コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ　DSPシリーズ

DSP-NEW-02 ターボ分子ポンプとの組み合わせ ■クリーン排気なので、ターボ分子ポンプ（TMP）の補助ポンプとして最適です。 ターボ分子ポンプ（TMP） DSP 251 排気速度　～1000L／sクラス DSP series ターボ分子ポンプ（TMP） DSP 501 排気速度 1000～2400L／sクラス DSP 251 / 501 コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ ※排気ボリュームなど条件によって、最適な組み合わせは異なります。 高真空排気ユニットのご紹介 ターボ分子ポンプ TG220F,350F, 450F ■ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプを 　組み合わせた高真空排気ユニットも タッチパネル式 TMPコントローラ コントローラ 　製作できます。 TMPの運転状況を 直感的で簡単に 確認できます 操作できます。 誤操作防止 ■お客様のご要望に合わせて、 機能付き！ 　必要な機器を追加できます。 キャスター ドライ真空 キャスター付で ポンプ 移動が簡単 DSP251 詳しくは営業担当者までお問い合わせ下さい。 高真空排気ユニットの参考例 安全にお使いいただくために・本カタログに記載された製品を正しくお使いいただくため、ご使用の前に必ず取扱説明書をよくお読みください。 注意事項：「外国為替及び外国貿易法」に定める規制貨物に該当する場合には、同法に基づく許可を要することがあります。 ISO9001 ISO14001 大阪真空の製品群 ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプ・磁気軸受形複合分子ポンプ・ヘリカル溝真空ポンプ・ ターボ分子ポンプ排気ユニット・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・ルーツ真空ポンプ・ 液封式真空ポンプ・油拡散真空ポンプ・真空装置・真空システム・エジェクタ・真空バルブ・ 真空部品 JQA-QMA 10898 堺工場 J Q A - E M 5 14 3 株式会社 大阪真空機器製作所 製品詳細に関しましては営業へお問い合わせ下さい https://www.osakavacuum.co.jp　e-mail info@osakavacuum.co.jp 西日本営業部 〒541-0042　大阪市中央区今橋3-3-13　 TEL：06-6203-3981　FAX：06-6222-3645 東日本営業部 〒104-0061　東京都中央区銀座8-14-14　 TEL：03-3546-3731　FAX：03-3546-1560 名古屋営業部 〒460-0002　名古屋市中区丸の内3-18-1　 TEL：052-950-3051　FAX：052-950-3062 関連会社 Osaka Vacuum U.S.A. , Inc. 48000Fremont Blvd.,Fremont,CA 94538,U.S.A. TEL：+1-510-770-0100　FAX：+1-510-770-0104 上海欧洒卡真空機器有限公司 本カタログに記載の事項を無断で転載することはご遠慮ください。通告なしに記載事項を変更することがあります。 2022.12.PDF（S）

DSP series DSP 251 / 501 コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ 用途 ■SEM ■医療装置 ■ロードロック／搬送室排気 ■一般産業 ■研究開発 ■分析機器 ■加速器 ■イオン源　■リソグラフィ ■PVD ■電子銃排気 特長 ユーティリティーの ポータブルタイプ 利便性向上 オイルフリー DSP 251 DSP 501 ■小型・軽量・外乱に強い ■ガスバラスト機構を標準搭載 ■タイミングギヤレス構造により、 ■タイミングギアレス構造により、軽量化 ■空冷タイプのため冷却水不要 　潤滑油を使用しない設計 排気性能曲線 低騒音 低振動 省エネルギー 103 103 ■タイミングギアレス構造により機械音がない ■スクリュー形ロータの採用により、 ■低消費電力設計 ■外装カバーに防音機能装備 　排気脈動が発生しない 102 102 ガスバラスト導入時 ガスバラスト導入時 クリーン排気 高速ポンプダウン 安全規格　CE適合 101 101 ■油蒸気やパーティクルの逆流がない ■大気圧付近で大排気速度を実現 100 100 10-1 100 101 102 103 104 105 10-1 100 101 102 103 104 105 吸気口圧力［Pa］ 吸気口圧力［Pa］ 型式 DSP 251 DSP 501 外観寸法図 排気速度 ガスバラスト無 L/min 230 500 482 13 4 482 13 ガスバラスト有 L/min 200 430 215 482 267 13 48822 1133 482482178 482 304 13 13 13 221155 22667303 179 7 178178 304304 330033 117799 到達圧力 ガスバラスト無 Pa 215 267 178 304 0.5 303 482 179 13 482 13 基本性能 ガスバラスト有 Pa 2 215 267 178 304 303 179 接続形式 吸気口 ー KF25 KF40 重心位置 重心重位心置位置 重心位置 排気口 ー KF25 仕 概略重量 kg 16 21 重心位置 重心位置 重心位置 重心位置 様 相数 単相 上面 上面 重心位置 電圧 V AC100-230±10%（50/60Hz） ガスバラストポート 運搬用ハンドル 吸気口 ガスバラストポート 運搬用ハンドル 吸気吸口気口 ガスバラストポート 運搬用ハンドル 運搬用ハンドル 吸気口 ガスバラストポート 運搬 吸気口 （閉ガ止スバプラスグト付ポきー）ト 運運搬搬用用ハハンンドドルル 吸気口 ガスバラストポート 用ハンドル （閉止（閉プ止ラプグラ付グき付） き） 運搬用ハ （閉止プラグ付き） KンF2ド5ル 吸気口(閉止プラグガ付スバき)ラストポート ユーティ KKFF2255 (((閉止プラグ付き)) 電源 KF25 (閉止プラグ付き) 吸気口 ガスバラストポート 運搬用ハンドル 運搬用ハンドル 吸気口 ガスバラストポート （閉止プラグ付き） リティ 電源容量 VA 450 660 KF25 (閉止プラグ付き) 接続 ー 平川ヒューテック製CM11 重重心心位位置置 重心重位心置位置 到達圧力時 240 270 消費電力 W 重心位置重心位置 重心位置 最大 重心位置 380 600 重心位置 空冷FAN吹出し口 空冷空FA冷NF吹AN出吹し出口し口 空冷FAN吹出し口 空冷FFAANN吹出し口 空冷FAN吹出し口 空冷FAN吹出し口 空冷FAN吹出し口 空冷FAN吹出し口 対応ドライポンプ 品目 仕様 DSP 251 DSP 501 側面 側面 AC100V クラス用電源コード アース付きコンセントプラグ,長さ3ｍ ● ● ゴム脚 オ標 ゴム脚 ゴム脚 41.5 195 ゴゴムム脚脚 14914.5.15.5 51019955 119955 550 ゴム脚 0 42 195 ゴム脚 1954242 195195 195195 排気排口気口 標準付属品 41.5 195 195 50 ゴム脚 42 195 195 排気口 制御信号用コネクタ D-sub 15Pin オス ● ● ゴム脚 25 KF25 256.441.5 256.4 195 195 256.6.4.4 排気口 258.2 50 ゴム脚 排気口 2582.528.2 KKFF2255 排気口 42 195 195 排. KF25 排気口 258.気2 口 KF25 プ準 256.4 KF25 KF25 KF25 制御コネクタ 操作パネル 取扱説明書 日本語版 ● ● 排気口 258.2 KF25 KF25 制御制コ御ネコクネタクタ 操作操パ作ネパルネル 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル シ・付 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル KF25 ● 制御コネクタ 操作パネル ョ属 吸込真空フィルタ※1 KF40 ● ン品 オプション AC200Vクラス用電源コード ● ● 排気口サイレンサ ● ● 電源スイッチ 電源スイッチ 電源スイッチ 電源スイッチ 電源スイッチ 電源電ス源イスッイチッチ 電源スイッチ ポンプ本体固定金具 ● ● 電源スイッチ 電源スイッチ 電源 電源 電源 電源 コネ電ク源タ 電コ源ネクタ 電源コネ電ク源タ 電源 コネクタ 電源 コネクタ コネクタ コネクタコネクタ ※1 異物等が入ることが危惧される場合は、吸気口にフィルタを取り付ける等の適切な防止手段を設けてください。 コネクタ コネクタ ※2 空気より熱伝導率の低いガスを排気する場合、ポンプロータ・ステータが接触して破損に至る可能性があります。温度上昇は排気条件によっても変わります。ご使用の際は、当社営業までお問合せください。 前面 背面 前面 背面 ※3 ヘリウムや水素等の軽分子量ガスを吸引する場合、或いは多量の凝縮性成分を含む場合、ポンプ性能・運転に制約が生じる場合がありますので、事前に当社営業までお問合せください。 ※4 使用後は水蒸気の凝縮防止及び軽ガスの排気性能改善、乾燥空気または窒素ガスをバラストポートから導入してください。 23 23 71.5 71.5 23 23 71.5 71.5 23 2731.5 7711..55 712.35 23 23 23 71..5 71..5 23 23 717.15.5 717.15.5 2233 23 71 23 71.5 71.5 23 23 71.5 71.5 23 ..5 71..5 23 278 253 189 126 94.8 94.2 278 253 189 126 94.8 94.2 278 253 189 126 94.8 94.2 排気速度［L/min］ 227788 22553 278 3 118899 11226 253 6 9944..8 189 8 9944..22 126 94.8 94.2 43 154 35 263 94.5 94.5 43 154 35 263 94.5 94.5 43 154 35 263 94.5 94.5 444333 111555444 333555 222666333 999444...555 999444..5.55 排気速度［L/min］ 310 273210 189 159 310272 94.3189 94.7 159272 19849.3 94.7 159 94.3 94.7 310 273321100 189 159 227722 94.3 118899 94.7 115599 9944..33 9944..77 43 4433 295 229955 94.5 949.54.594.5 94.954.5 43 443 295 3 229955 94.5 94.5 9944..55 9944..55

DSP series DSP 251 / 501 コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ 用途 ■SEM ■医療装置 ■ロードロック／搬送室排気 ■一般産業 ■研究開発 ■分析機器 ■加速器 ■イオン源　■リソグラフィ ■PVD ■電子銃排気 特長 ユーティリティーの ポータブルタイプ 利便性向上 オイルフリー DSP 251 DSP 501 ■小型・軽量・外乱に強い ■ガスバラスト機構を標準搭載 ■タイミングギヤレス構造により、 ■タイミングギアレス構造により、軽量化 ■空冷タイプのため冷却水不要 　潤滑油を使用しない設計 排気性能曲線 低騒音 低振動 省エネルギー 103 103 ■タイミングギアレス構造により機械音がない ■スクリュー形ロータの採用により、 ■低消費電力設計 ■外装カバーに防音機能装備 　排気脈動が発生しない 102 102 ガスバラスト導入時 ガスバラスト導入時 クリーン排気 高速ポンプダウン 安全規格　CE適合 101 101 ■油蒸気やパーティクルの逆流がない ■大気圧付近で大排気速度を実現 100 100 10-1 100 101 102 103 104 105 10-1 100 101 102 103 104 105 吸気口圧力［Pa］ 吸気口圧力［Pa］ 型式 DSP 251 DSP 501 外観寸法図 排気速度 ガスバラスト無 L/min 230 500 482 13 4 482 13 ガスバラスト有 L/min 200 430 215 482 267 13 48822 1133 482482178 482 304 13 13 13 221155 22667303 179 7 178178 304304 330033 117799 到達圧力 ガスバラスト無 Pa 215 267 178 304 0.5 303 482 179 13 482 13 基本性能 ガスバラスト有 Pa 2 215 267 178 304 303 179 接続形式 吸気口 ー KF25 KF40 重心位置 重心重位心置位置 重心位置 排気口 ー KF25 仕 概略重量 kg 16 21 重心位置 重心位置 重心位置 重心位置 様 相数 単相 上面 上面 重心位置 電圧 V AC100-230±10%（50/60Hz） ガスバラストポート 運搬用ハンドル 吸気口 ガスバラストポート 運搬用ハンドル 吸気吸口気口 ガスバラストポート 運搬用ハンドル 運搬用ハンドル 吸気口 ガスバラストポート 運搬 吸気口 （閉ガ止スバプラスグト付ポきー）ト 運運搬搬用用ハハンンドドルル 吸気口 ガスバラストポート 用ハンドル （閉止（閉プ止ラプグラ付グき付） き） 運搬用ハ （閉止プラグ付き） KンF2ド5ル 吸気口(閉止プラグガ付スバき)ラストポート ユーティ KKFF2255 (((閉止プラグ付き)) 電源 KF25 (閉止プラグ付き) 吸気口 ガスバラストポート 運搬用ハンドル 運搬用ハンドル 吸気口 ガスバラストポート （閉止プラグ付き） リティ 電源容量 VA 450 660 KF25 (閉止プラグ付き) 接続 ー 平川ヒューテック製CM11 重重心心位位置置 重心重位心置位置 到達圧力時 240 270 消費電力 W 重心位置重心位置 重心位置 最大 重心位置 380 600 重心位置 空冷FAN吹出し口 空冷空FA冷NF吹AN出吹し出口し口 空冷FAN吹出し口 空冷FFAANN吹出し口 空冷FAN吹出し口 空冷FAN吹出し口 空冷FAN吹出し口 空冷FAN吹出し口 対応ドライポンプ 品目 仕様 DSP 251 DSP 501 側面 側面 AC100V クラス用電源コード アース付きコンセントプラグ,長さ3ｍ ● ● ゴム脚 オ標 ゴム脚 ゴム脚 41.5 195 ゴゴムム脚脚 14914.5.15.5 51019955 119955 550 ゴム脚 0 42 195 ゴム脚 1954242 195195 195195 排気排口気口 標準付属品 41.5 195 195 50 ゴム脚 42 195 195 排気口 制御信号用コネクタ D-sub 15Pin オス ● ● ゴム脚 25 KF25 256.441.5 256.4 195 195 256.6.4.4 排気口 258.2 50 ゴム脚 排気口 2582.528.2 KKFF2255 排気口 42 195 195 排. KF25 排気口 258.気2 口 KF25 プ準 256.4 KF25 KF25 KF25 制御コネクタ 操作パネル 取扱説明書 日本語版 ● ● 排気口 258.2 KF25 KF25 制御制コ御ネコクネタクタ 操作操パ作ネパルネル 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル シ・付 制御コネクタ 操作パネル 制御コネクタ 操作パネル KF25 ● 制御コネクタ 操作パネル ョ属 吸込真空フィルタ※1 KF40 ● ン品 オプション AC200Vクラス用電源コード ● ● 排気口サイレンサ ● ● 電源スイッチ 電源スイッチ 電源スイッチ 電源スイッチ 電源スイッチ 電源電ス源イスッイチッチ 電源スイッチ ポンプ本体固定金具 ● ● 電源スイッチ 電源スイッチ 電源 電源 電源 電源 電源コネ電ク源タ コネ電ク源タ 電コ源ネクタ 電源 コネクタ 電源 コネクタ コネクタ コネクタコネクタ ※1 異物等が入ることが危惧される場合は、吸気口にフィルタを取り付ける等の適切な防止手段を設けてください。 コネクタ コネクタ ※2 空気より熱伝導率の低いガスを排気する場合、ポンプロータ・ステータが接触して破損に至る可能性があります。温度上昇は排気条件によっても変わります。ご使用の際は、当社営業までお問合せください。 前面 背面 前面 背面 ※3 ヘリウムや水素等の軽分子量ガスを吸引する場合、或いは多量の凝縮性成分を含む場合、ポンプ性能・運転に制約が生じる場合がありますので、事前に当社営業までお問合せください。 ※4 使用後は水蒸気の凝縮防止及び軽ガスの排気性能改善、乾燥空気または窒素ガスをバラストポートから導入してください。 23 23 71.5 71.5 23 23 71.5 71.5 23 2731.5 7711..55 712.35 23 23 23 71..5 71..5 23 23 717.15.5 717.15.5 2233 23 71 23 71.5 71.5 23 23 71.5 71.5 23 ..5 71..5 23 278 253 189 126 94.8 94.2 278 253 189 126 94.8 94.2 278 253 189 126 94.8 94.2 排気速度［L/min］ 227788 22553 278 3 118899 11226 253 6 9944..8 189 8 9944..22 126 94.8 94.2 43 154 35 263 94.5 94.5 43 154 35 263 94.5 94.5 43 154 35 263 94.5 94.5 444333 111555444 333555 222666333 999444...555 999444..5.55 排気速度［L/min］ 310 273210 189 159 310272 94.3189 94.7 159272 19849.3 94.7 159 94.3 94.7 310 273321100 189 159 227722 94.3 118899 94.7 115599 9944..33 9944..77 43 4433 295 229955 94.5 949.54.594.5 94.954.5 43 443 295 3 229955 94.5 94.5 9944..55 9944..55

DSP-NEW-02 ターボ分子ポンプとの組み合わせ ■クリーン排気なので、ターボ分子ポンプ（TMP）の補助ポンプとして最適です。 ターボ分子ポンプ（TMP） DSP 251 排気速度　～1000L／sクラス DSP series ターボ分子ポンプ（TMP） DSP 501 排気速度 1000～2400L／sクラス DSP 251 / 501 コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ ※排気ボリュームなど条件によって、最適な組み合わせは異なります。 高真空排気ユニットのご紹介 ターボ分子ポンプ TG220F,350F, 450F ■ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプを 　組み合わせた高真空排気ユニットも タッチパネル式 TMPコントローラ コントローラ 　製作できます。 TMPの運転状況を 直感的で簡単に 確認できます 操作できます。 誤操作防止 ■お客様のご要望に合わせて、 機能付き！ 　必要な機器を追加できます。 キャスター ドライ真空 キャスター付で ポンプ 移動が簡単 DSP251 詳しくは営業担当者までお問い合わせ下さい。 高真空排気ユニットの参考例 安全にお使いいただくために・本カタログに記載された製品を正しくお使いいただくため、ご使用の前に必ず取扱説明書をよくお読みください。 注意事項：「外国為替及び外国貿易法」に定める規制貨物に該当する場合には、同法に基づく許可を要することがあります。 ISO9001 ISO14001 大阪真空の製品群 ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプ・磁気軸受形複合分子ポンプ・ヘリカル溝真空ポンプ・ ターボ分子ポンプ排気ユニット・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・ルーツ真空ポンプ・ 液封式真空ポンプ・油拡散真空ポンプ・真空装置・真空システム・エジェクタ・真空バルブ・ 真空部品 JQA-QMA 10898 堺工場 J Q A - E M 5 14 3 株式会社 大阪真空機器製作所 製品詳細に関しましては営業へお問い合わせ下さい https://www.osakavacuum.co.jp　e-mail info@osakavacuum.co.jp 西日本営業部 〒541-0042　大阪市中央区今橋3-3-13　 TEL：06-6203-3981　FAX：06-6222-3645 東日本営業部 〒104-0061　東京都中央区銀座8-14-14　 TEL：03-3546-3731　FAX：03-3546-1560 名古屋営業部 〒460-0002　名古屋市中区丸の内3-18-1　 TEL：052-950-3051　FAX：052-950-3062 関連会社 Osaka Vacuum U.S.A. , Inc. 48000Fremont Blvd.,Fremont,CA 94538,U.S.A. TEL：+1-510-770-0100　FAX：+1-510-770-0104 上海欧洒卡真空機器有限公司 本カタログに記載の事項を無断で転載することはご遠慮ください。通告なしに記載事項を変更することがあります。 2022.12.PDF（S）