ケミカルフィルタ

2F-39-Q ●ガス通気による除去性能試験 ギガコールMC ギガコールML ギガコールMA 高濃度ガス通気時除去効率推移 ギガコール・酸性ガス除去用 高濃度ガス通気時除去効率推移 ギガコール・有機系ガス除去用 高濃度ガス通気時除去効率推移 ギガコール・アルカリ性ガス除去用 CLEAN SYSTEMS 硫化水素（H2S） 50ppm　SV値50,000hr-1 トルエン（C6H5CH3） 100ppm　SV値50,000hr-1 アンモニア（NH3） 80ppm　SV値50,000hr-1 100 100 100 90 90 90 ケミカルフィルタ 80 80 80 70 70 70 除60 除60 除60 去 去 去 効50 効50 効50 率 率 率 ％40 ％40 ％40 30 30 30 20 20 20 10 10 10 00 60 120 180 240 300 360 420 480 540 600 00 60 120 180 240 300 360 420 00 60 120 180 240 300 360 420 480 540 600 経過時間 min. 経過時間 min. 経過時間 min. 吸着剤取り扱い上のご注意 1. 保管時の形態 保管は出荷された梱包状態のままで行ってください。 2. 保管場所 保管場所は、乾燥した清浄な場所に保管し、高温（40℃以上）は避け、直射日光が当たらないようにしてください。また、水濡れは厳禁です。 結露が生じないようにしてください。 3. 交換作業 ・ 吸着剤の交換作業は粉塵が発生するため、メンテナンス室か屋外など、十分に換気ができる場所で行ってください。 ・ 作業されるときは、ゴム製手袋、防塵マスク、保護メガネを着用して行ってください。 ・ 作業終了後は、洗顔など水洗いしてください。 万が一、吸引したり目に入った場合、さらに皮膚についた場合は、多量の水でうがいをするか、または洗浄した後、医師の診断を受けてください。 クリーンエンジニアリング事業部 https://www.nitta.co.jp フリーダイヤル：0120-769-967 E-mail：clean-info@nitta.co.jp 本 　 　 　 社 〒556- 代理店 0022 大阪市浪速区桜川4-4-26 TEL06-6563-1231 FAX06-6563-1232 東 京 支 店 〒104-0061 東京都中央区銀座8-2-1 TEL.03-6744-2710 FAX.03-6744-2711 名 古 屋 支 店 〒450-0003 名古屋市中村区名駅南1-17-23 TEL.052-589-1301 FAX.052-566-2007 福 岡 営 業 所 〒812-0011 福岡市博多区博多駅前2-11-26 TEL.092-473-6651 FAX.092-474-2658 20022000U 本カタログの仕様は改良などにより、予告なしに変更することがあります。

原始時代、地殻変動で大量に発生した有害ガスを除去できたら、恐竜たちは今…。 大型で敏捷な動きをし、1 億年以上もの間繁栄しつづけた恐竜も、6500 万年前、巨大隕石の落下によって 大量発生したガスにより絶滅してしまった。 この時代、有害ガスを除去し、最適な環境を実現するニッタのガスコンタミネーションコントロールシステムがあ れば…。絶滅した恐竜たちと現在も共存できたのではないだろうかと、まさしくけがれを知らない夢見る子供 のようなことを考えています。 現実に目をやると、21 世紀めざましい技術進化を遂げてきた社会にあって、生産現場や生活環境は、分子 状汚染物質との戦いが最も重要視されるものだと考えられています。 例えば、半導体・液晶製造プロセスでの生産性低下、美術館・博物館での収蔵物へのダメージ、製薬・ 研究所（実験動物舎）で発生する不快臭による環境問題、地熱発電・製鉄・製紙工場でのプロセスコンピュー ターの異常など、分子状汚染物質による被害は多大な社会的損失をもたらしています。 私たちニッタはさまざまな分野において「ガスコンタミネーションコントロールシステム」によりヒトとモノに最適な 「環境」を実現し、地球社会の未来に貢献いたします。 INDEX １．半導体・液晶製造業界 ２．美術館・博物館 ３．製薬・研究所（実験動物飼育室） ４．病院・大学・病理施設 ５．地熱発電・製紙・製鉄・石油化学工業 ６．導入プロセス Image Copyright thinkdo 2010

NITTA CLEAN ENGINEERING 1． 半導体・液晶製造業界 2． 美術館・博物館 Image Copyright Alexander Gatsenko 2010 Image Copyright Luna Vandoorne 2010 シリコンデバイス・ＦＰＤ製造プロセスにおいて分子状汚染物質は多くの問題を引き起こします。たとえば露光工程におけるレ 美術館・博物館での安全な文化財保護・保管は次世代に貴重な資産を受け継いでいくための重要な問題です。建造物の ンズやミラーのくもり、フォトレジストの変質、ゲート酸化膜の絶縁不良、基板表面の薄膜密着不良などです。大気中に含ま コンクリートから発生するアンモニアなどの塩基性ガス、木材などから放出される酸性ガス、大気中の亜硫酸ガス、窒素酸化 れる極低濃度の酸性・塩基性汚染物質、揮発性有機汚染物質を効果的に取り除くことによりこれらの問題を解決することが 物などが収蔵物に被害を与えます。ニッタのガスコンタミネーションコントロールシステムは極めて有効な除去対策としての機能 可能です。 を発揮します。 吸着剤の選定 吸着剤の選定 対象ガス成分成分 吸着剤 ガス名 文化財に与える影響 主な発生源 メディア ギガコール ･ピュラフィル ギガソーブ 鉄、銅、青銅、その他金属の腐蝕 塩 化 水 素 HCl ギガコール HC ギガソーブ C フ ッ 化 水 素 HF ギガコール HC ギガソーブ C 二酸化硫黄 SO2 紙、木製の変色 自動車・工場の排気ガス ピュラフィル／ギガコール MC 二 酸 化 硫 黄 SO2 ギガコール HC ／ピュラフィル ギガソーブ C 大理石、石灰石でできた展示物の腐蝕および変色 一 酸 化 窒 素 NO CP ブレンドセレクト／ピュラフィル＋ギガコール HC — 二 酸 化 窒 素 NO2 ギガコール HC ギガソーブ C 窒素酸化物 NOx 染料の変色 自動車・工場の排気ガス CP ブレンドセレクト／ ピュラフィル + ギガコール MC 硫 化 水 素 H2S ギガコール HC ／ピュラフィル ギガソーブ C アンモニア NH3 油絵の褐変、銅器・銀器の腐蝕促進 建材用コンクリート、農場肥料 ギガコール MA ア ン モ ニ ア NH3 ギガコール HA ギガソーブ A ／ギガソーブ R ア ミ ン 類 ギガコール HA ギガソーブ A ／ギガソーブ R 硫 化 水 素 H2S 真鍮、銀、銅の腐蝕および変色 石油化学工場、製紙工場、温泉、汚染河川 ギガコール MC ／ピュラフィル シ ロ キ サ ン 類 ギガコール HL ／ギガコール HC ギガソーブ L ／ギガソーブ C 有 機 酸 緑青など岩絵の具の変質、鉛丹の変色 建材用木材、展示ケース木材、接着剤 ギガコール MC ト ル エ ン 等 有 機 物 ギガコール HL ／ギガコール HC ギガソーブ L ／ギガソーブ C ホルムアルテヒド 鉛丹などの岩絵の具の変色、たんぱく質の硬化 建材用木材、壁紙などの接着剤 ギガコールMC／ピュラフィル／ギガコールF フ タ ル 酸 系 有 機 物 ギガコール HL ／ギガコール HC ギガソーブ L ／ギガソーブ C 空調システム例 空調システム例 4×1PPu–NG ケミパック 3 4

NITTA CLEAN ENGINEERING 3． 製薬・研究所（実験動物飼育室） 4． 病院・大学・病理施設 Image Copyright Ragne Kabanova 2010 飼育室での動物の糞尿・体臭から発生する臭気は独特な不快臭となっています。この臭気は、アンモニア、アミン類、硫化 医療施設における解剖・病理学的検査における臓器の防腐処理、また医薬製造室・医療器具等の滅菌作業にホルムアル 水素、メチルメルカプタン、トリメチルアミンなどが複合したものです。このようなガス類を施設外に排出すると、周辺環境に対 デヒドは使用されています。このホルムアルデヒドは目・呼吸器に対し刺激があり気管支炎や頭痛などを引き起こすと同時に皮 し悪影響を及ぼすことになります。ガスコンタミネーションコントロールシステムはこれらの有害ガスに対して極めて効果的に働き 膚炎や、場合により鼻咽頭癌が発生する可能性があるため特定化学物質ならびに劇物に指定されています。これらの施設 かけ、企業の社会的責任を果たしていくうえで求められるクリーンな排出環境を実現します。 においてはホルムアルデヒドに対する換気設備が必要ですが、ガスコンタミネーションコントロールにより生活環境、労働安全 衛生環境をまもり、安全でウェルネスな環境を維持することが可能です。 動物種別飼育室における悪臭物質の測定例 ＜測定条件＞ 測定：月曜日掃除前測定、掃除：1 回 / 週 室温：22±2℃、湿度：50±10%、換気回数 10 回 /hr 対象ガス 法規制 基準値 吸着剤 動物種 マウス ラット ウサギ イヌ ネコ サル 面積 (㎡ ) 9.6 21.6 86.4 21.6 12.6 14.4 室内空気環境基準（ビル管理衛生法） 0.08ppm ギガコール F ホルムアルデヒド ギガコール MC 収容匹数 340 280 205 24 15 19 労働安全衛生法 0.1ppm ピュラフィル アンモニア (ppm) 19.0 1.8 26.7 24.7 15.0 23.7 メチルメルカプタン (ppb) 0.1 0.1 0.1 2.6 1.7 0.8 ☆労働安全衛生法改正による規制強化☆ 硫化水素 (ppb) 0.1 0.5 0.4 3.7 7.5 3.4 ホルムアルデヒドは病院の解剖室や室内燻蒸、建材など広い範囲で用いられています。しかし、癌やシックハウス症候群等、人に悪影響を与える非 悪臭物質 硫化メチル (ppb) 0.2 0.2 0.6 1.6 0.8 0.3 常に危険な物質であるため、労働安全衛生法においても第 3 類物質から、より管理レベルが高い第 2 類物質に変更されました。 トリメチルアミン (ppb) nd nd － － － － また、製造・取扱い作業場においては、作業環境測定の実施が義務化され、管理濃度についても従来未設定でしたが、0.1ppm に変更になりました。 スチレン (ppb) nd nd － － － － アセトアルデヒド (ppb) nd nd nd nd nd nd 二硫化メチル (ppb) nd nd nd 0.6 0.4 nd 実験動物施設の設計 ( 日本建築学会編 ) 記載の濃度測定例から引用。 　　※ nd は定量下限値以下です。 空調システム例 空調システム例 1×1PPu–NS HQ–14GF 5 6

NITTA CLEAN ENGINEERING 5． 地熱発電・製紙・製鉄・石油化学工業 6． 導入プロセス ガスコンタミネーションコントロールシステム導入のプロセス 環境の把握 実在の施設であれば、実測データを基に環境を推定します。 検討中の施設であれば豊富な経験データから予測を行います。 1 Image Copyright Alexander Raths 2010 吸着メディアの選定 地熱発電のプロセスや製鉄・製紙・石油化学の製造プロセスで発生する硫化水素、亜硫酸ガス、窒素系化合物などの腐 （１） ギガコール、ピュラフィル （2） ギガソーブ 食性ガスは制御機器やNC、ロボット、自動搬送システム、ファクトリーコンピュータなどの様々なインテリジェント機器に搭載さ れたマイコンの基板にダメージを及ぼします。最悪の場合、それらはデータの消失や誤作動、停止などといった事態を引き起 2 こす可能性があります。ガスコンタミネーションコントロールシステムはこれらの問題からプロセスを防御します。 対象ガス 発生要因 吸着剤 地熱発電　火山ガス中に含有 硫化水素 H2S 製紙工場　古紙の硫酸還元菌による発生 ピュラフィル / ギガコール MC / HC 石油化学　石油精製の脱硫工程 システムの設計 地熱発電　火山ガス中に含有 二酸化硫黄 SO2 石油化学　石油精製の脱硫工程 ピュラフィル / ギガコール MC / HC ガスタービン等からの排ガスに含有 （１） ギガコール、ピュラフィル フィルタ （2） ギガソーブ フィルタ 塩化水素 HCl 化学工場　工程内で使用する成分　 3 （3） プリーツ型ケミカルフィルタ 硝酸 HNO3 ギガコール MC / HC （4） 配管用ケミカルフィルタ フッ化水素 HF 等 製鉄工場酸洗処理による発生 （5） フィルタユニット 空調システム例 吸着剤の分析サービス、改善効果の確認 一定期間のご使用の後、吸着剤をサンプリングして分析を行い、サンプリング 給気ユニット 循環ユニット 時点での吸着剤の性能評価および推定される寿命を報告します。 （AMFUユニット） （AMFUユニット） 4 環境把握を行い、改善効果を確認します。 循環ユニット （AMFUユニット） AMFU ユニット 7 8

NITTA CLEAN ENGINEERING 1 環境の把握 2 吸着メディアの選定（1） 実在の施設であれば、実測データを基に、環境を推定します。 ●ギガコール、ピュラフィル 検討中の施設であれば豊富な経験データから予測を行います。 使用目的により、次の吸着剤から選定します。 ■臭気強度 ●臭気強度と成分濃度の関係 単位：ppm においの強さを表す尺度 物質名　　　臭気強度 1 2 2.5 3 3.5 4 5 規制基準設定の基本概念 アンモニア 0.1 0.6 1 2 5 10 40 ＜6段階臭気強度表示法＞ メチルメルカプタン 0.0001 0.0007 0.002 0.004 0.01 0.03 0.2 硫化水素 0.0005 0.006 0.02 0.06 0.2 0.7 8 臭気強度 内　容 硫化メチル 0.0001 0.002 0.01 0.05 0.2 0.8 2 0 無臭 二硫化メチル 0.0003 0.003 0.009 0.03 0.1 0.3 3 1 やっと感知できるにおい（検知いき値濃度） トリメチルアミン 0.0001 0.001 0.005 0.02 0.07 0.2 3 2 何のにおいであるかがわかる弱いにおい（認知いき値 アセトアルデヒド 0.002 0.01 0.05 0.1 0.5 1 10 濃度） ギガコールMＣ、HC ギガコールML、HL ギガコールMA、HA プロピオンアルデヒド 0.002 0.02 0.05 0.1 0.5 1 10 （酸性ガス用添着活性炭） （有機系ガス用活性炭） （アルカリ性ガス用添着活性炭） 3 らくに感知できるにおい ノロマルブチルアルデヒド 0.0003 0.003 0.009 0.03 0.08 0.3 2 高性能活性炭に、特殊な添着剤を担持さ 気相吸着に適した細孔構造を有する、高 高性能活性炭に、特殊な添着剤を担持さ 4 強いにおい イソブチルアルデヒド 0.0009 0.008 0.02 0.07 0.2 0.6 5 せた添着活性炭で、酸性ガスを高効率、 性能活性炭で有機系ガスの除去に優れ せた添着活性炭で、アルカリ性ガスを高効 5 強烈なにおい ノルマルバレルアルデヒド 0.0007 0.004 0.009 0.02 0.05 0.1 0.6 長寿命で除去します。 た威力を発揮します。 率、長寿命で除去します。 イソバレルアルデヒド 0.0002 0.001 0.003 0.006 0.01 0.03 0.2 イソブタノール 0.01 0.2 0.9 4 20 70 1000 酢酸エチル 0.3 1 3 7 20 40 200 メチルイソブチルケトン 0.2 0.7 1 3 6 10 50 トルエン 0.9 5 10 30 60 100 700 スチレン 0.03 0.2 0.4 0.8 2 4 20 キシレン 0.1 0.5 1 2 5 10 50 プロピオン酸 0.002 0.01 0.03 0.07 0.2 0.4 2 ノルマル酪酸 0.00007 0.0004 0.001 0.002 0.006 0.02 0.09 ギガコールF ピュラフィル CPブレンドセレクト ノルマル吉草酸 0.0001 0.0005 0.0009 0.002 0.004 0.008 0.04 （ホルムアルデヒド除去用添着活性炭） （酸性ガス用添着吸着剤） （酸性ガス用、有機系ガス用吸着剤） イソ吉草酸 0.00005 0.0004 0.001 0.004 0.01 0.03 0.3 アルデヒド系ガスに特化した添着活性炭 多孔質構造である活性アルミナに酸化剤 酸性ガス、有機系ガスの両方を除去できる で、優れた威力を発揮します。人体に支障を （過マンガン酸カリウム）を添着した化学 ように、二種類の吸着剤をブレンドしていま きたすホルムアルデヒドを高効率で除去し 吸着剤で、酸性ガスの除去に優れた威力 す。 ■臭気濃度の定義 ●悪臭防止法の規定に基づく悪臭の規則基準 ます。また、吸着容量も大きく長寿命です。 を発揮します。 臭気成分を食む気体試料を無臭空気を用いて希釈 ◆悪臭防止法施行規則 していき、臭気が感じられなくなるまで希釈した場合 昭和47年 5月30日　総理府令第39号 改正 昭和51年 9月18日　総理府令第39号 の希釈倍率を臭気濃度という。臭気濃度100とは、 平成元年 9月27日　総理府令第50号 100倍に希釈したときに臭気が感じられなくなったこ 平成 5年 6月18日　総理府令第34号 ☆ギガコール・ピュラフィルの仕様および対象ガス（代表例） とを示す。 平成23年11月30日　環境省令第32号 製品名 ギガコールMＣ ギガコールMＬ ギガコールMＡ ギガコールHＣ ギガコールHＬ ギガコールHＡ ギガコールF ピュラフィル ＣＰブレンドセレクト ギガコールAＣブレンド 敷地境界線における規制基準の 番号 悪臭物質 化学式 範囲（ppm） ■臭気度の定義 以上 — 以下 色・形状 黒色破砕状 黒色破砕状 黒色破砕状 黒色破砕状 球状 球状＋円柱状 黒色破砕状 臭気成分を含む気体試料を二倍ずつ希釈していき、 1 アンモニア NH3 1 — 5 かさ密度(kg/l) MC 0.5±0.05 ML 0.45±0.05 MA 0.55±0.05 HC 0.45±0.05 HL 0.4±0.05 HA 0.55±0.05 0.52±0.07 0.8（0.7～0.8） 0.55±0.05 0.50±0.05 n回希釈してにおいを感じなくなった時のn値を臭気 2 メチルメルカプタン CH3SH 0.002 — 0.01 度という。臭気度10とは、希釈の度合いは（210）とな 3 硫化水素 H2S 0.02 — 0.2 使用 温度 常温付近 常温以下 常温付近 30℃以下推奨 常温付近 常温付近 常温付近 るので、約1，000倍に希釈することになる。 4 硫化メチル （CH3）2S 0.01 — 0.2 範囲 湿度（%RH） 15～95 80以下 15～95 15～95 80以下 15～95 15～95 （注 210≒ 103＝1,000） 5 二硫化メチル CH3SSCH3 0.009 — 0.1 対象ガス 酸性ガス 有機系ガス 有機系ガス アルカリ性ガス アルデヒド類 酸性ガス 酸性ガス 酸性ガス 有機系ガス アルカリ性ガス 6 トリメチルアミン （CH3）3N 0.005 — 0.07 H2S ● ● ○ ○ 7 アセトアルデヒド CH3CHO 0.05 — 0.5 SO2 ● ● ○ ○ 8 プロピオンアルデヒド CH3CH2CHO 0.05 — 0.5 NO2 ● ○ ○ 9 ノルマルブチルアルデヒド CH（3 CH2）2CHO 0.009 — 0.08 NO ● ○ 10 イソブチルアルデヒド （CH3）2CHCHO 0.02 — 0.2 HCl ● ○ 11 ノルマルバレルアルデヒド CH（3 CH2）3CHO 0.009 — 0.05 代 12 イソバレルアルデヒド （CH3）CHCH2CHO 0.003 — 0.01 Cl2 ○ ● ○ 表 13 イソブタノール （CH3）2CHCH2OH 0.9 — 20 的 O3 ● ○ な 14 酢酸エチル CH3CO2C2H5 3 — 20 NH3 ● ○ ガ 15 メチルイソブチルケトン CH3COCH2CH（CH3）2 1 — 6 ス アミン類 ● ○ 16 トルエン C6H5CH3 10 — 60 有機系 ○ ● ○ 17 スチレン C6H5CHCH ホルムアルデヒドHCHO ○ ● ○ ○ 2 0.4 — 2 18 キシレン C6H（4 CH3）2 1 — 5 アセトアルデヒドCH3CHO ○ ● ○ ○ 19 プロピオン酸 CH3CH2COOH 0.03 — 0.2 ギ酸HCOOH ● ○ ○ 20 ノルマル酪酸 CH（3 CH2）2COOH 0.001 — 0.006 酢酸CH3COOH ● ○ ○ 21 ノルマル吉草酸 CH（3 CH2）3COOH 0.0009 — 0.004 ●：最も推奨する吸着剤　　○：条件により推奨する吸着剤　　ギガコール M □型：標準型、一般的な有害ガス対策用　　ギガコール H □型：より高い除去効率とロングライフ 22 イソ吉草酸 （CH3）2CHCH2CHOOH 0.001 — 0.01 注：吸着剤は表面に水やオイル等が付着し濡れた状態になると吸着できなくなります。 急激な温度低下や極めて低い温度での連続使用の場合は、吸着剤の凍結にご注意ください。 上記の仕様可能範囲外でのご使用については、別途お問い合わせください。 ピュラフィル、CP ブレンドセレクトは米国ピュラフィル社の製品です。 注：上記の規制基準の範囲内で、各地方自治体により規制基準が設定されます。通常は、最も厳しい基準値が選択されます。 ギガコール AC ブレンドは、ギガコールＡとギガコール C を容積比１：１でブレンドしたものです。 9 10

NITTA CLEAN ENGINEERING 3 システム設計（1） ギガコール、ピュラフィル ■ NC-22D ■ NC-22C-NT メディアを選定した後、必要とされる除去性能、 処理風量からフィルタを選定します。 型式例 NCF-22C-NTD-GC [吸着剤] [フラットフィルタ仕様] GMC : ギガコールMC D : 二重構造　　　　　 GML : ギガコールML なし:一層構造(標準型) GMA : ギガコールMA [取付仕様] GHC : ギガコールHC T : 外枠固定 GHL : ギガコールHL PC-22D なし:標準型　　 GHA : ギガコールHA GF : ギガコールF [内枠仕様] GMAC : ギガコールMACブレンド [奥行寸法] N : フラットフィルタ型 P : ピュラフィル A : 229D なし:Vモジュール　　　 B : CPブレンドセレクト　 C : 457D D : 305D M:730D [通風面寸法] 12:305H×610W 21:610H×305W [内蓋の形状] 22：610H×610W F : 側面開口タイプの蓋 なし：その他タイプ ■ NC-22A ■ NC-22C ■ NCF-22M-NT ■ NC-22C-ND 二層構造（二種類の吸着剤を充填できます） ☆吸着剤フィルタの仕様 型　　　　式 NC-12A NC-21A NC-22A NC-12C NC-21C NC-22C NC-12D NC-21D NC-22D NC-12C-NT NC-21C-NT NC-22C-NT NC-12C-ND NC-21C-ND NC-22C-ND NCF-12M-NT NCF-21M-NT NCF-22M-NT NC-12DP プラスチックモジュール PK-12DISP NK-18DISP H（㎜） 305 610 610 305 610 610 305 610 610 305 610 610 305 610 610 305 610 610 295 295 144 寸法 W（㎜） 610 305 610 610 305 610 610 305 610 610 305 610 610 305 610 610 305 610 599 298 298 D（㎜） 229 229 229 457 457 457 305 305 305 457 457 457 457 457 457 730 730 730 298 298 441 容量（L） 17 17 34 34 34 68 28.4 28.4 56.8 32 32 64 32 32 64 58 58 116 28.4 14.2 6.2 風量(m3/min) 14.2 14.2 28.3 28.3 28.3 56.6 14.2 14.2 28.3 28.3 28.3 56.6 14.2 14.2 28.3 28.3 28.3 56.6 14.2 7.1 5.4 SV値(hr-1) 50,000 50,000 50,000 50,000 50,000 50,000 30,000 30,000 30,000 53,060 53,060 53,060 53,060 53,060 53,060 30,000 30,000 30,000 30,000 30,000 52,000 レジデンスタイム(sec) 0.072 0.072 0.072 0.072 0.072 0.072 0.120 0.120 0.120 0.067 0.067 0.067 0.067 0.067 0.067 0.120 0.120 0.120 0.120 0.120 0.069 ギガコール充填時圧力損失（Pa） 約85 約85 約85 約165 約165 約165 約220 約220 約220 約185 約185 約185 約60 約60 約60 約145 約145 約145 約400 – 約115 ピュラフィル充填時圧力損失（Pa） 約60 約60 約60 約130 約130 約130 約200 約200 約200 約145 約145 約145 約60 約60 約60 約135 約135 約135 約360 約360 約80 ギガコールMC 18.1【8.5】 20.6【8.5】 34.0【17.0】 36.2【17.0】 37.3【17.0】 67.2【34.0】 25.7【14.2】 26.3【14.2】 48.2【28.4】 35.2【16.0】 36. 3【16.0】 65.2【32.0】 ※ ※ ※ 75.0【29.0】 82.0【29.0】 140.0【58.0】 25.7【14.2】 ― 4.8【3.1】 ギガコールML 17.3【7.7】 19.8【7.7】 32.3【15.3】 34.5【15.3】 35.6【15.3】 63.8【30.６】 24.3【12.8】 24.9【12.8】 45.4【25.6】 33.6【14.4】 34.7【14.4】 62.0【28.8】 ※ ※ ※ 72.1【26.1】 79.1【26.1】 134.2【52.2】 24.3【12.8】 ― 4.5【2.8】 総重量 ギガコールMA 19.0【9.4】 21.5【9.4】 35.7【18.7】 37.9【18.7】 39.0【18.7】 70.6【37.4】 27.1【15.6】 27.7【15.6】 51.0【31.2】 36.8【17.6】 37.9【17.6】 68.4【35.2】 36.8【17.6】 37.9【17.6】 68.4【35.2】 77.9【31.9】 84.9【31.9】 145.8【63.8】 27.1【15.6】 ― 5.1【3.4】 【吸着剤重量】 ギガコールF 18.4【8.8】 20.9【8.8】 34.7【17.7】 36.9【17.7】 38.0【17.7】 68.6【35.4】 26.3【14.8】 26.9【14.8】 49.3【29.5】 35.8【16.6】 36.9【16.6】 66.5【33.3】 ※ ※ ※ 76.2【30.2】 83.2【30.2】 142.3【60.3】 26.3【14.8】 ― 4.9【3.2】 （㎏） ギガコールMACブレンド 18.5【8.9】 21.0【8.9】 34.9【17.9】 37.1【17.9】 38.2【17.9】 68.9【35.7】 26.4【14.9】 27.0【14.9】 49.6【29.8】 36.0【16.8】 37.1【16.8】 66.8【33.6】 36.0【16.8】 37.1【16.8】 66.8【33.6】 76.5【30.5】 83.5【30.5】 142.9【60.9】 26.4【14.9】 ― 5.0【3.3】 ピュラフィル 23.2【13.6】 25.7【13.6】 44.2【27.2】 46.4【27.2】 47.5【27.2】 87.6【54.4】 34.2【22.7】 34.8【22.7】 65.2【45.4】 44.8【25.6】 45.9【25.6】 84.4【51.2】 ※ ※ ※ 92.4【46.4】 99.4【46.4】 174.8【92.8】 34.2【22.7】 12.8【11.3】 6.4【4.7】 CPブレンドセレクト 19.1【9.5】 21.6【9.5】 36.0【19.0】 38.2【19.0】 39.3【19.0】 71.2【38.0】 27.5【16.0】 28.1【16.0】 51.6【31.8】 38.2【19.0】 39.3【19.0】 71.6【38.4】 ※ ※ ※ 77.9【31.9】 84.9【31.9】 145.8【63.8】 27.1【15.6】 9.5【8.0】 5.2【3.5】 ケース重量（㎏） 9.6 12.1 17 19.2 20.3 33.2 11.5 12.1 19.8 19.2 20.3 33.2 19.2 20.3 33.2 46 53 82 11.5 1.5 1.7 注 総重量は吸着剤のかさ密度により数値が前後します。　ギガコールMCおよびHC、MLおよびＨＬは重量が異なります。 注 NTタイプはプレフィルタ付きも可能です。その場合奥行480mmDになります。　　※ 総重量は吸着剤の組合せによって異なります。 CPブレンドセレクトとギガコールACブレンドは2種吸着剤のブレンドですので、風量は1種 吸着剤設置時の50%以下としてください。 レジデンスタイム（R.T.） フィルタに通気される空気と吸着剤が接触する時間（秒）。 SV値：Space Velocit（y 空間速度） 使用目的別設置SV値例 R.T（. sec)＝吸着剤容量(㎥) ÷ 通過風量(㎥/sec) R.T.が大きいほど吸着剤と空気の接触時 SV値（1/hr)＝通 過 風 量(㎥/hr)÷吸 着 剤 容 量(㎥)SV値が小さいほど吸着剤と空気の接触時間は長 電子部品製造業界：5,000～50,000 美術館・博物館：30,000～50,000 間は長くなり、寿命、効率ともに性能は良くなります。 くなり、 寿命、効率ともに性能は良くなります。下流側濃度目標値や寿命によってＳＶ値が設定されます。 動物実験舎：5,000～20,000 製薬研究所、大学病院：5,000～20,000 11 12

NITTA CLEAN ENGINEERING 2 吸着メディアの選定（2） 3 システム設計（2） ギガソーブ ●ギガソーブ パネル型フィルタ（NPシリーズ） セル型フィルタ（ENCシリーズ） クリーンルーム中に存在する微量の分子汚染物質の除去には、低圧力損失、高効率のメディア「ギガソーブ」 が効果を発揮します。 ■外形寸法 ■外形寸法 ギガソーブC（酸性ガス・有機系ガス除去用メディア） ギガソーブL（有機系ガス除去用メディア） ギガソーブA（アルカリ性ガス除去用メディア） ギガソーブR（アルカリ性ガス除去用メディア） ■ギガソーブの特長 ●高除去効率 3次元フィラメント構造によりガスを効率的に除去します。 ●低圧力損失 通気性の優れたポリウレタン発泡体をベースにしており優れた通気 性を有しています。 ●低発塵性 ギガソーブに使用されている除去メディアは表面が硬く成型されている ため発塵量が低減されています。 ■仕様 ■仕様 ●軽量、自由な形状、積層構成 空隙率が高く軽量かつ大きさと形状は自由に設定で 項目 仕様 項目 仕様 推奨面風速 0.3m/s ケミカルフィルタ構造 セル型4Ｖ T201層タイプ セル型4Ｖ T202層タイプ きます。また対象ガスの種類、濃度に応じて種類、積 風力損失 約20Pa 推奨風量 フルサイズ　 56.6m3/min 層数など任意に組み合わせることができます。 吸着剤 T20/3層、吸着剤のみ交換可能 ハーフサイズ 28.3m3/min フィルタ寸法 610H×1220W×100Dサイズ 圧力損失 50Pa 140Pa レジデンスタイム 0.2秒 フィルタ寸法 610H×610W×292D 610H×610W×292D SV値 18,000hr-1 レジデンスタイム 0.03秒 0.06秒 枠 アルミニウム押出型材（アルマイトクリア仕上げ） SV値 120,000hr-1 60,000hr-1 ガスケット EPDM 枠 SUS304 フェースガード ラス網（アルミアルマイト処理） ガスケット EPDM カバー 不織布 オプション 不織布カバー フィルタ重量 約14㎏ フィルタ重量 約17㎏ 約25㎏ 型式 NP-24 -＊＊＊-Ｔ GO AA ENC-2型2-式＊＊-Ｔ GO NP-24 -＊＊＊-Ｔ GO AA ENC-22-＊＊-Ｔ GO AA : 両面フェースガード G I : 入側ガスケット A I : 入側フェースガード AA : 両面フェGーOス : ガ出ー側ドガスケット G I : 入側ガスケット AO : 出側フェースガード A I : 入側フェースガード GO : 出側ガスケット AN : フェースガードなし AO : 出側フェGーGス : ガ両ー側ドガスケット AN : フェースガGナードシな :し ガスケットなし GG : 両側ガスケット G I : 入側ガスケット Gナシ : ガスケットなし GO : 出側ガスケット G I : 入側ガス〈ケ不ット織布〉 GG : 両側ガスケット GO : 出側ガスTケ ッ: ト不織布 〈不織布〉 Gナシ : ガスケットなし GG : 両側ガス ケッ: ト不織布なし T : 不織布 〈不織布〉 Gナシ : ガスケットなし : 不織布なし T : 不織布 〈不織布〉〈ギガソーブ〉 均質な空間で構成されたろ材をガス状汚染物質が通過する事により、 : 不織布なし T : 不織布 C : T20-C 〈ギガソーブ〉 : 不織布なし その中に配された除去メディアの表面と確実に接触して吸着されます。 〈ギガソーブ〉 L : T20-L C : T20-C C : T20-C 〈ギガソーブ〉 A : T20-A L : T20-L L : T20-L C : T20-C A : T20-A R : T20-R A : T20-A L : T20-L A : T20-A R : T20-R R : T20-R 〈フィルタ寸法〉 ☆ギガソーブの仕様および対象ガス（代表例） 〈フィルタ寸法〉 R : T20-R 12 : 305Ｈ×610Ｗ×292Ｄ（㎜） 〈フィルタ寸法〉 2 : Ｈ寸法（ 1： 305㎜） 〈フィルタ寸法〉 12 : 305Ｈ×610Ｗ×292Ｄ（㎜） 種　　類 ギガソーブC ギガソーブL ギガソーブA ギガソーブR 4 : Ｗ寸法（ 2： 610㎜） 2 : Ｈ寸法（ 1： 30252㎜ : ）610Ｈ×610Ｗ×292Ｄ（㎜） （3： 915㎜） 4 : Ｗ寸法（ 2： 610㎜） 22 : 610Ｈ×610Ｗ×292Ｄ（㎜） （4： 1,220㎜） （3： 915㎜） 基材・形状 発泡ポリウレタンフォーム、20mm±2mm マット状 （4： 1,220㎜） 色 黒色 黒色 黒色 茶系色 圧力損失（パネル型NPシリーズ） 圧力損失（セル型ENCシリーズ） 吸着剤 添着球状活性炭 球状活性炭 添着球状活性炭 陽イオン交換樹脂 吸着機構 物理吸着＋中和反応 物理吸着 物理吸着＋中和反応 イオン交換反応 対象ガス 酸性ガス/有機系ガス 有機系ガス アルカリ性ガス アルカリ性ガス HF・HC・l H2SO4・HNO3 H3BO3・ボロン ○ NH3・MEA・アミン類 　 　 ○ ○ フタル酸エステル（DOP・DBP) リン酸エステル・シロキサン ○ ○ 　 　 ※ギガソーブＲはイオン交換方式によるもので、アルカリ性ガス吸着に特化した長寿命商品です。 ●試験条件 ギガソーブ3層＋不織布カバー付 ●試験条件　ENC-22-＊＊　ギガソーブ2層　　ENC-22-＊　ギガソーブ1層 13 14

NITTA CLEAN ENGINEERING 3 システム設計（3） 3 システム設計（4） プリーツ型ケミカルフィルタ GIGAWAVE 配管用ケミカルフィルタ ENILSORB 特長 ■外形寸法 機器装置やクリーンルーム中に存在する微量の分子汚染物質の除 去において、低圧力損失かつ高効率で効果を発揮するだけでなく、 一般ビル空調、美術館博物館、その他外気処理でもその効果を発揮 します。大きなろ材面積により、特に空調機などの多風量・高風速環 境下でもこの効果が期待できます。 圧力損失は最小限に、ガス除去効率は最大限に効果を生かす、それ がGIGAWAVEです。 ＜用途＞ 特長 ●電子デバイス系製造装置 ●エアー配管のインラインに簡単に取り付けることができます。 ●FPD（フラットパネルディスプレイ）製造プロセス ●酸性ガス、アルカリ性ガス、有機系ガスの除去が可能です。 ●露光装置、半導体レチクルストッカー ●流量および対象ガスに応じて自由に設計できます。 ●クリーンルームFFU ●クリーンルームシステム天井のULPA上流側 風量 型式 寸法 接続 筐体 重量 ●美術館、博物館の循環系統 ●ホテル、オフィスビルの循環系統 30ℓ/min PG-F32A38S158TS φ80ｘ158mm Rc 3/8in SUS304 約2Kg ■ギガウェーブ型式のろ材タイプと対象ガス 50ℓ/min PG-F50A38S218TS φ100ｘ218mm Rc 3/8in SUS304 約4Kg 型式 ろ材タイプ 用途 主な対象ガス・種類 100ℓ/min PG-F100A12S258TS φ170ｘ258mm Rc 1/2in SUS304 約10Kg ギガウェーブHL 活性炭 有機系ガス除去 有機溶剤、フタル酸エステル、 リン酸エステル、シロキサンなど ＜対象物質＞ ギガウェーブHS 強塩基性 ●アルカリ性物質（アンモニア、アミン類など） 30ℓ/min〜100ℓ/min イオン交換樹脂 酸性ガス除去 硫黄酸化物（SOx）、塩化水素、フッ化水素、 ギ酸、酢酸、ボロン、NO2など ●酸性物質（塩化水素、硫化水素、二酸化硫黄など） CleanRoom Air コンプレッサー0.98MPa 配管用 ケミカルフィルタ Supply Air ●有機物質（高沸点有機物、シロキサンなど） ギガウェーブHC 添着活性炭 酸性ガス除去 硫化水素、硫黄酸化物（SOx）、塩化水素、フッ化水素、 エアーフィルター ギ酸、酢酸、ボロン、NO2など ＜用途＞ ギガウェーブHR 強酸性 ●製造装置内や設備配管内の清浄化 イオン交換樹脂 塩基性ガス除去 アンモニア、アミン類、N-メチルピロリドンなど ダスト・オイルフィルタ ●給排気系で使用する圧縮空気内の微量ガス除去 ●製品梱包時の塵埃除去、N2パージガスの代替品 ギガウェーブHA 添着活性炭 塩基性ガス除去 アンモニア、アミン類など ※ケミカルろ材の積層による混合ガス除去への対応も可能です。お問合せください。 ＜使用例＞ ●半導体・液晶露光装置、計測器周辺、検査工程 ●ボンディングマシーン、レーザー加工機 ●太陽電池ガラス加工、食品加工、再生医療、分析機器 型式例 ■標準仕様 BFN-HL-RO（Ｈ寸法×Ｗ寸法×Ｄ寸法） プリーツタイプ N：セパレータ無 S：スタビライザ A:アルミセパレータ 標準寸法(H×W×D） 610×610×50 610×610×100 610×610×150 610×610×292 ■配管用ケミカルフィルタの高圧配管実装試験データ 定格風量（m3/min）※１ 10 20 28 56 初期除去効率 ガスケットタイプ 推奨面風速（m/s)※２ 0.5 1.0 1.4 2.8 FF ：平形状　両面 FI ： 平形状　流入側 圧力損失（Pa)※3 25以下 50以下 60以下 120以下 除去効率 FO： 平形状　流出側 100 FN ： ガスケットなし RR： 半丸形状　両面 90 RI ： 半丸形状　流入側 RO： 半丸形状　流出側 上流側 80 ろ材タイプ 70 95％ 98％ 95％ 99％ HL： 有機系ガス用（活性炭） HS： 酸性ガス用（イオン交換樹脂） 外観 60 HC： 酸性ガス用（添着活性炭） HR： 塩基性ガス用（イオン交換樹脂） 50 HA： 塩基性ガス用（添着活性炭） 40 下流側 プリーツタイプ 30 N： セパレータなし S： スタビライザ 20 A： アルミセパレータ ※1　推奨最大風量です。ガス濃度や成分により処理風量も変わります。 10 ※2　枠15㎜を除いた開口部の面風速です。 0 ※３　圧力損失は定格風量時の実測代表値で、保証値ではありません。 NO2- CH3COO- NH4+ 総有機成分 奥行寸法にガスケットは含みません。上記以外のサイズにも対応可能です。お問合せください。 約1μg/m3 約10μg/m3 約1μg/m3 （C6以上） 約80μg/m3 15 16 除去効率％

NITTA CLEAN ENGINEERING 3 システム設計（5） 4 吸着剤の分析サービス、改善効果の確認 吸着剤フィルタの設置環境や処理風量、対象施設の状況に応じたフィルタユニットを選定します。 吸着剤フィルタケーシング ＜特長＞ ●コンパクトなデザイン 吸着剤フィルタと当社独自のカムク ランプを内蔵し、コンパクトなデザ インとなっています。 ●メンテナンスが簡単 サイドアクセスタイプなので点検扉 を開け、内蔵カムクランプを回転さ せるだけでフィルタの取り付け、取 り外しが可能です。 カラムテスト 測定装置 ※カセット型はフィルタ交換の作業 ギガコール・ピュラフィルを一定期間ご使用後、吸着剤をサ 性が向上します。（仕様については ンプリングし、サンプリングした時点でのガス除去性能・劣 1×1PPu-NS カセット型4×1PPu-NG お問い合わせください） 化程度を評価します。 型式例 それに伴いおおよその交換周期を報告いたします。 ①フィルタの段数　1：1段／2：4段／3：3段 ②フィルタの列数　1：1列／2：2列／3：3列 1×1- P Pu - N S ③P：PREフィルタ／表示無：PREフィルタ無し ④Pu：吸着剤フィルタを示す ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑤N：陰圧標準／NS：陰圧塩害 ⑥S：鋼板／G：ガリバリウム鋼板を示す ■仕様一覧表（PPu-NS型） 型　　式 処理風量 寸法（㎜） フィルタ枚数 ギガソーブも同様に定期的に一部をサンプリングして吸着量 （m3/min） 材質 表面処理 フィルタ交換 重量（kgf） H W L プレ 吸着剤 国内型 を分析し、ギガソーブの交換周期を予測します。 0.5×1PPu-NS 28 425 730 660 横ハーフ1 横ハーフ1 47 有機物の定性・定量分析には、 GC-FID、GC-MSを使用 1×0.5PPu-NS 28 730 425 660 縦ハーフ1 縦ハーフ1 屋内型：樹脂焼付塗装 45 （KN-70） しています。交換周期を分析の際、サンプリングしたギガソー 1×1PPu-NS 56 730 730 660 1 1 鋼板製 屋外型：ポリエステル樹脂 横引き 60 焼付塗装 ブ中の有機物吸着量を測定することで、ギガソーブの交換 GC-FID 1×2PPu-NS 112 730 1340 660 2 2 （KN-70） 87 周期を推定しています。（ギガソーブＬ,Ｃタイプ） 2×2PPu-NS 224 1420 1340 660 4 4 130 重量はフィルタを含みません。　※プレフィルタ 610×610×20　吸着剤サイズ 610×610×457　定格風量56m3／min 酸性ガス、アルカリ性ガスの定性・定量分析には、 ICを使 AMFUユニット 局所排気型 用しています。交換周期を分析の際、サンプリングしたギガソー 室内の設置タイプの空気循環型ファンユニットです。 ホルムアルデヒド除去ユニット ブ中の酸性ガス、またはアルカリ性ガス吸着量を測定するこ とで、ギガソーブの交換周期を推定しています。（ギガソーブＣ， ＜特長＞ Ａ，Ｒタイプ） ●コンパクト設計、持ち運びが容易 ●揮発したホルムアルデヒドを局 所的吸引除去（吸着剤ギガコー ルF内蔵） GC-MS ホルムアルデヒド 労働安全衛生法改正による規制強化 労働安全衛生法および特定化学物 質障害予防規則より ●管理レベルの高い第2類物質 ●作業環境測定が義務化 ●作業環境管理濃度：0.1ppm以下 「管理区分」のさらなる改善に ■仕様 ■仕様 形式 定格風量 寸法（㎜） ケーシング （m3/min） W D H 重量 送風機 形式 処理風量 吸込風速 寸法（㎜） 重量 （m3/min）（m/sec） W H D （kgf） 電源 AMFU-14V 14.2 763 760 1833 170㎏ 3φ　200V 100V AMFU-28V 28.3 763 760 2259 250㎏ 50／60HZ HQ-14GF 最大2.5 最大3.5 545 420 360 40 単相 50／60HZ 低濃度用 IC IC 17 18