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フレキシブル・高効率性・コンパクト
◆フレキシブル
ロードロックチャンバー向けとして最短の排気時間
◆高効率性
極めて低いエネルギー消費、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム
◆コンパクト
極めて小型かつ軽量
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このカタログについて
ドキュメント名 | 多段ルーツ真空ポンプ TORRI BD 0100–0600 A |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 991.1Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 日本ブッシュ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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TORRI BD 0100–0600 A
多段ルーツ真空ポンプ
フレキシブル
ロードロックチャンバー向けとして最短の排気時間
高効率性
極めて低いエネルギー消費、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム
コンパクト
極めて小型かつ軽量
www.buschvacuum.com © Busch Vacuum Solutions 09.09.2022 1/2
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TORRI BD 0100–0600 A
多段ルーツ真空ポンプ
寸法図 排気速度
空気温度20°C 誤差:± 10%
TORRI BD 0100 A TORRI BD 0300 A TORRI BD 0600 A
設計排気速度 100 m³/h 300 m³/h 600 m³/h
到達真空度 0.01 hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar) 0.001 hPa (mbar)
定格モーター出力 (バックポン
プ) 2.2 kW 2.2 kW 2.2 kW
定格モーター出力 (メカニカル
ブースター) 2.2 kW 2.2 kW
定格モーター回転数 (バックポ
ンプ) 5500 min⁻¹ 5500 min⁻¹ 5500 min⁻¹
定格モーター回転数 (メカニカ
ルブースター) 3500 min⁻¹ 7000 min⁻¹
到達真空度における消費電力 0.4 kW 0.5 kW 0.6 kW
騒音値 (ISO 2151) < 60 dB(A) < 60 dB(A) < 60 dB(A)
冷却水流量 1.0 l/min 2.0 l/min 2.0 l/min
質量 60 kg 120 kg 120 kg
外形寸法 (L x W x H) 450 x 230 x 275 mm 530 x 230 x 520 mm 530 x 230 x 520 mm
ガスインレット / アウトレット DN 50 KF / DN 25 KF ISO80 / NW40 ISO80 / NW40
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