グリーンシート（積層コンデンサ）の固定、フィルム・薄膜ガラス・結晶基板・ウエハの仮固定に最適！感温性粘着テープ インテリマーテープ

感温性粘着テープ TM 温度によって、 簡単に、快適を。 取り扱い上のご注意 ●安全上のご注意 　本テープを皮膚に直接 貼付けないでください。また、食品にも直接 貼付けないでください。 ●保管上のご注意 　直射日光を避け、室温環境で保管してください。 　本テープは温度10～40℃、湿度60％RH以下が望ましく、高温度・高湿度の環境で保管しないでください。 特許関連表示 輸出貿易管理令・外国為替令（2018年5月2日施行） ●特許権利 ●輸出貿易管理令 別表第1の1の項から15の項について 　弊社は以下のアジア各国において「IntelimerTM」テープ自体だけでなく、 　「対象外」と判定致します。 　このテープを使って製造されたセラミック電子部品／ディスプレイ部品／ ●外国為替令 別表第1の項から15の項について「対象外」と 　パネル部品の製造工法に対する権利を保有しています。 　判定致します。 　●日本特許権利　●台湾特許権利　●韓国特許権利　●中国特許権利 ●「IntelimerTM」は米国Landec社の登録商標です。 ※本カタログの内容は2022年4月現在のものです。製品の改良のため予告なく内容を変更することがあります。 ※本カタログに記載された数値は保証値ではありません。　※本カタログからの無断転載を禁止します。 工業資材事業部 化成品事業グループ 営業部 デバイス営業課 Industrial Products Div. Chemical Product Business Unit. Sales Dept., Device Materials Dept. 奈良工場 〒639-1085　奈良県大和郡山市池沢町 172 TEL： 0743-56-9512　FAX： 0743-56-5036 Web site https://www.nitta.co.jp/ ● インテリマーテープ Web site ● インテリマー粘着剤・樹脂・添加剤 Web site 　https://www.nitta.co.jp/product/intelimer/ 　https://www.nitta.co.jp/lp/intelimer/ ニッタグループ： ニッタ／ゲイツ・ユニッタ・アジア／ニッタ・デュポン HJ-500 2022.4

What is 用途に合わせて選べる4シリーズ IntelimerTM tape? ワークを固定する時（加工/搬送）や剥がす時の環境温度に応じて、以下の4つのタイプからお選びください。 インテリマーTMテープとは 冷 却 剥 離 加 熱 剥 離 タ イ プ タ イ プ 温度を変えることで 「くっつく」　「 はがれる」を制御できる 新しいタイプの機能性粘着テープです。 クールオフ ウォームオフ 標 準 CSシリーズ WS・FSシリーズ タ イ プ 電子部品製造工程 マスキング 転写・搬送用途 転写・搬送用途 しっかり固定 温度を変えると Plafix 強固定タイプ 用 途 特 化 CS23シリーズ TSシリーズ 粘着　 非粘着 タ イ プ フレキシブル 研磨・研削工程 プラスチックデバイス ダイシング 製造工程 接着用途 簡単に剥離 テープ構成 片面タイプ 両面タイプ 基材レスタイプ インテリマーTMテープの特長 温度で粘着性が変化 セパレータ セパレータ セパレータ 極めて少ない糊残り インテリマー 粘着剤 優れた加工精度を実現 インテリマー 粘着剤 基材 （PETフィルム） インテリマー 粘着剤 繰り返し使用可能 基材 粘着剤 （PETフィルム） セパレータ セパレータ ▲ロールタイプ ▲シートタイプ 1 2

冷やすと はがれる クールオフタイプ クールオフタイプを活用した使用例 COOL-OFF TYPE ● 加熱することで粘着力が発現するため、様々な用途で使用できます。 ● スイッチング温度以上でくっつきます。 ● スイッチング温度以下に冷やすとはがれます。 搬 送 転 写 ● クールオフタイプは高温加工に適しています。 ● 冷やすだけではがれやすくなり、ワークにダメージを与えません。 工程イメージ 冷やす 温める 高温加工 レプリカモールドとして くっつく 冷やすと 加工（例：カット） はがれ易くなる マスターモールド SPECIFICATION 仕様 インテリマーTM テープ クールオフ 粘着力80℃ 粘着力23℃ ープ 55℃タイプ 品番 スイッチング 温度 （対SUS） （対SUS） 糊厚 基材厚 テ N/25mm※1 N/25mm※1 （PET） 構成 CS5040C02 55℃ 5.9 0.4 40μm 100μm 片面タイプ おすすめの用途 グリーンシート（積層コンデンサ）の固定 CS5040C05 ↑ 1.2 0.10 ↑ ↑ ↑ ● 積層工程、カット工程それぞれにおいて優れた加工精度を実現します。 ● 積層～カット工程で連続使用でき、工数・コスト削減につながります。 CS5040C08 ↑ 0.4 0.05 ↑ ↑ ↑ 積層 カット 剥離 CS5010C25 ↑ 0.1 ＜0.05 10μm ↑ ↑ CS5010C80 ↑ ＜0.05 ＜0.05 ↑ ↑ ↑ ※剥離性を向上させたタイプもございます。 ※1： 粘着力は対SUS180°ピール剥離での80℃測定値、23℃測定値。JIS Z0237に準拠。 ※本カタログに記載の数値は、実測値であり保証するものではありません。 DATA HOW TO USE 高積層性 高カット精度 クールオフ 粘着力の温度特性グラフ ご使用方法 ● テープからセパレータをはがします。 　 室温環境下では粘着力が発現しておりませんので 　 ホットプレート等の熱源を使用し、55～60℃位まで加熱し、 他社製品 　 粘着力を発現させてください。 粘 　 被着体にはゴムローラー等を使用しテープを貼付てください。 着 力 　 この時、ゴムローラーを軽く2～3回往復させる程度が望ましく、 インテリマーTMテープは交換不要 インテリマー： 　 強く押し付けると剥離不良や被着体への糊残りの原因になります。 クールオフ 　 室温域ではがしてください。室温で数分放置するとはがれ易くなります。 一種類のテープで加工できます 　 この時、冷却設備等で急激に冷やさないでください。 スイッチング温度（℃） 温度（℃） 3 4

lafixTMタイプを活用した使用例 冷やすと はがれる PlafixTM P クールオフ25℃基材レスタイプ ● PlafixTMを介してガラスや金属台座にワークをしっかり固定し、耐熱性にも優れています。 ● 室温～200℃でしっかり固定し、5℃以下で簡単に剥離可能です。 ● スイッチング温度以上でくっつきます。 個片製品の一括処理 フィルム・薄膜ガラスの固定 ● スイッチング温度以下に冷やすとはがれます。 ● パターニング ● パターニング ● 熱処理 ● 熱処理 工程イメージ フィルム・薄膜 ガラス PlafixTM 温める 温める 冷やす ガラス台座 PlafixTM 加熱しながら台座（ガラス）に 加熱しながら 冷やすと 台座 ークを貼付 はがれ易くなる PlafixTMテープを貼付 ワ PlafixTM 加工（例：個片の一括処理） 台座 ガラス台座 SPECIFICATION 仕様 粘着力5℃ おすすめの用途 フィルムや薄膜ガラスの搬送を仮固定 PlafixTM 品番 スイッチング 粘着力50℃ テープ 温度 （対ポリイミド） （対ポリイミド） 糊厚 N/25mm※1 N/25mm※1 構成 ガラス基板からプラスチック基板へ！ CS2325NA4 25℃ 1.4 0.05 25μm 基材レスタイプ ● 現有ガラスラインで製造不可能であったフレキシブルデバイスをガラス台座＋インテリマーを用いた CS2325NA2 ↑ 0.4 ＜0.05 ↑ ↑ 　 仮固定工法で製造可能にします。 TM ※1： 粘着力は対ポリイミド180°ピール剥離での50℃測定値、5℃測定値。JIS Z0237に準拠。 ● Plafix はフレキシブルデバイス製造などのすべてのプロセスに耐性をもち、 ※本カタログに記載の数値は、実測値であり保証するものではありません。 　 工程終了後は成膜基板をダメージなく剥離可能です。 HOW TO USE ご使用方法 ● テープから片側のセパレータをはがします。約50℃加熱してワークとテープを貼り付けしてください。 ガラス台座設置 PlafixTM貼付 基板貼付 フォト工程・ 成膜処理 基板剥離 　 もう一方も同じ作業で貼り付けしてください。貼り付け時の気泡の混入を防ぐ為、ゴムローラーなどをご使用ください。 現有設備で PlafixTMを 成膜前の 浮き・ズレ・たわみの 基板に ● ワークの剥離は5℃以下を推奨します。　● 以上の操作は、ワークやテープを所定温度に維持しながら行なってください。 搬送 貼付 ワーク貼付 発生なし ダメージなく剥離 良好な耐溶剤・ DATA 耐レジスト・ 耐薬品性試験データ 粘着力の温度特性グラフ 耐エッチャント性 Results Chemicals Conc. Plafix Plafix affixed PI and glass ガラス ロール ロール 台座 ラミネート ラミネート HNO3 10％ ○ ○ 他社製品 HF 10％ ○ ○ 粘 着 TMAH 2.4％ △ ○ 力 インテリマー： KOH 5％ △ ○ PlafixTM CO 搬送ローラー インテリマーTM 25℃ プラスチック NMP 100％ ○ ○ テープ 基板 （PlafixTM） PGMEA 100％ ○ ○ スイッチング温度（℃） 温度（℃） ◆ Chemical resistance test PI film 　 adherend： 25μm PI film, 0.7t glass プロセス温度： RT RT～50℃ （推奨 50℃） RT～200℃ 5℃～10℃ PlafixTM 　 affixed at 50℃ → heating at 120℃ × 5min （推奨5℃） Glass 　 Dipping in chemicals at 50℃ × 3min 5 6

ウォームオフタイプを活用した使用例 温めると はがれる ウォームオフタイプ WARM-OFF TYPE ● 様々な用途でご使用でき、ワークにダメージを与えません。 ● スイッチング温度以下でくっつきます。 ダイシング 研削・研磨 ● スイッチング温度以上に温めるとはがれます。 ● ウォームオフタイプは、室温でワークを固定して加工する場合に適しています。 ● 温めるだけではがれやすくなり、ワークにダメージを与えません。 工程イメージ 温める 室温 くっつく 加工（例：ダイシング） 温めると はがれ易くなる SPECIFICATION 仕様 搬 送 マスキング・表面保護 標準タイプ 着力23℃ 粘着力60℃ 60℃低温剥離 品番 スイッチング 粘 （対SUS） 材厚 テープ タイプ 温度 （対SUS） 糊厚 基 N/25mm※1 N/25mm※1 （PET） 構成 WS5130C02 50℃ 6.0 0.2 30μm 100μm 片面タイプ WS5030C15 ↑ 0.3 ＜0.05 ↑ ↑ ↑ 高温熱剥離 スイッチング 粘着力23℃ 粘着力120℃ タイプ 品番 温度 （対PET） （対PET） 糊厚 基材厚 テープ （発泡温度） N/25mm※2 N/25mm※2 （PET） 構成 FS5240C10 120℃ 10.0 ＜0.05 40μm 100μm 片面タイプ ※1： 粘着力は対SUS180°ピール剥離での23℃測定値、60℃測定値。JIS Z0237に準拠。 転 写 位置合わせなどの仮止め用 ※2： 粘着力は対PET180°ピール剥離での23℃測定値、120℃測定値。JIS Z0237に準拠。 ※本カタログに記載の数値は、実測値であり保証するものではありません。 DATA HOW TO USE 粘着力の温度特性グラフ ご使用方法 ● テープからセパレータをはがします。 標準タイプ（低温剥離） 　 室温環境下で粘着力が発現しておりますのでゴムローラー等を使用し、 　 被着体とテープと貼合わせてください。 　 この時、ゴムローラーを軽く2回～3回往復させる程度が望ましく、 粘 着 　 あまり強く押し付けると剥離不良や被着体への糊残りの原因になります。 力 ● 本テープは作業温度が50℃以下でご使用ください。 他社製品 ● 作業終了後、テープをはがす場合は被着体および 高温熱剥離 タイプ 　 テープの温度が60℃以上ではがしてください。 スイッチング温度（℃） 温度（℃） 　 はがす温度が60℃以下になりますと粘着力が復活し、はがれにくくなります。 　 高温熱剥離タイプは、被着体およびテープの温度が120℃ではがしてください。 7 8

強固定タイプ 強固定タイプを活用した使用例 しっかり 固定 STRONG-FIXED TYPE ● 強い負荷がかかる工程や接着性を必要とする用途で使用でき、加熱することで容易にはがせます。 ● スイッチング温度以上で貼り合わせ、室温域に冷やすことで強固に固定されます。 ● 再度、スイッチング温度以上にするとはがれます。 ダイシング NC加工 付け爪用・糊など ● 強力な接着力が発現するため加工精度が向上します。 強固定タイプは固定力が強いため、強い負荷がかかる工程でも ズレを最小限に抑え、加工精度を向上させることが可能です。 工程イメージ 温める 温める 温める 室温 インテリマーTM テープ 台座 くっつく くっつく 固定 加工（例：研削・研磨） 120℃に加熱すると 加熱しながら 加熱しながら 室温で粘着剤が固まり 発泡し剥離する 台板側に ワークを貼付 ワークを強固に固定する テープを貼付 SPECIFICATION おすすめの用途 結晶基板・ウエハなどの研削・研磨の仮固定 仕様 ● 研削・研磨工程において優れた加工精度を実現します。 ● 糊残りが極めて少なく、従来のWAX工法において溶剤洗浄と乾燥工程の削減につながります。 強固定 タイプ 品番 スイッチング 温度 垂直剥離強度（対SUS）N/φ10mm※1 糊厚 基材厚 テープ 構成 塗布 圧着 研削 剥離 溶剤洗浄 乾燥 加熱 冷却 加熱 TS4440NL2 45℃ 40 40μm ー 基材レスタイプ ※1： 垂直剥離強度は60℃でSUSプローブ貼付け後に23℃で垂直上方向に剥離した値。 ※本カタログに記載の数値は、実測値であり保証するものではありません。 固形WAX STRUCTURE DATA 構成 弾性率の比較 大 しっかり 固定 加工域 剥離域 PETセパレータ（25μm） 弾 固形WAX 貼付 固定 研削 簡単に剥離 性 発泡インテリマー（40μm） インテリマーTM 簡単 加熱 室温 加熱 テープ 剥離 PETセパレータ（50μm） 小 汎用粘着テープ 低 温度（℃） 高 インテリマーTM 溶剤洗浄 HOW TO USE テー 不要 乾燥不要 プ 高精度加工 残渣レス ご使用方法 ● テープから片側のセパレータをはがします。約50℃加熱してワークとテープを貼り付けしてください。 　 もう一方も同じ作業で貼り付けしてください。貼り付け時の気泡の混入を防ぐ為、ゴムローラーなどをご使用ください。 ● テープと被着体を室温環境下に戻しますと固定力が上昇しますので、その状態で室温で加工してください。 ● 作業終了後、テープをはがす場合は被着体およびテープを120℃に加熱し、テープを被着体よりはがしてください。 Finish 　 なお、残渣レスタイプのインテリマー層は、50℃以上ではがしてください。 9 10