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RC-12コントローラー付インピーダンス自動整合器
プラズマ用自動整合器
高周波電源とプラズマのインピーダンスを整合し、最大の電力をプラズマ負荷に投入するための機器です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | Bシリーズ インピーダンス自動整合器 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 807.7Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | アステック株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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