ターボ分子ポンプ　総合案内

TMP-J-00 総合案内 Turbo Molecular Pumps

Overview 原理と構造 ターボ分子ポンプ（TMP）とは？ ターボ分子ポンプ（TMP）とは、機械式真空ポンプの一種です。ジェットエンジンの羽根に似たタービン翼で構成された「ロータ」を 高速回転させ、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気する真空ポンプです。 特長 ロータ 超高真空領域まで排気が可能。 高分子ガス（オイルなどの分子）に対し高い圧縮比を持っており、清浄な真空を実現。 気体分子を機械的に排気（ダイナミック排気）するため、すべての気体に対してほぼ 同じ排気速度を持っている。 希ガスや腐食性ガスの排気可能。 大流量のガスを連続排気することができる。 作動圧力領域が広い。（102 ～ 10-9Pa） [Pa] 圧力領域 ポンプの種類 ターボ分子ポンプ 10-9 10-8 （複合分子ポンプ） 幅広い圧力領域で運転可能 10-7 超高真空 10-6 油拡散真空ポンプ 10-5 10-4 （ヘリカル溝真空ポンプ） 10-3 高真空 10-2 10-1 100 101 中真空 102 103 104 低真空 105 選定のポイント ポンプの選定には、用途や排気系のレイアウトが非常に重要なポイントとなります。 用途は大きく分けて �つ 選定チェックリスト 用途1 容器を高真空領域まで排気する高真空下の場合‥‥ ご使用の用途・装置 被排気容器や内部機器類の表面積の計算がポイント チャンバーの容積・形状 高真空下（特に分子流領域）では、気体分子は各々が衝突するより先に、容器内壁に衝突している 到達圧力（Pa） 状態です。この状態では、容器内で飛び交う分子の数よりも、容器内壁や内部機器類から放出され る分子の数や、内部へ透過する分子の数の方が圧倒的に多いため、被排気容器や内部機器類の表面 プロセス圧力（Pa） 積の計算が必要になります。 吸引ガス量（sccm） 吸引ガス種（ex. Ar, Cl2, Air） 用途2 真空中でさまざまな処理を行う場合‥‥ チャンバーの内部機器類 ガスが持つ特性、配管のサイズ、形状がポイント （ ex. 電子銃、蒸着源、 搬送系） 真空中でさまざまな処理を行うために、大量に流すプロセスガスを排気する場合、それぞれのガス チャンバーの材質（ex. SUS304） が持つ特性（分子量、粘性、腐食性など）を考慮したポンプの選定が必須となります。また、共通 到達圧力までの希望排気時間（min） 条件として容器と真空ポンプをつなぐ配管のサイズ、形状によってコンダクタンス（流れやすさの値） が大きく影響を受けます。 プロセス圧力までの希望排気時間（min） WEB https://www.osakavacuum.co.jp/contact/helper.php お問い合わせ・ご相談はこちらから▶ � TEL 裏表紙の連絡先へご連絡ください。

大阪真空は 1971 年に、日本で初めてターボ分子ポンプ（TMP）の開発に成功し、 1983年には世界初の複合ロータ（タービン翼＋ヘリカル溝）を搭載した TMPの開発に成功したメーカーです。 その後も市場のニーズをいち早く取り入れた製品開発をおこない、玉軸受形 TMP、磁気軸受形 TMP、コントローラ・電源一体 型 TMP、極高真空形 TMP、反応生成物対策 TMP、極低振動 TMPなど多様なラインアップを提供し続けています。また、優れ た技術力と実績を背景にお客様のニーズに合わせたカスタマイズ化もおこなっています。 大阪真空が開発した複合ロータは今や世界基準設計となっており、このロータを搭載した TMPは JIS 規格や ISO規格でも複合型 ターボ分子ポンプとして登録されております。複合ロータを搭載した TMPはタービン翼の下流側に独自設計のヘリカル溝を持た せ、分子流領域のみならず、さらに気体密度の高い中間流領域でもポンプ作用を行うことが特長です。当社ではこの世界初の複合 ▲ 国産初のターボ分子ポンプ 「 T650A」 ロータを搭載した TMPを複合分子ポンプと呼び、様々な認証時の登録名称として使用しております。 ターボ分子ポンプの仕組み 動翼 動翼 (ロータ ) 回転方向 ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 静翼 分子流領域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果たします。 翼の傾きと回転方向は図に示す関係です。 動翼 気体分子 動翼 高真空側から飛来した気体分子は、動翼 の傾きと回転により後段方向へ、同時に 静翼 前段側 静翼を通過しやすい方向へと向けられま す。 （高真空側） 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい角度になっています。 （排気方向の流れと逆流の差が大きい） また後段側から静翼を通過し逆行してき た気体分子も、動翼に触れることで再度 後段側 後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、後段側では気体分子が逆行しにくい角度になっています。 （排気方向の流れと逆流の比が大きい） ねじ溝側 動翼、静翼を通過した気体分子は、円筒 状の回転部（ロータ）の壁面に引きずら れていきます。やがてねじ溝に沿うよう に背圧側へ送られます。 背圧側 ねじ溝作用により、分子流領域のみならず、中間流領域でも排気可能で、特に中間流領域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ（複合分子 ポンプ）が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも 運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。 �

Industries 産業分野 さまざまな産業に欠かせないターボ分子ポンプ 半導体・電子部品 PVD ( スパッタリング ) CVD、ALD 露光 ドライエッチング、ALE イオン注入 検査 エッチング用真空ポンプには、使用ガスに対する耐腐 適応ポンプ代表例 食性、副生成物の堆積を防ぐ温度制御、大流量の反応 ガスを排気する高流量性能と発熱に対応する冷却能力 が求められます。更に装置への設置の自由度も重要で す。 当社の反応生成物対策型磁気軸受形ターボ分子ポンプ の TGkine®MI-B シリーズ・TGkine®MI-R シリーズ・ TGkine®-MI シリーズ TG-MI シリーズは、大排気速度・耐食性・温度制御能 半導体は、ウエハ上で成膜、露光、エッチング、イオン 力・高流量性能・冷却能力・設置の自由度を兼ね備え 注入などの工程を繰り返すことで製造されます。また、 ています。 検査を含むそれらの工程の多くは真空環境下で行われま す。その各工程の真空排気に中低真空用にはドライ真空 また、当社の極低振動型磁気軸受形ターボ分子ポンプ ポンプが、高真空用にはターボ分子ポンプやクライオポ TG-MLシリーズは、リソグラフィやCD-SEM・TEM ンプが用いられます。 などの装置で使用され、清浄且つ最高レベルの低振動 性能を持ち得ています。 TG-MLシリーズ ディスプレイ PVD ( スパッタリング・蒸着 ) CVD 露光 エッチング イオン注入 液晶滴下貼り合せ TGkine®-R シリーズ、TG-Mシリーズ、グリス潤滑 適応ポンプ代表例 玉軸受形ターボ分子ポンプ TG-F シリーズはそれらの 用途に対応します。 エッチング工程では反応生成物や腐食性ガスへの対応、 高流量性能、冷却能力が求められます。当社では、腐 食性ガスの排気に対応した多段ルーツ型ドライ真空ポ ンプ ERシリーズや、反応生成物対策型磁気軸受形ター TGkine®-B シリーズ ボ分子ポンプの TGkine®MI-B シリーズ、 フラットパネルディスプレイは、大型のガラスや樹脂の TGkine®MI-R シリーズ、TG-MI シリーズをライン 基板上に、スパッタリング・CVD・露光・エッチング・ アップしています。 イオン注入などの工程を繰り返して製造されます。多く の工程は真空環境を必要とします。 また、極低振動型磁気軸受形ターボ分子ポンプ TG-MLシリーズはCD-SEMや TEMなどの検査装置 スパッタリング工程ではAr ガスに対する大排気速度と で使われます。 流量性能や、成膜粉の吸引への対応が求められます。当 TG-MLシリーズ 社の磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine®-B シリーズ・ �

光学産業 PVD（スパッタリング・蒸着・イオンプレーティング） ALD 気にはターボ分子ポンプや油拡散真空ポンプが用いら 適応ポンプ代表例 れます。 このプロセスに必要な高い真空度を保つには大排気速 度が重要です。当社の磁気軸受形ターボ分子ポンプの TGkine®-B/TGkine®-R シリーズのラインアップは排 気速度4200L/s まで揃え、大排気速度の要求に応えま す。また取付方向自在ですので、倒立や横向きに取り TGkine®-B シリーズ 付けることで最大の有効排気速度を得ることができま レンズやミラーなどの光学部品の中でも高機能なものは、 す。 反射防止コーティングや光学フィルターなどの機能性薄 膜を、母材上に蒸着やスパッタリングなどのPVD法（物 バッチ式装置では、ポンプの起動時間・停止時間も装 理蒸着法）で成膜して製造されます。 置のサイクルタイムに影響します。当社のターボ分子 ポンプは、玉軸受形・磁気軸受形共に急速停止にも対 またPVD法による成膜は、商品容器やスマートフォン 応し、サイクルタイムの短縮に寄与します。 の筐体、自動車の内装部品などに魅力的な外観を与える TGkine®-Rシリーズ 加飾用途でも用いられます。蒸着・スパッタリングの排 理化学機器 質量分析器 電子顕微鏡 表面分析 X線回折 複数の吸気口を持ったスプリットフロー型ターボ分子 適応ポンプ代表例 ポンプ TG-F シリーズはそれを1台で賄うことが出来 ます。当社ではそれぞれの装置の仕様に合わせた特注 品を取扱っております。 電子顕微鏡でも、観察に用いる電子が大気中の気体分 子に遮られないように、顕微鏡内部は高真空に保たれ ます。それを排気する真空ポンプは、低振動であるこ とが求められます。当社では、極低振動仕様の磁気軸 TG-F シリーズ 質量分析器、電子顕微鏡、X線回折装置等、精密な分析 受形ターボ分子ポンプ TG-MLシリーズをラインアッ 装置や測定装置は、測定から空気の影響を排除するため プしています。 内部をしばしば真空にします。 質量分析器やそれを応用したHeリークディテクタでは、 試料導入部と検出器を差動排気します。圧縮比の異なる TG-MLシリーズ �

Industries 産業分野 エネルギー PVD ( スパッタリング ) 核融合 真空断熱 気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine®-B/TGkine®-R 適応ポンプ代表例 シリーズが使われます。 液化天然ガスや水素の輸送、貯蔵では真空断熱された 容器が用いられ、ガスの液化に適した極低温状態が保 持されます。その容器には真空断熱層があり、真空ポ ンプで一定圧力に保持されます。当社では、ターボ分 子ポンプ或いは油拡散真空ポンプと油回転真空ポンプ TGkine®-B シリーズ 或いはドライポンプの組み合わせで大型の容器の長時 変換効率の高い太陽電池の製造工程では、光吸収層や機 間にわたる真空断熱層の真空保持を確実に行います。 能膜等を真空中で成膜します。この工程では大排気速度 と高流量性能を兼ね備えた当社の磁気軸受形ターボ分子 核融合炉でもプラズマを封じ込める真空容器があり、 ポンプ TGkine®-B/TGkine®-R シリーズが適応します。 ターボ分子ポンプを使用する際には磁気シールドによ また、リチウムイオン電池の製造においても、電極の形 る磁場の遮蔽が必要で、またコントローラは離して設 成にスパッタ装置が使われることがあります。これらの 置する必要があります。当社では、これらに対応する TG-MSシリーズ 工程でも大排気速度と高流量性能を兼ね備えた当社の磁 耐磁場仕様のターボ分子ポンプ TG-MSシリーズもラ インアップしています。 素材 PVD ( スパッタリング ) CVD 断熱や遮熱ができる高機能な建築用ガラスには、 適応ポンプ代表例 Low-E 膜がコーティングされます。それらは、スパッ タリングで成膜するため、Ar ガスに対して大排気速度 のターボ分子ポンプが用いられます。当社の磁気軸受 形ターボ分子ポンプ TGkine®-B/TGkine®-R シリー ズ、TG-Mシリーズ、グリス潤滑玉軸受形ターボ分子 ポンプ TG-F シリーズはそれらに対応しています。 TG-Mシリーズ 自動車・航空 真空熱処理 PVD（スパッタリング・蒸着・イオンプレーティング） ヘリウムリークディテクタ 高い信頼性が求められる自動車や航空機の部品・部材 適応ポンプ代表例 の製造工程では、部品の漏れ検査や熱処理、素材の品 質を安定させるために真空が用いられています。例え ば部品の漏れ検査には、ヘリウムリークディテクタが 用いられ、圧縮比の異なる複数の吸気口を持ったスプ リットフロー型ターボ分子ポンプ TG-F シリーズは主 排気と差動排気を1台で賄います。この玉軸受構造で 外乱に強い TG-F シリーズはリークディテクターの仕 TG-F シリーズ � 様に適合するように特注品を製作しております。

宇宙・研究開発 基礎研究（大学・官公庁・研究所） スペースチャンバー 粒子加速器 核融合実験炉 宇宙開発の分野では、巨大な真空チャンバーを用いて 適応ポンプ代表例 宇宙空間を模擬した環境下での人工衛星の動作試験が 行われ、大型の油回転真空ポンプやルーツ真空ポンプ、 ターボ分子ポンプが必要となり、当社では各真空ポン プをラインアップしています。 粒子加速器や核融合実験炉では、真空機器もそれらの 過酷な環境に対応することが求められます。耐放射線 TG-Mシリーズ 仕様の磁気軸受形ターボ分子ポンプ TG-MRシリーズ や耐磁場仕様の磁気軸受形ターボ分子ポンプ TG-MS シリーズなど、特殊仕様のターボ分子ポンプも当社で はラインアップしています。 研究室の現場では、簡単に清浄な高真空を得ることの TG-MRシリーズ 出来るターボ分子ポンプ排気セット ST-Compact シ リーズ・STシリーズを当社ではラインアップしてい 宇宙開発、ITERや粒子加速器などの大規模科学プロジェ ます。 クトや、大小さまざまな研究機関や研究室の現場でも、 様々な形で真空環境が活用されています。 TG-MSシリーズ 医療・医薬品 蒸留 凍結乾燥、真空乾燥 滅菌 医療用加速器 真空断熱 MRI 装置には超伝導電磁石が用いられ、真空断熱層で 適応ポンプ代表例 極低温に保たれています。また癌の放射線治療に用い る医療用加速器でも、真空ポンプが主加速系やビーム 輸送系を高真空に保っています。 当社では、通常のターボ分子ポンプに加えて、加速器 で発生する電場、磁場、放射線に耐えることの出来る TG-Mシリーズ 耐放射線仕様ターボ分子ポンプ TG-MRシリーズや耐 磁場仕様のターボ分子ポンプ TG-MSシリーズを取り 扱っております。 TG-MRシリーズ TG-MSシリーズ �

Products 製品ラインナップ ターボ分子ポンプの種類 ターボ分子ポンプは、内部にあるロータの構造と そのロータの軸受構造に分類されます。ロータ構 複合分子ポンプ ヘリカル溝真空ポンプ 造は、大阪真空が世界で初めて開発した 複合ロータ ヘリカル溝 「複合ロータ」とねじ溝だけの「ヘリカル溝」の2 種類に分類されます。また、ロータの軸受構造は、 磁気軸受形 玉軸受形 　磁気軸受形、　玉軸受形の２種類が存在します。 玉軸受形 （油潤滑） 玉軸受形はさらに「グリス潤滑玉軸受形」と、「油 （グリス潤滑・油潤滑） タービン翼 潤滑玉軸受形」があります。大阪真空は幅広い種 ＋ ねじ溝のみ 類のターボ分子ポンプをラインアップしています。 ねじ溝 磁気軸受形と玉軸受形の特長（※断面図吸引気体の流れ　　） 磁気軸受形 玉軸受形 上部保護ベアリング 低振動 軸 構造がシンプル 上部ベアリング 完全オイルフリー トラブルシューティングが 軸 取付姿勢自在 容易 下部保護ベアリング 磁気軸受形に比べて軽量 下部ベアリング メンテナンスフリー コントローラ・ 電源ユニット 冷却水 複合分子ポンプ 磁気軸受形ターボ分子ポンプ Magnetically Levitated Turbo Molecular Pumps TGkine® シリーズ TGkine®-B シリーズ TGkine®-Rシリーズ 標準＆腐食性ガス対応： 標準＆腐食性ガス対応： 1700～ 4200L/s までラインアップ 1700～ 4200L/s までラインアップ ▪コントローラ /電源一体型 ▪コンパクト設計 /省電力設計 ▪省スペース /省電力設計 ▪大排気速度設計 /高流量設計 ▪大排気速度設計 /高流量設計 ▪多様な通信仕様（EtherCAT も対応可能） ▪多様な通信仕様（ EtherCAT も対応可能） ▪自社開発により安定した軸受を実現 ▪自社開発により安定した軸受を実現 ▪低速回転モード設定可能 ▪低速回転モード設定可能 ▪稼働データなど機種情報を ポンプ本体に保持可能 �

TG-Mシリーズ TG-Mシリーズ TG-M7シリーズ 標準＆腐食性ガス対応： 340～ 2400L/s までラインアップ 標準：340～ 1300L/s までラインアップ ▪フルデジタルコントローラの採用により振動が大幅に低減 ▪省電力設計 ▪ポンプ接続時及び電源投入時にセンサの自動調整 ▪稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ▪回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ▪多様な通信仕様（ EtherCAT 対応可能） ▪用途に合わせて、各種特殊仕様を選択可能 特殊仕様 反応生成物対応 TGkine®-MI シリーズ / TG-MI シリーズ 耐放射線仕様 TG-MRシリーズ 反応生成物が堆積しやすい装置向 放射線環境下において使用するた けとして、当社独自の断熱構造 / めに開発された耐放射線仕様の 自己昇温機構を採用し、反応生成 ターボ分子ポンプ。放射線に対す 物堆積率を大幅に減少させたシ る耐久性を高め、過酷な環境下で リーズ。 の運転可能。 極低振動仕様 TG-MLシリーズ 超高真空仕様 TG-MUシリーズ 分析用途の基礎技術、超微小空間 水素圧縮比60,000 を達成し、内 の測定、リソグラフィに代表され 部放出ガスを低減した「 超高真空」 る次世代半導体製造プロセスの微 シリーズ。TG-MUシリーズ単独で、 細加工などに不可欠な要素である 極高真空領域（10-9Pa 台～）に近 「極低振動」を達成したシリーズ。 い到達圧力が得られる。 メタルシール仕様 TG-MMシリーズ 耐磁場仕様 TG-MSシリーズ ▪シール部分を特殊対応 ▪強い磁場内にあっても回転に対す （メタルガスケット、電力導入部 るブレーキ作用や発熱などの心配 分をガラス製） がなく、安全に排気作業を行うこ ▪He透過を徹底的に抑えた仕様 とが可能 ▪放射線環境下にて使用可能 ▪大阪真空の全機種対応可能 (1Gy 程度 ) ▪加速器向け、長尺ケーブル対応 ▪KEK様にて10年以上の運転実績 あり（約200ｍ延長可能） �

Products 製品ラインナップ 玉軸受形ターボ分子ポンプ Ball Bearing Type Turbo Molecular Pumps グリス潤滑 グリス潤滑 油潤滑 TG-F シリーズ 特殊仕様：TG-F シリーズ TGシリーズ グリス潤滑玉軸受で 50～ 2400L/s までラインアップ 耐磁場仕様 TG-FS シリーズ 油潤滑玉軸受形で 200～ 5500L/s までラインアップ ▪取付姿勢が全方位自在で使用が簡単 放射線環境下において使用するために開発された耐 ▪200～ 1800L/s： ▪メンテナンスフリー 放射線仕様のターボ分子ポンプ。 腐食性ガスの排気に強いケミカル形仕様をライン ※グリース補給不要でオーバーホールサイクル 放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運 アップ ２～ 3万時間 転可能。 ▪2800～ 5500L/s： ▪丈夫でコンパクトな設計でかつ軽量 クリーンプロセスに有効な標準仕様と腐食性ガス ▪大気突入に対応した機種や、耐衝撃性が高く、可 の排気に強いケミカル仕様をラインアップ 搬式装置や装置の可動部への搭載が可能な機種も ラインアップ ヘリカル溝真空ポンプ 油潤滑 TS シリーズ 玉軸受形ターボ分子ポンプ 油潤滑玉軸受、全段ヘリカル溝（ねじ溝）構造 Ball Bearing Type Turbo Molecular Pumps 50と 400L/s をラインアップ ▪中・低真空領域において大量のガス排気可能 ▪300,000 回以上の大気突入に耐えられる構造（TS50） 組み合わせ可能な製品 大阪真空低真空ポンプシリーズ モーター直結型と組み合わせ可能 多段ルーツ型 /スクリュー型と組み合わせ可能 油回転真空ポンプ ドライ真空ポンプ VRD FR（空冷型） ER（省エネ型） DSP（コンパクト型） �

Support TMP サポート拠点 中国 上海欧洒卡真空 U.S.A. Osaka Vacuum U.S.A.、 Europe Ebara Precision Machinery Europe GmbH Ebara Technologies Inc. 韓国 ソウル支店、新元技術 日 本 名張工場　TMPサービスグループ 台湾 九徳松益 営業 フィールドサポート 修理 現地在庫 日 本 中 国 名張工場　TMPサービスグループ 上海欧洒卡真空機器有限公司 〒518-0605　三重県名張市八幡1300-81 South A, T52-4-1F, No.1510, Chuanqiao Rd., Pudong, ●TEL :0595-64-1162 Shanghai 201206, P.R. China ●FAX : 0595-64-1163 ●TEL : +86-21-5031-1522 ●FAX : +86-21-5031-1523 U.S.A. 韓 国 Osaka Vacuum U.S.A., Inc. ソウル支店（販売） 48000 Fremont Blvd. Fremont, CA 94538, U.S.A. 805 Leaders Bldgs., hwangsaeul-ro 311beon-gil 14, ●TEL : +1-510-770-0100 Seohyeon-dong, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do, 13590, Korea ●FAX : +1-510-770-0104 ●TEL : +82-31-707-0002 ●FAX : +82-31-707-3339 Ebara Technologies Inc. 新元技術株式会社（修理） 51 Main Avenue, Sacramento, CA 95838, U.S.A. 109, Gaetlbeol-ro, Yeonsu-gu, Incheon, Korea ●TEL : +1-916-920-5451 （7-24, Songdo-dong） ●FAX : +1-916-830-1900 ●TEL : +82-32-814-6331 ●FAX : +82-32-814-7301 Europe 台 湾 Ebara Precision Machinery Europe GmbH 九徳松益股份有限公司 2 Cochrane Square Brucefield Industrial Estate Livingston EH54 2-22 Nan Yuan Road, Chung Li City 32063 Taiwan, R.O.C. 9DR, UK ●TEL : +886-3-452-6161 ●TEL : +44（0）1506-460232 ●FAX : +886-3-451-1347 ●FAX : +44（0）1506-460222 ��

Turbo Molecular Pumps 安全にお使いいただくために 本カタログに記載された製品を正しくお使いいただくため、ご使用の前に必ず取扱説明書をよくお読み下さい。 注意事項 「外国為替及び外国貿易法」に定める規制貨物に該当する場合には、同法に基づく許可を要することがあります。 株式会社 大阪真空機器製作所 ホームページ https://www.osakavacuum.co.jp/ 国内営業拠点 西日本営業部 〒541-0042 大阪市中央区今橋3-3-13 TEL 06-6203-3981 FAX 06-6222-3645 東日本営業部 〒104-0061 東京都中央区銀座8-14-14 TEL 03-3546-3731 FAX 03-3546-1560 名古屋営業部 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1 TEL 052-950-3051 FAX 052-950-3062 e-mail ：info@osakavacuum.co.jp 本カタログに記載の事項を無断で転載することはご遠慮ください。通告なしに記載事項を変更することがあります。 ����.��.PDF（CR）