低圧電空レギュレータ　EVLシリーズ

New Products 新商品 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ 概　要 　低圧電空レギュレータEVLシリーズは、今まで できなかった50kPa以下での比例制御を0kPaか ら高精度に自在にコントロールできる小形・低圧・ 電空レギュレータです。 おもな特長 ●低圧タイプ ●流路部ノングリス仕様 　0～50kPaまでの低圧制御が可能です。 ●マニホールド可能 ●高精度コントロール ●集中排気可能 　ヒステリシス　0.5％F.S.以下 　分解能　　　　0.2％F.S.以下 ●ワンタッチ配線 （受注生産品） 使用例 ●CMP装置 ●研磨力コントロール ご使用前に裏面の「使用上の注意事項」を必ずお読みください。 CC-875

低圧電空レギュレータ EVL Series JIS記号 EXH IN OUT 仕様 項　目 EVL－1050 使用流体 清浄圧縮空気（ISO1.3.2相当） 最高使用圧力 160kPa 最低使用圧力 140kPa 供給側 240kPa 保証耐圧力 出力側 100kPa 圧力制御範囲 0～50kPa 電源電圧 DC24V±10％（リップル率1％以下の安定化電源） 消費電流 0.1A以下（電源ON時の突入電流0.6A） 4～20mADCまたは 10kΩ 可変抵抗または 入力信号 0～10VDC 0～5VDC 1～5VDC（250Ω） 0～10VDC （入力インピーダンス） （20kΩ） （10kΩ） 　　　　　　　 注4 （20kΩ） モニタ出力 1±0.1～5±0.1VDC　（但し、10kΩ　可変抵抗入力の場合はなし） ヒステリシス 0.5％F.S.以下 リニアリティ ±0.5％F.S.以下 精度　　 注1 分解能 0.2％F.S.以下 繰り返し性 0.5％F.S.以下 ゼロ点変動 0.15％F.S./℃以下 温度特性 スパン変動 0.07％F.S./℃以下 最大流量 注2 100 /min（ANR） ステップ応答 注3 0.6s以下（無負荷時） 2 耐振動性 98m/s 以下（JIS C0040） 空気消費量 4 /min（ANR） 使用温度範囲 5～50℃ 取付姿勢 自由 保護構造 IP64相当（本体）、IP67（ケーブルコネクタ） 注5 IN/OUTポート Rc1/4 EXHポート φ4.3 注6 接続口径 パイロット排気ポート（R） M3 ブリードポート 質量（本体） 315g 注1：上記特性は、電源電圧24.0VDC、無負荷、一次側使用圧力範囲内での特性。 また、ヒステリシス・リニアリティは圧力制御範囲10%～100%での特性。 注2：使用圧力：160kPa、制御圧力　：50kPaでの特性。 注3：使用圧力：160kPa、ステップ量：50％F.S.→100％F.S. 50％F.S.→60％F.S. 50％F.S.→40％F.S. 注4：信号電圧1～5VDCで使用する場合、信号源からEV内部に4～20mAの電流が流れ込みます。使用する信号源の仕様をよくお確めの上、ご使用いただく ようお願いします。 注5：本体保護構造IP64は、ケーブルコネクタを上にした縦取り付けの場合に限られます。 注6：EXHポートは大気開放ポートです。配管が必要な場合は、排気オプション「-E1」を選択してください。 注7：マニホールドにも対応可能です。ご希望の場合は、弊社営業窓口までお問合せください。 注8：外部パイロット方式にも対応可能です。ご希望の場合は、弊社営業窓口までお問合せください。 1

EVL Series 形番表示方法 形番表示方法 EVL 1050 0 08 C11 E1 L11 記号 内　容 イ 入力信号 イ 入力信号 0 0-10V 1 0-5V 2 4-20mAまたは1-5VDC 3 10kΩ可変抵抗または0-10V ロ オプション ケーブルオプション ロ オプション 無記号 無し C11 1m添付 C13 3m添付 排気 オプシ ョン 無記号 無し E1 注1 φ8ワンタッチ継手付 ブラ ケット オプション添付 無記号 無し B1 注1 床面据付タイプ 形番選定にあたっての注意事項 B11 排気継手用床面据付タイプ 注１：排気オプション「E1」と床面据付タイプ「B1」は、 L11 壁面据付タイプ 　　　同時選択できません。 ●オプション単品形番 ①ケーブル／排気オプション EV2000 - C11 記号 内　容 C11 ケーブル　1ｍ C13 ケーブル　3ｍ E1 φ8ワンタッチ継手付 ②ブラケットオプション EVD - B1 記号 内　容 B1 床面据付タイプ EVL - B11 記号 内　容 B11 排気継手用床面据付タイプ L11 壁面据付タイプ 2

EVL Series 内部構造図および部品リスト 1 2 3 12 品番 部品名称 材　質 4 1 コネクタプラグ 2 ハウジング ABS樹脂 3 コントローラ基板 4 3方弁 5 圧力センサ 5 13 6 パイロットボディ アルミニウム合金 7 オリフィス ステンレス鋼 8 ダイヤフラム 特殊ニトリルゴム 14 9 リリーフシート アルミニウム合金 6 10 鋼球（排気弁） ステンレス鋼 15 7 11 Oリング フッ素ゴム 12 バルブベース アルミニウム合金 8 16 13 バルブ（給気弁） 特殊ニトリルゴム、ステンレス鋼 14 ボディ アルミニウム合金 9 17 15 プラグ 鋼、ニッケルメッキ 10 16 ボトムゴム シリコンゴム 17 ボトムプラグ 黄銅、無電解ニッケルメッキ 11 外形寸法図 49 Ｍ12, 4ピン コネクタプラグ 9 ゼロ・スパン調整窓 PUSH OPEN R Rポート, M3深さ3 IN OUT 5 2－Rc1/4 ブリードポート さ 42 3深 27 30 M3深さ3 M 4－ EXHポート 27 （φ4.3） 3 36 18 50 94.5 105.5 48.5

EVL Series オプション付外形寸法図 オプション付外形寸法図 ●ブラケット床面据付タイプ（－B1） 　・横方向（配管方向）据付 　・縦方向（前後方向）据付 PUSH OPEN PUSH OPEN IN OUT IN OUT 「B1」ブラケット 「B1」ブラケット EXHポート EXHポート ●ブラケット排気継手用床面据付タイプ（－B11） 　・横方向（配管方向）据付 　・縦方向（前後方向）据付 PUSH OPEN PUSH OPEN IN OUT IN OUT 「B11」ブラケット 「B11」ブラケット 排気オプション「－E1」 排気オプション「－E1」 注：ブラケット横方向据付時は、排気チューブは抜穴より引出してください。 ●ブラケット背面据付タイプ（－L11） 　・本体正面向き 壁面 　・本体横向き 壁面 26 26.5 GWL4-8またはGWL6-8（別売） （配管方向は上向き） R ワンタッチ継手〈別売〉 （形番GWL4-8または 　　　　　 GWL6-8） 排気オプション「－E1」 排気オプション「－Ｅ１」 GWJL3-M3 ワンタッチ継手〈別売〉 （形番GWJL3-M3） 4 127.5 116.5 （113） (130) (113)

EVL Series オプション外形寸法図 ●ブラケットオプション（－B1, －B11, －L11） 　・床面据付タイプ（－B1） 　・排気継手用床面据付タイプ（－B11） 36 56 8－φ3.5 27 22φ 56 27 64 36 44 64 10 　・壁面据付タイプ（－L11） 19 R8 2－ 30.5 3.5 3.5 ●φ8ワンタッチ継手付（－E1） 正面図 側面図 27 36 42 22 32 42 ●ケーブルオプション -C1＊　シールド・ケーブル・コネクタ 4-0.3mm2 入力信号の種類 ＊ピン№ 絶縁体色 用途 4-20mA 10kΩVR 0-10V 0-5V 1-5V （0-10V） 1 赤 電源○＋ 24V 2 緑 ―― モニタ出力1-5V VR入力端子 38.5 VR入力端子 1000 3 黒 コモン 0V 0V 3000 45±5 4-20mA VR出力端子 4 白 入力信号 0-10V 0-5V シールド線 1-5V （0-10V） ケーブルコネクタを使用されない場合は、下記の推奨ケーブルソケットが使用で きます。ただし、ケーブルはシールド線をご使用ください。 ネジ止めタイプ ELW1KA4012　コーレンス（ヒルシュマン） ストレートタイプ（はんだ）形　XS2C-D421　オムロン L形タイプ（はんだ） 形　XS2C-D422　オムロン 5 75 36 36 34 17.5 27 27 8 5 1.6 φ6.8 4.4 3.5 3.5 1.6 4.4 4.4 7.2 30 44 22 44 25 36 8 1.6 －φ 27 3 .5 16 16 4.4 4.4 30

EVL Series 特性グラフ 使用上の注意事項 入出力特性 モニタ出力 50 5 40 4 30 ア 3 制 ナ 御 ロ 圧 グ 力 20 出 2 (kPa) 力 (VDC) 10 1 0 0 0 20 40 60 80 100 0 10 20 30 40 50 入力信号（％F.S.） 制御圧力（kPa） 流量特性 リリーフ特性 使用圧力160kPa 使用圧力160kPa 60 100 50 80 40 60 制 制 御 30 御 圧 圧 力 力 40 (kPa) 20 (kPa) 20 10 0 0 0 20 40 60 80 100 120 140 160 0 20 40 60 80 流量［ /min(ANR)］ 流量［ /min(ANR)］ 使用上の注意事項 「空圧・真空・補助機器総合（No.CB-24S）の注意事項」も併せてお読みください。 注意 ■本製品は、コンスタントブリード方式を採用しております。ブリードポートは、塞がずにご使用ください。 ■集中排気が必要な場合は、排気オプション「－E1」を選択してください。また、EXHポートのみでなく、ブリードポート、パイロット排 気ポート（Ｒ）も同時に排気をしてください。 　尚、その際、ブラケット「－B1」は選択できません。 ■精度良く、ご使用いただくため、供給圧力は140kPaから160kPaの間でご使用ください。 ■下表に示すような仕様範囲外の入力信号を印加されますと、電磁弁が過剰動作し、寿命の劣化および特性の劣化が発生しますので、仕様 範囲内でご使用ください。 0-10Vタイプ 0-5Vタイプ 4-20mAタイプ 0V未満の場合 0V未満の場合 4mA未満の場合 10Ｖを超える場合 5Ｖを超える場合 20mAを超える場合 ■壁面据付（本体正面向き）で、ブリードポート、パイロット排気ポートに継手を取付けられる場合は、GWJL3－M3をご使用ください。 ■壁面据付（本体横向き）でご使用の場合、壁面側の継手は、GWL4－8またはGWL6－8をご使用ください。また、配管方向は上向きと してください。 ■パーティクルの発生が問題となる用途の場合は、EVLの2次側にフイルタ（FCS1000シリーズなど）を設置してください。 6

お問合せは お近くの営業所へどうぞ 北 陸・信 越 ●神戸営業所 〒673-0016 兵庫県明石市松の内2-6-8（西明石スポットビル3階） ●長岡営業所 TEL（078）923-2121　FAX（078）923-0212 〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33（高野不動産ビル2階） ●大阪支店 北 海 道 TEL（0258）33-5446　FAX（0258）33-5381 〒550-0001 大阪市西区土佐堀1-3-20 ●札幌営業所 ●上田営業所 TEL（06）6459-5770　FAX（06）6446-1945 〒060-0032 札幌市中央区北2条東14-26（苗穂駅前ビル1階） 〒386-0034 長野県上田市大字中之条323-6（NFビル103号） TEL（011）232-1760　FAX（011）232-9050 TEL（0268）24-2392　FAX（0268）24-2394 中 　 国 ●松本営業所 ●広島 営業所 東　　　　北 〒399-0033 長野県松本市大字笹賀5945 〒730-0022 広島市中区銀山町3-1（ひろしまハイビル21 12階） ●北上営業所 TEL（0263）25-0711　FAX（0263）25-1334 TEL（082）545-5125　FAX（082）244-2010 〒024-0034 岩手県北上市諏訪町2-4-26 ●富山営業所 ●岡山営業所 TEL（0197）63-4147　FAX（0197）63-4186 〒939-8064 富山県富山市赤田中町494-1 〒700-0916 岡山県岡山市西之町10-104 ●仙台営業所 TEL（076）421-7828　FAX（076）421-8402 TEL（086）244-3433　FAX（086）241-8872 〒984-0015 仙台市若林区卸町2-2-1（パックス2･1階） ●金沢営業所 ●山口営業所 TEL（022）239-1851　FAX（022）239-1856 〒920-0025 石川県金沢市駅西本町3-16-8 〒747-0034 山口県防府市天神2-2-2 ●山形営業所 TEL（076）262-8491　FAX（076）262-8493 TEL（0835）38-3556　FAX（0835）22-6371 〒990-0834 山形県山形市清住町3-5-19 東 　 海 TEL（023）644-6391　FAX（023）644-7273 四 　 国 ●郡山営業所 ●名古屋営業所 ●高松営業所 〒963-8034 福島県郡山市島1-16-9 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒760-0055 香川県高松市観光通2-2-15（ダイヤビル） TEL（0249）23-6348　FAX（0249）24-0862 TEL（0568）74-1371　FAX（0568）77-3291 TEL（087）834-9640　FAX（087）834-9633 ●豊田営業所 ●松山営業所 北　関　東 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 〒790-0053 愛媛県松山市竹原2-1-33（サンライト竹原1階） ●大宮営業所 TEL（0565）54-4771　FAX（0565）54-4755 TEL（089）931-6135　FAX（089）931-6139 〒330-0812 さいたま市北区宮原町3-429-1（第一清水ビル2階） ●静岡営業所 TEL（048）652-3811　FAX（048）652-3816 〒422-8035 静岡県静岡市駿河区宮竹1-3-5 九 　 州 ●茨城営業所 TEL（054）237-4424　FAX（054）237-1945 ●北九州営業所 〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1（関鉄つくばビル4階C） ●浜松営業所 〒802-0976 北九州市小倉南区南方5-13-34 TEL（029）841-7490　FAX（029）841-7495 〒435-0016 静岡県浜松市和田町438 TEL（093）964-0785　FAX（093）964-0910 ●宇都宮営業所 TEL（053）463-3021　FAX（053）463-4910 ●福岡営業所 〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7（NBF宇都宮ビル3階） ●四日市営業所 〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-10-27（アスティア博多ビル5階） TEL（028）638-5770　FAX（028）638-5790 〒510-0064 三重県四日市市新正5-3-20 TEL（092）473-7136　FAX（092）473-5540 ●太田営業所 TEL（0593）51-3151　FAX（0593）51-6788 ●大分営業所 〒373-0813 群馬県太田市内ケ島町946-2（大槻総合ビル1階） ●名古屋支店 〒871-0015 大分県中津市牛神町1-11-1 TEL（0276）45-8935　FAX（0276）46-5628 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL（0979）26-0725　FAX（0979）23-6866 TEL（0568）74-1356　FAX（0568）77-3317 ●熊本営業所 南　関　東 関 　 西 〒869-1103 熊本県菊池郡菊陽町久保田2799-13 ●東京営業所 TEL（096）340-2580　FAX（096）340-2584 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） ●大阪営業所 本 　 社 TEL（03）5402-3628　FAX（03）5402-0122 〒550-0001 大阪市西区土佐堀1-3-20 ●立川営業所 TEL（06）6459-5775　FAX（06）6446-1955 ●本社・工場 〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30（朝日生命立川錦町ビル3階） ●大阪東営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL（042）527-3773　FAX（042）527-3782 〒570-0083 大阪府守口市京阪本通1-2-3（損保ジャパン守口ビル6階） TEL（0568）77-1111　FAX（0568）77-1123 ●千葉営業所 TEL（06）4250-6333　FAX（06）6991-7477 ●営業本部 〒274-0825 千葉県船橋市前原西2-12-15（朝日生命津田沼ビル5階） ●堺営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL（047）470-5070　FAX（047）493-5190 〒591-8021 大阪府堺市北区新金岡町5-5-6（泉マンション1階） TEL（0568）74-1303　FAX（0568）77-3410 ●横浜営業所 TEL（072）253-0071　FAX（072）253-0054 ●海外営業部 〒222-0033 横浜市港北区新横浜2-17-19（日総第15ビル4階） ●滋賀営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL（045）475-3471　FAX（045）475-3470 〒524-0033 滋賀県守山市浮気町字中ノ町300-21（第2小島ビル4階） TEL（0568）74-1338　FAX（0568）77-3461 ●厚木営業所 TEL（077）514-2650　FAX（077）583-4198 〒243-0035 神奈川県厚木市愛甲1212-3 ●京都営業所 TEL（046）226-5201　FAX（046）226-5208 〒612-8414 京都市伏見区竹田段川原町35-3 ●甲府営業所 TEL（075）645-1130　FAX（075）645-4747 〒409-3867 山梨県中巨摩郡昭和町清水新居1509 ●奈良営業所 TEL（055）224-5256　FAX（055）224-3540 〒639-1123 奈良県大和郡山市筒井町460-15（オッシェム･ロジナ1階） ●東京支店 TEL（0743）57-6831　FAX（0743）57-6821 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL（03）5402-3620　FAX（03）5402-0120 Website http://www.ckd.co.jp/ □ 2-250 Ouji Komaki, Aichi 485-8551, Japan □ PHONE +81-(0)568-74-1336 FAX +81-(0)568-77-3412 U.S.A Thailand China CKD USA CORPORATION CKD THAI CORPORATION LTD. 喜開理（上海）機器有限公司 ●HEADQUARTERS ●SALES HEADQUARTERS-BANGKOK OFFICE CKD(SHANGHAI)CORPORATION 4080 Winnetka Avenue, Rolling Meadows, IL 60008 USA Suwan Tower, 14/1 Soi Saladaeng 1, North Sathorn Rd., ●営業部/上海事務所（SALES HEADQUARTERS / SHANGHAI OFFICE） PHONE +1-847-368-0539 FAX +1-847-788-0575 Bangrak, Bangkok 10500 Thailand 中国上海市黄浦区九江路333号金融廣場19楼1903室 ・CINCINNATI OFFICE PHONE +66（- 0）2-267-6300 FAX +66（- 0）2-267-6305 Room 1903, 333 Jiujiang Road, Shanghai, 200001, China ・SAN ANTONIO OFFICE ・LAEMCHABANG OFFICE PHONE +86（- 0）21-63602277 FAX +86（- 0）21-63511661 ・SAN JOSE OFFICE ・NAVANAKORN OFFICE ・無錫事務所（WUXI OFFICE） ・RAYONG OFFICE Europe ・南京事務所（NANJING OFFICE） ・LAMPHUN OFFICE CKD EUROPE BRANCH ・KORAT OFFICE ・杭州事務所（HANGZHOU OFFICE） De Fruittuinen 28 Hoofddorp 2132NZ The Netherlands ・AMATANAKORN OFFICE ・武漢事務所（WUHAN OFFICE） PHONE +31（- 0）23-5541490 FAX +31（- 0）23-5541491 ・青島事務所（QINGDAO OFFICE） Malaysia Singapore ・蘇州事務所（SUZHOU OFFICE） CKD SINGAPORE PTE LTD. 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If the goods and their replicas, or the technology and software in this catalog are to be exported, laws require the exporter to make sure they will never be used for the development or the manufacture of weapons for mass destruction. ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●Specifications are subject to change without notice. 202060.71.21..DCEC