高温・高耐久ガスバルブ　AGD※※R-HDFシリーズ 【耐久性1000万回保証　高温200℃まで対応】

New Products 高温・高耐久ガスバルブ AGD※※R-HDFシリーズ 受注生産品 おもな特長 ●耐久性：1,000万回保証※1 ●高温対応：200℃ ●集積化ガス供給システムに対応： 　IAGD4（1.5inch）、IAGD5（1.125inch） ●応答安定アクチュエータ搭載 ●ご希望のCv値にカスタマイズ※2 ※1　使用流体が仕様範囲の不活性ガスで、流体中に反応生成物等の固形物 を含まない場合 ※2　使用圧力、Cv値に関してはご相談ください。 高頻度プロセスに対応したエアオペレイトバルブ 仕様 項　目 AGD1※R－HDF AGD2※R-HDF 使用流体 不活性ガス・プロセスガス 使用圧力 Pa(abs)～MPa(G) 1.3×10-6～0.5 流体温度 ℃ 20～200 使用周囲温度 ℃ 20～150 保存周囲温度 ℃ ‐10～80 弁座漏れ Pa･m3/s(He) 1.0×10-10以下（於23℃） 外部漏れ Pa･m3/s(He) 2.8×10-12以下 Cv値 （23℃加圧下） 0.3 0.65 1/4”JXR継手（VCRと接続可能） 3/8”JXR継手（VCRと接続可能） 接続方式 集積化ガス供給システム対応フランジ（Wシール、Cシール） 操作圧力 MPa NC　0.4～0.6NO　0.4～0.5 操作ポート M5 耐久性 保証：1,000万回（実績：3,000万回以上） バリエーション NC、NO、ブロック弁、ファイバセンサ付 ご使用の前に「ドライファイン機器総合（カタログNo.CB-035)」の 「使用上の注意事項」を必ずお読みください。 CC-1297 1

(器)和中ﾓ非該(18.1.11)H-31.ai 内部構造および部品リスト アクチュエータ IN OUT 接ガス部材質 部品名 材　質 1 ダイアフラム Ni-Co合金 2 弁シート PFA 3 ボディ SUS316L 1 2 3 外形寸法図 ●AGD1※R-HDF-4RM ●AGD2※R-HDF-6RM φ38 操作ポートM5 操作ポートM5 φ28.5 57 □26 76 □34 2-M5深6 2-M5深8 18 20.2 改訂内容 ・圧力仕様変更 本製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported, law requires that the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 営業本部 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)74-1303 FAX(0568)77-3410 Overseas Sales Administration Dept. 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan TEL(0568)74-1338 FAX(0568)77-3461 ＜Website＞ 東日本支店 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 http://www.ckd.co.jp/ 中日本支店 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)74-1356 FAX(0568)75-1692 西日本支店 〒550-0001 大阪府大阪市西区土佐堀1-3-20 TEL(06)6459-5770 FAX(06)6446-1945 ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 フリーアクセス 0120-771060 ●Specifications are subject to change without notice. 　 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 ○C CKD Corporation 2018 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2018.3.C 18 14.3 84 20.2 16 104