プラズマ処理効果の「見える化」がわかる！お役立ち資料3点セット

お問合せ 〒578-0901 東大阪市加納 7- 18-47 PI事業部 TEL（. 072）873-5507 FAX（. 072）875-5527 E-mail: sjk@craypas.co.jp https://plazmark.craypas.co.jp 2021.12　ver.6.0J

プラズマインジケータTM、 PLAZMARKⓇは PAT.P ラジカルやイオンを検知して プラズマ強度に応じて変色 変色する評価ツールです。 高額な装置や熟練作業は不要です。 イメージキャラクター 「電離超人 キャプテン・プラズマ」 プラズマ処理前 プラズマ処理後 Webサイトで漫画をチェック!! ※PLAZMARK O2クリーニング用、Arクリーニング用の例 プラズマ処理効果を「色」で簡単に評価できます。 様々な分野でお使いいただいています。 ※PLAZMARK 耐熱性ラベル、ウエハ型セラミックの例 PAT.P プラズマ処理前 プラズマ処理 Semiconductor Automotive Display Medical 豊富なラインナップで、 CI2・SF6 など CF4 O2 H2・Ar など 多種多様な現場を 支えます!! ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 1 2

エレクトロニクス業界でも 商品ラインナップ 大気圧プロセス プラズマは多用されてます。 〔 シリーズ名 〕 例えばスマートフォンでは… 大気圧プラズマ用 分解すると P.7 プ ラ ズ LCD マ 各種シート 処 理 O2クリーニング用 ・ 表面改質 コーティング前のクリーニング セル・モジュール組立前の洗浄 ・ 洗浄 etc. 接合部の表面改質 接合部の表面改質 Arクリーニング用 TFT形成プロセス P.8～P.10 カメラモジュール プリント配線版 通信モジュール 回路基板 チューナー マイク LEDバックライト 減圧プロセス 各種センサー メッキ前の表面改質 モジュール化前の デスミア用 プ デスミア処理 クリーニング ラ デスカム処理 部品実装・アンダーフィル 前のクリーニング P.11 ズ 接合部の 接合部の表面改質 マ 表面改質 処 理 ICチップ センサーチップ etc. LEDチップ ・ 前処理 ・ クリーニング 耐熱性 ・ 表面改質 etc. P.12 封止前のクリーニング 封止前のクリーニング 接合部の表面改質 接合部の表面改質 ウエハプロセス 素子形成 素子形成 ウエハ型 プ ラ P.13～P.14 ズ マ 処 理 シリコン基板 サファイア基板 ガラス基板 ・ エッチング ・ アッシング etc. ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 3 4

プラズマ見える化 分布測定にPLAZMARKⓇ カード型 PLAZMARKⓇ 活用法 ●分光器 発光分析では見ることが カード型 難しいプラズマの分布を 簡単に評価できます。 工程管理の効率アップにPLAZMARKⓇ ウエハ型 プラズマ処理前 プラズマ処理後 プラズマ処理前 プラズマ処理後 ●プローブ プローブ測定よりも ウエハ型 もっと広範囲に（ウエハ全面で） 分布評価できます。 段差計＝装置が高い こんな場所にもPLAZMARKⓇ 接触角計＝ 天秤＝手間がかかる バラツキが多い、手間がかかる 色 目 プラズマ処理前 プラズマ処理後 差 視 ピッ！ 測 で 定 簡 も 単 簡 、 単 フレキシブルな接着層付フィルムを 異常放電の検出にも 灰紫色 暗緑色 緑色 使用していますので、基板表面や装置内に 3次元形状のワーク上での 自由に貼り付け評価できます。 プラズマ分布の測定が可能。 機差把握にPLAZMARKⓇ プラズマ評価方法比較表 1 2 3 プラズマ評価方法 コスト 操作 分布評価 特徴 PLAZMARKⓇ ◎ ◎ ◎ 判定記録が残る、面内分布評価が容易 電気的測定 △ △ △ 手間暇がかかる、面内分布測定が限定的 緑色 暗緑色 灰紫色 ●処理工程の条件出し ●定期的な装置の性能確認 光学的測定 △ ○ × 視野確保が必要、空間分解能がない 条件調整 条件調整 ●メンテナンス前後の性能確認 膜厚測定 △ ○ ◎ 高額な装置が必要 ●同一ラインの装置間個体差の把握 ●形式違い・メーカー違いの機差 接触角測定 ○ △ △ ばらつきが大きい 緑色 緑色 ●拠点間の差　…etc. ぬれ試薬 ◎ ◎ × 判定記録が残らない、ばらつきが大きい ※PLAZMARK、プラズマ見える化は（株）サクラクレパスの登録商標です。 5 6

大気圧プラズマ用 O2クリーニング用／Arクリーニング用 常圧処理工程／洗浄工程向け 実装工程／後工程向け 大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現 各種クリーニングや表面処理など、様々な目的で使用可能な ●プリント配線板製造／ＦＰＤ製造／フィルム加工など、 電極 汎用性の高いベーシックなタイプ 大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適して ●めっき前の表面改質 います。また、樹脂接着前の表面改質などのスポット照射 プラズマ にも最適。 ●ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど 接合面のクリーニング ●ＵＶ洗浄・ＵＶオゾン洗浄にも適用できます。 インジケータ ●部品実装後のアンダーフィル前表面改質 ●LSI、メモリ、MEMS、LED等電子デバイスの封止前の クリーニング 変色性能 感度を2種類用意 PAT.P 未処理 300mm/sec 100mm/sec 60mm/sec 40mm/sec 25mm/sec 高速処理用 電極 高感度品 PAT.P No.41 Air+N2 プラズマ インジケータ 低速処理用 低感度品 プラズマ プラズマ 処理速度 No.42 処理前 処理後 高密度ラジカル大気圧プラズマ装置【N2＋Dry Air】 色差と接触角との相関（処理基板：ガラス） 大面積プラズマ装置【N2＋O2】 貼りつけ可能な ロングラベル形状 25 20 ラインナップ 15 置くだけ 10 O2クリーニング用 感度 カード形状 No.41 3種類 5 O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル 0 性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。 0 10 20 30 40 50 接触角（deg） 大面積分布評価用 （Arプラズマでも変色する場合があります。） シート形状 O2ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗 検知性能 シリーズ名 ★ 形状 耐熱性 構成 サイズ 入数 略号 浄にも適用できます。 対応ガス（プラズマ種） 感度 ロング ラベル 本　体：35×300×0.2mm 20枚 PLL0430-41 貼り付け可能な No.41 （貼付可能） 検知部：300×15mm ラベル形状 （高感度） 本　体：210×300×0.2mm PLAZMARKⓇ シート 検知部：190×300mm 5枚 PLC2130-41 大気圧プラズマ用 O2, N2, Air 100℃ 本　体：クリーンペーパー ロング 検知部：有機色材、レジン ラベル 本　体：35×300×0.2mm Arクリーニング用 感度 4種類 No.42 （貼付可能） 検知部：300×15mm 20枚 PLL0430-42 （低感度） シート 本　体：210×300×0.2mm 検知部：190×300mm 5枚 PLC2130-42 O2クリーニング用では検知しにくいイオン性のAr プラズマを効率よく検知できるインジケータです。 ※感度について：各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間の No. 小 感度 高 ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガス プラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。 No. 大 感度 低 との混合系では、O2クリーニング用のほうが適して ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 います。 大面積分布評価用 シート形状 7 8 処理前との色差⊿E*ab

O2クリーニング用 Arクリーニング用 O2クリーニング用　変色性能 Arクリーニング用　変色性能 各感度の変色性能比較（カード型） 接触角測定との比較例 各感度の変色性能比較（カード型） Au膜エッチングレートとの相関例（Arクリーニング用） ※RFプラズマ装置：g線レジストエッチングレート11.5nm/分 低周波プラズマ装置 ※RFプラズマ装置（RIEモード） ※ICP装置 30 30 90 40 30 No.1 色差 25 25 80 No.20 No.21 25 No.22 カード型 接触角 30 No.22 No.23 20 20 70 20 15 15 60 20 15 10 No.1 10 50 10 No.2 10 5 No.3 5 40 5 0 0 30 0 0 0 20 40 60 80 100 120 140 0 10 20 30 40 50 0 50 100 150 200 250 300 350 0 10 20 30 40 処理時間（分） 処理時間（分） 処理時間（秒） Auエッチングレート（nm/分） 面内均一性評価への応用 チャンバー内分布評価の使用例（Arクリーニング用ラベル型） ■色差マッピング例 ⊿E*ab ●ラベル型であればテープ等を O2プラズマ 30 使うことなく手軽に貼り付け 可能です。 20 10 O2クリーニング用 No.1シート 仕　様 色調変化で面均一性を評価可能 中心と周辺で 差がみられる 0 検知性能 シリーズ名 ★ 形状 耐熱性 構成 サイズ 入数 略号 対応ガス（プラズマ種） 感度 カード 100枚 PLC0207-20 仕　様 本　体：20×70×0.2mm No.20 ラベル 本　体：PETフィルム 検知部：φ11mm （超高感度） （貼付可能） 検知部：有機色材、レジン 100枚 PLL0207-20 検知性能 シリーズ名 ★ 形状 耐熱性 構成 サイズ 入数 略号 シート 本　体：A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部：190×260mm 5枚 PLC2130-20 対応ガス（プラズマ種） 感度 カード 100枚 PLC0207-01 カード 100枚 PLC0207-21 本　体：20×70×0.2mm 本　体：20×70×0.2mm No.1 ラベル 本　体：PETフィルム 検知部：φ11mm （高感度） （貼付可能） 検知部：有機色材、レジン 100枚 PLL0207-01 No.21 ラベル 本　体：PETフィルム 検知部：φ11mm Arをはじめとする （高感度） （貼付可能） 検知部：有機色材、レジン 100枚 PLL0207-21 イオン主体の シート 本　体：A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部：190×260mm 5枚 PLC2130-01 プラズマ用 PLAZMARKⓇ シート 本　体：A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部：190×260mm 5枚 PLC2130-21 O2をはじめとする Arクリーニング用 100℃ ラジカル主体の カード 100枚 PLC0207-02 O2クリーニング 用で検知困難な カード 100枚 PLC0207-22 プラズマ用 本　体：20×70×0.2mm 本　体：20×70×0.2mm PLAZMARKⓇ Ar等の希ガス No.2 ラベル 100℃ 本　体：PETフィルム 検知部：φ11mm O2クリーニング用 O （貼付可能） 検知部：有機色材、レジン 100枚 PLL0207-02 No.22 ラベル 本　体：PETフィルム 検知部：φ11mm （中感度） （貼付可能） 検知部：有機色材、レジン 100枚 PLL0207-22 2, N2, Air, （中感度） CF4, H2, NH3, ( Ar ) シート 本　体：A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部：190×260mm 5枚 PLC2130-02 シート 本　体：A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部：190×260mm 5枚 PLC2130-22 カード 100枚 PLC0207-03 カード 100枚 PLC0207-23 本　体：20×70×0.2mm 本　体：20×70×0.2mm No.3 ラベル 本　体：PETフィルム 検知部：φ11mm （低感度） （貼付可能） 検知部：有機色材、レジン 100枚 PLL0207-03 No.23 ラベル 本　体：PETフィルム 検知部：φ11mm （低感度） （貼付可能） 検知部：有機色材、レジン 100枚 PLL0207-23 シート 本　体：A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部：190×260mm 5枚 PLC2130-03 シート 本　体：A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部：190×260mm 5枚 PLC2130-23 ※感度について：各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間の No. 小 感度 高 ※感度について：各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間の No. 小 感度 高 プラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。 No. 大 感度 低 プラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。 No. 大 感度 低 ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 9 10 処理前との色差⊿E*ab 処理前との色差⊿E*ab ポリエチレン板に対する水の接触角（deg） 処理前との色差⊿E*ab 処理前との色差⊿E*ab

デスミア用 耐熱性 概　要 高温プロセス向け 面倒な重量測定なしで 色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、 プラズマデスミア工程の管理が可能 ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現 ●プリント配線板ビアホールのプラズマデスミア用のインジケータ PLAZMARKⓇ です。 耐熱性ラベル型 ●プラズマデスミアで代表的なO2＋CF4系ガスに対応しています。 保護フィルム ●フレキシブル性、接着性があり ●他のPLAZMARK®ラインナップがレンジオーバーしてしまう ますので、基板表面や装置内に 高出力長時間の強力なプラズマ処理にもお使いいただけます。 自由に貼り付け評価できます。 検知部（変色色材） ●貼付が可能なラベル型です。 剥離フィルム 基材（ポリイミド） ・感度2種類：高感度（No.101）、低感度（No.102） ※ご使用時は保護フィルムをはがしてください。 ●フレキ基板に貼り付けてロールtoロール式プラズマデスミア装置 で搬送処理が可能なフレキシブル性を備えています。 色差とプラズマ電子密度との相関 ラインナップ 【Arプラズマ（ICP装置）】Ar=10Pa, Power=60～200W, Time=90sec. 70 プラズマ電子密度（cm-3）に対する変色性 ●高感度　No.61（レッド）＝ソフトなデスミア処理用 60 ブランク 4.8E+11 7.7E+11 1.1E+12 1.4E+12 ●低感度　No.62（ブルー）＝強めのデスミア処理用 50 高感度 40 （No.101） 30 変色性能 20 低感度 No.101 （No.102） RFプラズマ装置： ポリイミドエッチング量※と 10 No.102 O2+CF4ガス（混合比10:1）, 25Pa, 100W 変色色差の相関性の例 PAT.P 0 60 5.0E+11 1.0E+12 1.5E+12 2.0E+12 処理時間 処理前 電子密度（cm-3） 5分 10分 20分 30分 50分 50 ポリイミド ※ エッチング量 1.0μm 2.0μm 4.0μm 6.0μm 10.0μm 40 各種プラズマに対する変色性 高感度 PAT.P No.61 30 プラズマ プラズマ処理後 20 処理前 Ar O2 H2 CF4 SF6 CI2 低感度 No.61 No.62 10 No.62 0 ※FCCL材(片面銅貼積層板)使用。80×80mmの試験片にして精密天秤による 0 2 4 6 8 重量測定法で算出 ポリイミドエッチング量（μm） 検知性能 検知性能 シリーズ名 ★ 形状 耐熱性 構成 サイズ 入数 略号 シリーズ名 形状 耐熱性 略号 対応ガス（プラズマ種） 感度 対応ガス（プラズマ種）★ 構成 サイズ 入数 感度 No.61 本　体：アルミ箔/PET PLAZMARKⓇ （高感度レッド） PLL0101-61 No.101 ラベル 　　　　貼り合せ複合材 本体（検知部）：12mm×12mm×0.2mm PLAZMARKⓇ H2, CF4, （高感度） PLL0203-101 Ar, O2, 本　体：16mm×25mm×80μm デスミア用 O2+CF4 （貼付可能） 100℃ 検知部：有機色材 ※台紙1枚毎にラベル50枚付 200枚 ラベル No.62 SF6, Cl 200℃ 本　体：ポリイミド 耐熱性 2 No.102 （貼付可能） 検知部：無機色材、レジン 検知部：φ10mm 10枚 （低感度ブルー） 台　紙：PET PLL0101-62 （低感度） PLL0203-102 ※感度について：各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間の No. 小 感度 高 ※感度について：各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間の No. 小 感度 高 プラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。 No. 大 感度 低 プラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。 No. 大 感度 低 ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 11 12 処理前との色差⊿E*ab 処理前との色差⊿E*ab

ウエハ型 ウエハプロセス向け メタルフリータイプ ■プラズマ処理前の写真 （φ4インチ/6インチ/200㎜/300㎜） PAT.P ●ウエハ全面に変色色材を成膜した タイプです。 ●メタルフリータイプは、金属を極限まで 排除。 より高次の清浄性をめざします。 ●放出ガスを低減し、清浄性を高め ています。 ●シリコン半導体の工程など、クリーンな プロセスに適しています。 ●ご使用の基板と同じ形状のインジ ケータを用いることにより、普段 と同じハンドリングで装置に設置 奥：φ300mm でき、簡単に面内分布を可視化で 手前：φ200mm きます。 ●評価システム ■プラズマ処理後の写真とマッピング画像（φ200mm） ※右側が強く照射されるように片寄らせてプラズマ処理した例 PAT.P 変色の結果は専用の『プラズマインジケータ評価システム』で簡単に数値管理すること 100.0 が可能です。 変色色差 ⊿E*ab 目視では確認の困難な軽微な差も認識。 マッピングにより直感的に面内均一性を評 50.0 価できます。 大 φ4インチ、φ6インチ、φ200mm、φ300mmに対応。 0.0 -50.0 ラインナップ 小 加熱前 加熱後 -100.0 セラミックタイプ -100.0 -50.0 0.0 50.0 100.0（mm） （φ4インチ/6インチ/200㎜） RFプラズマ装置 大塚電子製 プラズマインジケータ O2+CF（4 1：1）、20Pa、50W 評価システムを用いた解析結果 ●有機材料を含まないセラミック膜を採 用し、耐熱性を400℃まで高めました。 仕　様 高温プロセスでも安心してご使用いただ けます。 検知性能 シリーズ名 形状 耐熱性 構成 サイズ 入数 略号 耐熱性テストの例 対応ガス（プラズマ種）★ 感度 ●クリーンな設計でLEDやMEMSなどの 本　体： φ4インチ 加熱条件：450℃、30分 (大気雰囲気) 膜　厚： 5μm 1枚 PLW100SI 基　板： シリコン 工程に最適です。 サンプル：4インチ シリコン 検知部： 無機色材 本　体： φ6インチ 膜　厚： 5μm 1枚 PLW150SI PLAZMARKⓇ ウエハ ●基板はシリコンとサファイアの2種類を ウエハ型 Ar, O2, H2, CF4 （オリフラ） SF 1種類 400℃ 本　体： φ4インチ セラミックタイプ 6, Cl2 基　板： サファイア 膜　厚： 5μm 1枚 PLW100SA ラインナップ。 検知部： 無機色材 本　体： φ6インチ 膜　厚： 5μm 1枚 PLW150SA ●プラズマ処理後の色相はガスによって異 ウエハ 基　板： シリコン 本　体： Φ200mm （Vノッチ） 検知部： 無機色材 膜　厚： 10μm 1枚 PLW200SI なります。 本　体： Φ4インチ 膜　厚： 30μm 1枚 PLW100SI-MF ウエハ PLAZMARKⓇ （オリフラ） 本　体： Φ6インチ ウエハ型 O2, CF4, Ar, SF 膜　厚： 30μm 1枚 PLW150SI-MF 6 etc. 1種類 250℃ 基　板： シリコン 検知部： 有機色材、レジン メタルフリータイプ 本　体： Φ200mm ウエハ 膜　厚： 30μm 1枚 PLW200SI-MF （Vノッチ） 本　体： Φ300mm 酸素プラズマによる変色例 膜　厚： 30μm 1枚 PLW300SI-MF ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 13 14

ご利用方法 PLAZMARK®ラインナップ　感度比較イメージ ●プラズマ処理のチェック方法として 処理をしたかどうか、どの程度の処理効果であったかを色の変化で確認することができます。 プラズマインジケータ™ PLAZMARK®は、ラジカルやイオンの密度と照射時間の積算に対応して変色が進行します。 低密度短時間の「弱い処理」から、高密度長時間の「強い処理」までの相対的な強度の変化に対する最適なPLAZMARK®の ●プラズマ処理の面均一性評価 感度比較イメージを下図にまとめました。 シートまたは複数枚のカード/ラベルを使用することで、プラズマ処理の分布を変色のグラデーションとして、処理後ただ ちに目視で確認することができます。 ●変色度合いの評価方法 O2プラズマ処理（真空） 一般に分光光度計・色彩計・色差計などの名称で市販されている装置によって、変色度合いを数値化することができます。 1945328 インジケータのための専用品や推奨品はございません。 5782 1 1 5 6 6 78 49 9 7 3 9 1 03047 76214567 4 8 9 9 8 3 32351 弱 プラズマ処理の強度 強 1457893546●従来の評価方法との併用・置き換え 色 差 接触角測定やエッチング量測定などの測定レンジとインジケータの変色レンジが合っているか確認することが必要です。 変色レンジはお客様がご利用の装置・プラズマ処理条件（ガス種、流量、処理時間、出力など）に依存しますので、基本的に No.1 お客様ご自身でテストしていただく必要があります。 従来法による測定値とインジケータの変色レンジが合ってる場合、検量線を作成することにより、従来法による測定値を O2クリーニング用 従来法 No.2 シリーズ 色差で換算できるようになります。 No.3 No.61 デスミア用シリーズ No.101 No.62 商品のご選択について 耐熱性シリーズ No.102 ●お客様の多様なニーズにお応えできるよう、幅広い商品ラインアップを取り揃 ●感度はまず高感度タイプでお試しいただき、変色が飽和してしまう場合は感度 えています。商品のタイプ／感度／形状の組み合わせになります。 を落とす方向でご検討下さい。 ウエハ型 　最適な商品をお選びいただくために、以下の様な基準をご参考にして下さい。 セラミックシリコン ●形状は、お客様の用途に応じて選定下さい。 面内の均一性をご確認いただくに ●100℃までのプロセスの場合： クリーニング用／大気圧プラズマ用 は、シート型が最適です。 　100℃以上200℃までの場合： 耐熱性ラベル ●お試しサンプルをご提供させていただきますので、HPからご用命下さい。 用 ボンディング前のクリーニング 有機残渣除去、アッシング 　200℃を超える場合： ご相談ください。 　https://plazmark.craypas.co.jp 途 ●低温プロセス(100℃以下）で、迷われたら、まずは汎用性が高く、感度の高い、 例 濡れ性改善のための表面改質 PCBのデスミア工程 O2クリーニング用No.1をお試し下さい。 Arプラズマ処理（真空） CF4プラズマ処理（真空） 全般的な注意事項 【使用上の注意】 【耐熱性シリーズについて】 弱 プラズマ処理の強度 強 弱 プラズマ処理の強度 強 ●本製品の変色部分を切断、折曲など形状変形しないでください。変色性能およ ●プラズマ処理後のインジケータは継時的に色が変化する場合がありますので、 び耐久性の低下、パーティクルが発生する恐れがあります。 記録として保管する用途には適していません。必要に応じて色度/色差測定など ●各製品の耐熱温度以下でご使用ください。 の方法で変色結果を記録ください。安定して測色できる時間は各製品の説明書 No.20 No.1 をご参照ください。 ●インジケータの変色の有無または程度は、お客様のプラズマ装置および同時に No.21 O2クリーニング用 No.2 処理する品物によって異なります。 【保管方法・使用期限】 シリーズ ●真空下でも使用できる設計ですが、アウトガスが発生しないものではありません。 １．本製品は直射日光を避け、高温多湿（温度30℃以下推奨） にならない場所に、 Arクリーニング用 シリーズ No.22 No.3 ●本製品を使用されるにあたり､事前にプラズマ装置および同時に処理する品物 未開封もしくは密閉再包装した状態で保管してください。高温、高湿、直射日光 への汚染（コンタミネーション）可能性について十分検討の上､ご使用ください。 によりインジケータが変色したり、目視で変化がなくても変色性能および耐久 性が低下する恐れがあります。 No.23 ●インジケータは検知部分の表面反応による変色を利用しておりますので、成膜 条件下では変色しなかったり、変色の程度を確認できなくなります。このような ２．本製品を前項に記載した適正な状態で保管した場合の使用期限は製品包装に 場合は、キャリアガスのみでプラズマの状態確認だけ行うなどの運用方法をご 表示してあります。開放状態で放置されますと使用期限よりも前に変色性能お No.101 No.101 検討ください。 よび耐久性が低下する恐れがあります。 耐熱性シリーズ 耐熱性シリーズ ●特殊条件下でのご使用の際には、予めご相談ください。 ３．酸・アルカリ、酸化・還元剤やその他反応性の物質からは隔離して保管してくだ No.102 No.102 さい。これら反応性物質によりインジケータが変色したり、目視で変化がなくて 【ラベル型について】 も変色性能および耐久性が低下する恐れがあります。 ウエハ型 ウエハ型 セラミックシリコン セラミックシリコン ●貼付ける面は、水分、油分、ほこりなどの異物をあらかじめ取り除いてから本製 品を貼付けてください。 【その他】 ●インジケータは有害物質を含んでいません。産業廃棄物として自治体のルール ●貼付け対象物と本製品の粘着層の間に気泡が存在すると変色むらが生じる可 用 ボンディング前のクリーニング 酸化膜除去、エッチング 用 クリーニング、表面改質 に従って廃棄してください。 途 途 能性があります。 例 濡れ性改善のための表面改質 例 酸化膜除去、エッチング 仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 15 16

サクラクレパスの技術 色材の進化。 TECHNOLOGY サクラクレパスについて ABOUT 「サクラクレパス」は、90年間に蓄積された色材技術を応用し、常に ●会社概要 ●関連会社 新たな描画材料・筆記具・インジケータインキ・工業用マーカーの 社 　 　 名 株式会社サクラクレパス グループ会社（国内） グループ会社（国外） 創 　 　 業 1921年（大正10年）5月29日 開発など、新しい時代に向けて技術開発に取り組んでいます。 ㈱ターレンスジャパン SAKURA COLOR PRODUCTS OF AMERICA Co.,Ltd. 資 本 金 9,000万円 代 表 者 代表取締役会長 西村貞一 新日本造形㈱ ROYAL TALENS B.V. 代表取締役社長 西村彦四郎 ㈱サクラクレパス鹿児島工場 SCHJERNING FARVER A.S. 従 業 員 1,600名（グループ計） 大阪池田モール㈱ 上海櫻花文化用品有限公司 取 引 銀 行 三菱UFJ銀行　玉造支店 大昭和印刷紙業㈱ 櫻華国際貿易（上海）有限公司 商工中金　船場支店 ラビット㈱ SAKURA COLOR PRODUCTS OF VIETNAM Co.,Ltd. ㈱アムス ホームページ https://www.craypas.com ㈱雲州堂 ニッカー絵具㈱ ●事業所 ■大　　阪　〒540-8508　大阪市中央区森ノ宮中央1-6-20 ■大阪工場　〒578-0901　東大阪市加納7-18-47 ℡.（06）6910-8800㈹　FAX.（06）6910-8723 ℡.（072）873-5500㈹　FAX.（072）873-8225 ■東　　京　〒111-0052　東京都台東区柳橋2-20-16 中央研究所　大阪工場内 ℡.（03）3862-3911㈹　FAX.（03）3862-3905 関西物流センター　大阪工場内 ■札　　幌　〒060-0042　札幌市中央区大通西16-1-30　FUYO.NO10ビル　7階 関東物流センター 〒243-0303 神奈川県愛甲郡愛川町中津字下六倉2567 「サクラクレパス」の色材技術は、90年間にわたり時代 ℡.（011）622-1720㈹　FAX.（011）622-1721 ℡.（046）286-2702　FAX.（046）285-3621 ■名 古 屋　〒462-0816　名古屋市北区平安通1-5 が要望する新製品を世に送り出してきました。色材であ 滅菌確認用インジケータ ℡.（052）991-7641㈹　FAX.（052）991-7611 ■九　　州　〒812-0016　福岡市博多区博多駅南2-15-5 る顔料や染料にそれを引き立てる展色剤、水や溶剤を ℡.（092）474-1182㈹　FAX.（092）474-2245 ベースに様々な要求、使用シーンに合わせて顧客から満 足がいただけるよう品質を創り上げてきました。 サクラTCカラー 札幌営業所 ▲大阪工場 プラズマインジケータ™ PLAZMARKⓇ また、従来から研究・開発をすすめている描画材料・筆記 ▲サクラクレパス鹿児島工場 ▲大阪本社 具分野での色材技術がさらに進化し、『滅菌インジケー タインキ』など医療関係者にしか知られていない医療分 大阪工場 野への参入もしています。医療機器類は、必ず滅菌イン 九州営業所 東京支社 名古屋営業所 ジケータとともに滅菌作業が行われ、インジケータの色 大阪本社 ㈱サクラクレパス鹿児島工場 関東物流センター で使用可・不可が判断されています。その滅菌手段も 年々より安全確実な方法が開発され、それに対応すべく マーカー類では昨今の工業分野に欠かすことのできな 新たなインジケータの開発も行っています。最新の進化 い固形ペンキである『ソリッドマーカー』を開発し、成分 形がプラズマインジケータTMであり、エレクトロニクスを ▲東京支社 中のハロゲンや不純物を抑え金属の腐食を起こさない はじめ自動車・航空宇宙、材料など幅広い分野での応用 『ローハロゲンマーカー』や造船所での船舶マーキング を展開しています。 に最適な『鉄鋼用マーカー』の開発など着実に新しい時 代に向けて技術開発に取り組んでいます。 ▲上海櫻花文化用品有限公司 ▲ロイヤル　ターレンス（オランダ） ▲サクラ　オブ　アメリカ ▲サクラ　オブ　ベトナム 17 18

プラズマインジケータTM 大気圧プラズマ用超高感度(No.40)ご紹介 株式会社サクラクレパス ＰＩ事業部 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 1 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

大気圧プラズマ用超高感度(No.40) ◆超高感度タイプとは？ 従来品では変色しづらかったソフトなプラズマ処理にも対応できるよう、 高感度タイプより更に感度をアップ(従来比 3倍以上)させた製品です。 ◆こんなお客様におすすめ！ ・スキャンスピードが速い (処理時間が短い） ・プラズマパワーが小さい ・現行高感度No.41では 変色しなかった 2 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

現行高感度（No.41)との比較 ◆電子技研製 大気圧プラズマ装置 AP-2000 誘電体バリア放電方式 ◆処理条件：窒素 70SLM, Air 2SLM、 出力 7.5kV、 処理速度 3,000mm/min、照射距離 5mm 上記条件で繰り返し照射 ◆変色見本 処理回数 未処理 1回 2回 3回 4回 12回 30回 No.40 超高感度 No.41 高感度 ◆処理回数と No.40 超高感度 色差ΔＥ*abの No.41 高感度 関係 ※処理済み変色サンプルを 色差計で測定し数値化 （P6で説明） 感度 ３倍以上！ 3 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

形状、スペック ◆ロングラベル型 ◆シート型 No.40(超高感度) 形状 ロングラベル(貼付可能） シート 構成 本体：クリーンペーパー／検知部：有機色材、レジン 本体：35 x 300 x 0.2 mm 本体：210 x 300 x 0.2 mm サイズ 検知部：300 x 15 mm 検知部：190 x 300 mm 耐熱性 100℃ 入数 20枚 5枚 略号 PLL0430-40 PLC2130-40 4 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例① - 分布評価 ◆ロングラベルで電極幅方向における均一性を確認する。 ◆目視で評価が可能 ←インジケータ幅方向→ ◆色差計で数値化することで定量評価が可能 　　色差 インジケータ幅方向 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 5 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例② - 接触角との相関、置き換え ◆従来の濡れ性確認手法である接触角測定と 色差の相関を取る事で置き換えが可能 ⇒ 接触角測定より簡便に評価 色差 色差 接触角 プラズマ強度 接触角 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 6 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例③ - 再現性の確認 ◆所定のプラズマ処理ができているか確認する。 ワーク プラズマインジケータ ・正常状態の確認 ・再現性の確認 ・装置管理 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 7 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例④ - 機差確認 ◆分布評価やプロセスの再現性を横並びで確認。 No.4 No.3 No.2 OK No.1 OK NG ・装置間バラツキの低減 プラズマ 条件調整 インジケータ OK ・早急なトラブルシュー ティング OK ・監査対策 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 8 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

お問合せは PI事業部まで 「こころ」のある「色」を通じて、教育・文化に貢献すると共に、 あなたの暮らしを、そして未来をあざやかに彩ります。 直通：072-873-5507 E-mail : sjk@craypas.co.jp HPはこちら https://plazmark.craypas.co.jp/ ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 9 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

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