極　COMPONENTS　REPORT1のカタログ

THE K I・WA・M I Components Report ❶ CC-1112 3

摩擦 摩擦をなくすと… 摩擦が一定になると… 摩擦 ⇨僅かな推力も ⇨スティックスリップが少ない ⇨細かな推力も 制御可能 ⇨推力変動が少ない ⇨フィードバックがなくても… 微速シリンダ SSD2シリーズ LCRシリーズ 推力 アライメント LBCシリーズ LBC-Rシリーズ STR2シリーズ SMGシリーズ GRCシリーズ 『特定要素を極め る』にこだわります 材料 多孔質を使うと… 磁力を使うと… 磁石 ⇨全面吸着で ⇨推力が一定 ⇨浮かして 搬送可能 ⇨メンテナンスフリー ⇨発塵量が極めて少ない 吸着 吸着 PVPシリーズ PVP-Bシリーズ エアファイバ FSM-X ピックアップ（バッファ） AFB-Pシリーズ バッファ FBU2シリーズ 形状 小形化で… 浮上 ⇨限られたスペースにも GFMシリーズ 　取付可能 バッファ ＆ 回転アライメント AFB-RBシリーズ

摩擦をなくすと… LBC Series 非接触エアベアリング機構を採用した、摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータ。 高精度リニア制御 摺動抵抗がゼロのため、電空レギュレータ（EV-FL） 使用により、荷重の高精度リニア制御ができます。 ソフトタッチ 微小 0.01N から荷重をコントロールできるため、 対象ワークへのソフトタッチが可能。衝撃を与えず、 傷もつけません。 最適荷重をコントロール 目的・用途に合わせた、ベストな荷重をワークに与 えることができます。 電空レギュレータ（EV）との組合せによ エアベアリングにおけるロッドの求心作用 エアベアリングとメタルシールとの摺動抵抗比較 エアの流れ 1 り、繊細で精密な荷重コントロールを実 ブッシュ ブッシュ 現します。 メタルシール ロッド ロッド 接触による摺動抵抗　ｆ エアベアリング エアベアリング メタルシール 0 10推力（N）→20 30 ■仕様 項　目 LBC-01 LBC-05 LBC-30 使用流体 圧縮空気（0.3μmフィルタ使用、油分水分不可） 使用圧力（MPa） エアベアリングポート 0.3〜 0.5 推力ポート 0.002〜 0.1 推力範囲（N） 0.02〜1.0 0.1〜 5.0 0.6 〜31.4 ■用途例 フィルムのテンションコントロール コイルの巻線におけるテンションコントロール LBC 巻線 ローラ LBC フィルム 3 摺動抵抗ｆ（N）→

摩擦 ウェハーの洗浄（スクラバー洗浄機用） チップ部品の組み付け（ボンディング装置用） LBC LBC チップ部品 ウェハー 半導体部品の研磨仕上げ レンズの研磨仕上げ LBC LBC レンズ 研磨ヘッド ポリッシャー チップ部品 表面走査の計測プローブ 半導体テスターの針先高さ検出 レーザー変位計 ヘッド部 ウェハー（チップ） LBC ウェハーチャック プローブピン 試料表面 LBC 4

摩擦をなくすと… LBC-R Series 摩擦 平行調整を可能にするエアジャイロ。 高精度な平行出し、調整の自動化、工数削減に威力を発揮します。 " 倣い " で一発平行調整 平行にしたい面同士を押しあてれば、数秒で倣い調 整が完了。自動化も可能です。（当社試験条件にて） 職人技に頼らない高精度 " 倣い " " 倣い "は、エア加圧により球面ベースを浮上させて 行なう球面静圧軸受け方式。摩擦、磨耗がなく高精 度の平行調整（平行度2μm）を支えます。 押しあてるだけで対象面を平行調整 基準面 倣い面 回転中心 球面静圧 軸受け部 ベース 加圧 加圧 加圧 真空 真空 エア浮上 押し付け 倣い動作 角度保持 調整完了 空気圧で姿勢を保持 ■用途例 フリップチップボンダ　圧着ヘッドの角度調整 バンプレベラー　加圧ヘッドの角度調整 LBC-R 加圧ヘッド ICチップ OK ICチップ 基板 圧着治具 ハンダバンプ ハンダバンプ 治具 NG 基板 ICチップ LBC-R ラミネータ装置　FPD パネルの貼り合せ CMOS パッケージ組立　カメラモジュール組立 カバーガラス レンズユニット 接着 接着 液晶パネル、 セラミック基板 CMOS 有機 EL パネル CMOSセンサ パッケージ 吸着ヘッド レンズユニット CMOSパッケージ LBC-R 治具 LBC-R 5

スムーズ＆スロー 微速シリンダ Series 摩擦 特殊な摺動機構により、スティックスリップのない滑らかな低速作動を実現。 1mm/sec までの超低速 ← ス 微速シリンダ ピ ー スティックスリップなどがなく、速度も安定。 ド 普通シリンダ 両端部でもソフト作動 0 ストローク→ 立上がりも終端も滑らかな作動・停止。 ■シリンダの速度目安 1mm/sec 10mm/sec 50mm/sec 1000mm/sec 3000mm/sec コンパクト設計 遅 速 微速 低速 普通 高速 超高速 全機種すべて、標準形番製品と同一寸法。 シリンダ シリンダ シリンダ シリンダ シリンダ ■商品体系 ペンシルシリンダ スーパーコンパクトシリンダ 小形ダイレクトシリンダ テーブル形ロータリアクチェエータ 〈SCPD3-F〉 〈SSD2-F〉 〈MDC2-F〉 〈GRC-F〉 小形コンパクトシリンダ リニアスライドシリンダ スーパーツインロッドシリンダ スーパーマウントシリンダ 〈MSD-F〉 〈LCR-F〉 〈STR2-F〉 〈SMG-F〉 ■用途例 ラビング装置 レンズ（ガラス）研磨（押圧一定制御） 微速シリンダをリフター として使用 作業テーブルからガラス基板を ゆっくり持ち上げ静電気の発生 微速シリンダ を防止する レンズ 研磨治具 （ガラス） 微速シリンダ 6

Fine Buffer FBU2 Series 磁石の吸引力を利用した、従来にないまったく新しい緩衝ユニットです。 ソフトな接触と安定した押し圧により、対象ワークの損傷を解消します。 微小デバイス・壊れやすいワークのダメージレスハンドリングに最適です。 押し圧一定 用途多彩 可動軸、固定軸に組み込まれた磁石がずれると斜め 真空吸着による部品のピック&プレイス、搬送・移 方向の磁力線が発生し、軸方向分の力が戻ろうとす 送をはじめ、ワークの押し当て、部品の挿入など、 る力を発生します。 多彩な使い方が可能です。 小形・軽量（FBU2 シリーズ） ■押し圧特性 初期作動時 100万回作動後 構成部品が、可動部、固定部と2パーツのみ。その 押 押 し2.0 し2.0 圧 スプリング式バッファ 圧 ため、小形、超軽量化（5g 以下）が可能になりました。 （1.5 （1.5 スプリング式バッファ N N ロングライフ ） ） メンテナンス また可動部の質量も少なく、ワークへのソフトタッチ、 1.0 1.0 ファインバッファ 1.0N ファインバッファ 1.0N フリー 0.5 ショック低減が可能になります。 0.5N 0.5 0.5N 0.2N 0.2N 0 0.5 1 1.5 0 0.5 1 1.5 ストローク（mm） ストローク（mm）（当社寿命試験による） クリーン＆ロングライフ 従来の金属バネ式に比べ、金属接触がなく可動接触 ■小形・軽量 面積も微小なため、発塵量が極少。しかも推力は磁 可動軸 固定軸 力により発生しているため金属バネのような疲労が 無く高寿命かつ性能も安定しています。 磁石 固定部 可動部 ■用途例 積層搬送 チップ検査装置 FBU2 FBU2 プリント基板・フレキ基板搬送 電子デバイス吸着搬送 FBU2 FBU2 7

磁石 ■バリエーション 押し圧 (N) ストローク(mm) テールピース形状 ヘッドピース形状 0.2 0.5 1.0 2 6 16 穴なし M3 M4 M5 M6 穴なし M3 M4 M5 M6 外径 軸受精度 φ7h7 S 標準 軽量タイプ FBU2-7 H 高精度型 M8×0.75 HV 内部流路式高精度型 φ12h7 S 標準 標準タイプ FBU2-12 H 高精度型 M12×1 HV 内部流路式高精度型 汎用タイプ FBU2-SU M12×1 − 標準のみ アクティブファインバッファ AFB Series 磁石 空圧シリンダ駆動ファインバッファ シリンダ ソフト AFB-P Series スリム オールインワンで多連ヘッドを小形・軽量に。 ●ファインバッファ、エアシリンダ、シリンダスイッチ を一体化。 ●省スペースで薄形。狭ピッチのマニホールド化が可能。 ●ファインバッファ内臓で、低発塵・長寿命・押し圧 三位 一定・ソフトタッチを実現。 一体 ［特別仕様品］詳細はお問合せください。 シリンダ スイッチ ファインバッファ モータ駆動ファインバッファ AFB-RB ファインバッファ Series ステッピング （磁気バネ緩衝機構） モータ モータとファインバッファを一体化し、回転 磁気バネで 真空ポート ストローク中の ボディ前面に 押圧一定 とバッファ動作を行います。 ポート配管 ガイドブッシュ ロッド ボールガイド オールインワンで多連ヘッドを小形軽量に。 先端でワーク ブッシュで軸振れを 真空吸着 高精度に抑制 ●小形、狭ピッチ配置。 ●ファインバッファ内蔵で、低発塵・長寿命・押し圧 一定・ソフトタッチを実現。 回転 アライメント バッファ動作 コンパクトに設置可能 ・P&P 中の回転アライメント 8

エアファイバ UP/EH/PG/CG Series 形状 エアファイバ UP/EH Series 省エネ・省スペース 外径φ1.8×内径φ1.2の極細サイズ。 配管スペースを大幅に削減できます。また、チュー ブ配管の容積が小さく、省エネルギーにもなります。 エアファイバ 従来品 従来品 φ1.8×20本：80mm2 φ3.2×20本：253mm2 φ4.0×20本：396mm2 エアファイバ用ワンタッチ継手 PG/CG Series 静電気やホコリの付着防止 エアファイバ（UPシリーズ）は、帯電防止対策が施 ワンタッチ着脱 してあり、静電気やホコリの付着を防ぎます。 継手のプッシュリングを押しながら、チューブを挿入 または抜くだけで着脱可能。従来に比べて容易にな りました。 また、樹脂材料はポリプロピレン（PP）樹脂を標準 採用して、耐食性を上げました。 ■バリエーション 機　種 バリエーション シリーズ チューブ材質 色 標準仕様 UP 7色 Series ウレタン（帯電防止） エア ファイバ クリーン仕様 EH 2色 Series 特殊ポリオレフィン バリエーション シリーズ 材　質 バリエーション 標準仕様 PG Series 黄銅＋無電解ニッケルメッキ、PP 10タイプ ワンタッチ 16 種類 継　手 クリーン仕様 CG Series ステンレス（禁油）、PP 6タイプ 11種類 9

超小形流量スイッチ（空気・N2用）ラピフロー FSM-X Series 形状 超小形、最薄 8 ｍｍ。ヘッド分離でさらに省スペース !! 半導体微少チップの吸脱着確認。 （フィルタの目詰り、ノズルのツブレ検知も可能。） 超小形・軽量 センサヘッド分離で省エネスペース。センサヘッド 単体で従来体積比 52％減、業界最軽量の質量4g、 業界最薄クラスの幅 8mmを実現いたしました。 センサヘッド単品対応 センサヘッド単品（継手なし）での対応が可能になり ました。 豊富な流量レンジ 双方向の流量測定が可能 双方向流れ：±0.5、±1、±5、±10L/min 双方向での流量検知に加え、片方向タイプも対応。 片方向流れ：0.5、1、5、10L/min の全8種類を用意いたしました。超小形形状ながら ■概要 大流量（10L/min）まで使用可能です。 装置組込用に機能を絞込み、さらに小形・軽量化を図りまし た。測定部直近の可動部先端への取付が可能となり、システ ムとしての応答性改善に貢献します。 また、双方向検出が可能で幅広い分野で付加価値の高い機 能を提供します。 ■用途例 チップマウンター ペットボトルの漏れ検査 FSM-X FSM-X マルチプルヘッド PCB z x y パーツフィーダ コレットノズルによる吸着確認 バルブ真空源 コレットノズル FSM-X インラインフィルター ワーク 10

精密吸着プレート PVP Series CKD 独自の気孔率 40％フッ素樹脂焼結多孔質を採用。 極薄材料や軟材質でも、ワークを傷めず、吸着による歪みや変形も解消。 高精度・高難度工程に威力を発揮。 高精度なワーク処理 吸着面の平面度：2μm、平行度：5μm。 （R-36-18、C-50、S-50-50 の仕様値です） ワーク固定精度が高く、高精度なワーク処理が可能です。 吸着力が大きい 気孔率が40％もあり、大きい吸着力で全面吸着が可能。 大きい吸着力でも極薄ワークの吸引変形がありません。 フッ素樹脂多孔質 多孔質含浸 フッ素樹脂多孔質 エポキシール 真空ポート アルミベース ■黒色多孔質 ワークを傷めない 吸着面の硬度はショアD60。ソフトな接触でワーク を傷つけません。 反射しない（黒色多孔質） 従来の白色多孔質では反射により不可能だった検査 工程も、黒色の採用により可能にしました。 真空ポートM5 プレート形状は思いのまま プレート形状は標準3タイプをご用意。さらにお客 様のご要望に合わせて思いのままの形状にカスタマ イズいたします。 ■標準タイプ ■形状特注タイプ例 PVP-R PVP-C PVP-S ①ドーナッツ形 ②丸形 ③四角形 ディスクなど 半導体、 プラスチック基板 ウェハー型 ロボットハンド用途 多点吸着型 シリコンウェハーなど など ※形状特注タイプにつきましては、弊社までお問い合わせください。 11

材料 ■用途例 フィルムの貼り合わせ・剥離 ロボットハンド PVP PVP 検査工程 液晶ガラス張り合わせ工程 カラーフィルター PVP PVP ガラス基板 フィルム基板搬送工程 太陽電池製造工程 太陽電池セル フィルム基板 PVP PVP 12

フロートスター GFM Series ライン革命　品質・歩留まり向上に貢献 非接触・クリーン・ダメージレス搬送が一段と進化した、 最新の CKD 浮上システム・フロートスター GFM シリーズ。 新素材の採用により、エア消費量の大幅削減、静電気＆パーティクル発生の抑制で、 高品質な浮上システムを実現します。 ガラス基板などの搬送から、プロセス・製品検査に至るまで、 基板の浮上用途・高精度浮上に対応します。 ラフ搬送に最適。 高浮上レール アライメント工程に最適。 GFM-T アライメント浮上パッド Series GFM-A 精度の高い搬送や ロ－ダ－・アンロ－ダ－に最適。 浮上レール（標準タイプ） GFM-RS Series 搬送工程に最適。 浮上レール（汎用タイプ） GFM-RF Series 各種プロセスに最適。 精密浮上ステージ GFM-P 13

材料 非接触で安定した高精度浮上 高感度検査に最適 新素材多孔質の採用により、安定した浮上が実現し、 ブラックボディの採用により、乱反射がなく、ワー あわせて空気消費量が低減しました（。GFM-Tを除く） クの視認性がアップします。 ワークへの帯電を防止 豊富なアプリケーション 帯電防止の新素材によって静電気を抑制します。 浮上に最適な空気圧機器を提案いたします。 （GFM-Tを除く） クラス10 レベルを実現※ 新素材多孔質により浮上エアのパーティクルを抑制。 ※ GFMシリーズの当社テストによるJISB9920 のクラス4 相 当であり、測定値には0.5μm以上の粒径も含まれます。 （GFM-Tを除く） ■バリエーション 機種バリエーション 主用途 浮上量 [ μ m] 空気消費量 L /min(abs)(0.1MPa 時 )※ 1 0 5 10 15 20 3 10 GFM-A 位置決め 10μm以上※2 100 以下 GFM-T Series ラフ搬送 250μm以上※2 15 20 GFM-RF Series 搬送 250μm以上※2 ロ−ダ−・ 15 20 GFM-RS Series アンロ−ダ− 150μm以上※2 2 3 GFM-P 各種プロセス 30μm以上※3 ※1空気消費量の目安とお考えください。 ※2浮上量の目安とお考えください。 ※3正圧・負圧流量の組合わせで、数値が変わります。 14

お問合せは お近くの営業所へどうぞ 北 陸 ・ 信 越 ●大阪オフィス 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） ●長岡営業所 TEL（06）6396-9630　FAX（06）6396-9631 北　海　道 〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33（高野不動産ビル2階） TEL（0258）33-5446　FAX（0258）33-5381 中 　 国 ●札幌出張所 ●松本営業所 ●広島営業所 〒003-0023 北海道札幌市白石区南郷通20丁目北3-28（札幌南郷ビル2階） 〒390-0852 長野県松本市大字島立399-1（滴水ビル4階） 〒730-0029 広島県広島市中区三川町2番6号（くれしん広島ビル3階） TEL（011）862-5071　FAX（011）862-5070 TEL（0263）40-0733　FAX（0263）40-0744 TEL（082）545-5125　FAX（082）244-2010 東　　　　北 ●富山営業所 ●岡山営業所 〒939-8071 富山県富山市上袋100-35 〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町2丁目6番25号（朝日生命岡山柳町ビル10階） ●北上営業所 TEL（076）421-7828　FAX（076）421-8402 TEL（086）224-7220　FAX（086）224-7221 〒024-0061 岩手県北上市大通り２丁目３番８号（岩手地所北上駅前ビル4-1） ●金沢営業所 ●山口営業所 TEL（0197）63-4147　FAX（0197）63-4186 〒920-0025 石川県金沢市駅西本町3-16-8 〒747-0801 山口県防府市駅南町6-25 ●仙台営業所 TEL（076）262-8491　FAX（076）262-8493 TEL（0835）38-3556　FAX（0835）22-6371 〒981-3133 宮城県仙台市泉区泉中央４丁目1-5（SAKAE泉中央ビル401） TEL（022）772-3041　FAX（022）772-3047 東 　 海 四 　 国 ●山形営業所 ●名古屋営業所 ●高松営業所 〒990-0834 山形県山形市清住町3-5-19 〒460-0008 愛知県名古屋市中区栄一丁目12番17号 〒761-8071 香川県高松市伏石町2158-10 TEL（023）644-6391　FAX（023）644-7273 TEL（052）223-1121　FAX（ 052）223-1127 TEL（087）869-2311　FAX（087）869-2318 ●郡山出張所 ●小牧営業所 ●松山営業所 〒963-8046 福島県郡山市町東一丁目35（メイプルコート1-A） 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒790-0053 愛媛県松山市竹原2-1-33（サンライト竹原1階） TEL（022）772-3041　FAX（022）772-3047 TEL（0568）73-9023　FAX（0568）75-1692 TEL（089）931-6135　FAX（089）931-6139 北　関　東 ●豊田営業所 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 九 　 州 ●さいたま営業所 TEL（0565）54-4771　FAX（0565）54-4755 ●福岡営業所 〒331-0812 埼玉県さいたま市北区宮原町3-297-2（杉ビル6 5階） ●三河営業所 〒812-0013 福岡県福岡市博多区博多駅東1-10-27（アスティア博多ビル5階） TEL（048）652-3811　FAX（048）652-3816 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 TEL（092）473-7136　FAX（092）473-5540 ●茨城営業所 TEL（0565）54-4771　FAX（0565）54-4755 ●北九州営業所 〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1（関鉄つくばビル4階C） ●静岡営業所 〒802-0081 福岡県北九州市小倉北区紺屋町12-4（大樹生命北九州小倉ビル8階） TEL（029）841-7490　FAX（029）841-7495 〒422-8035 静岡県静岡市駿河区宮竹1-3-5 TEL（093）513-2331　FAX（093）513-2332 ●宇都宮営業所 TEL（054）237-4424　FAX（054）237-1945 ●熊本営業所 〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7（メットライフ宇都宮ビル1階） ●浜松営業所 〒869-1103 熊本県菊池郡菊陽町久保田2799-13 TEL（028）638-5770　FAX（028）638-5790 〒435-0016 静岡県浜松市中央区和田町438 TEL（096）340-2580　FAX（096）340-2584 ●太田営業所 TEL（053）463-3021　FAX（053）463-4910 〒373-0823 群馬県太田市西矢島町714番1号（CAMP407 1階） ●四日市営業所 本 　 社 TEL（0276）45-8935　FAX（0276）46-5628 〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800 ●本社・工場 南　関　東 TEL（059）339-2140　FAX（059）339-2144 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 関 　 西 TEL（0568）77-1111　FAX（0568）77-1123 ●東京営業所 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） ●大阪営業所 TEL（03）5402-3628　FAX（03）5402-0122 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） ●立川営業所 TEL（06）6396-9630　FAX（06）6396-9631 〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30（朝日生命立川錦町ビル3階） ●滋賀営業所 TEL（042）527-3773　FAX（042）527-3782 〒524-0033 滋賀県守山市浮気町字中ノ町300-21（第2小島ビル4階） ●千葉営業所 TEL（077）514-2650　FAX（077）583-4198 〒274-0825 千葉県船橋市前原西2-12-5（朝日生命津田沼ビル5階） ●京都営業所 TEL（047）470-5070　FAX（047）493-5190 〒612-8414 京都府京都市伏見区竹田段川原町241 ●神奈川営業所 TEL（075）645-1130　FAX（075）645-4747 〒243-0438 神奈川県海老名市めぐみ町2番2号（ViNA GARDENS OFFICE12階1208） ●奈良営業所 TEL（046）289-0300　FAX（046）289-0301 〒630-8115 奈良県奈良市大宮町7丁目1番33号（奈良センタービルディング3階） ●甲府営業所 TEL（0742）32-2511　FAX（0742）32-2512 〒409-3867 山梨県中巨摩郡昭和町清水新居1509 ●神戸営業所 フリーアクセス 　0120-771060 TEL（055）224-5256　FAX（055）224-3540 〒673-0016 兵庫県明石市松の内2-6-8（西明石スポットビル3階） ●東京オフィス TEL（078）923-2121　FAX（078）923-0212 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） （土日、休日除く） TEL（03）5402-3620　FAX（03）5402-0120 □ 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan Website https://www.ckd.co.jp/ □ PHONE +81-568-74-1338 FAX +81-568-74-1165 ASIA PT CKD TRADING INDONESIA 台湾喜開理股份有限公司 喜開理（上海）機器有限公司 ●HEAD OFFICE TAIWAN CKD CORPORATION CKD(SHANGHAI)CORPORATION Menara Bidakara 2, 18th Floor, Jl. Jend. 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