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TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
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このカタログについて
ドキュメント名 | 磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 6.7Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社大阪真空機器製作所 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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TGkine-R-J-02