黒）CH1 主 2 SW出力1 主 2 SW出力1 　 （白）CH2 ＋ 　 （白）CH2 ＋ 　 SW出力2 負荷 　 3 外部入力 負荷 回 3 − 回 − 　 　 　 　 路 負荷 路 R※ （灰）アナログ出力 R※ （灰）アナログ出力 4 4 負荷 負荷 （青）電源− （青）電源− 5 5 ※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ 電流出力タイプ　R:約100Ω 端子No. リード線色 名称 茶 電源＋（電圧出力：12〜24V、電流出力：24V） 黒 CH1（スイッチ出力１：max50mA） 白 CH2（スイッチ出力２：max50mA、または外部入力） アナログ出力 電圧出力：1-5V　負荷インピーダンス50kΩ以上 灰 電流出力：4-20mA　負荷インピーダンス300Ω以下 青 電源−（GND） 10

FSM3 Series 内部回路および負荷接続例 ●FSM3-L□□□□□A/E/□□ ●FSM3-L□□□□□C/G/□□ （LCD表示タイプ、NPN出力、設定コピー機能付） （LCD表示タイプ、PNP出力、設定コピー機能付） （茶）電源＋ （茶）電源＋ 1 1 （黒）CH1 負荷 2 SW出力1 （黒）CH1 SW出力1 主 主 2 　 ＋ 　 （白）CH2 ＋ 　 （白）CH2 　 3 コピー端子 負荷 回 回 コピー端子 − − 　 3 　 　 　 路 R※ 路 （灰）アナログ出力 4 R※ （灰）アナログ出力 4 負荷 負荷 （青）電源− （青）電源− 5 5 ※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ ※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ 電流出力タイプ　R:約100Ω 電流出力タイプ　R:約100Ω 端子No. リード線色 名称 1 茶 電源＋（電圧出力：12〜24V、電流出力：24V） 2 黒 CH1（スイッチ出力１：max50mA） 3 白 CH2（コピー端子） アナログ出力 電圧出力：1-5V　負荷インピーダンス50kΩ以上 4 灰 電流出力：4-20mA　負荷インピーダンス300Ω以下 5 青 電源−（GND） ●FSM3-L□□□□□A/C/E/G/□□（LCD表示タイプ、設定コピー機能付） <設定コピー機能を使用する場合> （茶） （茶） 電源＋ 電源＋ （黒） 設定値コピー CH1（SW出力1） CH1（SW出力1） （白） CH2（コピー端子） CH2（コピー端子） アナログ出力 アナログ出力 （青） （青） 電源− 電源− FSM3（マスタ側） FSM3（スレーブ側） 電源 ＋ − マスタ側のCH1（SW出力1）とスレーブ側のCH2（コピー端子）を接続し、センサの電源を入れ設定コピー機能（F93）を使用してください。 なお、この接続は設定コピー機能の使用時のみとしてください。 上記の負荷接続例の様に、CH1に負荷を接続したままコピーを行ったり、CH1とCH2を接続したままスイッチ動差させますと、装置側が 予期せぬ動作をしたり、装置及びFSM3が故障する恐れがあります。絶対にコピー端子に接続したままで使用しないでください。 11

FSM3 Series 内部回路および負荷接続例 内部回路および負荷接続例 ●FSM3-B□□□□□J/K/□□（バー表示タイプ） （茶）電源＋ 端子No. リード線色 名称 1 茶 電源＋（電圧出力：12〜24V、電流出力：24V） 主 R※ （黒）アナログ出力 　 ＋ アナログ出力 電圧出力：1-5V 　 回 − 負荷インピーダンス50kΩ以上 　 2 黒 　 電流出力：4-20mA 路 負荷 （白）機種判別信号 負荷インピーダンス300Ω以下 3 白 機種判別信号　単品で使用の場合は接続しません （青）電源− 4 青 電源−（GND） ※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ 　アナログ出力電流出力タイプ　R:約100Ω アナログ出力特性 流れ方向 電圧出力タイプ 電流出力タイプ ＜片方向タイプ＞ 5 20 ア ア ナ ナ ロ ロ グ 3 グ 12 出 出 力 力 （V） （mA） 1 4 0 100％流量 0 100％流量 流量（L/min） 流量（L/min） ＜双方向タイプ＞ 5 20 ア ア ナ ナ ロ ロ グ 3 グ 12 出 出 力 力 （V） （mA） 1 4 −100％流量 100％流量 −100％流量 100％流量 流量（L/min） 流量（L/min） 注1：片方向タイプは0−100％を、双方向タイプは−100％〜100％をフルスケールとします。 表示一体型の双方向タイプは、ボタン設定で片方向の出力に切り替えることができます。切替後の値は参考値となります。 詳細は18ページをご参照ください。 注2：炭酸ガスに切替えた場合のアナログ出力は2ページをご参照ください。 注3：ア ナログ出力は測定流量レンジの範囲外においても出力はします。なお精度保障外ではありますが、電圧タイプは下限が約0.6Vで 上限は約5.4V、電流タイプは下限が約2.4mAで上限は約21.6mAまで出力することができます。 12

FSM3 Series 圧力損失特性（空気） FSM3-□005U4□ FSM3-□010U4□ 0.06 0.10 -0.07MPa 0.09 -0.07MPa 0.05 0.08 0.04 0.07 圧 圧 力 力 0.06 損 失 0.03 損 失 0.05 (kPａ) (kPａ) 0.04 0.02 -0.015MPa 2次側大気 0.03 -0.015MPa 2次側大気 0.01 0.02 0.10MPa 0.10MPa 0.30MPa 0.01 0.30MPa 0.50MPa 0.00 0.50MPa 0.00 0 100 200 300 400 500 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 流量（mL/min） 流量（mL/min） FSM3-□020U4□ FSM3-□050U4□ 0.25 -0.07MPa 1.4 -0.07MPa 1.2 0.20 1.0 圧 圧 力 0.15 力 損 損 0.8 失 失 (kPａ) 0.10 -0.015MPa (kPａ) 0.6 -0.015MPa 2次側大気 0.4 2次側大気 0.05 0.10MPa 0.2 0.10MPa 0.30MPa 0.30MPa 0.50MPa 0.50MPa 0.00 0.0 0.00 0.50 1.00 1.50 2.00 1 2 3 4 5 流量（L/min） 流量（L/min） FSM3-□100U4□ FSM3-□200U4□ 2.5 10 -0.07MPa -0.07MPa 9 2.0 8 7 圧 圧 力 1.5 力 6 損 損 失 失 5 - 0.015MPa (kPａ) 1.0 -0.015MPa (kPａ) 4 2次側大気 2次側大気 3 0.5 0.10MPa 0.10MPa 2 0.30MPa 1 0.30MPa 0.50MPa 0.50MPa 0.0 0 0 2 4 6 8 10 0 5 10 15 20 流量（L/min） 流量（L/min） グラフは空気におけるデータです。空気以外のガスの場合は目安として以下の比重を乗じてください。アルゴン：1.38、炭酸ガス：1.53、 アルゴン80％＋炭酸ガス20％：1.41 13

FSM3 Series 圧力損失特性 圧力損失特性（空気） FSM3-□500U4□ FSM3-□500U4□ 25 6 -0.015MPa 2次側大気 20 5 -0.015MPa 2次側大気 圧 圧 4 力 15 力 損 損 失 失 3 (kPａ) 10 (kPａ) 0.20MPa 2 0.30MPa 0.20MPa 5 0.50MPa 1 0.30MPa 0.50MPa 0 0 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50 流量（L/min） 流量（L/min） FSM3-□101U4□ FSM3-□201U4□ 20 60 2次側大気 18 2次側大気 16 50 14 圧 圧 40 力 12 力 損 失 10 損 失 30 (kPａ) 8 (kPａ) 6 20 0.30MPa 0.35MPa 4 0.50MPa 10 0.50MPa 2 0 0 0 20 40 60 80 100 0 50 100 150 200 流量（L/min） 流量（L/min） FSM3-□501U4□ FSM3-□102U4□ 30 80 2次側大気 70 25 2次側大気 60 圧 20 圧 力 力 50 損 15 損 失 失 40 (kPａ) (kPａ) 30 0.35MPa 10 20 0.50MPa 0.35MPa 5 0.50MPa 10 0 0 0 100 200 300 400 500 0 200 400 600 800 1000 流量（L/min） 流量（L/min） グラフは空気におけるデータです。空気以外のガスの場合は目安として以下の比重を乗じてください。アルゴン：1.38、炭酸ガス：1.53、 アルゴン80％＋炭酸ガス20％：1.41（流量レンジ（フルスケール流量）が501、102の場合は除きます） 14

FSM3 Series FSM3シリーズの計測原理 FSM3シリーズでは、シリコンマイクロ加工技術を応用した、白金センサチップを採用しております。センサ部は、シリコン 基板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。 センサ部には、2つの温度センサがヒータを挟んで配置されています。温度センサの材質には、温度によって抵抗値が変化 する、白金を用いています。ヒータに通電加熱すると、流れの無い場合は、温度分布がヒータを中心に対称となります。流 れを受けた場合は、温度分布の対称性が崩れ、ヒータ上流側の温度は低下し、ヒータ下流側の温度は上昇します。この温度 差は、温度センサの抵抗値の差となって現れ、流量によって変化します。また、逆方向に流れた場合は、温度差（抵抗値の差） が逆転します。この方式を用いると、双方向の流量を検知することができます。また、この方式は比較的小流量の検出に適 しています。 〈流れなし〉 〈流れあり〉 温度センサ① 温度センサ② FLOW ヒータ R1 Rh R2 R1 Rh R2 温度 温度分布対称 温度 温度分布の対称崩れる 抵抗値 抵抗値 R1 R2 R1 R2 V V 電圧 電圧 R1 R1 V out V out 1/2V 1/2V R2 R2 V out V out 15

FSM3 Series 製品質量 製品質量 【単位：g】 継手 LCD表示タイプ バー表示タイプ 形番 内容 AA1 Rc1/8ストレート 750 740 BA1 Rc1/4ストレート 690 680 CA1 Rc1/2ストレート 590 580 AF1 G1/8ストレート 750 740 BF1 G1/4ストレート 690 680 CF1 G1/2ストレート 590 580 AC1 NPT 1/8ストレート 750 740 BC1 NPT 1/4ストレート 690 680 CC1 NPT 1/2ストレート 590 580 16

FSM3 Series 表示・操作部の名称と機能（LCD表示タイプ） ●表示部名称 メイン表示部(緑色/赤色) 流量単位表示 出力(OUT1)表示 出力(OUT2)表示(緑色) ・流量表示、設定値を表示します。 ・流量単位を表示します。 ・CH1出力ON時点灯します。 ・CH2出力ON時点灯します。 ・表示色を切り替えることができます。 ・過電流検出時には背景と ・過電流検出時には背景と 　共に点滅します。 　共に点滅します。 　 キー ・ ピークホールドや積算流量の取り込みをスタート します。 ・機能の選択画面を順次遷移させます。 ・ 各データの設定時には、数値等のカウントアップ に使用します。 　 キー MODEキー サブ表示部(緑色/赤色) ・ ピークホールドや積算流量の取り込みをストップ ・各 種設定モードに入るときに設定します。 ・流れ方向・動作状態を表示します。 します。 ・流量表示に戻す時に使用します。 ・表示色を切り替えることができます。 ・機能の選択画面を順次遷移させます。 ・ガス種を切り替えることができます。 ・各 データの設定時には、数値等のカウントダウン に使用します。 ●エラーコードについて エラーコード 原　因 対　策 流量表示範囲の上限を超えて流 量が流れています。 瞬時流量値を流量レンジ内まで下げてください。 流量が流量レンジ内である事を確認し、電源を再投入してください。 センサが故障しています。 それでも正常に復帰しない場合は製品の故障が考えられます。製品を交換してください。 また、製品に異常を感じた場合は使用を中止し、最寄りの弊社営業所にご連絡ください。 流量表示範囲の下限を超え て流量が流れています。 瞬時流量値を流量レンジ内まで上げてください。 流量が流量レンジ内である事を確認し、電源を再投入してください。 センサが故障しています。 それでも正常に復帰しない場合は製品の故障が考えられます。製品を交換してください。 また、製品に異常を感じた場合は使用を中止し、最寄りの弊社営業所にご連絡ください。 CPUの処理にエラー 電源を再投入してください。 が発生しています。 それでも正常に復帰しない場合は製品の故障が考えられます。製品を交換してください。 また、製品に異常を感じた場合は使用を中止し、最寄りの弊社営業所にご連絡ください。 ゼロアジャスト可能な 範囲を超えています。 流量を確実にゼロにしてからゼロアジャストを実施してください。 EEPROMの読み込み、 電源を再投入してください。 書き込み動作にエラーが それでも正常に復帰しない場合は製品の故障が考えられます。製品を交換してください。 発生しています。 また、製品に異常を感じた場合は使用を中止し、最寄りの弊社営業所にご連絡ください。 メモリの読み込み、書 電源を再投入してください。 き込みにエラーが発生 それでも正常に復帰しない場合は製品の故障が考えられます。製品を交換してください。 しています。 また、製品に異常を感じた場合は使用を中止し、最寄りの弊社営業所にご連絡ください。 センサに異常が発生し 電源を再投入してください。 ています。 それでも正常に復帰しない場合は製品の故障が考えられます。製品を交換してください。 また、製品に異常を感じた場合は使用を中止し、最寄りの弊社営業所にご連絡ください。 設定コピーに失敗しま した。 接続をご確認の上、再度実施してください。 ボタン操作がロックさ れています。 ロックを解除してから操作してください。 暗証番号が設定されて 設定した暗証番号を入力してください。 います。 ※暗証番号を忘れない様にしてください。 出力表示の点滅 スイッチ出力の過電流保護 （スイッチ出力が出力しない） 回路が作動しています。 負荷電流が定格を超えていないかご確認の上、正しく接続し電源を再投入してください。 17

FSM3 Series 表示・操作部の名称と機能 表示・操作部の名称と機能（LCD表示タイプ） 機能および各種設定は、通常の流量表示時に行う場合と、各モードに入ってから行う場合があります。 各モードも、使用頻度に合わせてメンテナンスモードと、SETモード、設定モニタモードに分かれます。 ●通常動作(RUNモード) 項目 説明 工場出荷時の設定 瞬時流量表示 瞬時流量を表示します。 表示（計測） ピークホールド機能 ある期間内の流量値の示した最大値と最小値を知ることができます。 非表示（停止） CO2排出量表示 コンプレッサの電力・吐出圧・流量、電力⇔CO2換算係数を設定することでどれく らいのCO2が排出されているのか知ることができます。（計算による目安値） 非表示（停止） 使用できるのは、ガス種設定がAirの時のみです。 積算流量表示 積算流量表示に切り替えることが可能です。 スイッチ出力機能には、規定積算値以上でスイッチをON/OFFさせたり、一定積 非表示（計測） 算値ごとにパルスを出力する積算パルス機能があります。 ●SETモード No. 項目 説明 工場出荷時の設定 F.01 CH1動作の選択 CH1の機能を選択します。 スイッチ出力無し スイッチ出力動作の設定や積算パルスの設定ができます。 CH2動作の選択 CH2の機能を選択します。 スイッチ出力無し F.02 CH2をスイッチ出力として使用するか、外部入力(積算値リセット、オートリファレ ンス)として使用するか選択します。 F.03 積算機能設定 積算流量値を連続的に取得するか、時間設定をするのか選択できます。 連続取得：データ保持 また、そのデータを保持するかしないかも選べます。 OFF F.04 サブ画面表示設定 サブ表示部の表示方法を設定します。 流れ方向 「流れ方向」、「基準状態」、「ガス種」、「ナンバリング表示」に切り替えることができます。 F.05 表示色設定 表示色を設定します。（赤色、緑色） 通常時：緑色 通常表示時、スイッチ出力ON時の表示色を設定できます。 スイッチON時：赤色 F.06 流量方向の設定 流れ方向を設定します。 双方向 (双方向タイプのみ) 双方向、片側順方向、片側逆方向に設定可能です。 F.07 表示反転機能 LCDの表示を上下反転させることができます。 標準表示 基準状態の設定 標準状態か基準状態に選択できます。 ANR F.08 標準状態(ANR)：20℃ 1気圧65%RHの体積に換算した流量 　　　　　　　　（空気以外のガス種では20℃、1気圧、0％RH） 基準状態(NOR)：0℃ 1気圧0％RHの体積に換算した流量 F.09 単位設定 単位の設定ができます。 国内向け：L/min (海外向けのみ) L/min・cf/h(cf/min)から選択できます。 海外向け：L/min F.10 表示周期の設定 デジタル表示の表示更新周期を0.25secから1secまで3段階変更できます。 0.5sec 表示がちらつく場合、表示更新周期を長くすることにより、改善することができます。 アナログ出力の 応答時間を設定します。 0.05sec F.11 応答時間設定 0.05secから1.50secまで7段階で変更できます。急激な流量変化やノイズな どによる、チャタリングや誤作動を防止します。 F.12 ナンバリング設定 ナンバリングの設定ができます。 0000 F.13 ガス種切替 計測するガスを切替えることができます。（フルスケール流量200L/min以下のモデル） （O2タイプはガス種切替がありません。） Air エコモード設定 エコモードの選択ができます。 OFF F.14 約1分間ボタン操作しないと、エコモードに移行し表示のバックライトが消灯します。 消費電流を削減することが可能です。 CO2排出量計算設定 CO2排出量計算の設定ができます。 ・電力：0.20KW お使いのコンプレッサの電力・吐出圧・流量・CO2換算係数を設定してください。 ・圧力：0.10MPa F.15 ・流量：100L/min ・換算係数：0.000kg （CO2）/kwh F.16 ロック設定 キーロック方式と暗証番号方式を設定できます。 OFF 使用環境により使い分けてください。 F.17 ピークホールド設定 ピークボトム値を連続的に取得するか、時間設定をするのか選択できます。 連続取得：データ保持 また、そのデータを保持するかしないかも選べます。 OFF ●メンテナンスモード No. 項目 説明 工場出荷時の設定 F.91 強制出力機能 スイッチ出力を強制的にONさせ、配線接続や入力装置の初期動作確認に使用します。 − F.92 ゼロアジャスト機能 ゼロ点のずれを補正します。 アジャスト値：000 F.93 設定コピー機能 2つのFSM3間でコピー可能な形番なら設定値をコピーすることができます。 − （同一形番の製品間でのみコピー可能です。） F.99 リセット機能 出荷時設定の状態へ戻ります。 − ●設定モニタモード 項目 説明 工場出荷時の設定 設定モニタ機能 SETモードで設定した内容を確認することができます。（設定内容の編集はできません。） − 18