省スペース・配管レス　水集積ユニット WXUシリーズ

水集積ユニット WXUシリーズ INTEGRATED WATER UNIT 省スペース・配管レス フットプリント８０％レス（２流体制御タイプ） CC-1116 5

Oversize 水制御の新時代 WXU-H 1流体仕様 ●冷却配管のサプライとリターンを1ユニットで行うことができます。 豊富なバリエーションの水制御機器が ●サプライ側とリターン側それぞれにバルブの搭載が可能です。 ●コックタイプバルブを採用することにより、ワンアクションで開閉操作がで 省スペースにオールインワン き、目視での確認が容易です。 ●インブロック、バルブハウジングの軽量化により、取扱いが容易です。 配管レスで WXU-HC 1流体仕様 　 フットプリント ●WXU-Hタイプと同じサプライとリターンを1ユニットで行う1流体仕様 80 コックバルブ形です。 ％ ●静電容量式電磁流量センサを搭載し、水質による検出不良のリスクを低 減します。 レス Compact WXU-J 1流体仕様 ●冷却配管のサプライとリターンを1ユニットで行うことができます。 ●サプライ側には、バルブとニードルが搭載可能であり、系統毎に個別制御 (on/off )が可能です。 ●ニードル搭載で流量の調整が容易です。 WXU-P ２流体仕様 ●サプライとリターンユニットを使用して、2種類の流体(水・空気等）を流す ことができます。 ●スパッタリング装置等、冷却水と空気を持つ回路に適しています。 ●系統毎に個別制御(通水/エアーパージ）が可能です。 ▶個別配管の手間を省く 水集積ユニット アプリケーション 液晶半導体 真空成膜装置 スポット溶接装置 鋳造 ▶配管の漏れを低減 ▶設計・手配の工数を低減 システムイメージ 2流体制御タイプ 1流体制御タイプ サプライユニット リターンユニット WXU-P/H WXU-HC WXU-P/J/H 冷 却 冷 部 却 カスタム対応例 部 使い勝手に合わせたユニットが製作可能です。 ●別置き表示器対応 　〈センサー部〉 ●アナログ＋SW出力 　〈センサー部〉 ●分岐（WXU-P） 水 水 ●シリンダバルブ無し エアー IN OUT 水 水 チラー ドレン IN OUT IN OUT 　（WXU-J） チラー 継手付 マスキング 中間ブロック MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN

水集積ユニット　１流体制御タイプ WXU-H/HC Series ●接続口径：Rc3/8, Rc1/2, Rc1 ●流量範囲：0.5～32L/min <アプリケーション例> 共通仕様 項目 WXU-H/HC （サプライ＋リターンユニット） 使用流体 水、温水 使用圧力 MPa 0〜0.7 耐圧（水圧にて） MPa 1.4 冷 流体温度 ℃ WXU-H：1〜70/WXU-HC：1〜85 却 部 周囲温度 ℃ 5〜50 雰囲気 腐食性ガス・爆発性ガスのない場所 流量調整範囲 ％ 0〜100（ 水にて）〈閉止機能付〉 冷 却 連数 2〜10連 部 取付姿勢 自在 シール材質 フッ素ゴム 流体 流体 接続口径 IN/OUTポート Rc1 分岐ポート Rc3/8またはRc1/2 冷却配管のサプライとリターンを １ユニットで行うことができます。 質量 各回路毎に個別制御が可能です。 インブロック （kg） 0.67 なお、流量調整は、リターン側の エンドブロック （kg） 0.63 バルブで行ってください。 1連組立 （kg） 0.76 1連組立（WFC搭載） （kg） 1.00 流量特性 給排水区分 構　成 流量センサ Cv値 サプライ側（1連） － 3.00 WFK3004 0.35 WFK3012 1.05 リターン側（1連） WFK3032 1.80 WFC-150 2.10 注：1連（各系統）およびユニット全体の流量確認を必ず行ってください。 WFC-600 2.30 　 （ 26ページの「流量特性表の見方について」をご参照ください。） ●1連 ●ユニット全体 100 1000 条件 ・サプライ＋リターンのみ 条件 ・サプライ＋リターンのみ 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 7連以上 WFC-600搭載時 6連 WFC-150搭載時 5連 WFK3032搭載時 流 流 量10 量100 (L/min) (L/min) WFK3012搭載時 4連 3連 WFK3004搭載時 2連 1 10 0.01 0.1 1 0.01 0.1 1 圧力損失(MPa) 圧力損失(MPa) 1

WXU-H/HC Series 形番表示方法 全ての1連組立の機器構成が同じ場合には記号選択によりユニット全体を形番表示することができます。 異なる機器構成の1連組立を混成してユニットを組む場合には「マニホールド仕様書」（22ページ）で 構成を明記してください。 形番表示方法 ●カルマン渦式流量センサタイプ WXU-H - 6 - L - 15 - 12 - A0N0 記号 内　容 イ 連数 イ 連数 ２ ２連 ～ ～ 10 10連 ロ インブロック位置 ロ インブロック位置 Ｌ 左側 Ｒ 右側 Ｗ 両側 ハ 接続口径（分岐ポート） ハ 接続口径 （ 分岐ポート） 10 Rc3/8 15 Rc1/2 ニ 流量センサ流量範囲 ニ 流量センサ流量範囲 04 0.5〜4.0L/min 12 1.5〜12L/min 32 4.0〜32L/min ヘ 流量センサ出力② ホ 流量センサ出力① ヘ 流量センサ出力② 無記号 N0 N1 P0 P1 トランジスタ出力1点 不要 NPN NPN PNP PNP ホ 流量センサ出力① a接点 b接点 a接点 b接点 A0 DC0〜5V ● ● ● ● ● 〈形番表示例〉 A1 DC4〜20mA ● ● ● ● ● WXU-H-6-L-15-12-A0N0 A2 DC1〜5V ● ● ● ● ● 機種名：水集積ユニット　1流体制御タイプ イ 連数 ：6連 A3 DC0〜10V ● ● ● ● ● ロ インブロック位置：左側 N0 NPNトランジスタ出力2点（a接点） ● ハ 接続口径 ：Rc1/2 N1 NPNトランジスタ出力2点（b接点） ● ニ 流量センサ流量範囲：1.5〜12L/min P0 PNPトランジスタ出力2点（a接点） ● ホ 流量センサ出力①：DC0〜5V ヘ 流量センサ出力②：NPNトランジスタ出力1点（a接点） P1 PNPトランジスタ出力2点（b接点） ● ロ インブロック位置 記号 L R W 内容 左側 右側 両側 配置 2

WXU-H/HC Series 形番表示方法 全ての1連組立の機器構成が同じ場合には記号選択によりユニット全体を形番表示することができます。 異なる機器構成の1連組立を混成してユニットを組む場合には「マニホールド仕様書」（23ページ）で 構成を明記してください。 形番表示方法 ●電磁流量センサタイプ WXU-HC - 6 - L - 10 - 150 - N V - C3 記号 内　容 イ 連数 イ 連数 ２ ２連 ～ ～ 10 10連 ロ インブロック位置 ロ インブロック位置 Ｌ 左側 Ｒ 右側 Ｗ 両側 ハ 接続口径（分岐ポート） ハ 接続口径 （ 分岐ポート） 流量センサ流量範囲 150 600 10 Rc3/8 ● 15 Rc1/2 ● ニ 流量センサ流量範囲 ニ 流量センサ流量範囲 150 0.5〜15L/min 600 2.0〜60L/min ホ スイッチ出力 ホ スイッチ出力 N NPNトランジスタ出力 P PNPトランジスタ出力 ヘ アナログ出力 ヘ アナログ出力 V DC1〜5V 〈形番表示例〉 A DC4〜20mA WXU-HC-6-L-10-150-NV-C3 ト ケーブル 機種名：水集積ユニット　1流体制御タイプ ト ケーブル 無記号 無し イ 連数 ：6連 ロインブロック位置：左側 C3 ケーブル（M12・4芯・3m添付) ハ 接続口径 ：Rc3/8 L3 L形ケーブル（M12・4芯・3m添付) ニ 流量範囲 ：0.5〜15L/min ホ スイッチ出力 ：NPNトランジスタ出力 ヘ アナログ出力 ：DC1〜5V ト ケーブル ：添付 3

WXU-H/HC Series 内部構造図および部品リスト 内部構造図および部品リスト ●カルマン渦式流量センサタイプ 1 2 3 4 5 6 7 〈バルブは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 1 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 2 プレート SUS304 ステンレス 3 ノブ PBT ポリブチレンテレフタレート 4 スペーサ PPS ポリフェニレンサルファイド 5 コック PPS ポリフェニレンサルファイド FKM フッ素ゴム 6 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 7 流量センサ[WFK3000シリーズ] ●電磁流量センサタイプ 1 2 3 4 5 6 7 8 〈バルブは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 1 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 2 プレート SUS304 ステンレス 3 ノブ PBT ポリブチレンテレフタレート 4 スペーサ PPS ポリフェニレンサルファイド 5 コック PPS ポリフェニレンサルファイド FFM フッ素ゴム 6 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 7 流量センサ[WFCシリーズ] 8 口金 CAC804またはC6931 黄銅 4

WXU-H/HC Series 外形寸法図 外形寸法図 ●カルマン渦式流量センサタイプ 63 C D リターン側IN ノブ固定用ねじ 出荷時は、仮止め Rc1 OUT Rc1 A視 IN D 12 40 40 C 26.5 サプライ側OUT エンドブロック 35 (40×n)+60 63 インブロック (n:連数) 100 4-M8深さ 10 形　番 A B C D E WXU-H-※※※-10-※※ 190 5 24 Rc3/8 － WXU-H-※※※-15-※※ 200 10 29 Rc1/2 － WXU-HC-※※※-10-150-※※※ 218 5 24 Rc3/8 24 6 L　27ページ参照 29 WXU-HC-※※※-15-600-※※※ 228 10 29 Rc1/2 28 A視図 ●電磁流量センサタイプ 120 E コネクタ D 63 M12ピッチ1 リターン側IN Rc1 OUT Rc1 IN D サプライ側OUT 26.5 12 C 35 63 (40×n)+60 100 (n:連数) 5 2-17.5 2-90 45 35 45 35 B 125 B 125 A A 41 37.5 37.5 41 87.5 87.5

水集積ユニット　１流体制御タイプ WXU-J Series ●接続口径：Rc3/8, Rc1/2, Rc3/4, Rc1 ●流量範囲：0.5～32L/min <アプリケーション例> 共通仕様 項目 WXU-J （サプライ＋リターンユニット） 使用流体 水、温水 使用圧力 MPa 0〜0.4　　（注） 耐圧（水圧にて） MPa 1.0 冷 却 流体温度 ℃ 1〜70 部 周囲温度 ℃ 5〜50 雰囲気 腐食性ガス・爆発性ガスのない場所 冷 流量調整範囲 ％ 0〜100（ 水にて）〈閉止機能付〉 却 連数 2〜10連 部 取付姿勢 自在 シール材質 フッ素ゴム 流体 流体 IN/OUTポート Rc3/4またはRc1 接続口径 冷却配管のサプライとリターンを 分岐ポート Rc3/8またはRc1/2 １ユニットで行うことができます。 注：使用圧力以上でご使用の際はお問い合わせください。 各回路毎に個別制御が可能です。 質量 接続口径 − インブロック （kg） 20A 1.30 25A 1.20 エンドブロック （kg） 1.05 サプライ側 シリンダバルブ − 1連組立 （kg） 大流量仕様 1.29 なし 1.05 流量特性 給排水区分 構　　成 シリンダバルブ 流量センサ Cv値 大流量仕様 － 1.34 サプライ側（1連） なし － 2.51 WFK3004 0.41 リターン側（1連） － WFK3012 1.18 WFK3032 2.82 注：1連（各系統）およびユニット全体の流量確認を必ず行ってください。 　 （ 26ページの「流量特性表の見方について」をご参照ください。） ●1連 ●ユニット全体 100 1000 条件 ・サプライ＋リターンのみ 条件 ・サプライ＋リターンのみ 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 　　 ・IN/OUTポート配管：25A WFK3032搭載時 5連6連 7連以上 シリンダバルブ、 流 WFK3032搭載時 流 量 10 量100 (L/min) シリンダバルブ、 WFK3012搭載時 (L/min) WFK3012搭載時 3連 4連 2連 WFK3004搭載時 1 10 0.01 0.1 1 0.01 0.1 1 圧力損失(MPa) 圧力損失(MPa) 6

WXU-J Series 形番表示方法 全ての1連組立の機器構成が同じ場合には記号選択によりユニット全体を形番表示することができます。 異なる機器構成の1連組立を混成してユニットを組む場合には「マニホールド仕様書」（24ページ）で 構成を明記してください。 形番表示方法 WXU-J - 6 - L - 25 - B1 - 15 - 12 - A0N0 チ 流量センサ出力② ト 流量センサ出力① 記号 内　容 イ 連数 イ 連数 ２ ２連 ～ ～ 10 10連 ロ インブロック位置 ロ インブロック位置 Ｌ 左側 Ｒ 右側 Ｗ 両側 ハ 接続口径（IN/OUTポート） ハ 接続口径 （ IN/OUTポート） 20 Rc3/4 25 Rc1 ニ バルブ作動区分 ニ バルブ作動区分 B1 ＮＣ（ノーマルクローズ）形（大流量仕様） B2 ＮＯ（ノーマルオープン）形（大流量仕様） 00 なし ホ 接続口径（分岐ポート） ホ 接続口径 （ 分岐ポート） 10 Rc3/8 15 Rc1/2 ヘ 流量センサ流量範囲 ヘ 流量センサ 流量範囲 04 0.5〜4.0L/min 12 1.5〜12L/min 32 4.0〜32L/min チ 流量センサ出力② 無記号 N0 N1 P0 P1 トランジスタ出力1点 不要 NPN NPN PNP PNP ト 流量センサ出力① a接点 b接点 a接点 b接点 A0 DC0〜5V ● ● ● ● ● A1 DC4〜20mA ● ● ● ● ● A2 DC1〜5V ● ● ● ● ● A3 DC0〜10V ● ● ● ● ● N0 NPNトランジスタ出力2点（a接点） ● N1 NPNトランジスタ出力2点（b接点） ● P0 PNPトランジスタ出力2点（a接点） ● P1 PNPトランジスタ出力2点（b接点） ● 〈形番表示例〉 WXU-J-6-L-25-B1-15-12-A0N0 機種名：水集積ユニット　1流体制御タイプ イ 連数 ：6連 ロインブロック位置 ：左側 ハ 接続口径 ：Rc1 ニ バルブ作動区分 ：ＮＣ（ノーマルクローズ）形（大流量仕様） ホ 接続口径 ：Rc1/2 ヘ 流量センサ流量範囲：1.5〜12L/min ト 流量センサ出力①：DC0〜5V チ 流量センサ出力②：NPNトランジスタ出力1点（a接点） 7

WXU-J Series インブロック位置・内部構造図および部品リスト ロ インブロック位置 記号 L R W 内容 左側 右側 両側 配置 内部構造図および部品リスト ●1連組立 　・ バルブ付 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 〈ニードルは、全開状態にて出荷いたします。〉 　・ バルブなし 3 4 5 6 7 8 9 10 〈ニードルは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 品番 部品名称 材　　質 1 シリンダバルブ[GNABシリーズ] 6 ニードル SUS304 ステンレス 2 プレート SUS304 ステンレス 7 弁体 PP ポリプロピレン 3 ニードルブロック SUS304 ステンレス 8 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 4 ニードルストッパー SUS304 ステンレス 9 流量センサ[WFK3000シリーズ] 5 六角ナット SWCH 冷間圧造用炭素鋼 10 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 8

WXU-J Series 外形寸法図 外形寸法図 78 C 20 I リターン側IN H I OUT サプライ側OUT C A視 六角ナット H IN エンドブロック インブロック 出荷時は、仮止め φ1.8ワンタッチ継手 25 40 40 35 D (40×n)+60 E (n:連数) 117 4-M8深さ 10 17.5 L　27ページ参照 27.5 A視図 形　番 A B C D E F G H I WXU-J-※※※-20-※※※-10 164 228 24 22 33 24 65 Rc3/4 Rc3/8 WXU-J-※※※-25-※※※-10 164 228 24 23 35 20 70 Rc1 Rc3/8 WXU-J-※※※-20-※※※-15 169 233 29 22 33 24 65 Rc3/4 Rc1/2 WXU-J-※※※-25-※※※-15 169 233 29 23 35 20 70 Rc1 Rc1/2 9 30 2-9.5 2-75 62 93.5 A B F G

水集積ユニット　２流体制御タイプ WXU-P Series ●接続口径：Rc3/8, Rc1/2, Rc1 ●流量範囲：0.5～32L/min <アプリケーション例> 共通仕様 （サプライユニット） （リターンユニット） 項目 WXU-P 使用流体 水、温水、空気 使用圧力 MPa 0〜0.4　　（注） 冷 耐圧（水圧にて） MPa 1.0 却 部 流体温度 ℃ 1〜70 周囲温度 ℃ 5〜50 雰囲気 腐食性ガス・爆発性ガスのない場所 冷 却 流量調整範囲 ％ 15〜100（ 水にて） 部 連数 2〜6連 取付姿勢 自在 流体1 流体2 流体1 流体2 シール材質 フッ素ゴム 流体1ポート Rc1 ２種類の流体（水と空気等）を流すことができます。 接続口径 流体2ポート Rc1/2 冷却水とエアパージを持つ回路に適しています。 分岐ポート Rc3/8またはRc1/2 各回路毎に個別制御が可能です。 注：使用圧力以上でご使用の際はお問い合わせください。 （2台のユニットを使用します） 質量 インブロック （kg） 2.60 エンドブロック （kg） 0.70 給排水区分 流体1用 流体2用 シリンダバルブ シリンダバルブ − 1連組立 標準仕様 標準仕様 0.87 サプライ側 （kg） 大流量仕様 標準仕様 0.90 標準仕様 標準仕様 1.14 リターン側 大流量仕様 標準仕様 1.17 流量特性 給排水区分 構　　成 流体1側 流体2側 シリンダバルブ 流量センサ Cv値 C［dm3/(s・bar)］ b 標準仕様 － 0.44 1.4 0.2 サプライ側（1連） 大流量仕様 － 1.28 3.0 0.1 WFK3004 0.33 標準仕様 1.4 0.2 WFK3012 0.52 リターン側（1連） WFK3012 0.94 大流量仕様 3.0 0.1 WFK3032 1.37 注：1連（各系統）およびユニット全体の流量確認を必ず行ってください。（26ページの「流量特性表の見方について」をご参照ください。） ●1連 ●ユニット全体 100 1000 条件 ・サプライ＋リターンのみ 条件 ・サプライ＋リターンのみ 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 大流量仕様シリンダバルブ、 5連以上 WFK3032搭載時 100 大流量仕様シリンダバルブ、 流 WFK3012搭載時 流 量10 量 (L/min) (L/min) 2連 3連 4連 10 標準仕様シリンダバルブ、 WFK3012搭載時 標準仕様シリンダバルブ、 1 WFK3004搭載時 1 0.01 0.1 1 0.01 0.1 1 圧力損失(MPa) 圧力損失(MPa) 10

WXU-P Series 形番表示方法 全ての1連組立の機器構成が同じ場合には記号選択によりユニット全体を形番表示することができます。 異なる機器構成の1連組立を混成してユニットを組む場合には「マニホールド仕様書」（25ページ）で 構成を明記してください。 形番表示方法 WXU-P - R - 6 - L - S 1 1 - N - 15 - 12 - A0N0 ル 流量センサ出力② イ 給排水区分 チ 接続口径 ヌ 流量センサ出力① 　（ 分岐ポート） ロ 連数 ヘ 流体2用 リ 流量センサ流量範囲 　 バルブ作動区分 ハ インブロック ホ 流体１用 記号 内　容 位置 　 バルブ作動区分 イ 給排水区分 Ｓ サプライ側 ニ 流体１用 ト 流量調整機能 Ｒ リターン側 バルブサイズ ロ 連数 ２ ２連 〈形番表示例〉 ～ ～ WXU-P-R-6-L-S11-N-15-12-A0N0 ６ ６連 機種名：水集積ユニット　２流体制御タイプ ハ インブロック位置 イ 給排水区分 ：リターン側 Ｌ 左側 ロ 連数 ：6連 Ｒ 右側 ハインブロック位置 ：左側 Ｗ 両側 ニ 流体1用バルブサイズ ：標準仕様 ホ 流体1用バルブ作動区分：NC（ノーマルクローズ）形 ニ 流体１用バルブサイズ ヘ 流体２用バルブ作動区分：NC（ノーマルクローズ）形 Ｓ 標準仕様 ト 流量調整機能 ：流量調整機能付 Ｂ 大流量仕様 チ 接続口径 ：Rc1/2 ホ 流体１用バルブ作動区分 リ 流量センサ流量範囲 ：1.5〜12L/min １ ＮＣ（ノーマルクローズ）形 ヌ 流量センサ出力① ：DC0〜5V ２ ＮＯ（ノーマルオープン）形 ル 流量センサ出力② ：NPNトランジスタ出力1点（a接点） ヘ 流体２用バルブ作動区分 １ ＮＣ（ノーマルクローズ）形 ル 流量センサ出力② ２ ＮＯ（ノーマルオープン）形 無記号 N0 N1 P0 P1 ト 流量調整機能 トランジスタ出力1点 Ｎ 流量調整機能付 不要 NPN NPN PNP PNP ０ 無し ヌ 流量センサ出力① a接点 b接点 a接点 b接点 チ A0 DC0〜5V ● ● ● ● ● 接続口径（分岐ポート） 10 Rc3/8 A1 DC4〜20mA ● ● ● ● ● 15 Rc1/2 A2 DC1〜5V ● ● ● ● ● リ 流量センサ流量範囲 A3 DC0〜10V ● ● ● ● ● 04 0.5〜4.0L/min N0 NPNトランジスタ出力 2点（a接点） ● 12 1.5〜12L/min 32 4.0〜32L/min N1 NPNトランジスタ出力 00 流量センサなし（イ給排水区分“S”の場合） 2点（b接点） ● P0 PNPトランジスタ出力 2点（a接点） ● P1 PNPトランジスタ出力 2点（b接点） ● 000 流量センサなし （イ給水区分“S”の場合） ● 11

WXU-P Series インブロック位置・内部構造図および部品リスト ハ インブロック位置 記号 L R W 内容 左側 右側 両側 配置 内部構造図および部品リスト ●1連組立 6 7 1 2 9 3 10 4 5 8 〈ニードルは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 1 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 2 流量センサ[WFK3000シリーズ] 3 ニードルストッパー SUS304 ステンレス 4 六角ナット SWCH 冷間圧造用炭素鋼 5 ニードル SUS304 ステンレス 6 流体1用シリンダバルブ[GNABシリーズ] 7 流体2用シリンダバルブ[GNABシリーズ] 8 プラグ SUS304 ステンレス 9 プレート SUS304 ステンレス 10 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 12

WXU-P Series 外形寸法図 外形寸法図 129 ●WXU-P-S Rc1 φ1.8ワンタッチ継手 B 流体1 IN D OUT インブロック Rc1/2 エンドブロック 流体2 IN 15 40 40 45 18.5 (40×n)+60 105.5 (n:連数) 4-M8深さ 10 153 形　番 A B C D WXU-P-S-※※※-S-※※※-10 59 24 97.5 Rc3/8 WXU-P-S-※※※-B-※※※-10 59 24 103 Rc3/8 WXU-P-S-※※※-S-※※※-15 64 29 97.5 Rc1/2 7.5 L　27ページ参照 10 WXU-P-S-※※※-B-※※※-15 64 29 103 Rc1/2 ●WXU-P-R 129 D Rc1 B IN 流体1 OUT φ1.8ワンタッチ継手 インブロック Rc1/2 流体2 OUT エンドブロック 15 40 40 45 18.5 (40×n)+60 六角ナット (n:連数) 出荷時は、仮止め 105.5 14 153 4-M8深さ 10 形　番 A B C D WXU-P-R-※※※-S-※※※-10 114 24 97.5 Rc3/8 WXU-P-R-※※※-B-※※※-10 114 24 103 Rc3/8 7.5 L　27ページ参照 10 WXU-P-R-※※※-S-※※※-15 119 29 97.5 Rc1/2 WXU-P-R-※※※-B-※※※-15 119 29 103 Rc1/2 13 2-30 2-100 A 2-30 2-100 A C C 30 30 29 29 97.5 97.5

搭載機器の仕様 搭　載　機　器　の　仕　様 ■バルブ部仕様 項　　目 ＧＮＡＢ−Ｘ□ 標準仕様 大流量仕様 弁座漏れ cm3/min 0.12以下（空気圧にて） オリフィス径 mm 7 10 Cv値 1.0 1.6 C［dm3/（s・bar）］ 3.8（ ※1） － b 0.3 － パイロットエア圧力 MPa NC（ノーマルクローズ）形：0.25〜0.7 NO（ノーマルオープン）形：（※2） 　　 パイロット接続 エアファイバ用φ1.8ワンタッチ継手（ ※その他の接続については別途お問い合せください。） ※1　有効断面積Sと音速コンダクタンスCとの換算はS≒5.0×Cです。 ※2　NO形のパイロットエア圧力については、31ページをご参照ください。 ■WFK30＊＊S流量センサ部仕様（センサタイプ） ■WFK30＊＊M流量センサ部仕様（スイッチタイプ） ・流量センサ出力①：-A0, -A1, -A2, -A3 ・流量センサ出力①：-N0, -N1, -P0, -P1 ・流量センサ出力②：無記号 ・流量センサ出力②：無記号 項　　目 04 12 32 項　　目 04 12 32 (WFK3004S) (WFK3012S) (WFK3032S) (WFK3004M) (WFK3012M) (WFK3032M) 流量範囲　L/min 0.5〜4.0 1.5〜12 4.0〜32 流量範囲　L/min 0.5〜4.0 1.5〜12 4.0〜32 精度 ±2.5％F.S. 精度 ±2.5％F.S.±1digit アナログ出力 -A0：DC0〜5V、-A1：DC4〜20mA、 表示 瞬時流量　2桁　LED表示 -A2：DC1〜5V、-A3：DC0〜10V 出力 2点トランジスタ出力（NPN/PNP選択） 供給電圧 DC12〜24V±10％（MAX80mA） スイッチ出力 MAX.DC50mA -A3はDC15〜24V 内部降下電圧：（NPN）2.0V以下（, PNP）2.5V以下 供給電圧 DC12〜24V±10%（MAX80mA） ■WFK30＊＊C流量センサ部仕様（センサ・スイッチタイプ） ・流量センサ出力①：-A0, -A1, -A2, -A3 ・流量センサ出力②：N0, N1, P0, P1 項　　目 04 12 32 (WFK3004C) (WFK3012C) (WFK3032C) 流量範囲　L/min 0.5〜4.0 1.5〜12 4.0〜32 精度 ±2.5％F.S.±1digit 表示 瞬時流量　2桁　LED表示 アナログ出力 -A0：DC0〜5V、-A1：DC4〜20mA、 出力 -A2：DC1〜5V、-A3：DC0〜10V 1点トランジスタ出力（NPN/PNP選択） スイッチ出力 MAX.DC50mA 内部降下電圧：（NPN）2.0V以下（, PNP）2.5V以下 供給電圧 DC12〜24V±10%（MAX80mA） 流量センサ配線方法 ・配線を行う際には、使用上の注意事項を必ず参照ください。 ・ケーブルは4芯キャブタイヤケーブル芯線0.2 mm2を使用しています。 ・オプション センサタイプ（アナログ出力） スイッチタイプ（スイッチ出力形式） -A0；（0-5［V］） -N0；（NPN a 接点、2点） -A1；（4-20［mA］） -N1；（NPN b 接点、2点） -A2；（1-5［V］） -P0；（PNP a 接点、2点） -A3；（0-10［V］） -P1；（PNP b 接点、2点） ※センサ・スイッチタイプのアラーム出力は1点となります。 ● WFK3＊＊＊S（センサタイプ電圧出力仕様：-A0/-A2/-A3） ケーブル(3m) ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ： DC12〜24V±10% (オプションA3はDC15〜24V±10％) ANO(橙) 主 ・・・アナログ出力 ：流量に比例した電圧を出力 回 路 NC/ANO2(黒) ・・・標準：ＮＣ GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V 14

搭載機器の仕様 ● WFK3＊＊＊S（センサタイプ電流出力仕様：-A1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% 主 ANO+(橙) ＋ ・・・4-20mA入力装置に接続 回 受信器 ANO-(黒) 路 GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V ※注記 　上位入力回路（受信器）に流量センサを2台以上接続する場合は、信号が干渉しないように接続してください。 ● WFK3＊＊＊M（スイッチタイプNPN出力仕様：-N0/-N1） 　　 ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% 主 ALARM2(橙) ・・・スイッチ2(OUT2)出力 ：MAX DC30V･50mA 回 ALARM1(黒) 路 ・・・スイッチ1(OUT1)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V ● WFK3＊＊＊Ｍ（スイッチタイプPNP出力仕様：-P0/-P1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% 主 ALARM2(橙) ・・・スイッチ2(OUT2)出力 ：MAX 50mA 回 ALARM1(黒) 路 ・・・スイッチ1(OUT1)出力 ：MAX 50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V ● WFK3＊＊＊Ｃ（センサタイプ電圧出力仕様：-A0/-A2/-A3，スイッチタイプNPN出力仕様：N0/N1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ： DC12〜24V±10% （オプションA3はDC15〜24V±10%） 主 ANO(橙) ・・・アナログ出力 ：流量に比例した電圧を出力 回 ALARM(黒) 路 ・・・スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V ● WFK3＊＊＊Ｃ（センサタイプ電流出力仕様：-A1，スイッチタイプNPM出力仕様：N0,N1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% ＋ 主 ANO(橙) ・・・4-20mA入力装置に接続 回 受信器 ALARM(黒) 路 ・・・ スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V ● WFK3＊＊＊Ｃ（センサタイプ電圧出力仕様：-A0/-A2/-A3，スイッチタイプPNP出力仕様：P0,P1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ： DC12〜24V±10% （オプションA3はDC15〜24V±10%） 主 ANO(橙) ・・・アナログ出力 ：流量に比例した電圧を出力 回 ALARM(黒) 路 ・・・スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V 15

搭載機器の仕様 ● WFK3＊＊＊Ｃ（センサタイプ電流出力仕様：-A1，スイッチタイプPNP出力仕様：P0,P1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% 主 ANO(橙) ＋ ・・・4-20mA入力装置に接続 回 受信器 ALARM(黒) 路 ・・・ スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[－]に接続 ：DC 0V 機　能　説　明 ●スイッチタイプ（ＷＦＫ30※※Ｍ） ・出力ランプ：緑（OUT1） ・2桁デジタル表示 スイッチ出力がONすると点灯します。 瞬時流量を表示 ※10L/min未満：小数表示 10L/min以上：整数表示 ・出力ランプ：赤（OUT2） スイッチ出力がONすると点灯します。 ・出力設定用ロータリスイッチ ※OUT1：リード線（黒） OUT2：リード線（橙）に対応しています。 9 0 1 スイッチ出力の設定値を10段階で設定します。 ※ ロータリスイッチの設定は精密ドライバー等で行ってください。回転部に過度 スイッチ出力動作 8 2 な力を加えると接点の接触不良が発生する可能性がありますので十分注意し てください。 ＜出力オプション：NO/PO＞ 7 3 ※ 矢印を確実に目盛に合わせてご使用ください。 h（ヒステリシス） 　無理に中間位置で止めると出力が不定になる可能性があります。 6 5 4 ※スイッチ出力の設定は、電源をオフした状態で行ってください。 オン ※スイッチ出力設定後、カバーを閉じると設定された流量の表示となります。 スイッチ 出力 スイッチ出力設定値[L/min] オフ ロータリスイッチ 機種 設定値 瞬時流量[L/min] 接点番号 WFK3004M WFK3012M WFK3032M 1 0.6 2.0 5.0 2 0.7 3.0 9.0 ＜出力オプション：N1/P1＞ 3 0.8 4.0 12 h（ヒステリシス） 4 0.9 5.0 14 オン 5 1.0 6.0 16 スイッチ 6 1.5 7.0 18 出力 7 2.0 8.0 21 オフ 8 2.5 9.0 24 設定値 瞬時流量[L/min] 9 3.0 10 27 0 3.5 11 30 ヒステリシス 0.1 0.5 1.0 16

搭載機器の仕様 ●センサタイプ（ＷＦＫ30※※S） 通水表示：緑 仕様範囲内の水が流れると 点灯します。 電源表示：赤 電源を入れると点灯します。 ●センサ・スイッチタイプ（WFK30※※C） ・2桁デジタル表示 瞬時流量を表示 ※10L/min未満：小数表示 ・出力ランプ：橙（OUT） 10L/min以上：整数表示 スイッチ出力がONすると点灯します。 ・出力設定用ロータリスイッチ ※OUT：リード線（黒）に対応しています。 9 0 1 スイッチ出力の設定値を10段階で設定します。 ※ ロータリスイッチの設定は精密ドライバー等で行ってください。回転部に過度な スイッチ出力動作 8 2 力を加えると接点の接触不良が発生する可能性がありますので十分注意してく ださい。 ＜出力オプション：NO/PO＞ 7 3 ※ 矢印を確実に目盛に合わせてご使用ください。 h（ヒステリシス） 　無理に中間位置で止めると出力が不定になる可能性があります。 オン 6 5 4 ※ スイッチ出力の設定は、電源をオフした状態で行ってください。 ※ スイッチ出力設定後、カバーを閉じると設定された流量の表示となります。 スイッチ 出力 オフ スイッチ出力設定値［ L/min］ 設定値 瞬時流量[L/min] ロータリスイッチ 機種 接点番号 WFK3004C WFK3012C WFK3032C 1 0.6 2.0 5.0 2 0.7 3.0 9.0 ＜出力オプション：N1/P1＞ 3 0.8 4.0 12 h（ヒステリシス） 4 0.9 5.0 14 オン 5 1.0 6.0 16 スイッチ 6 1.5 7.0 18 出力 7 2.0 8.0 21 オフ 8 2.5 9.0 24 設定値 瞬時流量[L/min] 9 3.0 10 27 0 3.5 11 30 ヒステリシス 0.1 0.5 1.0 ■WFC流量センサ部仕様 項　　目 150 600 （WFC-150） （WFC-600） 定格流量範囲 0.5〜15 L/min 2.0〜60 L/min 使用可能流体導電率 5μS/cm以上 繰返し精度　注1） ±6.0%F.S 応答時間　注2） 0.25 s/0.5 s/1 s/2 s/5 s　（初期値1s） スイッチ出力 NPN または PNP トランジスタ出力 最大負荷電流 50mA 最大印加電圧 DC30V 内部降下電圧 NPN：2.0V以下 PNP：2.4V以下 電圧出力 電圧出力：1〜5V　負荷インピーダンス：50kΩ以上 アナログ出力 電流出力 電流出力：4〜20mA,負荷インピーダンス：500Ω以下 表示方式 2画面表示(上4桁7セグメント　緑/赤の2色表示、下6桁11セグメント　白） 電源電圧 DC24V±10%（リップルP-P±10%以下のこと） 消費電流 65mA以下 注1）応答時間5sの場合の特性です。 注2）ステップ入力に対して63%の値に達するまでの応答時間です。 注3）配管ポート部および本体金属部はDC（－）/青線に接地されています。プラス接地の電源では使用できません。 17

搭載機器の仕様 配線方法 ・配線を行う際には、使用上の注意事項を必ず参照ください。 コネクタピンNo コネクタは（株）コーレンス製の VA コネクタ（ 形番：TM-4DSX3HG4） を使用しています。 仕様：DC用、4芯0.5mm2 3 　ケーブル形番：TM-4DSX3HG4 2 　L形ケーブル形番：VA-4DLX3HG4 4 スイッチ出力形式 アナログ出力 -NV 1-5[V] 1 NPN　トランジスタ出力 -NA 4-20[mA] プラグ (オス ) -PV 1-5[V] PNP　トランジスタ出力 -PA 4-20[mA] １）-NV,-NA コネクタNo 付属ケーブル（3m） ○1 ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[+]に接続 ：DC 24V±10% ○2 OUT2(白) ： 流量に比例した電圧か電流を出力 主 ・・・アナログ出力/スイッチ入力 　 /リモートゼロアジャスト、又は、 回 積算リセット  路 ○4 OUT1(黒) ・・・スイッチ出力(NPN) ：MAX.DC30V 50mA ○3 GND(青) ・・・直流電源マイナス[-]に接続 ：DC 0V ２）-PV，-PA ○1 ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[+]に接続 ：DC 24V±10% ○2 OUT2(白) ： 流量に比例した電圧か電流を出力 主 ・・・アナログ出力/スイッチ入力 　 /リモートゼロアジャスト、又は、 回 積算リセット ○4路 OUT1(黒) ・・・スイッチ出力(PNP) ：MAX.50mA ○3 GND(青) ・・・直流電源マイナス[-]に接続 ：DC 0V 機能説明 ● メイン画面 ● 単位表示 瞬時流量、積算流量を表示します。 点灯時は表示が瞬時流量を表示します。 ● 出力表示 アップキー： 出力の状態を示します。 確定キー： ダウンキー： ● サブ画面 出力モードや流れ方向を表示します。 18