インピーダンスアナライザ IM7580シリーズ

インピーダンスアナライザ IM7580 シリーズ IMPEDANCE ANALYZER IM7580 series 信頼のハイエンド 3GHz登場 測定周波数 100kHz 〜 3GHzをカバー 選べる５モデル

2 3GHz までの高安定インピーダンス測定※ 1MHz ～ 3GHz まで、広い測定周波数をカバー。ばらつきの小さい高安定測定で 研究・開発の用途に最高のコストパフォーマンスを提供します ※ IM7587 3GHz までの高安定で高速な掃引測定 SMD テストフィクスチャ IM9201（別売） 6 サイズの SMD に対応する専用テストフィクスチャ IM9201（別売）を使って、簡単かつ確実な試料測定 が可能になります。

3 確実な測定は高品位な設計から 広帯域での安定した測定のために 良好な周波数特性の実現のため、基本原理に忠実な設計が各回路・ 基板のパターニング・筐体構造などに徹底されています。 また数値解析や綿密な検証により内部の基板パターンの形状やシール ド構造を最適化、100kHz ～ 3GHz までの良好な周波数特性実現の ための技術をコンパクトなボディに凝縮しています。 テストヘッドの測定端子には、広帯域での測定精度を向上するために、 マイクロ波コネクタの中でも脱着再現性に優れ、周波数範囲の広い IM7583, IM7585, IM7587 用テストヘッド 3.5mm コネクタを採用しました。 高安定測定を可能にする本体測定部 測定部に高分解能 A/D コンバータを採用。入力信号のレベルと周波 数を制御することで A/D コンバータのダイナミックレンジを最大限に 活かし、広いインピーダンス測定範囲とばらつきの小さい測定を実現 しています。 アナログ回路に搭載したサブ FPGA では、回路ごとに最適なデジタル フィルタを実装してノイズをシャットアウト。また、メイン FPGA では 64bit フローティングポイント演算を多段パイプライン化することによ り、誤差の少ない高速演算処理を実現。測定の安定化と高速化に寄 与しています。 大型ソリッドシールドでさらなる高性能化 基板上のパターンや IC 形状にあわせて削りだしたソリッドシールドを 各部に採用し、内部の相互結合を低減。また、外部への放射の低減 や耐ノイズ性能の向上など、クラ ス最軽 量ながら EMC も高いレ ベルで満足しています。 ソリッドシールド内部

4 高速・高安定測定 高速性と高安定性とを両立させた測定を実現。 タクトタイムを短縮し、生産性をアップします。 繰り返し精度とアナログ計測時間 （参考データ） IM7587, IM7585, IM7583 IM7581, IM7580A 測定周波数　3 GHz 信号レベル： +1 dBm 0.08 試料 A： 1 nH 0.07 0.06 0.05 全モデル 0.04 最速 0.030.02 0.01 0.5ms 00.1 0.5ms 1 10アナログ計測時間 [ms]測定周波数　500 MHz 信号レベル： +1 dBm （アナログ計測時間） 0.12 試料 A： 1 nH 0.1 0.08 0.06 0.04 0.02 0 0.1 0.5ms 1 10 アナログ計測時間 [ms] 測定周波数　200 kHz 信号レベル： +1 dBm 測定周波数　100 MHz 信号レベル： +1 dBm試料 C： 100 μH 試料 B： 100 nH 0.02 0.02 0.016 0.016 0.012 0.012 0.008 0.008 0.004 0.004 0 0 0.1 0.5ms 1 10 0.1 0.5ms 1 10 アナログ計測時間 [ms] アナログ計測時間 [ms] 繰り返し精度（Z, 3CV） [%] 繰り返し精度（Z, 3CV） [%] 繰り返し精度（Z, 3CV） [%] 繰り返し精度（Z, 3CV） [%]

5 省スペース・ハーフラックサイズ フルラックに２台並べられる省スペース設計。 このクラスの測定器としてはきわめて軽量でコンパクトなボディです。 コンパクトボディで 手のひらサイズの 機動力もアップ テストヘッド ハーフラックサイズのコンパクトボ テストヘッドも手のひらサイズのコ ディはラインユースのほか、さまざ ンパクト設計で、測定対象の近く まな測定現場においてフットワー ターンテーブル に設置が可能。ノイズなどの影響 クの軽さを発揮します。 を受けにくく、より正確な測定が 可能になります。 フィクスチャ 大画面ディスプレイで 快適操作 大画面ディスプレイは、使用シーン に合わせて明るさや色、表示サイ ズの変更が可能。軽快なタッチ操 表示桁数（3/4/5/6） 表示サイズ変更 表示色変更 作で快適な測定を実現します。 （文字色 / バックカラー）

6 周波数で選べる 5 モデル インピーダンスアナライザ　IM7580A 測定周波数　　1 MHz 〜 300 MHz 測定範囲 　　　L : 0.0531 nH ～ 0.795 mH 　　　　　　 C : 0.1061 pF ～1.59 μF 　　　　　　　　　　　（測定周波数による） 測定信号レベル　 -40.0 dBm ～ +7.0 dBm 基本確度　　　 Z : 0.72% rdg. θ: 0.41° インピーダンスアナライザ　IM7581 測定周波数　　100 kHz 〜 300 MHz 測定範囲 　　　L : 0.0531 nH ～7.95 mH 　　　　　　 C : 0.1061 pF ～15.9 μF 　　　　　　　　　　　（測定周波数による） Photo: IM7581 測定信号レベル　 -40.0 dBm ～ +7.0 dBm 基本確度　　　 Z : 0.72% rdg. θ: 0.41° インピーダンスアナライザ　IM7583 測定周波数　　1 MHz 〜 600 MHz 測定範囲 　　　L : 0.0265 nH ～ 0.795 mH 　　　　　　 C : 0.0531 pF ～1.59 μF 　　　　　　　　　　　（測定周波数による） 測定信号レベル　 -40.0 dBm ～ +1.0 dBm 基本確度　　　 Z : 0.65% rdg. θ: 0.38° インピーダンスアナライザ　IM7585 測定周波数　　1 MHz 〜 1.3 GHz 測定範囲 　　　L : 0.0123 nH ～ 0.795 mH 　　　　　　 C : 0.0245 pF ～1.59 μF 　　　　　　　　　　　（測定周波数による） 測定信号レベル　 -40.0 dBm ～ +1.0 dBm 基本確度　　　 Z : 0.65% rdg. θ: 0.38° Photo: IM7585 インピーダンスアナライザ　IM7587 測定周波数　　1 MHz 〜 3 GHz 測定範囲 　　　L : 0.0053 nH ～ 0.795 mH 　　　　　　 C : 0.011 pF ～1.59 μF 　　　　　　　　　　　（測定周波数による） 測定信号レベル　 -40.0 dBm ～ +1.0 dBm 基本確度　　　 Z : 0.65% rdg. θ: 0.38° 5 つのモデルで幅広い測定周波数に対応 IM7580A 1MHz 〜 300 MHz IM7581 100 kHz 〜 300 MHz IM7583 1MHz 〜 600 MHz IM7585 1MHz 〜1.3GHz IM7587 1MHz 〜 3GHz 100 kHz 1MHz 10 MHz 100 MHz 1GHz 3GHz

7 2つのモードで測定する 測定項目は、4 つのパラメータまで同時に表示が可能。 Z インピーダンス G コンダクタンス Rp 等価並列抵抗 Cp 等価並列容量 Y アドミタンス B サセプタンス Ls 等価直列インダクタンス D 損失係数 tanθ θ 位相角 Q Q ファクタ Lp 等価並列インダクタンス V モニタ電圧 ※ X リアクタンス Rs 等価直列抵抗 ESR Cs 等価直列容量 I モニタ電流 ※ ※ アナライザモードのみ ＬＣＲモード 任意の周波数とレベルの信号を、測定したい試料に印加して測定します。コンデンサ、コイルなどの受動素子の評価に適しています。 コンパレータ測定　一つの判定基準を元に試料の良否判定を行います。 HI 上限値 - HI を表示 ディスプレイ拡大表示機能 IN 基準値 - IN を表示 測定値を拡大表示して、 LO 下限値 - LO を表示 生産ラインなどの現場で 上下限値判定 : 上下限値を設定します。 見やすく表示。 パーセント判定 : 基準値に対する割合で上下限値を設定 偏差パーセント判定 : 基準値に対する割合で上下限値を設定 　　　　 　　　　測定値は基準値からのずれ（Δ％）表示 BIN 測定　 モニタ機能複数の判定基準で試料のランク分けを行います。 部品に印加されている BIN1 BIN2 BIN3 BIN4 BIN5 ・・ BIN10 測定信号レベルをリア ルタイム表示。 IN 判定基準範囲 BIN ごとに上下限値を設定し、最大10 分類まで ランク分けをおこないます。 モニタ電圧：0.0 mV - 1000.0 mV ※上下限値の設定はコンパレータと同じです モニタ電流：0.000 mA - 20.000 mA アナライザモード 測定周波数、測定信号レベルを掃引させながら測定できます。周波数特性やレベル特性の確認に適しています。 通常 / セグメント掃引　周波数 , レベルを掃引して試料の特性を見ます。 多彩な表示機能 通常 掃引項目 ( 周波数またはレベル ) 掃引範囲、掃引点数、測定条件 を設定し測定します。 セグメント セグメントごとに掃引項目、掃引 範囲、掃引点数、測定条件を設 定して測定することができます。 掃引項目 周波数 / 信号レベル（パワー , 電圧 , 電流） 掃引点 / セグメント数 最大 801 点 / 最大 20 セグメント ( 合計 801 点 ) 測定条件設定項目 周波数 / レベル / スピード / アベレージ 測定に合わせてグラフ表示の切り替えが可能。 インターバル掃引　条件を固定し時間経過による試料の特性を見ます。 （全 7 種類） ○ 掃引グラフ（ 1グラフ/ 4 グラフ表示） 測定条件設定項目 周波数 / レベル / スピード / アベレージ ○ XY グラフ表示（ 1グラフ/ 2 グラフ表示） タイムインターバル 0s ～1000s ○ マルチ表示（ 掃引、XY を同時表示） 掃引点 / セグメント数 最大 801ポイント / 最大 20 セグメント ( 合計 801 点 ) ○ リスト表示　　○ ピーク表示

8 スマートな測定と解析に 測定、測定結果の確認、測定値の判定に便利な機能。 ■ アナライザモードで使える機能 ● LCR モードで使える機能 連続測定機能 ■ ● 組合わせて最大 46 個まで連続測定が可能。外部制御端子 （ハンドラインタフェース　EXT I/O）からの実行も可能です。 パネルセーブ機能で保存した測定条件の順に、連 続で測定をおこないます。 アナライザモードのパネルを選択すると波形を表示します LCR/ アナライザモードの測定条件を組み合わせ た測定も可能です。 A B C B C パネルセーブ・ロード機能 LCR モード、アナライザモードで設定した測定条件、 補正値、補正条件の保存、読み込みが可能です。 パネルセーブ可能数 LCR モード測定条件 30 個 A 連続測定に設定したパネル No. / B 測定値 / C 各パラメータの判定結果 アナライザモード測定条件 16 個 測定値サーチ機能 ■ 1掃引の測定結果に対し、所定の測定値ポイントに 自動でカーソルを移動できます。 サーチ設定種類 最大値 カーソルを最大値に移動 C 最小値 カーソルを最小値に移動 ターゲット 任意で設定した測定値箇所に移動 A 極大値 カーソルを極大値に移動（フィルタの設定可能） 極小値 カーソルを極小値に移動（フィルタの設定可能） B オートサーチ機能 掃引測定終了後、自動で設定にしたがってカーソル A カーソル / B サーチ結果点 / C 結果点測定値 を移動します。

9 スマートな測定と解析に コンパレータ機能 ■ エリア判定 1 掃引全体の判定に 上限値と下限値の範囲を設定し、判定結果を IN/NG で 任意で設定した判定エリアに測定値が入っているかを 表示します。 確認できます。良品判定に適した機能です。 判定エリア IN 判定 - エリア内 NG 判定 - エリア外 ピーク判定 共振点の判定に 上限値 ,下限値 , 左限値 , 右限値で範囲を設定し、 判定結果を IN/NG で表示します。 エリア判定画面 判定エリア ピーク判定画面 IN 判定 - エリア内 NG 判定 - エリア外 スポット判定 複数周波数の同時判定に 掃引しながら、あらかじめ設定したポイントで判定 スポット判定画面 します。（最大16 ポイント） 等価回路解析機能 ■ 測定結果をもとに下記 5 回路の回路素子の各成分の値 （L/C/R）を解析することができます。　 A R1 C1 C1 C1 L1 L1 R1 L1 R1 C0 L1 C1 R1 L1 C1 R1 A 解析結果 シミュレーション機能 / 残差表示 Z 差分 等価回路解析の結果をもとにシミュレーションを行い、実測値 と比較、解析結果の妥当性を確認できます。 残差表示では実測とシミュレーションの差分を数値で確認で 実測値 シミュレーション値 きます。 周波数

10 効率的で正確な測定のための機能 正確かつ確実な測定をするために必要な機能を多数搭載。 補正機能 正しい値を測定するために、測定前に補正を行います。 オープン/ ショート / ロード校正 インピーダンスアナライザ本体から基準面（テストヘッド端子また は試料接続端子のいずれか）までの校正を行います。 校正キット（オープン、ショート、ロード３つのスタンダード）を 接続し、それぞれの校正データを測定して誤差要因を除去します。 電気長補正 基準面からの測定試料接続面までの電気長を数値で入力し、位相 シフトによる誤差を補正します。 テストヘッド端子 試料接続端子 テストヘッドにフィクスチャを装着する場合、フィクスチャの電気 （校正基準面） （校正基準面） 長を入力する必要があります。 オープン/ ショート補正 テストヘッド 測定試料 校正基準面から試料の接続端子までの誤差要因（フィクスチャ ケーブル（1m または 2m） や測定ケーブルなど）を除去します。 インピーダンスアナライザ本体 コネクタ/ケーブル/テストフィクスチャ コンタクトチェック 測定端子と試料の接続状態を監視できます。 DCR 測定 測定の前後で接触を確認 インダクタ,ビーズ,コモンモードフィルタなどの、直流抵抗値の低 いインダクタンス性部品のコンタクトチェックに適しています。 接触抵抗値の上下限値を設定し判定 確度保証範囲 0.1 Ω - 100 Ω 測定タイミング 測定前 / 測定後 / 測定前後 出力形式 画面表示 / EXT I/O 出力 測定値 ＞ 上限値 - HI を表示 コンタクトチェック・Hi-Z リジェクト機能 DCR 測定 上限値 ≧ 測定値 ≧下限値 - IN を表示 測定値 ＜ 下限値 - LO を表示 Hi-Zリジェクト機能 測定結果で接触状態を判定 波形判定機能 測定中のチャタリング検出に この機能をONにすると、設定した基準に対してインピーダンスの 測定の間、部品と端子が接触状態にあるか確認します。 測定値が高い場合に、測定端子のコンタクトエラーとしてエラー 最初に取り込んだ実効値波形を基準値とし、実効値の変動が設 出力を行います。 定した範囲を超えるとエラーとして出力します。 設定可能範囲 1 Ω - 10000 Ω 設定可能範囲 基準値に対し 0.01％ - 100.0% 出力形式 画面エラー表示 / EXT I/O エラー出力 出力形式 画面エラー表示 / EXT I/O エラー出力

11 ハンドラインターフェース 細やかな外部制御が可能です。 A B 1 TRIG 2 . 判定結果リセット EOM 判定結果をリセットするタイミングを設定できます。 EOM ON : 測定終了信号の立上りで前回の判定結果をリセット 2 リセットON 前回 今回ERR OFF : 前回の判定結果を次回の判定結果出力時まで保持 リセットOFF 前回 今回 TRIG 3 . 測定終了信号 出力方法と出力ディレイ ホールド C 3 EOM パルス C C 測定終了信号の出力方法を PULSE/HOLD から選択できます。 ディレイ D PULSE：測定終了信号が ON 状態の時間を設定できます ERR 前回 今回 HOLD： 測定終了信号がトリガ入力で ON から OFF になります D 判定結果出力から測定終了信号出力までの時間を遅らせること 4 INDEX 信号 ができます。 1 .トリガ入力 タイミングと有効・無効設定 4 .アナログ計測信号 出力ディレイ A トリガの立上がり、立下がりのどちらを入力のタイミングと トリガ同期出力時、測定信号が確実に OFF になってから するか、選択することができます。 アナログ計測信号を出力することができます。 B 測定中のトリガ入力の有効・無効を設定できます。入力を無 トリガ同期出力：測定信号を測定時のみ試料に印加します 効にすることで、チャタリングによる誤入力を防ぐことがで きます。 ソフトウェアフルキーボード 大画面で確実な測定操作 タッチディスプレイにフルキーボード表示機能を搭載。 従来モデルよりも大型のタッチディスプレイで、 各種入力操作が快適・確実におこなえます。 見やすい画面と快適な操作を実現。 同比率での IM3570 と IM7580 シリーズの画面サイズ比較 IM7580s 画面 IM3570 画面 高速な測定と軽快な画面表示 マルチコアCPUにより、高速測定・高速通信と軽快 な画面操作を両立。測定画面を表示したままで、画 面消灯時と同等の高速レスポンスを持つ表示モー ドを搭載。

12 充実したインタフェース 215 mm 61 mm 24 mm 55 mm 200 mm IM7580A / IM7581 付属テストヘッド 64 mm 90 mm 24 mm IM7581 本体正面 IM7587 本体正面 IM7583 / IM7585 / IM7587 付属テストヘッド （※IM7580A と共通） （※IM7583, IM7585 と共通） 268 mm ⒈ GP-IB ※ GP-IB / RS232C は ⒉ RS-232C 　 オプションです ⒊ EXT I/O（ハンドラインタフェース） ⒋ LAN ⒌ USB（ PC 接続用） IM7580A / IM7581 本体側面 348 mm GP-IBインタフェース Z3000 本体背面 RS-232C インタフェース Z3001 IM7583 / IM7585 / IM7587 本体側面 （インタフェースは 5 モデル共通） 測定条件・結果を 豊富なインタフェースで USB に保存 外部制御 製品本体の内部メモリに保存し LAN / USB / GP-IB / RS-232C / た測定データや画面、測定条件 EXT I/O を使って、外部制御を行うこ を USB メモリに保存できます。 とができます。 ※ GP-IB / RS-232C はオプションです LAN GP-IB ( オプション ) EXT I/O コネクタ RJ-45 コネクタ コネクタ 24 ピン D-SUB 37 ピン 使用コネクタ 伝送方式 10BASE-T/100BASE-TX 準拠規格 IEEE-488.1 1987 メス♯ 4-40 インチネジ1000BASE-T 参考規格 IEEE-488.2 1987 DC-37P-ULR( 半田型 ) プロトコル TCP/IP ターミネータ CR+LF,LF 適合コネクタ DCSP-JB37PR( 圧接型 ) 日本航空電子工業社製 USB（PC 接続用） RS-232C ( オプション ) ※詳細は P19 をご覧ください コネクタ USB タイプ B コネクタ D-SUB9 ピン 電気的仕様 USB2.0（High Speed） フロー制御 ソフトウェア 通信速度 9600,19200,38400,57600 bps

13 アプリケーション コモンモードフィルタの測定に 　パネルセーブ & 連続測定 1つの部品に対して 2 通りの方法で測定する場合や測定のポイントごとに補正値・測定条件が違う場合に 自動で補正値と測定条件の切り替えができるため、スムーズに測定が行えます。 1つの部品に対して 2 通りの方法で測定する場合。 連続測定 コモンモード ディファレンシャルモード ２台使用でタクトタイムを1/2 に ... フルラックのスペースに２台置けるコンパクト設計。 2 台同時使用により、タクトタイムを大幅に削減できます。 測定のポイントごとに補正値・測定条件が違う場合。 補正値と測定条件を 順に切り替え ❶ → ❷ → ❸ → ❹ ❹ ❸ ❷ ❶ パワーインダクタの良否判定に 　エリア・ピーク判定機能 コンパレータ機能のエリア・ピーク判定を使用すれば部品の良品、不良品をスムーズに判定することができます。 判定エリアを設定し、エリア内に入っているかを　 確認できます。良品、不良品の判定に適しています。 良品 /IN 不良品 /NG ピーク値に範囲を設定し、 判定を行うこともできます。 エリア判定

14 専用 SMD テストフィクスチャ IM9201 オプション 校正キット IM9905 6 サイズの SMD に対応。3GHz までの高周波測定を簡単・確実に。 2つのデバイスガイドで 6サイズの SMD に対応 デバイスガイド 0603 用 1005 ～ 3225 用 SMD 測定手順 1. デバイスガイドをセットし、適性位置に試料を置く 2. ストッパを外し、プッシャーをおろして試料を固定 プッシャーがデバイス プッシャー デバイスガイド ガイドの試料を押さえる ストッパ ストッパを外す 本体・オプション IM7580 シリーズでテストフィクスチャを使用する 場合は、下記オプションが必要になります。 SMD テストフィクスチャ テストフィクスチャスタンド アダプタ（3.5 mm-7 mm) 校正キット IM9201 （拡大鏡付属） IM9906 IM9905 IM9200 IM9201基本仕様 製品名・形名（発注コード）・価格 使用可能周波数範囲 DC ～ 3 GHz 製品名 形名 価格（税抜き） 測定可能試料 (JIS) 0603, 1005, 1608, 2012, 3216, 3225 （発注コード） 電極構造 底面電極 SMD テストフィクスチャ IM9201 IM9201 ¥650,000 最大入力電圧 ±42 Vpeak (AC+DC) インピーダンス： ±Ze [%] テストフィクスチャ スタンド IM9200 IM9200 ¥50,000 位相 ： ±0.58 × Ze [°] アダプタ (3.5 mm-7 mm) IM9906 IM9906 ¥55,000 Ze = Ae + (Zse / Zx + Yoe × Zx) ×100 追加誤差 Zx : インピーダンス測定値 [Ω] 2 校正キット IM9905 IM9905 ¥350,000Ae：4 × f [%] Zse : (100 + 500 × f) /1000 [Ω] Yoe : (10 + 100 × f) /1000000 [S] f [GHz]

15 測定項目 / 測定条件 連続測定モード LCR モード ：単一条件で測定 下記保存条件を最大 46 通り組合わせ連続で測定 測定モード アナライザモード ：掃引測定， 等価回路解析 測定 LCR モード 30 通り , アナライザモード 16 通り 連続測定モード ：保存された条件で連続測定 Z インピーダンス Rs 等価直列抵抗 ESR Y アドミタンス Rp 等価並列抵抗 スピード / 確度 θ 位相角 Ls 等価直列インダクタンス 測定項目 X リアクタンス Lp 等価並列インダクタンス 測定スピード FAST MED SLOW SLOW2 G コンダクタンス Cs 等価直列容量 アナログ計測時間 0.5 ms 0.9 ms 2.1 ms 3.7 ms B サセプタンス Cp 等価並列容量 アベレージ 設定範囲：1 ～ 256（1 ステップ） Q Q ファクタ D 損失係数 tanδ IM7580A / IM7581…… Z：0.72% rdg. θ：0.41° Z 0.00 m ～ 9.99999 GΩ Rs ±(0.00 m ～ 9.99999 GΩ) 基本確度 IM7583 / IM7585 / IM7587 Y 0.000 n ～ 9.99999 GS Rp ±(0.00 m ～ 9.99999 GΩ) …… Z：0.65% rdg. θ：0.38° θ ±(0.000°～180.000°) Ls ±(0.00000 n ～ 9.99999 GH)Lp ±(0.00000 n ～ 9.99999 GH) 確度保証範囲 100 mΩ ～ 5 kΩ（インピーダンス）表示範囲 X ±(0.00 m ～9.99999 GΩ) G ±(0.000 n ～ 9.99999 GS) Cs ±(0.00000 p ～ 9.99999 GF) 確度保証期間 １年　（調整後確度保証期間：1 年） B ±(0.000 n ～ 9.99999 GS) Cp ±(0.00000 p ～ 9.99999 GF) 端子構造 2 端子構造 Q ±(0.00 ～ 9999.99) D ±(0.00000 ～ 9.99999)Δ％ ±(0.000 ～ 999.999％ ) 確度保証範囲 100 mΩ ～ 5 kΩ 出力インピーダンス 約 50 Ω 補足機能 IM7580A 1 MHz ～ 300 MHz 内部トリガ , 外部トリガ（EXT I/O, インタフェース , 手動）の設定可能 IM7581 100 kHz ～ 300 MHz トリガディレイ：0 s ～ 9 s 範囲 IM7583 1 MHz ～ 600 MHz トリガ機能 トリガ同期出力：安定用ウエイト時間 0 s ～ 9 s IM7585 1 MHz ～1.3 GHz 　　　　　　　INDEX 信号遅延時間 0 s ～ 0.1 s IM7587 1 MHz ～ 3 GHz トリガ種類：シーケンシャル , リピート , ステップ ※1 IM7580A 1.0000 MHz ～ 9.9999 MHz …… 100 Hz ステップ オープン / ショート / ロード校正：本体からテストヘッドまで 測定周波数 10.000 MHz ～ 99.999 MHz …… 1 kHz ステップ 補正機能 オープン / ショート補正：フィクスチャ成分を補正 100.00 MHz ～ 300.00 MHz …… 10 kHz ステップ 電気長補正：0 mm ～100 mm 分解能 IM7581 相関補正：補正係数を入力し表示値を補正する 100.00 kHz ～ 999.99 kHz ……… 10 Hz ステップ コンタクトチェック DCR 測定 , Hi-Z リジェクト機能 , 波形判定機能 （ 1.0000 MHz ～ 300.00 MHz は IM7580A と同じ） ※ 1 アナライザモードのみ IM7583 / IM7585 / IM7587……… 100 kHz ステップ 確度 設定値に対し ±0.01％以下 IM7580A / IM7581 記録 / インタフェース パワー ： - 40.0 dBm ～ +7.0 dBm 測定値のメモリ数 LCR：32000 個　アナライザ：100 掃引 電圧 ： 4 mV ～1001 mV rms 測定条件：LCR30 通り、アナライザ 16 通り 電流 ： 0.09 mA ～ 20.02 mA rms パネルセーブロード機能 補正値のみ：LCR30 通り 範囲 IM7583 / IM7585 / IM7587 測定信号 パワー ： - 40.0 dBm ～ +1.0 dBm インタフェース ハンドラ /USB/LAN/レベル 電圧 ： 4 mV ～ 502 mV rms GP-IB（オプション）/RS-232C（オプション） 電流 ： 0.09 mA ～10.04 mA rms コマンド HIOKI 固有の SCPI ※ パワー / 電圧 / 電流任意の値で設定可能 分解能 0.1 dB ステップ 確度 ±2 dB(23 ℃ ±5 ℃ ), ±4 dB(0 ℃～ 40 ℃ ) ディスプレイ/ 音 キーロック機能 パネルでの操作をロック,　パスコード入力で解除 ビープ音 判定結果、キー操作の ON/OFF 設定 LCR モード ウォームアップ機能 電源投入後 60 分後にメッセージを表示 BIN 測定 : 4 つの測定項目について 10 分類 表示桁数切替え 3/4/5/6 桁 測定 コンパレータ測定 : 4 項目について HI/IN/LO 判定 液晶ディスプレイ ON/OFF モニタ機能 ディスプレイ設定 バックライト明るさ調節 機能 モニタ電圧範囲： 0.0 mV ～1000.0 mV 測定画面バックカラー : ホワイト , ブラック モニタ電流範囲： 0.000 mA ～ 20.000 mA パラメータカラー変更 表示 拡大表示機能： 測定値を拡大して表示 表示器 カラー TFT 8.4inch,　タッチパネル アナライザモード その他 掃引測定 使用温湿度範囲 0 ℃～40℃, 20% rh ～ 80% rh, 結露なきこと 掃引点 801 点（最大）, ポイントディレイ設定可能 保存温湿度範囲 -10 ℃～50℃, 20% rh ～ 80% rh, 結露なきこと 通常掃引：最大 801 点測定 測定 使用場所 屋内使用 , 高度 2000 m 以下 , 汚染度 2セグメント掃引：最大 20 セグメント（トータル 801 点） 電源 / 最大定格電力 AC100 V ～ 240 V(50 Hz/60 Hz), 70 VA タイムインターバル測定 インターバル 0.00000 s ～1000.00 s, 最大 801 ポイント 耐電圧 電源線 - 接地線間 AC1.62 kV 1 分間 等価回路解析：回路モデル 5 種類 適合規格 EMC：EN61326， EN61000 安全性：EN61010 機能 カーソル機能：最大最小値 , ターゲット , 極大小値自動サーチ IM7580A / IM7581 コンパレータ機能：エリア, ピーク, スポット判定 寸法 / 質量 約 215 W×200 H×268 D mm， 約6.5 kg 表示 リスト表示 , グラフ表示 , XY グラフ表示 , 判定結果表示 IM7583 / IM7585 / IM7587 スケーリング：リニア, ログ 約 215 W×200 H×348 D mm， 約8.0 kg 付属品 電源コード×1， 取扱説明書×1， インピーダンスアナライザアプリケーションディスク×1

16 測定確度 Z：±（Ea + Eb）[%] 　 θ：±0.58 ×（Ea + Eb）[ °] 　 規定条件 確度保証温湿度範囲 0℃～ 40℃、20% rh ～ 80% rh（結露なきこと）※30℃以上は湿球温度 27℃以下 ただし、校正時の温度から ±5℃以内 確度保証期間 1 年　（ただし、オープン / ショート / ロード校正が有効な時） オープン/ショート/ ロード校正 有効期間 校正実施から 24 時間以内 ウォームアップ時間 60 分以上 測定条件 オープン / ショート / ロード校正を実施した周波数、パワー、スピードのポイント IM7580A / IM7581 Ea = 1.0 + Er　（周波数：100kHz ～ 999.99kHz） Ea = 0.5 + Er　（周波数：1MHz ～ 300MHz） α 周波数 信号レベル Er FAST MED SLOW SLOW2 -7 dBm ～ +7 dBm α 0.24 0.18 0.15 0.12 100 kHz ～ 999.99 kHz -40 dBm ～ -7.1 dBm 3 × 10 (-0.043P + α) -1.3 -1.4 -1.5 -1.6 -7 dBm ～ +7 dBm α 0.09 0.06 0.036 0.03 1 MHz ～100 MHz -40 dBm ～ -7.1 dBm 3 × 10 (-0.046P + α) -1.8 -2 -2.15 -2.3 -7 dBm ～ +7 dBm α 0.108 0.078 0.039 0.036 100.01 MHz ～ 300 MHz -40 dBm ～ -7.1 dBm 3 × 10 (-0.048P + α) -1.75 -1.9 -2.1 -2.25 P : パワーの設定値 [dBm] ( ZsEb = + Yo・Zx )×100 [%]　 (｜ Z x｜ : Z の測定値　単位 [Ω])Zx （ Zsk + Zsr + 0.5 × F ） Zs = 1000 [Ω] 　( F : 測定周波数 [MHz] ) 周波数 Zsk 100 kHz ～ 999.99 kHz 50 1 MHz ～ 300 MHz 20 α 周波数 信号レベル Zsr FAST MED SLOW SLOW2 -7 dBm ～ +7 dBm α 36 27 21 15 100 kHz ～ 999.99 kHz -40 dBm ～ -7.1 dBm 3 × 10 (-0.042P + α) 0.9 0.8 0.7 0.6 -7 dBm ～ +7 dBm α 13.5 9 5.1 3.9 1 MHz ～ 300 MHz -40 dBm ～ -7.1 dBm 3 × 10 (-0.048P + α) 0.36 0.2 0 -0.15 P : パワーの設定値 [dBm] （ Yok + Yor + 0.15 × F ） Yo = [S] 　( F : 測定周波数 [MHz] )1000000 周波数 Yok 100 kHz ～199.99 kHz 120 200 kHz ～ 300 MHz 30 α 周波数 信号レベル Yor FAST MED SLOW SLOW2 -7 dBm ～ +7 dBm α 15 12 6.6 5.4 100 kHz ～ 999.99 kHz -40 dBm ～ -7.1 dBm 6 × 10 (-0.043P + α) 0.6 0.5 0.4 0.3 -7 dBm ～ +7 dBm α 7.5 5.7 3.3 2.4 1 MHz ～ 300 MHz -40 dBm ～ -7.1 dBm 3 × 10 (-0.046P + α) 0.1 0 -0.2 -0.4 P : パワーの設定値 [dBm]

17 IM7583 / IM7585 / IM7587 Ea : Ea 周波数 信号レベル FAST MED SLOW SLOW2 +1 dBm 0.581 0.557 0.532 0.524 1 MHz ～100 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 1.005 0.815 0.71 0.63 -40 dBm ～ -23 dBm 3.622 2.501 1.7 1.43 +1 dBm 0.652 0.634 0.621 0.616 100.1 MHz ～ 500 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 0.858 0.769 0.71 0.678 -40 dBm ～ -23 dBm 1.72 1.336 1.06 0.85 +1 dBm 0.86 0.841 0.823 0.818 500.1 MHz ～1300 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 1.093 0.988 0.92 0.881 -40 dBm ～ -23 dBm 2.068 1.625 1.31 1.16 +1 dBm 2.066 2.037 2.025 2.02 1300.1 MHz ～1800 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 2.381 2.228 2.128 2.113 -40 dBm ～ -23 dBm 5.773 4.156 3.423 3.133 +1 dBm 4.539 4.5 4.46 4.437 1800.1 MHz ～ 3000 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 4.867 4.753 4.608 4.547 -40 dBm ～ -23 dBm 9.748 7.682 6.468 5.874 Zs Eb = ( + Yo・Zx )×100 [%]　 (｜ Z x｜ : Z の測定値　単位 [Ω])Zx （ Zsr + 0.5 × F ） Zs = [Ω] 　( F : 測定周波数 [MHz] )1000 Zsr 周波数 信号レベル FAST MED SLOW SLOW2 +1 dBm 41.7 37.6 34.3 32.3 1 MHz ～ 300 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 75.4 62.9 49.4 43.1 -40 dBm ～ -23 dBm 495.66 293.25 185.7 142.05 +1 dBm 61.7 57.6 54.3 52.3 300.1 MHz ～1000.0 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 95.4 82.9 69.4 63.1 -40 dBm ～ -23 dBm 515.66 313.25 205.7 162.05 +1 dBm 111.7 107.6 104.3 102.3 1000.1 MHz ～1300 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 145.4 132.9 119.4 113.1 -40 dBm ～ -23 dBm 565.66 363.25 255.7 212.05 +1 dBm 112.8 108.7 104.7 103.9 1300.1 MHz ～1800 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 145.4 132.9 119.4 113.1 -40 dBm ～ -23 dBm 565.66 363.25 255.7 212.05 +1 dBm 212.8 208.7 204.7 203.9 1800.1 MHz ～ 3000 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 245.4 232.9 219.4 213.1 -40 dBm ～ -23 dBm 665.66 463.25 355.7 312.05 （ Yor + 0.15 × F ） Yo = [S] 　( F : 測定周波数 [MHz] )1000000 Yor 周波数 信号レベル FAST MED SLOW SLOW2 +1 dBm 15.6 13.8 12.3 11.8 1 MHz ～ 300 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 48 35.6 25.5 21.7 -40 dBm ～ -23 dBm 277.15 193.45 122.5 87.1 +1 dBm 35.6 33.8 32.3 31.8 300.1 MHz ～1000.0 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 68 55.6 45.5 41.7 -40 dBm ～ -23 dBm 297.15 213.45 142.5 107.1 +1 dBm 45.6 43.8 42.3 41.8 1000.1 MHz ～1300 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 78 65.6 55.5 51.7 -40 dBm ～ -23 dBm 307.15 223.45 152.5 117.1 +1 dBm 75.6 73.8 72.3 71.8 1000.1 MHz ～1300 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 108 95.6 85.5 81.7 -40 dBm ～ -23 dBm 337.15 253.45 182.5 147.1 +1 dBm 143.2 140.2 135.9 134.6 1000.1 MHz ～1300 MHz -22.9 dBm ～ +0.9 dBm 168 155.6 145.5 141.7 -40 dBm ～ -23 dBm 397.15 313.45 242.5 207.1

18 簡易確度確認チャート IM7580A / IM7581（-7dBm ～ +7dBm, SLOW2 の時） IM7583 / IM7585 / IM7587（+1dBm, SLOW2 の時） 100 10 H 1 H 1 H 0pF 1m p μ H 0 μ H F 10 0 1pF 10 μ p 00 1p 0μ 0F 1 F 1 fF 1μ H 100 10 H 00 0n H pF 1μ pF 10 1000 0.001 1000 0.001 0. H 10 0n 00 nH1μ 0 0 0F 1 pF 1 100 0.01 100 0.01 0.1 nH 0.0 μ 10 1F μ nH F 1 10 0.1 10 0.1 1 0 Hμ nH .1μ 00 p F 1 F 1 1 1 1 1 1 pH0 Hμ 10 0 0.8 % 1μ 10 p 0.8 % F F 1 % 1 % 0.1 10 2 % 0.1 10 2 % 0.1 1 10 100 5 % 1 10 100 1000 5 % 測定周波数 [MHz] 10 % 測定周波数 [MHz] 10 % 測定可能範囲 L 測定可能範囲 C 測定可能範囲 100 m 100 u 10 m 10 u 1 m 1 u 100 u 100 n 10 u 10 n 1 u 1 n 100 n 100 p 10 n 10 p 1 n 1 p 100 p 100 f 10 p 10 f 1 p 1 f 0.01 0.1 1 10 100 1000 10000 0.01 0.1 1 10 100 1000 10000 周波数 [ MHz ] 周波数 [ MHz ] L [ H ] Z [Ω] Y [S] C [ F ] Z [Ω] Y [S]

19 EXT I/O ハンドラインタフェース信号一覧 19 18 17 16 15 14 13 12 11 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 ピン I/O 信号名 1 IN TRIG 37 36 35 34 33 32 31 30 29 28 27 26 25 24 23 22 21 20 2 IN 未使用 3 IN 未使用 4 IN LD1 信号名 機能 5 IN LD3 TRIG 外部トリガ 6 IN LD5 LD0 ～ LD6 パネル No. 選択 7 IN 未使用 EOM 測定終了信号 8 - ISO_5V INDEX 計測終了信号 9 - ISO_COM 10 OUT ERR ERR 検出レベル異常時 11 OUT PARA1-HI,BIN1,PARA1-NG LD_VALID パネルロード実行 12 OUT PARA1-LO,BIN3,PARA2-NG ISO_5V 絶縁電源 5V 入力 13 OUT PARA2-IN,BIN5,PARA3-NG ISO_COM 絶縁電源コモン 14 OUT AND,BIN7 15 OUT PARA3-IN,BIN9,PARA4-IN PARA1-HI ～ PARA4-HI コンパレータ判定結果が HI 判定 16 OUT PARA4-HI PARA1-IN ～ PARA4-IN コンパレータ判定結果が IN 判定 17 OUT PARA4-LO PARA1-LO ～ PARA4-LO コンパレータ判定結果が LO 判定 18 OUT 未使用 OUT_OF_BINS BIN 判定結果 19 OUT OUT_OF_BINS,CIRCUIT_NG 20 IN 未使用 BIN1-BIN10 BIN 判定振分け BIN1 ～ BIN10 21 IN 未使用 CIRCUIT_NG 等価回路解析のコンパレータ判定結果 22 IN LD0 PARA1-NG ～ PARA4-NG PEAK 判定結果 23 IN LD2 PARA1-IN ～ PARA3-IN PEAK 判定結果 24 IN LD4 25 IN LD6 4 つのパラメータ測定値の判定結果の AND AND をとった結果を出力 26 IN LD_VALID （判定結果が全て IN の時に出力） 27 - ISO_COM 28 OUT EOM 29 OUT INDEX D-SUB 37 ピン DC-37P-ULR(半田型 ) 使用コネクタ 適合コネクタ DCSP-JB37PR( 圧接型 ) 30 OUT PARA1-IN,BIN2,PARA1-IN メス♯ 4-40 インチネジ 日本航空電子工業社製 31 OUT PARA2-HI,BIN4,PARA2-IN 32 OUT PARA2-LO,BIN6,PARA3-IN フォトカプラ絶縁　無電圧接点入力入力信号 33 OUT PARA3-HI,BIN8,PARA4-NG 入力 ON 電圧：0 ～ 0.9 V/ 入力 OFF 電圧：OPEN または 5 V ～ 24 V 絶縁 NPN オープンコレクタ出力 34 OUT PARA3-LO,BIN10 電気的仕様 出力信号 最大負荷電圧：30 V/ 最大出力電流：50 mA/ch 35 OUT PARA4-IN 残留電圧：1 V 以下（10 mA），1.5 V 以下（50 mA） 36 OUT 未使用 電圧：4.5 V ～ 5 V/ 最大出力電流：100 mA 37 OUT 内蔵絶縁電源未使用 保護接地電位および測定回路からフローティング タイミングチャート LCR モード測定タイミング例 アナライザモード測定タイミング例 接続状態 チャック 解放 チャック 接続状態 チャック 解放 チャック TRIG TRIG （測定開始信号） ON OFF ON OFF （測定開始信号） ON OFF ON OFF EOM （測定終了信号） ON EOM ON （測定終了信号） INDEX ON OFF ON ON OFF ON （アナログ計測終了信号） INDEX（アナログ計測終了信号） （判定結果出力） （判定結果出力） 前回判定 前回判定 ERR 結果 判定結果 結果 判定結果ERR （エラー信号） （エラー信号） LD_VALID LD_VALID LD0～LD6 LD0～LD6 ※このタイミング例では TRIG 信号の有効エッジは立ち下がり（ON）に設定されています EOM : OFF トリガが入ってから測定処理が終わるまで INDEX : OFF プローブチャック期間（プローブを離してはいけない）

本体価格 製品名・形名（発注コード）・価格 製品名 接 続 形名 本体価格 （測定周波数） ケーブル長 （発注コード） （税抜き） インピーダンスアナライザ IM7580A 1 m IM7580A -1 ¥1,400,000 (1 MHz ～ 300 MHz) 2 m IM7580A - 2 ¥1,450,000 インピーダンスアナライザ IM7581 1 m IM7581- 01 ¥1,700,000 (100 kHz ～ 300 MHz) 2 m IM7581- 02 ¥1,750,000 インピーダンスアナライザ IM7583 1 m IM7583 - 01 ¥1,700,000 (1 MHz ～ 600 MHz) 2 m IM7583 - 02 ¥1,750,000 Photo: IM7581 インピーダンスアナライザ IM7585 1 m IM7585 - 01 ¥2,300,000 (1 MHz ～1.3 GHz) 2 m IM7585 - 02 ¥2,350,000 インピーダンスアナライザ IM7587 1 m IM7587- 01 ¥2,700,000 (1 MHz ～ 3 GHz) 2 m IM7587- 02 ¥2,750,000 本体構成品： 製品本体, テストヘッド, 接続ケーブル 　　付属品： 電源コード, 取扱説明書, 　　　　　　 インピーダンスアナライザアプリケーションディスク テストフィクスチャ・プロー 付属のソフトで ブは本体には付属しません。 確度計算 専用のテストフィクスチャが 測定条件と測定結果を Photo: IM7587 必要になります。 入力すると、測定確度を （本カタログ P14 参照） 自動で計算します。 ソフトは弊社 HP からも 無料でダウンロードいた だけます。 オプション インタフェース GP-IB インタフェース Z3000 GP-IB 接続ケーブル 9151-02 RS-232C インタフェース Z3001 RS-232C ケーブル 9637 ¥50,000 ( 税抜き ) ケーブル長： 2m ¥40,000 ( 税抜き ) ケーブル長：1.8m ¥ 28,000 ( 税抜き ) ¥1,500 ( 税抜き ) ※ RS-232C ケーブルはインタリンク対応のクロスケーブルが使用できます お問い合わせは ... 本 社 〒386-1192 長野県上田市小泉81 製品に関するお問い合わせはこちら 本社 カスタマーサポート 0120-72-0560 （9:00 〜12:00, 13:00 〜17:00, 土・日・祝日を除く） 0268-28-0560　 info@hioki.co.jp 詳しい情報はWEBで検索 HIOKI ■本カタログの記載内容は 2018 年 10 月 1日現在のものです。 ■本カタログ記載の仕様、価格等はお断りなく改正・改訂することがあります。 ■本カタログで使用している会社名および製品名は、各社の登録商標もしくは商標です。 校正書類について 校正書類は別途ご発注をお願いします。海外へ持ち出しされる場合は注意事項があります。詳しくは弊社 HP をご確認ください。 販売店の皆様へ ご注文・修理・校正のご用命は本社受注センターまで。 TEL 0268-28-1688 FAX は弊社営業拠点と共有で受信できますので、担当営業拠点宛にお願いします。 series_IM7580J7-8XB