メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）

02－MB－07 メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ） Booster Vacuum Pumps

ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転させる事により 圧縮・排気を行う真空ポンプです。 油回転真空ポンプなどの前段に取り付け 排気速度を増大させる機械式真空ポンプ ということからメカニカルブースタとも呼ばれます。 メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）はドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ ・液封式真空ポンプなどの大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組み合わせて使用します。 RDシリーズ ●フランジモータと直結したコンパクトで軽量。ドレンが内部にたまらず全負荷連続運転が可能です。 Rシリーズ ●ベルト駆動で大排気容量の2機種。スペースチャンバーや、乾燥、注型、EBW、連続成膜装置などの大容 量チャンバーの排気にも適しています。 RAシリーズ ●接ガス部がアルミ合金製であるため発錆がありません。 ●内部軸シールは非接触型のため、メンテナンス間隔はRDシリーズの2～3倍です。 ●油面のチェックは給排油口各1ヶ所で1面集中となっています。 ●低騒音・低振動です。 ─ 1 ─

特 長 ●　ポンプ室に潤滑油を用いない → 動力が少なく、かつクリーンな真空を作れる ●　補助ポンプの到達圧力を1～2ケタ向上 ●　凝縮性気体を吸入しても排気特性は変わらない ●　回転軸が強い → 低真空起動、低真空連続運転可能 ●　負荷条件に合ったモータの選択が可能 → 設備費削減、効率的な運転により省コスト化 ●　幅広い排気速度のポンプをラインアップ → 90～12000m3/hまで対応 ●　補助ポンプとの組み合わせが多種多様 → ルーツ＋油回転・液封式 主な用途 半導体・電子工業 ― 蒸着・スパッタリング・イオン注入・高温乾燥排気・単結晶引上げ・プラズマ処理 原子力開発研究 ― 粒子加速器・核融合実験・材料冶金・溶接・真空断熱 理工学実験研究 ― 質量分析・X線回析・風洞実験・極低温実験 自動車・機械・航空機産業 ― 精密鋳造・ろう付・溶接ビーム加工・焼入・焼もどし・窒化・焼結・レーザ加工機・ガス置換 重電機業界 ― 脱気・乾燥・含浸 光学工業 ― 蒸着・スパッタ 鉄鋼・金属工業 ― 溶解鋳造・脱ガス・精錬・焼結・金属蒸留 化学・医薬品工業 ― 蒸留・蒸発・濃縮・乾燥・凍結乾燥・晶析・昇華・調湿・殺菌 食品工業 ― 濃縮・乾燥・凍結乾燥・急速冷却 金属加工業 ― 熱処理・鋳造・焼結・ろう付・EB溶接・蒸着・イオン窒化 エネルギー関連 ― 太陽電池製造 ■ポンプ据え付けについて 必要容積： 分解組立作業に要するスペースを確保する為に、 前・後に取り付けられるポンプとの、組み合わされたレイアウトを考慮して下さい。 室　　温： +10℃～+40℃（室内外共）の範囲が理想ですが、極端な特殊環境の場合には、当社にご相談下さい。 湿　　度： 70％以下が望ましい状態です。 振　　動： 架台設計の際は、ポンプを運転することにより、共振を起さないことが必要です。 ─ 2 ─

標準仕様･モータ仕様 ■標準仕様 分類 モータ直結形 ベルト駆動形 主要部材質 アルミ/鋳鉄 鋳鉄 形式 RA100 RD302 RD600 RD1200 RD1500 RD1510 RD2500 RD2510 R6002 R12001 ５０Hz m3/h（L/min） 90（1500） 250（4170）500（8330）1000（16700） 1350（22500） 2070（34500） 呼び排気速度※１ 6000 12000 60Hz m3/h（L/min） 110（1830）300（5000）600（10000）1200（20000） 1630（27200） 2500（41700） （100000）（200000） 許容圧力差 50Hz kPa 9.3 5.3 7.0 19 4.5 19 ［標準モータ使用時］ 4.7 4.0 60Hz kPa 8.0 4.7 7.0 16 4.5 16 1段油回転ポンプで補助 Pa 7×10－2 試験到達圧力 2段油回転ポンプで補助 Pa 1.3×10－2 基準補助ポンプの排気速度 m3/h（L/min） 18～36 36～100 90～220 180～220 220～450 450～600 600～900 900～1200 （300～600）（600～1670）（1500～3670）（3000～3670） （3670～7500） （7500～10000） （10000～15000）（15000～20000） 外被構造 全閉外扇屋内形 出力 kW 0.4 1.5 2.2 3.7 5.5 11 5.5 15 11 22 電圧 周波数 AC200V・50/60Hｚ または AC220V・60Hｚ 標準モータ仕様※２ モータ種 フランジ取付モータ 脚取付モータ スライドベース必要 極数 極 2 2 4 2 4 4 4 4 4 6 相数 相 3 回転子構造 かご形 ５０Hz min－1 3000 3000 1500 3000 1500 回転速度 1200 1030 60Hz min－1 3600 3600 1800 3600 1800 油量 L 0.33 0.9 2.7 4.0 6.2 2.5 5.9 冷却水量 m3/h 0.06 空冷 0.4 1.1 1.5 全閉外扇形モータ付き kg 25 110 260 280 530 570 690 750 1050 3030 質量 モータなし kg 17 80 220 230 460 620 940 2800 許容周囲温度 運転時/保管時 ℃ ＋10～＋40/－5～＋60 JIS B2290 JIS B2290 JIS 10K JIS 10K JIS 10K JIS 5K JIS 10K 吸気口 VG50 VF80 100A 150A 200A 300A 400A フランジ取合 排気口 JIS B2290 JIS B2290 JIS 10K JIS 10K JIS 10K JIS 5K JIS 10K VF50 VF80 80A 100A 100A 150A 200A ※１ 補助ポンプの大きさにより排気速度は変わります。補助ポンプはお客様の使用環境・用途等に応じ選定いたしますので、営業担当へお問い合わせ下さい。 ※２ 異電圧仕様及び安全増防爆形、耐圧防爆形等のモータ取付可能。 銘柄によっては、ポンプの取付部の一部改造を要するものがありますので、事前にお問い合わせ下さい。 ■標準付属品 カップリング※1 1組 モータプーリ〔50または60Hz用〕※3 1個 吸気口ストレーナ※2 1台分 補充用潤滑油 1式 Vベルト〔静電防止形〕※3 1台分 搬送用仮台（RD、RAシリーズに付属） 1式 全密閉形安全カバー 1式 ※1 　Rシリーズを除く　※2 RDシリーズ、Rシリーズを除く　※3 RDシリーズ、RAシリーズを除く ─ 3 ─

■標準外のモータ RD600、RD1500、RD1510、RD2500、RD2510に関しましては、下表のモータを取り付けて 最大容量まで負荷をかけて運転できますので、より低真空からの起動と低真空連続運転が可能です。 形式 モータ 最大許容圧力差 モータ 最大許容圧力差 出力 ・ 極数 （50/60Hz） 形式 出力 ・ 極数 （50/60Hz） 1.5kW ・ 4P 6.0/5.3kPa 11kW ・ 4P 19/16kPa 2.2kW ・ 4P 9.3/8.0kPa RD1510 RD600 11kW ・ 6P 28/24kPa 3.7kW ・ 4P 16/13.3kPa 5.5kW ・ 4P 22.6/19.3kPa 5.5kW ・ 4P RD2500 4.5/4.5kPa 7.5kW ・ 4P 8.6/7.3kPa 3.7kW ・ 4P 5.6/4.7kPa RD1500 5.5kW ・ 4P 7.0/7.0kPa RD2510 11kW ・ 4P 13/11kPa 7.5kW ・ 4P 13/11kPa 15kW ・ 4P 19/16kPa オプション 逃し弁を付けることで、より低真空での起動が可能となる為、起動時間を短縮す ることができます。 【逃し弁】 逃し弁の弁体は、自重により開閉圧力を設定できるため電気配線が不要です。 （ バイパス弁） 故に危険地域・防爆地域での設置も容易です。 104 ルーツポンプ＋油回転ポンプ 逃し弁付き 103 逃し弁なし 油回転ポンプ 102 101 102 103 104 105 吸気口圧力 Pa インバータを取り付けることにより、大気圧からの駆動ができます。 【インバータ】 50Hz地域では、インバータ（60Hz設定）によって増速運転させ、 60Hz地域と同様の排気速度（ 約20％増量）にすることができます。 【シール方式】 標準のルーツ真空ポンプは軸封部にオイルシールを用いていますが、 メカニカルシール仕様のポンプも製作できます。 【特殊表面処理】 反応性ガス・腐食性ガス対応として、接ガス部に表面処理を施すことができます。 【モータ】 異電圧仕様・安全増防爆形・耐圧防爆形・屋外形などを取り揃えております。 【真空スイッチ】 ルーツ真空ポンプ起動の為の圧力設定ができます。 【自動運転制御盤】 制御盤を用いて、全自動運転でルーツ真空ポンプのON/OFFを制御できます。 ご不明な点がございましたら、弊社営業部へお問い合わせ下さい。 ─ 4 ─ 排気速度 m3/h

外観寸法図 RA100 吸気口 50A JIS B 2290 VG 232 冷却水出口 冷却水入口 ～558.5※ チューブサイズ 120 112 チューブサイズ 210 137.5 192 ～229※ 200 油面計 給油口 油ドレン口 油ドレン口 フランジ取付モータ ～105 排気口 50A 搬送用仮台 JIS B 2290 VF RD302 吸気口　80A JIS B2290 VF ～748 ※ 油面計 ～196 ※ 200 275 ～273 ※ 給油口 270 給油口 油面計 油面計 給油口 油ドレン口 フランジ取付モータ 4-φ15 240 (設置ボルト孔) 排気口　80A 110 270 JIS B2290 VF 154 搬送用仮台 油ドレン口 RD600 吸気 100A 油面計 ～448 ※ JIS 10K FF ～992 ※ ～221 ※ ～227 296 385 ※ ～311 ※ 給油口 406 冷却水出入口 10A 給油口 Rc3/8 油面計 給油口 油面計 フランジ取付モータ 260 4-φ19 (設置ボルト孔) 油ドレン口 100 油ドレン口 冷却水入口 10A 360 排気口 80A 190 冷却水出口 10A 262 242 Rc3/8 400 230 JIS 10K FF 搬送用仮台 Rc3/8 504 冷却水ドレン口 10A　 Rc3/8 RD1200 吸気口 100A ～467 ※ JIS 10K FF 油面計 ～240 ※ 227 ～1027 ※ 406 296 405 ※ ～326 ※ 冷却水出入口 10A 給油口 Rc3/8 給油口 油面計 給油口 油面計 フランジ取付モータ 油ドレン口 油ドレン口 260 100 冷却水ドレン口 10A 4-φ19 (設置ボルト孔) 冷却水出口 10A 262 262 冷却水入口 10A 360 190 Rc3/8 排気口 80A Rc3/8 Rc3/8 400 搬送用仮台 JIS 10K FF 230 524 ─ 5 ─ 200 65 40 65 30 340 340 250 170 170 170 170 125 125 180 20 42 90 25 25 215 215 350 350

RD1500/RD1510 吸気口 150A JIS 10K FF ～1285 (～1455) ※ ～381 520 375 540 (577) ※ ～370 (～503) ※ 冷却水出入口 15A Rc1/2 冷却水出口　15A 給油口 Rc1/2 給油口 油面計 フランジ取付モータ 油面計 給油口 350 4-φ19 (設置ボルト孔) 210 冷却水入口 15A 440 排気口 100A 搬送用仮台 Rc1/2 300 480 油ドレン口 JIS 10K FF 350 油ドレン口 冷却水ドレン口 15A Rc1/2 （　）内はRD1510 RD2500/RD2510 吸気口 200A JIS 10K FF ～1364 (～1534) ※ ～451 冷却水出入口 15A Rc1/2 580 419 575 (612) ～370 (～503) ※ 冷却水出口 15A 給油口 Rc1/2 給油口 油面計 フランジ取付モータ 給油口 油面計 420 4-φ19 (設置ボルト孔) 230 冷却水入口 15A 520 油ドレン口 排気口 100A 280 搬送用仮台 Rc1/2 JIS 10K FF 380 570 油ドレン口 冷却水ドレン口 15A Rc1/2 （　）内はRD2510 R6002 吸気口 300A JIS 5K FF ～390 (Ｏリング溝付) ～500 冷却水入口 15A Rc1/2 給油口 給油口 脚取付モータ 油面計 油ドレン口 冷却水出口 15A Rc1/2 排気口 150A JIS 5K FF (Oリング溝付) 600 600 4-Ø23 650 650 (基礎ボルト孔) 700 400 ～670 ～980 ※ ～1345 R12001 吸気口 400A JIS 10K FF (Oリング溝付) 給油口 給油口 油面計 油面計 冷却水出口 20A Rc3/4 脚取付モータ 排気口 200A JIS 10K FF (Oリング溝付) 125 冷却水入口 20A Rc3/4 720 4-φ27(基礎ボルト孔) 790 850 780 ～480 ～850 890 470 ～1810 ※ ～1650 （注）使用モータにより※部の寸法は異なります。 ─ 6 ─ ～750 200 35 235 90 100 180 25 10 4305 490 210 220 225 150 245 245 218 760 220 1160 560 860 25 440 25 495 575 ～445

ルーツ真空ポンプと補助ポンプの組合せにより、最適な真空環境を提供します。 標準組合せで簡単にお使い頂ける他、ご仕様に合わせて最適な組合せを提案いたします。 PRM/SRシリーズ〈ルーツ+油回転〉 PRLシリーズ〈ルーツ+液封式〉 PRDシリーズ〈ルーツ+ドライ〉 お問い合わせ先とメンテナンスに関して ■メンテナンスサポート拠点　メンテナンス、オーバーホールのご依頼は、下記までご連絡下さい。 〈国内拠点〉 堺工場 〒593-8324 大阪府堺市西区鳳東町7-775 〈海外拠点〉 （ダイアルイン） Tel 072-271-1881　Fax 072-273-7433 （U.S.A）FMG Enterprises, Inc. 1125 Memorex Dr, Santa Clara, CA 95050, U.S.A. TEL: +1-408-982-0110 FAX: +1-408-982-0529 （マレーシア）HI-TECH VACUUM SERVICES No.52, Jalan Industri USJ 1/1, Taman Perindustrian USJ 1, 47600 Subang Jaya, Selangor, Malaysia （M）SDN.BHD. TEL: +60（- 0）12-223 3453（日本語対応可能） （タ　イ）HI-TECH VACUUM SERVICES 111/20 Moo 2 Phaholyothin Rd., KM.56 Tambon Lamsai Amphur Wangnoi, Changwat Pranakorn Sri Ayutthaya 13170,Thailand （THAILAND）CO.,LTD TEL: +66（- 0）35-740-787 FAX: +66（- 0）35-740-790 ■メンテナンスに関して オーバーホール　オーバーホールには機種ごとに専用工具が必要です。オーバーホールを行う場合は、当社MPサービス グループにご依頼下さい。 技 術 指 導　製品とその用途に精通した技術員が待機しており、製品の運転取扱い手順や点検保守の仕方などを、 お客様に直接ご説明いたします。 有毒ガスを吸引する製品のメンテナンス 人体に有毒なガスを吸引した履歴を持つ製品は、そのままでは作業ができません。お客様で充分に洗浄して下さい。 詳しくはMPサービスグループにお問い合せ下さい。 株式会社 大阪真空機器製作所 ■ 西日本営業部 〒541-0042 大阪市中央区今橋3-3-13 ■ 名 張 工 場 Tel （06）6203-3981　Fax （06）6222-3645 ■ 東日本営業部 〒104-0061 東京都中央区銀座8-14-14 ■ 堺　工　場 Tel （03）3546-3731　Fax （03）3546-1560 ■ ソウル支店 ■ 名古屋営業部 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1 Tel （052）950-3051　Fax （052）950-3062 ■ 上海事務所 〈関連会社〉 上海欧洒 真空機器有限公司 South A, T52-4-1F, No.1510, Chuanqiao Rd., Pudong, Shanghai 201206, P.R. China Tel +86-21-5031-1522 Fax +86-21-5031-1523 Osaka Vacuum U.S.A., Inc. 48000 Fremont Blvd, Fremont, CA 94538, U.S.A. Tel +1-510-770-0100 Fax +1-510-770-0104 ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプ・磁気軸受形ターボ分子ポンプ・ 磁気軸受形複合分子ポンプ・ヘリカル溝真空ポンプ・ ターボ分子ポンプ排気ユニット・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・ ルーツ真空ポンプ・液封式真空ポンプ・油拡散真空ポンプ・ エジェクタ・真空システム・真空装置・真空バルブ・真空部品 本カタログに記載の事項を無断で転載することはご遠慮ください。 通告なしに記載事項を変更することがあります。 2024.09.PDF（S）