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半導体／液晶／ディスクの製造プロセスに使用される、高周波電源
【電源仕様】
■ハーフラックサイズ
■リモートコントロール専用フロントパネル
■高速MPU
■パルス出力
■高効率高周波アンプ
■内部位相シフト機能
■通信方式
■CE，SEMI S2，S8，F47，FCC，NRTL，UL規格取得
このカタログについて
| ドキュメント名 | プラズマ用高周波電源HRシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.3Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | アステック株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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