薬液用エアオペレイトバルブ AMDZ/AMD/AMG/GAMD-3Rシリーズ

薬液用エアオペレイトバルブ AMDZ※3R Series 仕様 項　目 AMDZ※3R 使用流体 純水、薬液、空気、N2ガス（注1） 流体温度 ℃ 5〜120（ 注2、注3） 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0 (ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 頻度 30回/分以下 取付姿勢 自在 ODφ6チューブ接続（フィッティング一体形） 接続方式 OD1/4”チューブ接続（フィッティング一体形） オリフィス径 φ4 φ3.5 Cv値 （注4） 0.25 0.22 操作圧力 MPa NC・NO：0.4〜0.5、　複動：0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8（使用操作ポート　NC：Yポート　NO：Xポート　複動：X、Yポート） 注1：製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。） 注2：フッ酸、もしくはフッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3：接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注4：Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A （Bポート側圧力［MPa］） 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 Bポート B A Aポート 0.2 0.1 A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 部品名称 材　質 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE ボディ PFA、PTFE 取付板 PVDF 1

AMDZ※3R Series 形番表示方法、外形寸法図 形番表示方法 ロ 接続方式（注） 6UP 8BUP 6UR 8BUR AMDZ 1 3R 6UP Z0 N 4 X スーパー300タイプ F-LOCK ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 ヘ 取付方法 φ6 1/4” φ6 1/4”機種形番 × × × × φ4 5/32” φ4 5/32” ロ 接続方式 ホ 操作ポート方向 チ チ チ チ ュ ュ ュ ュ ニ ボディオプション ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ ハ アクチュエータオプション 接 接 接 接続 続 続 続 記号 内容　　　　　　　　　　　　　　　　 オリフィス径 φ4 φ3.5 イ 作動方式 ハ アクチュエータオプション 1 NC(ノーマルクローズ） Z0 ON・OFFのみ ● ● ● ● 2 NO(ノーマルオープン） ニ ボディオプション ボディ材質 3 複動 N ノーマルボディ PFA PTFE ホ 操作ポート方向 4 3 ● ● ● ● 1 4 バルブを上から眺め、 方向に 形番選定にあたっての注意事項 ● ● ● ●流体が流れることを示し、 は 2 2 注：F -LOCK60シリーズフィッティングの場 1 操作ポート方向を示します。 ● ● ● ● 合は受注生産品となります。 3 ● ● ● ● 他の接続方式についてはお問い合わせく ヘ ださい。 取付方法 X 底面取付 ● ● ● ● 外形寸法図 H 4点フランジ取付 ● ● ● ● ● Z0 ON・OFFのみ＋ N ノーマルボディ 3 ・AMDZ※3R-※-Z0N※※ 接続方式 A 6UP 60 8BUP 60 6UR 82 2 4 8BUR 84 Bポート側 Aポート側 22 8 1 ● H 4点フランジ取付 R視 操作ポート方向（R視図） ・AMDZ※3R-※-※※※H 操作ポートRc1/8 (NCのタイプ) Bポート Aポート B A B A （A） 27 ● X 底面取付 22 4-4.5 12 ・AMDZ※3R-※-※※※X 8-フルR 2-M6深6 2 22 14±0.3 17 39 54 61 4-3.5 6 30 36

薬液用エアオペレイトバルブ AMD3※3R Series 仕様 項　目 AMD3※3R ボディオプション N（ノーマルボディ） B（バイパス付ボディ） 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120（注3、注4） 5〜90 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0（ただし、水圧にて） 背圧 MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 周囲温度 ℃ 0〜60（センサ付の場合 0〜50） 頻度 30回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 ODφ10・φ12チューブ接続（フィッティング一体形）OD3/8"・1/2"チューブ接続（フィッティング一体形） オリフィス径 （注5） φ6 φ7 φ8 φ9 φ10 Cｖ値 （注6） 0.7 1 1.25 1.6 1.8 バイパスオリフィス径 − φ2.3 操作圧力 MPa NC・NO：0.35〜0.5　複動：0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8（使用操作ポート NC：Yポート　NO：Xポート　複動：X、Yポート） センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1：製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。（適合性チェックリスト43ページをご参照ください。） 　　 フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液の場合は、バイパス付ボディは使用できません。 注2：流量特性については、33、34ページをご参照ください。 注3：フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注4：接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注5：各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 注6：Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A（Bポート側圧力［MPa］） 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 Bポート B A Aポート A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 ノーマルボディ B→A（Bポート側圧力［MPa］） 部品名称 材　質 0.3 流体温度5〜90℃ アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE 0.2 ボディ PFA、PTFE 0.1 取付板 PVDF A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 バイパス付ボディ 3

AMD3※3R Series 形番表示方法 形番表示方法 AMD3 1 3R 10UP 00 N 4 F ロ 接続方式（注1） 10UP 10BUP 12UP 15BUP 10UR 10BUR 12UR 15BUR スーパー300タイプ F-LOCK ハ アクチュエータ ヘ 取付方法機種形番 オプション ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 ロ 接続方式 ホ 操作ポート方向 φ10 3/8″ φ12 1/2″ φ10 3/8″ φ12 1/2″ イ 作動方式 × × × × × × × ×φ8 1/4″ φ10 3/8″ φ8 1/4″ φ10 3/8″ 1 NC(ノーマルクローズ) ニ ボディ チ チ チ チ チ チ チ チ 2 NO(ノーマルオープン) オプション ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュー ー ー ー ー ー ー ー 3 複動 ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ接 接 接 接 接 接 接 接 続 続 続 続 続 続 続 続 記号 オリフィス径内容 φ8 φ10 φ7 φ6 φ9 ハ アクチュエータオプション 00 ON・OFFのみ（インジケータ付） ● ● ● ● ● ● ● ● 10 流量調整付 ● ● ● ● ● ● ● ● センサ付 トランジスタ ケーブル方向（注2） ケーブル長さ A1 1m ● ● ● ● ● ● ● ● 操作ポート側 A3 3m ● ● ● ● ● ● ● ● NPN B1 1m ● ● ● ● ● ● ● ● 操作ポートの反対側 B3 3m ● ● ● ● ● ● ● ● C1 操作ポート側 1m ● ● ● ● ● ● ● ● PNP D1 操作ポートの反対側 1m ● ● ● ● ● ● ● ● 二 ボディオプション ボディ材質 N ノーマルボディ PFA PFA PTFE PTFE B バイパス付ボディ PTFE PFA PTFE PTFE ホ 操作ポート方向（注2） 4 ● ● ● ● ● ● ● ● 3 バルブを上から眺め、 1 4 方向に流体が流れる ● ● ● ● ● ● ● ● 2 2 ことを示し、 は操作 ● ● ● ● ● ● ● ● 1 ポート方向を示します。 3 ● ● ● ● ● ● ● ● 使用圧力 ヘ 取付方法（注2） F フランジ取付 ● ● ● ● ● ● ● ● H 4点フランジ取付 ● ● ● ● ● ● ● ● X 底面取付 ● ● ● ● ● ● ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1：F-LOCK60シリーズフィッティング及びボディ材質がPTFEの場合は受注生産品となります。 他の接続方式についてはお問い合わせください。 注2：操作ポート方向、センサケーブル方向、取付板は外形寸法図をご参照ください。 4

AMD3※3R Series 外形寸法図 ● 00 ON・OFFのみ（インジケータ付）＋ N ノーマルボディ ・AMD3※3R- ※1 -00N※※ 36 10 3 2 4 Bポート側 Aポート側 1 R視図 操作ポート方向（R視図） 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート （A） ※1 （ 接続方式） A 10UP 86 10BUP 86 12UP 94 15BUP 94 10UR 110 ● 00 ON・OFFのみ（インジケータ付）＋ B バイパス付ボディ 10BUR 114 ・AMD3※3R-※-00B※※ 12UR 110 15BUR 114 Bポート B A Aポート 5 （MAX 71） 36 21 21 49 49 78 78 85 85 （87） （87）

AMD3※3R Series 外形寸法図 外形寸法図 ● 10 流量調整付 ● A※ センサ付 A ・AMD3※3R-※-10※※※ 　 B※ ・AMD3※3R-※-BC※※※※ 　 C※ D 　 D※ B※ A※ D※ ケーブル方向　操作ポートの反対側 C※ ケーブル方向　操作ポート側 B A B A ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ● X 底面取付 ・AMD3※3R-※-※※※F ・AMD3※3R-※-※※※H ・AMD3※3R-※-※※※X B A B A B A 50 50 36 4−フルR 2-8 22 8−フルR 36 4-8 22 36 22±0.3 4−M6深9 6 8.5 2-7 36 50 62 8.5 4-7 (MAX 108) 50 62 22±0.3 92 36

薬液用エアオペレイトバルブ AMD4※3R Series 仕様 項　目 AMD4※3R ボディオプション N（ノーマルボディ） B（バイパス付ボディ） 使用流体 薬液、純水、空気、Ｎ2ガス（注1） 流体温度 ℃ 5〜120（注3、注4） 5〜90 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0（ただし、水圧にて） 背圧 MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 周囲温度 ℃ 0〜60（センサ付の場合 0〜50） 頻度 20回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 OD3/4"チューブ接続（フィッティング一体形） オリフィス径 （注5） φ15 φ16 Cｖ値 （注6） 4.5 5 バイパスオリフィス径 − φ6 操作圧力 MPa NC・NO：0.35〜0.5　複動：0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8（使用操作ポート　NC：Yポート　NO：Xポート　複動：X、Yポート） センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1：製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。（適合性チェックリスト43ページをご参照ください。） フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液の場合は、バイパス付ボディは使用できません。 注2：流量特性については、33、34ページをご参照ください。 注3：フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注4：接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注5：各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 注6：Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A（Bポート側圧力［MPa］） 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 Bポート B A Aポート A→B（Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 ノーマルボディ B→A（Bポート側圧力［MPa］） 部品名称 材　質 0.3 流体温度5〜90℃ アクチュエータ PVDF 他 0.2 ダイアフラム PTFE ボディ PFA、PTFE 0.1 取付板 PVDF A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 バイパス付ボディ 7

AMD4※3R Series 形番表示方法 形番表示方法 AMD4 1 3R 20BUP 00 N 4 F ロ 接続方式（注1） 取付方法 20BUP 20BURヘ 機種形番 ロ 接続方式 スーパー300タイプ F-LOCK ハ アクチュエータ オプション ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 イ 作動方式 ホ 操作ポート方向 1 NC(ノーマルクローズ) 3/4″ 3/4″× × 2 NO(ノーマルオープン) ニ ボディ 5/8″ 5/8″ オプション チ チ 3 複動 ュ ュー ー ブ ブ 接 接 続 続 記号 オリフィス径内容 φ16 φ15 ハ アクチュエータオプション 00 ON・OFFのみ（インジケータ付） ● ● 10 流量調整付 ● ● センサ付 トランジスタ ケーブル方向（注2） ケーブル長さ A1 1m ● ● 操作ポート側 A3 3m ● ● NPN B1 1m ● ● 操作ポートの反対側 B3 3m ● ● C1 操作ポート側 1m ● ● PNP D1 操作ポートの反対側 1m ● ● 二 ボディオプション ボディ材質 N ノーマルボディ PFA PTFE B バイパス付ボディ PFA PTFE ホ 操作ポート方向（注2） 4 ● ● 3 バルブを上から眺め、 1 4 方向に流体が流れる ● ● 2 2 ことを示し、 は操作 ● ●ポート方向を示します。 3 1 ● ● 使用圧力 ヘ 取付方法（注2） F フランジ取付 ● ● H 4点フランジ取付 ● ● X 底面取付 ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1：F-LOCK60シリーズフィッティングの場合は受注生産品となります。 他の接続方式についてはお問い合わせください。 注2：操作ポート方向、センサケーブル方向、取付板は外形寸法図をご参照ください。 8

AMD4※3R Series 外形寸法図 ● 00 ON・OFFのみ（インジケータ付）＋ N ノーマルボディ ・AMD4※3R- ※1 -00N※※ 46 8 3 2 4 Bポート側 Aポート側 1 操作ポート方向（R視図） R視 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート （A） ※1 （ 接続方式） A 20BUP 118 ● 00 ON・OFFのみ（インジケータ付）＋ B バイパス付ボディ 20BUR 134 ・AMD4※3R-※-00B※※ Bポート B A Aポート 9 （MAX 91） 46 27 27 62 62 101 101 108 108 （112） （112）

AMD4※3R Series 外形寸法図 外形寸法図 ● 10 流量調整付 ● A※ センサ付 A ・AMD4※3R-※-10※※※ 　 B※ ・AMD4※3R-※-BC※※※※ 　 C※ D 　 D※ B※ A※ D※ ケーブル方向　操作ポートの反対側 C※ ケーブル方向　操作ポート側 B A B A ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ● X 底面取付 ・AMD4※3R-※-※※※F ・AMD4※3R-※-※※※H ・AMD4※3R-※-※※※X B A B A B A 66 66 46 46 4−フルR 2-11 28 8−フルR 4-11 28 46 28±0.3 4−M8深10 10 9 2-9 46 64 82 9 4-9 (MAX 131) 64 82 115 28±0.3 46

薬液用エアオペレイトバルブ AMD5※3R Series 仕様 項　目 AMD5※3R ボディオプション N（ノーマルボディ） B（バイパス付ボディ） 使用流体 薬液、純水、空気、Ｎ2ガス（注1） 流体温度 ℃ 5〜120（注3、注4） 5〜90 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0（ただし、水圧にて） 背圧 MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 周囲温度 ℃ 0〜60（センサ付の場合 0〜50） 頻度 20回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 ODφ25チューブ接続（フィッティング一体形）　OD1"チューブ接続（フィッティング一体形） オリフィス径 φ20 Cｖ値 （注5） 8 バイパスオリフィス径 − φ6 操作圧力 MPa NC・NO：0.35〜0.5　複動：0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8（ 使用操作ポート　NC：Yポート　NO：Xポート　複動：X、Yポート） センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1：製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。（適合性チェックリスト43ページをご参照ください。） フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液の場合は、バイパス付ボディは使用できません。 注2：流量特性については、33、34ページをご参照ください。 注3：フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注4：接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注5：Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A（Bポート側圧力［MPa］） 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B Bポート B A Aポート （Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 ノーマルボディ B→A（Bポート側圧力［MPa］） 部品名称 材　質 0.3 流体温度5〜90℃ アクチュエータ PVDF 他 0.2 ダイアフラム PTFE ボディ PFA、PTFE 0.1 取付板 PVDF A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 バイパス付ボディ 11

AMD5※3R Series 形番表示方法 形番表示方法 AMD5 1 3R 25BUP 00 N 4 F ロ 接続方式（注1） 取付方法 25UP 25BUP 25UR 25BURヘ 機種形番 ロ 接続方式 スーパー300タイプ F-LOCK ハ アクチュエータ ピラーフィッティング 60シリーズ オプション Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 イ 作動方式 ホ 操作ポート方向 1 NC(ノーマルクローズ) φ25 1″ φ25 1″× × × × 2 NO(ノーマルオープン) ニ ボディ φ22 7/8″ φ22 7/8″チ チ チ チ 3 複動 オプション ュ ュ ュ ュー ー ー ー ブ ブ ブ ブ 接 接 接 接 続 続 続 続 記号 オリフィス径内容 φ20 ハ アクチュエータオプション 00 ON・OFFのみ（インジケータ付） ● ● ● ● 10 流量調整付 ● ● ● ● センサ付 トランジスタ ケーブル方向（注2） ケーブル長さ A1 1m ● ● ● ● 操作ポート側 A3 3m ● ● ● ● NPN B1 1m ● ● ● ● 操作ポートの反対側 B3 3m ● ● ● ● C1 操作ポート側 1m ● ● ● ● PNP D1 操作ポートの反対側 1m ● ● ● ● 二 ボディオプション ボディ材質 N ノーマルボディ PFA PTFE B バイパス付ボディ PTFE PTFE ホ 操作ポート方向（注2） 4 3 ● ● ● ●バルブを上から眺め、 1 4 方向に流体が流れる ● ● ● ● 2 2 ことを示し、 は操作 ● ● ● ●1 ポート方向を示します。3 ● ● ● ● 使用圧力 ヘ 取付方法（注2） F フランジ取付 ● ● ● ● H 4点フランジ取付 ● ● ● ● X 底面取付 ● ● ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1：F-LOCK60シリーズフィッティング及びボディ材質がPTFEの場合は受注生産品となります。 他の接続方式についてはお問い合わせください。 注2：操作ポート方向、センサケーブル方向、取付板は外形寸法図をご参照ください。 12

AMD5※3R Series 外形寸法図 ● 00 ON・OFFのみ（インジケータ付）＋ N ノーマルボディ ・AMD5※3R- ※1 -00N※※ 60 8 3 2 4 Bポート側 Aポート側 1 操作ポート方向（R視図） R視 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート （A） ※1 （ 接続方式） A 25UP 146 25BUP 146 25UR 159 25BUR 162 ● 00 ON・OFFのみ（インジケータ付）＋ B パイバス付ボディ ・AMD5※3R-※-00B※※ 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート 13 60 （MAX 103） 35 35 84 84 127 127 134 134 （139） （139）

AMD5※3R Series 外形寸法図 外形寸法図 ● 10 流量調整付 ● A※ センサ付 A ・AMD5※3R-※-10※※※ 　 B※ ・AMD5※3R-※-BC※※※※ 　 C※ D 　 D※ B※ A※ D※ ケーブル方向　操作ポートの反対側 C※ ケーブル方向　操作ポート側 B A B A ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ● X 底面取付 ・AMD5※3R-※-※※※F ・AMD5※3R-※-※※※H ・AMD5※3R-※-※※※X B A B A B A 78 61 61 4−フルR 2-3 40 4-11 40 61 8−フルR 40±0.3 4−M8深13 14 10 2-9 61 78 97 10 (MAX 166) 4-9 78 97 40±0.3 141 61

薬液用エアオペレイトバルブ（3ポート弁） AMGZ03R Series 受注生産品 仕様 項　目 AMGZ03R 使用流体 純水、薬液、空気、N2ガス（注1） 流体温度 ℃ 5〜120（ 注2、注3） 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0 (ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 頻度 30回/分以下 取付姿勢 自在 ODφ6チューブ接続（フィッティング一体形） 接続方式 OD1/4”チューブ接続（フィッティング一体形） オリフィス径 φ4 φ3.5 操作圧力 MPa NC・NO：0.4〜0.5 操作部 操作ポート Rc1/8 注1：製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。） 注2：フッ酸、もしくはフッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3：接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A （Bポート側圧力［MPa］） 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B （Aポート側圧力［MPa］） 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 部品名称 材　質 アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE ボディ PTFE 取付板 PVDF 15

AMGZ03R Series 形番表示方法、外形寸法図 形番表示方法 イ 接続方式（注） 6UP 8BUP 6UR 8BUR AMGZ03R 6UP Z0 L スーパー300タイプ F-LOCK ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 機種形番 イ 接続方式 ハ Aポート位置 φ6 1/4” φ6 1/4”× × × × φ4 5/32” φ4 5/32” チ チ チ チ ロ アクチュエータオプション ュ ュ ュ ュ ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ 接 接 接 接 続 続 続 続 記号 内容　　　　　　　　　　　　　　　　 オリフィス径 φ4 φ3.5 ボディ材質 PTFE ロ アクチュエータオプション Z0 ON・OFFのみ ● ● ● ● ハ Aポート位置 形番選定にあたっての注意事項 L 左側 ● ● ● ● 注：他 の接続方式についてはお問い合わせください。 R 右側 ● ● ● ● 外形寸法図 ●AMGZ03R- ※1 -Z0R ※：A ポート位置によってNCとNOの 並び方が違いますので、ご注意 　　ください。 Aポート 　　Aポート側に近いバルブがNC、 　　他方がNOとなります。 Aポート位置：L A NC NO B B Aポート位置：R A 11 22.5 44.5 （A） NO NC B B NO NC 操作ポートRc1/8 操作ポートRc1/8 4-M6深6 接続方式 ※1 A 6UP 19 8BUP 19 6UR 30 8BUR 31 22.5±0.5 16 14±0.3 Bポート Bポート 17 39 54 61 8 （A） 22

薬液用エアオペレイトバルブ（3ポート弁） AMG34503R Series 受注生産品 ●オリフィス：AMG303R　φ6〜φ10 　オリフィス：AMG403R　φ15〜φ16 　オリフィス：AMG503R　φ20 ※対象：AMG403R、503R 仕様 項　目 AMG303R AMG403R AMG503R 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120（注2、注3） 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力（A→B） MPa 0〜0.5 使用圧力（B→A） MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0（ただし、水圧にて） 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60（センサ付の場合 0〜50） 頻度 30回/分以下 20回/分以下 取付姿勢 自在 ODφ10・φ12チューブ接続 ODφ25チューブ接続 接続方式 （フィッティング一体形） OD3/4"チューブ接続 （フィッティング一体形）OD3/8"・1/2"チューブ接続 （フィッティング一体形） OD1"チューブ接続 （フィッティング一体形） （フィッティング一体形） オリフィス径 （注4） φ6〜φ10 φ15〜φ16 φ20 操作圧力 MPa NC・NO：0.35〜0.5 操作部 操作ポート Rc1/8 センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1：製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。（適合性チェックリスト43ページをご参照ください。） 注2：フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3：接続継手がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注4：各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 構造図及び部品リスト 使用圧力 ●AMG303R、AMG403R、AMG503R B→A（Bポート側圧力［MPa］） 0.5 流体温度 5〜120℃ 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B （Aポート側圧力 0 ［MPa］） 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 部品名称 材　質 アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE ボディ PTFE 取付板 PVDF 17