プロセスガス用エアオペレイトバルブ、プロセスガス用マニュアルバルブ AGD※R、OGD※OR/MGD※OR

環境に配慮した新設計でリニューアル 新商品 プロセスガス用バルブ AGD※R、MGD※R、OGD※Rシリーズ VALVE FOR PROCESS GAS CC-1004 1

機種選定ガイド ●プロセスガス用バルブ 形式・分類 Cv値 記 載 機種形番 接続方式 使用流体 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.70.80.9 1.0 ページ AGD012R •エアオペレイト弁 •メタルダイアフラム構造 •□21のコンパクト形 1/4″ JXRオス継手 0.1 1/4″ JXRメス継手 P.1 エ アAGD112R･AGD212R 1/4″ JXRオス継手オ 0.3 •エアオペレイト弁 ●空圧作動式2ポート弁 1/4″ JXRメス継手 ペ •メタルダイアフラム構造 ●ノーマルクローズ形 1/4″ 二重くい込み継手 レ •スタンダードサイズ ●ノーマルオープン形 イ P.3 ト ●不活性ガス 3/8″ JXRオス継手 0.65 ●プロセスガス バ 3/8″ JXRメス継手 3/8″ 二重くい込み継手 ル ブ その他バリエーション対応品 0.1 詳細は掲載ページを 0.3 ご覧ください。 P.5 0.65 ※1/8″JXRなどその他継手についてはお問い合わせください。 OGD120R 1/4″ JXRオス継手 0.3 •手動弁 1/4″ JXRメス継手 •メタルダイアフラム構造 1/4″ 二重くい込み継手 •ハンドル開閉 （90°スナップアクション） P.17 3/8″ JXRオス継手 0.65 3/8″ JXRメス継手 3/8″ 二重くい込み継手 1 マMGD20R 1/4″ JXRオス継手 0.3 ニ •手動弁 1/4″ JXRメス継手 ュ •メタルダイアフラム構造 ●手動式2ポート弁 1/4″ 二重くい込み継手 ア •ハンドル開閉（270°回転） ル ●不活性ガス P.19 バ ●プロセスガス 3/8″ JXRオス継手 0.65 ル 3/8″ JXRメス継手 ブ 3/8″ 二重くい込み継手 その他バリエーション対応品 0.3 詳細は掲載ページを ご覧ください。 0.65 P.21 巻頭3

本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な 装置を製作する義務があります。 当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。 なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 警告 1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。 よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用、および次に示すよ うな条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 （ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、 万 一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。） ❶ 原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･ プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 ❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 ISO4414、JIS B 8370（空気圧システム通則） JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針） 高圧ガス保安法、労働安全衛生法および その他の安全規則、団体規格、法規など。 4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでくだ さい。 ❶機械･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 ❷ 運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ❸ 機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム 内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 ❹ 空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて いるか確認し、注意して行ってください。 5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告「」注意」として区別してあります。 危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ （DANGER）危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。 警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 （WARNING） 注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じる （CAUTION）ことが想定される場合。 なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 ご注文に際しての注意事項 1 保証期間 当社製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1.5年間といたします。 2 保証範囲 上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の 無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。 ①カタログまたは仕様書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合 ②故障の原因が本製品以外の事由による場合 ③製品本来の使い方以外の使用による場合 ④当社が関わっていない改造または修理が原因の場合 ⑤納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合 ⑥天災、災害など当社の責でない原因による場合 なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については 除外させていただきます。 3 適合性の確認 お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。 巻頭4

プロセスガス機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 一般の注意事項は、巻頭4ページをご覧ください。 設計・選定時 1.仕様の確認 警告 誤った機器選定及び取扱いは、本製品のトラブル ご使用に際しては、接ガス部材質と使用流体の適 のみならず、お客様のシステムトラブルの発生原因 合性を必ずご確認ください。 となります。本製品の仕様及びお客様のシステム 仕様にある流体温度及び使用圧力範囲内でご使用 との適合性を必ずご確認の上、ご使用ください。 ください。 取付・据付・調整時 1. 周囲環境 3. スペースの確保 注意 注意 腐食性ガスの雰囲気および薬品、塩水、水、水蒸 取付け、取外し、配管、配線作業に必要なスペー 気等の製品を侵す可能性があるものが付着する場 スを確保してください。 所では使用しないでください。 仕様にある周囲温度範囲で使用してください。 保守点検に必要なスペースを確保してください。 2. 取付 4. 配管 警告 注意 誤った取付・配管は、本製品のトラブルのみならず 配管及び配管作業中のゴミやバリがバルブ弁座部 お客様のシステムトラブルの発生原因、さらには使 やダイアフラムシール部を傷つけ、リークを発生さ 用者が死亡または重傷を負う危険が生じることが せることがあります。バルブ取付け前には必ずゴ 想定されるため、お客様の責任におきまして、シス ミやバリを取り除いてください。 テムをよく理解した人が取扱説明書をよく読んだ上 で作業してください。 製品に配管をする場合は、接続ポートを間違えな 取付け後は、適性な機能検査を行って正しい取付 いようにしてください。 けがなされているかご確認ください。 配管による引張・圧縮・曲げ等の力がバルブボディ 注意 に加わらないよう配管してください。 本製品は超精密洗浄処理をした後、クラス10の 配管されているチューブが折れ曲がると動作不良 スーパークリーンルームで組立てられております。 になりますので、長さを合わせて配管してくださ 包装箱内部のクリーンパックは、取付直前にクリー い。 ンな環境の中で開封してください。 駆動部に接続される駆動用電磁弁は、仕様および 本製品の取付けにあたって、接ガス部（ボディ内部、 用途に合わせて使用してください。 継手シール面）に触れますと不純物付着や高純度 ガスの汚染につながることがあります。取付けの 操作用のエアは、ろ過度5μm以上の性能を有する 際、本製品の接ガス部に触れないようご注意くださ フィルタを通った空気又は不活性ガスをご使用くだ い。 さい。 巻頭5

プロセスガス機器 本製品を安全にご使用いただくために ご使用になる前に必ずお読みください。 一般の注意事項は、巻頭4ページをご覧ください。 取付・据付・調整時 継手の締め付けは、シール部にゴミ、傷、バリなど 5. ベーキング がないことをご確認の上、下記要領に従って行って ください。 注意 ①継手締め付け方法 ベーキング温度は、本製品の仕様温度範囲にて JXR継手（ガスケット材質がニッケル・SUS316の場合） 行ってください。 ガスケットがビード面に当たるまでナットを指で締め付けら ベーキング時はバルブを全開の状態にして行って れるだけ締め込み、その状態より工具を用いて更に1/8 ください。 回転締め付けます。（その他材質の場合は、ご相談くださ い） ビード 6. パージ 注意 毒性・可燃性・腐食性ガスを使用したバルブを取外 す場合は、窒素ガス等の不活性ガスで十分パージ ホルダー ガスケット を行ったのち取外してください。 二重くい込み継手 フロントフェルール、バックフェルール、ナットが正常に取 付けられていることをご確認の上で、チューブを本体の奥 に当たるまで差し込み、ナットを指で締め付けられるだけ 締め込み、その後その状態より工具で11／4回転締めれば 完了です。 フロントフェルール バックフェルール チューブ ②継手締め付け完了後は、必ずリーク検査を実施し、 リークのないことをご確認ください。 使用・メンテナンス時 1. ご使用にあたって 2. 保守・点検 警告 警告 本製品の仕様範囲内でご使用ください。 取扱説明書に従って作業を行ってください。 ヒーター付の製品には手や体を触れないように気 作業する前には、必ず電源を切り流体および圧力 を付けてください。直接触れると火傷をする場合 を抜いてください。 があります。 残留したガスが人や周りの機器に悪影響を与える ことのないよう、不活性ガス等で十分置換した上 注意 で作業を始めてください。 バルブ等を足場にしたり、重量物を乗せたりしない 作業後は、必ずリーク検査を実施し、リークのない でください。 ことをご確認ください。 バルブは分解しないでください。 無断で分解された後、修理・再生使用された場合 は、製品としての保証ができなくなります。 巻頭6

プロセスガス用　エアオペレイトバルブ AGD012R Series メタルダイアフラム コンパクトタイプ 形番 作動方式 Cv値 形番 作動方式 Cv値 AGD01R NC形 Cv＝0.1 AGD02R NO形 Cv＝0.1 基本性能をそのままに ●外径φ26のスリムな アクチュエータ 省スペース性能を追求。 ●高耐食＆長寿命 ●80℃での連続使用が可能 （400万回の実績※2）の Ni-Co合金ダイアフラム ●最適なシール構造と面粗度の 向上によるパーティクルレス を実現 ●接続はJXR継手　※1 IN OUT を標準採用 ●電解研磨仕様 ●□21mmの コンパクトなボディ 1 2 3 接ガス部材質 品番 部品名称 材質 1 ダイアフラム Ni-Co合金 ※1：JXR継手はVCR継手と接続可能です。 2 弁シート PCTFE ※2：使用流体が仕様範囲内の不活性ガスで、流体中に反応生成物 等の固形物を含まない場合の寿命です。 3 ボディ SUS316L 仕様 項　目 AGD01R AGD02R 使用流体 不活性ガス・プロセスガス 流体圧力範囲 1.3×10-6～0.99 Pa（abs）-MPa（G） 流体温度 ℃ 5～80 周囲温度 ℃ 5～80 保存温度 ℃ -10～80 弁座漏洩 1.0×10-103 以下Pa・m /s（He） 外部漏洩 2.8×10-12以下 Pa・m3/s（He） Cv値 （23℃、加圧下） 0.1 接続方式 1/4″ JXRオス継手 1/4″ JXRメス継手 作動方式 NC形（ノーマルクローズ） NO形（ノーマルオープン） 使用上の注意事項 操作圧力 MPa 0.4～0.6 0.4～0.5 操作ポート M5 この商品を正しく安全にご使用いただくため に、かならず巻頭4～6ページの注意事項を 質量 kg 0.15　注1 お読みください。 注1： AGD01Ｒ-4RM（1/4″JXRオス継手）の時の値です。 1

AGD012R Series プロセスガス用エアオペイレイトバルブ 形番表示方法 AGD0 1 R 4R 記号 内　容 イ 作動方式 イ 作動方式 1 NC形（ノーマルクローズ） 2 NO形（ノーマルオープン） ロ 接続方式 ロ 接続方式 4RM 1/4" JXRオス継手 4R 1/4" JXRメス継手 外形寸法図 AGD0※R-4RM I B JXRオス継手 IN OUT A C H G 機種形番 記号 作動方式 A B C D E F G H I AGD01R-4RM NC形 52 φ26 □21 67 11 14 14 2-M4深5 M5 AGD02R-4RM NO形 52 φ26 □21 67 11 14 14 2-M4深5 M5 AGD0※R-4R JXRメス継手 IN OUT L J 機種形番 記号 作動方式 J K L AGD01R-4R NC形 66 11 □21 AGD02R-4R NO形 66 11 □21 2 F K E D

プロセスガス用　エアオペレイトバルブ AGD112R Series AGD212R Series メタルダイアフラム スタンダードタイプ 形番 作動方式 Cv値 形番 作動方式 Cv値 AGD11R NC形 Cv＝0.3 AGD21R NC形 Cv＝0.65 AGD12R NO形 Cv＝0.3 AGD22R NO形 Cv＝0.65 コンタミネーションコントロールの追求から生まれた ダイアフラムバルブRシリーズ　スタンダードタイプ。 ●80℃での連続使用が可能 ●高耐食＆長寿命 （400万回の実績※2）の ●最適なシール構造と面粗度の Ni-Co合金ダイアフラム 向上によるパーティクルレス を実現 ●弁体のデッドスペースを IN OUT 極限まで小さくしました ●接続はJXR継手 ※1 と二重くい込み継手を ●電解研磨仕様 標準採用 接ガス部材質 品番 部品名称 材質 1 2 3 1 ダイアフラム Ni-Co合金 ※1：JXR継手はVCR継手と接続可能です。 2 弁シート PCTFE ※2：使用流体が仕様範囲の不活性ガスで、流体中に反応生成物等 の固形物を含まない場合の寿命です。 3 ボディ SUS316L 仕様 項　目 AGD1※R AGD2※R 使用流体 不活性ガス・プロセスガス 流体圧力範囲 1.3×10-6～0.99 Pa（abs）-MPa（G） 流体温度 ℃ 5～80 周囲温度 ℃ 5～80 保存温度 ℃ -10～80 弁座漏洩 3 1.0×10 -10以下 Pa・m /s（He） 外部漏洩 2.8×10-123 以下Pa・m /s（He） Cv値 （23℃、加圧下） 0.3 0.65 接続方式 1/4″ JXRオス継手 3/8″ JXRオス継手 1/4″ JXRメス継手 3/8″ JXRメス継手 1/4″ 二重くい込み継手 3/8″ 二重くい込み継手 作動方式 NC形（ノーマルクローズ） NC形（ノーマルクローズ） NO形（ノーマルオープン） NO形（ノーマルオープン） 操作圧力 NC：0.4～0.6 NC：0.4～0.6 使用上の注意事項 MPa NO：0.4～0.5 NO：0.4～0.5 この商品を正しく安全にご使用いただくため 操作ポート M5 に、かならず巻頭4～6ページの注意事項を 質量 kg 0.26　注1 0.59　注1 お読みください。 注1： AGD11R-4RM（1/4″JXRオス継手）、AGD21R-6RM（3/8″JXRオス継手）の時の値です。 3

AGD11R•AGD212 2R Series プロセスガス用エアオペイレイトバルブ 形番表示方法 AGD1 1 R 4RM AGD2 1 R 6R 機種形番 機種形番 記号 内　容 記号 内　容 イ 作動方式 イ 作動方式 イ 作動方式 イ 作動方式 1 NC形（ノーマルクローズ） 1 NC形（ノーマルクローズ） 2 NO形（ノーマルオープン） 2 NO形（ノーマルオープン） ロ 接続方式 ロ 接続方式 ロ 接続方式 ロ 接続方式 4RM 1/4" JXRオス継手 6RM 3/8" JXRオス継手 4R 1/4" JXRメス継手 6R 3/8" JXRメス継手 4S 1/4" 二重くい込み継手 6S 3/8" 二重くい込み継手 外形寸法図 AGD1※R-4RM I B AGD2※R-6RM JXRオス継手 IN OUT A C H G 機種形番 記号 作動方式 A B C D E F G H I AGD11R-4RM NC形 57 φ37 □26 67 14.3 18 18 2-M5深6 M5 AGD12R-4RM NO形 AGD21R-6RM NC形 76 φ48 □34 88 16 20.2 20.2 2-M5深8 M5 AGD22R-6RM NO形 AGD1※R-4R AGD1※R-4S AGD2※R-6R AGD2※R-6S JXRメス継手 二重くい込み継手 IN OUT IN OUT O L P J M 機種形番 記号 作動方式 J K L 機種形番 記号 作動方式 M N O P AGD11R-4R NC形 AGD11R-4S NC形 70.6 14.3 □26 62 14.3 □26 27.8 AGD12R-4R NO形 AGD12R-4S NO形 AGD21R-6R NC形 AGD21R-6S NC形 83 16 □34 80 16 □34 44.3 AGD22R-6R NO形 AGD22R-6S NO形 4 K F E D N

プロセスガス用　エアオペレイトバルブ その他バリエーション対応品 AGD※※R Series 受注生産品 機種 バリエーション内容 AGD0※R ボディオプション（5～16ページ） ●流路方向 AGD1※R ●NC/NO組合せ ●接続方式 AGD2※R ●ポート形状組合せ 形番表示方法 2方弁、3方分流弁 AGD 1 1 R 4 RJ FFF 機種形番 Ａ Ａ Ａ Ｇ Ｇ Ｇ Ｄ Ｄ Ｄ 記号 内　容 ０ １ ２ イ サイズ イ サイズ 0 1/8" 1 1/4" 2 3/8" ロ 作動方式 ロ 作動方式 1 NC形 2 NO形 ハ 接続口径 ハ 接続口径 4 1/4" 6 3/8" 8 1/2" ニ 接続方式 ニ 接続方式 RJ JXRメス継手（ベアリング入り） R JXRメス継手 RM JXRオス継手 W 自動溶接継手 S 二重くい込み継手 ニ 接続方式 ホ ポート形状組合わせ 記号 RJ R RM W S ホ ポート形状 組合わせ 2方弁 2方弁 無記号 IN，OUT　同種継手 無記号 MF IN：オス　OUT：メス MF FM IN：メス　OUT：オス FM 3方分流弁 3方分流弁 FFF abc　メス・メス・メス FFF FFM abc　メス・メス・オス FFM FMM abc　メス・オス・オス FMM MMM abc　オス・オス・オス MMM WWW abc　自動溶接継手 WWW □□□ abc　□・□・□　　注1 □□□ 注1　F：メス、M：オス、W：自動溶接継手　組合わせ自由 5

AGD0※R Series 形番表示方法 形番表示方法 2連3方弁 AGD 1 1R Y 11 4 RJ FFF 機種形番 ヘポート形状 Ａ Ａ Ａ 組合わせ Ｇ Ｇ Ｇ Ｄ Ｄ Ｄ 記号 内　容 ０ １ ２ イ サイズ イ サイズ 0 1/8" 1 1/4" 2 3/8" ロ 流路方向 ロ 流路方向 Y セレクタ方式 T デバイダ方式 ハ NC/NO組合わせ ハ NC/NO 組合わせ 11 V1：NC　V2：ＮC 12 V1：NC　V2：ＮO 21 V1：NO　V2：ＮC 22 V1：NO　V2：ＮO ニ 接続口径 ニ 接続口径 4 1/4" 6 3/8" ホ 接続方式 ホ 接続方式 RJ JXRメス継手（ベアリング入り） R JXRメス継手 RM JXRオス継手 ホ 接続方式 ヘ ポート形状組合わせ 記号 RJ R RM FFF abc　メス・メス・メス FFF MMM abc　オス・オス・オス MMM □□□ abc　□・□・□　　注2 □□□ 注2　F：メス、M：オス　組合わせ自由 6

AGD0※R Series AGD0※R　2方弁 受注生産品 外形寸法図 AGD0※R-4RJ（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ） AGD0※R-4S （1/4"二重くい込み継手タイプ） AGD0※R-4W （1/4"自動溶接継手タイプ） φ26 操作ポート M5 IN OUT 66 □21 2-M4ねじ深さ5 23.2 14 44 (57.4) 図は、AGD01R-4RJ 二重くい込み継手：4S 溶接継手：4W メス継手（ベアリング入り） AGD0※R-4RJ-FMMF（1/4"JXRメス（ベアリング入り）-オス混合タイプ） AGD0※R-4R-FMMF （1/4"JXRメス-オス混合タイプ） 操作ポート M5 IN OUT 26 33 33 26 図は、AGD01R-4RJ-MF メス継手：4R オス継手：4RM メス継手（ベアリング入り） 7 14 11 67

AGD0※R Series プロセスガス用エアオペイレイトバルブ AGD0※R　3方分流弁 受注生産品 外形寸法図 AGD0※R-4RJ-□□□（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ） AGD0※R-4R-□□□ （1/4"JXRメス継手混合タイプ） AGD0※R-4RM-MMM（1/4"JXRオス継手タイプ） AGD0※R-4W-□□□ （1/4"自動溶接継手混合タイプ） a c φ26 操作ポート M5 b a c b 66 33 □21 b a c 2-M4ねじ深さ5 14 図は、AGD01R-4RJ-FFF メス継手（ベアリング入り） 〈メインポート〉 66 52 44 メス継手：4R オス継手：4RM 溶接継手：4W 〈分岐ポート〉 33 33 48.7 22 メス継手：4RJ-□F□ メス継手：4R-□F□ オス継手：-□M□ 溶接継手：-□W□ （ベアリング入り） 8 14 11 67

AGD0※R Series AGD0※R　2連3方弁 受注生産品 外形寸法図 AGD01R-□※※-4RJ-□□□（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ） AGD01R-□※※-4R-□□□ （1/4"JXRメス継手混合タイプ） AGD01R-□※※-4RM-MMM（1/4"JXRオス継手タイプ） 〈Y：セレクタタイプ〉 〈T：デバイダタイプ〉 b b V1操作ポートM5 V2操作ポートM5 φ2 V1操作ポートM5 V2操作ポートM5 φ 2 6 6 a c a c 55 55 115 115 2-M5ネジ深さ6 18 2-M5ネジ深さ6 18 図は、AGD01R-Y11-4RJ-FFF 図は、AGD01R-T11-4RJ-FFF メス継手（ベアリング入り） メス継手（ベアリング入り） b b V1 V2 V1 V2 a c a c 〈その他継手寸法〉 62.5 57.5 オス継手：4RM メス継手：4R 9 12 62.5 18 12 57.5 25 12 57.5 18 12 57.5 25

AGD1※R Series プロセスガス用エアオペイレイトバルブ AGD1※R　2方弁 受注生産品 外形寸法図 AGD1※R-4RJ（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ） AGD1※R-4W （1/4"自動溶接継手タイプ） 操作ポート M5 φ37 70.6 □26 2-M5ねじ深6 18 55 図は、AGD11R-4RJ 溶接継手：4W メス継手（ベアリング入り） AGD1※R-4RJ-FMMF（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）オス混合タイプ） AGD1※R-4R-FMMF （1/4"JXRメス-オス混合タイプ） 操作ポート M5 28.5 35.3 35.3 28.5 図は、AGD11R-4RJ-MF メス継手：4R オス継手：4RM メス継手（ベアリング入り） 10 18 14.3 67

AGD1※R Series AGD1※R　3方分流弁 受注生産品 外形寸法図 AGD1※R-4RJ-□□□（1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ） AGD1※R-4R-□□□ （1/4"JXRメス継手混合タイプ） AGD1※R-4RM-MMM（1/4"JXRオス継手タイプ） AGD1※R-4W-□□□（1/4"自動溶接継手混合タイプ） a c 操作ポート M5 φ37 b a c b 70.6 35.3 □26 b 2-M5ねじ深6 a c 18 図は、AGD11R-4RJ-FFF メス継手（ベアリング入り） 〈メインポート〉 70.6 57 55 メス継手：4R オス継手：4RM 溶接継手：4W 〈分岐ポート〉 35.3 35.3 51 27.5 メス継手：4RJ-□F□ メス継手：4R-□F□ オス継手：-□M□ 溶接継手：-□W□ （ベアリング入り） 11 18 14.3 67

AGD1※R Series プロセスガス用エアオペイレイトバルブ AGD11R　2連3方弁 受注生産品 外形寸法図 AGD11R-□※※-4RJ-□□□ （1/4"JXRメス継手（ベアリング入り）混合タイプ） AGD11R-□※※-4R-□□□ （1/4"JXRメス継手混合タイプ） AGD11R-□※※-4RM-MMM （1/4"JXRオス継手タイプ） 〈Y：セレクタタイプ〉 〈T：デバイダタイプ〉 b b V1操作ポートM5 V2操作ポートM5 V1操作ポートM5 V2操作ポートM5 a c a c 65 65 125 125 2-M5ネジ深さ6 18 2-M5ネジ深さ6 18 図は、AGD11R-Y11-4RJ-FFF 図は、AGD11R-T11-4RJ-FFF メス継手（ベアリング入り） メス継手（ベアリング入り） b b V1 V2 V1 V2 a c a c 〈その他継手寸法〉 67.5 62.5 オス継手：4RM メス継手：4R 12 14.3 67.5 14.3 62.5 18 30 14.3 62.5 14.3 62.5 18 30

AGD2※R Series AGD2※R　2方弁 受注生産品 外形寸法図 AGD2※R-6RJ（3/8"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ） AGD2※R-6W （3/8"自動溶接継手タイプ） AGD2※R-8S （1/2"二重くい込み継手タイプ） AGD2※R-8RM（1/2"JXRオス継手タイプ） AGD2※R-8R （1/2"JXRメス継手タイプ） AGD2※R-8RJ （1/2"JXRメス継手（ベアリング入り）タイプ） AGD2※R-8W （1/2"自動溶接継手タイプ） 操作ポートM5 φ48 □34 83 20.2 2-M5ねじ深さ8 69 図は、AGD21R-6RJ 溶接継手：6W メス継手（ベアリング入り） 37 83 76 84.5 二重くい込み継手：8S オス継手：8RM メス継手：8R 83 69 メス継手：8RJ 溶接継手：8W （ベアリング入り） 13 20.2 16 88