【事例紹介有】導入機　総合カタログ

No.410 FEED THROUGHS CATALOG 導入機カタログ ■ LINEAR ■ ROTARY ■MULTI

目次 / Contents B1. E概要 / OverviewROTARY ・L・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 32. 直進導入機 / Linear Feedthroughs2-1 ベローズ式直進導入機 手動タイプ（ILD-M） ・・・・・・ 4 Bellows-sealed linear feedthrough:MLanuaLl type（ ILD-M）OWS2-2 ベローズ式直進導入機 自動タイプ（ILD-A） ・・・・・・・ 5 Bellows-sealed linear feedthrough:Automatic type（ILD-A）FE INEAR2-3 ベローズ式コンパクト直進導入機（ILC） ・・・・・・・・ 6 Bellows-sealedE compact linear feedthrough（ ILC）3. 回転導入機 / Rotary Feedthroughs3-1 コンパクト回転導入機（IRC） ・・・・・・・・・・・・・ 8 Compact rotary feedthrough（ IRC）3-2 高精度回転導入機（IRP） ・・・・・・・D・・・・・・・・・ 9 High-precision rotary feedthrough（ IRP） MULTI 3-3 磁気結合式回転導入機（MFR） ・・・・・・・・・・・ 10 Magnetic rotary feedthrough（ MFR） 3-4 ベローズ式シールシャッター（RCS） ・・・・・・・ 11 Bellows-sealed shutter（ RCS） 4. マルチ導入機 / Multi Feedthroughs 4-1 磁気結合式直進回転導入機（MFL） ・・・・・・・・・ 12 Magnetic linear rotary feedthrough（ MFL） 4-2 XY テーブル機構（TSL / TSN） ・・・・・・・・・ 13 XY table mechanism（ TSL/TSN） 5. 事例紹介 / Case Studies ・・・・・・・・・・・・・・ 14 6. ラインナップ / Lineup ・・・・・・・・・・・・・・・・ 15

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG BELRLOOTAWRSY 概要 / OverviewLINEAR 直進導入機シリーズLINEAR FEEDTHROUGHS SERIESLINEAR 直進導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持したまま直進させるための製品です。基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送等にFEED 御使用頂いております。入江工研の直進導入機はベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品MULTI を提案致します。Linear feedthroughs are products that are used to linearly feed equipment/devices in a vacuum from the atmosphere side while preserving them in a vacuum state. Our linear feed throughs are used by our customers for various purposes, such as lowering substrate stages and transferring wafers. With two types of linear feedthroughs available, including a bellows seal type and a magnetic seal type with manual and automatic drive systems, IRIE KOKEN offers products that meet various demands. 回転導入機シリーズ ROTARY ROTARY FEEDTHROUGHS SERIES 回転導入機とは、大気側から真空中にある機材・機器を真空状態を保持した まま回転させるための製品です。基板等を回転させたり、シャッターなどの切 替に御使用頂いております。入江工研の回転導入機はベローズシール式とマグ ネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合っ た製品を提案致します。 Rotary feedthroughs are products that are used to rotate equipment/ devices in a vacuum from the atmosphere side while preserving them in a vacuum state. Our rotary feed throughs are used by our customers for various purposes, such as rotating substrates and switching shutters. With two types of rotary feedthroughs available, including a bellows seal type and a magnetic seal type with manual and automatic drive systems, IRIE KOKEN offers products that meet various demands. マルチ導入機シリーズ MULTI MULTI-MOTION FEEDTHROUGHS SERIES マルチ動作導入機とは、直進＋回転または軸直角＋角度など一方向以上の動 作を真空内で行うための製品です。特に当社製品であるMFLシリーズとTSL/ TSNシリーズの組み合わせは様々な分野（半導体製造装置・加速器関連施設 等）で御使用頂いております。入江工研のマルチ動作導入機はベローズシー ル式とマグネットシール式の2種類ご用意し、駆動方式も手動・自動と様々な ニーズに合った製品を提案致します。 Multi-operation feedthroughs are products that are used to move in more than one direction, linear feeding + rotation or perpendicular direction toward an axis + angular movement. In particular, the combination of our MFL series and TSL/TSN series are used by our customers in various fields. （Such as semiconductor manufacturing equipment and accelerator-related facilities） With two types of multi-operation feedthroughs available, including a bellows seal type and a magnetic seal type with manual and automatic drive systems, IRIE KOKEN offers products that meet various demands. 3

ベローズ式直進導入機 手動タイプ（ILD-M） LINEAR BELLOWS-SEALED LINEAR FEEDTHROUGH：MANUAL TYPE（ ILD-M） インジケ－タ－ Indicator ハンドル Handle グリップカラ－ Grip 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 目盛１ｍｍピッチ 目盛リング10分割 Graduation 1mm Graduation A B C 24 D ベロ－ズ（SUS316L） Welded Bellows 軸受（ポリイミド） Polyimide 特　徴／ The feature 1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを 30 ～ 200mm まで規格化しました。 2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で使用可能です。 3. 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。 4. ベーキング温度 250℃に耐える設計にしております。 1. Equipped with IRIE KOKEN welded bellows, with a standardized stroke of 30 to 200mm. 2. Adoption of welded bellows for the drive part seal allows it to be used in ultra high vacuum regions. 3. Small and lightweight due to its very simple structure and emphasis on functionality. 4. The manual type model is designed to withstand a baking temperature of 250℃ . 仕　様／ Specifications 名称 / Name ベローズ式直進導入機 / Bellows-sealed linear feedthrough（ILD-M） 型式 / Model ILD-34M ILD-70M ILD-114M ストローク / Stroke 30,50㎜ 30,50,100㎜ 50,100,150,200㎜ 接続フランジ / Connecting flange CF34FH CF70FH CF114FH 駆動方式 / Drive method 手動 / Manual 使用圧力範囲 / pressure range 超高真空 / Ultra high vacuum（1 × 10-8Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure 位置検出 / Position detection 目盛（単位 :1㎜） / Graduation（unit:1㎜） 伝達荷重 / Axial load 196N（20kgf） 294N（30kgf） 490N（50kgf） ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-9Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 250℃以下（Max.250℃） 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Flange Stroke A B C D φ E（h7） F φ G φ H φ I φ J ILD-34M30 30 50 〜 80 149 CF34 7 16 6 5.0 8 42 38.0 51 ILD-34M50 50 50 〜 100 179 ILD-70M30 30 50 〜 80 129 ILD-70M50 CF70 50 50 〜 100 159 7 20 8 7.0 12 42 38.0 51 ILD-70M100 100 50 〜 150 228 ILD-114M50 50 50 〜 100 175 ILD-114M100 100 50 〜 150 225 CF114 11 35 14 12.5 16 70 48.6 61 ILD-114M150 150 50 〜 200 325 ILD-114M200 200 50 〜 250 400 4 F E G H I 0 4 3 2 1 0 2 １ 0 ９ ８ 17 J

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG ベローズ式直進導入機 自動タイプ（ILD-A） LINEAR BELLOWS-SEALED LINEAR FEEDTHROUGH：AUTOMATIC TYPE（ ILD-A） リミットスイッチ リニアポテンショメ－タ－（オプション） I Limit switch Potentiomete（r option） G モ－タ－ Moter A B 特　徴／ The feature 1. 駆動部シールに入江工研製の溶接ベローズを採用しておりますので、超高真空の領域で 使用可能です。 2. ストローク100㎜、150㎜を各サイズ（CF70、114、152、203）ラインナップ致しました。 3. モーターはリバーシブルモーターを標準採用。（ステッピングモーター等は別途御相談下さい。） 4. リミットスイッチを標準で装備。位置検出はポテンショメーターをオプションでご用意して おります。 1. Adoption of welded bellows for the drive part seal allows it to be used in ultra high vacuum regions. 2. Strokes of 100mm and 150mm are available at each size（ CF70, 114, 152, and 203） of our lineup. 3. A reversible motor is adopted as a standard. （ Consult us separately for a stepping motor, etc.） 4. Limit switchs is equipped as a standard. For position detection, a potentiometer is provided as an optional extra. 仕　様／ Specifications 名称 / ベローズ式直進導入機 / Bellows-sealed linear feedthroughName モーター駆動式 / Motor-driven type（ ILD-A） 型式 / Model ILD-70A ILD-114A ILD-152A ILD-203A ストローク / Stroke 100,150㎜ 100,150㎜ 100㎜ 100㎜ 接続フランジ / Connecting flange CF70FH CF114FH CF152FH CF203FH 駆動方式 / Drive method モーター駆動（リバーシブルモーター）AC100V / Motor-driven（ reversible motor） 使用圧力範囲 / Pressure range 超高真空 / Ultra high vacuum（1 × 10-8Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure 位置検出 / Position detection リミットスイッチ / Limit switch、ポテンショメーター（オプション） / Potentiometer（option） 伝達荷重 / Axial load 490N（50kgf） ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-9Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature − 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Flange Stroke A B C D φ E φ F（g6） G H φ（I h7） ILD-70A100 100 50 〜 150 334 CF70 96 152 38 12 20 7.0 8 ILD-70A150 150 50 〜 200 459 ILD-114A100 100 50 〜 150 345 CF114 101 165 48 16 35 12.5 14 ILD-114A150 150 50 〜 200 465 ILD-152A100 CF152 100 50 〜 150 330 107 170 60 24 35 20.0 22 ILD-203A100 CF203 100 50 〜 150 330 107 170 60 24 35 20.0 22 5 H F E C D

ベローズ式コンパクト直進導入機（ILC） LINEAR BELLOWS-SEALED COMPACT LINEAR FEEDTHROUGH（ ILC） CF34 10 0 C (11) A B 溶接ベロ－ズ ストッパー 10 Welded Bellows Stopper 軸受（ポリイミド） 目盛リング１０分割 ハンドル Polyimide Graduation Handle 特　徴／ The feature 1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストローク：10㎜、15㎜、20㎜まで規格化しました。 2. 弊社ベローズ式直進導入機（ILD シリーズ）に比べ、非常にコンパクトになっております。 1. Equipped with IRIE KOKEN welded bellows, with a standardized stroke of 10mm, 15mm, and 20mm. 2. Very compact when compared to our bellows-sealed linear feedthrough（ ILD series）. 仕　様／ Specifications 名称 / Name ベローズ式コンパクト直進導入機 / Bellows-sealed compact linear feedthrough（ ILC） 型式 / Model ILC-34-10 ILC-34-15 ILC-34-20 ストローク / Stroke 10㎜ 15㎜ 20㎜ 接続フランジ / Connecting flange CF34FH 駆動方式 / Drive method 手動 / Manual 使用圧力範囲 / Pressure range 超高真空 / Ultra high vacuum（1 × 10-8Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure 位置検出 / Position detection 目盛（単位 :1㎜） / Graduation（unit:1㎜） 伝達荷重 / Axial load 147N（15㎏f） ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-10Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 150℃以下（Max.150℃） 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Stroke A B C ILC-34-10 10 50 〜 60 106 〜 96 156 ILC-34-15 15 50 〜 65 127 〜 112 177 ILC-34-20 20 50 〜 70 152 〜 132 202 6 ∅6h7 5 ∅18 ∅27 8 ∅34 8 9 0 1 2 2 3 4 5 6

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG 7

コンパクト回転導入機（IRC） ROTARY COMPACT ROTARY FEEDTHROUGH（ IRC） ストッパー Stopper D F A B (C) 特　徴／ The feature 1. 入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジ CF34、CF70 を規格化しました。 2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、高真空の領域で使用可能です。 3. 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、小型、軽量になっています。 4. 回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。 1. Equipped with IRIE KOKEN welded bellows, with standardized connecting flanges CF34 and CF70. 2. Adoption of welded bellows for the drive part seal allows it to be used in high vacuum areas. 3. Small and lightweight due to its very simple structure and emphasis on functionality. 4. Features a rotary lock mechanism. The opening degree can be arbitrarily set. 仕　様／ Specifications 名称 / Name コンパクト回転導入機 / Compact rotary feedthrough（ IRC） 型式 / Model IRC-34 IRC-70 ストローク / Stroke 360 °連続回転 / Continuous rotation 360° 接続フランジ / Connecting flange CF34FH CF70FH 駆動方式 / Drive method 手動 / Manual 使用圧力範囲 / Pressure range 高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure 位置検出 / Position detection 目盛（単位 :10°）/ Graduation（unit:10°） 精度 / Accuracy 2°± 0.5° 伝達トルク / Torque 0.98N･m（10㎏f･㎝） 回転速度 / Rotational speed 100RPM ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-10Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 150℃以下（Max.150℃） 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Flange A B C D φ E（f6） F φ G φ H φ I IRC-34 CF34 70 89.4 7.0 20 6 5.0 18 27.2 31.8 IRC-70 CF70 70 125.0 9.5 25 8 6.8 26 38.0 41.6 8 ∅E G H 283032 34 0 2 4 6 8 I

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG 高精度回転導入機（IRP） ROTARY HIGH-PRECISION ROTARY FEEDTHROUGH（ IRP） ストッパー CF70 Stopper Ｍ４　深さ１５ 20 1.5Thru ２キリ 2Thru 77 53 42 55.3 12.7 240 特　徴／ The feature 1. 回転位置決め精度（無負荷時）が 0.5°の高精度回転導入機です。 2. 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、高真空の領域で使用可能です。 3. ゼロ位置設定が任意で設定可能です。 4. 回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。 1. High-precision rotary feedthrough with a rotary positioning precision of 0.5°（ when a load is not applied）. 2. Adoption of the welded bellows for the drive part seal allows it to be used in high vacuum regions. 3. Allows for the zero position setting to be arbitrarily set. 4. Equipped with a rotary lock mechanism. The opening degree can be arbitrarily set. 仕　様／ Specifications 名称 / Name 高精度回転導入機 / High-precision rotary feedthrough（ IRP） 型式 / Model IRP-70 ストローク / Stroke 360 °連続回転 / Continuous rotation 360° 接続フランジ / Connecting flange CF70FH 駆動方式 / Drive method 手動 / Manual 使用圧力範囲 / Pressure range 高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure 位置検出 / Position detection 目盛（単位 :1°）/ Graduation（unit:1°） 精度 / Accuracy 0.5°± 0.05° 伝達トルク / Torque 4.9N･m（50kgf･㎝） 回転速度 / Rotational speed 100RPM（トルク 0.98N･m（10㎏f･㎝）時） / 100RPM（by set torque 0.98N･m（10㎏f･㎝）） ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-10Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 120℃以下（Max.120℃） 9 9 -0.025 ∅10e7 -0.040 ∅29 ∅31 280 300 320 340 0 20 40 60 80 ∅81

磁気結合式回転導入機（MFR） ROTARY MAGNETIC ROTARY FEEDTHROUGH（ MFR） E C A B D 特　徴／ The feature 1. 真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロスト モーションも少なく設計しております。 2. 真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止しており、ガス放出量を低減しています。 3. 磁石を取り付けたままベーキングができます。 4. ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。 5. オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。 1. The use of samarium-cobalt magnets both inside and outside of the vacuum realizes high torque transmission and a design with minimum loss of motion. 2. The driven magnet part of the vacuum is canned with a thin stainless steel plate, reducing the gas emissions amount. 3. Baking can be performed while the magnet is attached. 4. Can be use semi-permanently by replacing the bearing. 5. Automatic driving is possible when using specifications that include the optional motor mount fitting. 仕　様／ Specifications 名称 / Name 磁気結合式回転導入機 / Magnetic rotary feedthrough（ MFR） 型式 / Model MFR-34 MFR-70 ストローク / Stroke 360 °連続回転 / Continuous rotation 360° 接続フランジ / Connecting flange CF34FH CF70FH 駆動方式 / Drive method 手動（モーター駆動可） / Manual（motor-drivable） 使用圧力範囲 / Pressure range 高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure 位置検出 / Position detection 目盛（単位 :15°） / Graduation（unit:15°） 目盛（単位 :1°） / Graduation（unit:1°） 伝達トルク / Torque 0.29N･m（3㎏f･㎝） 2.94N･m（30㎏f･㎝） 回転速度 / Rotational speed 500RPM ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-9Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 120℃以下（Max.120℃） 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Flange A B C D E φ F -0.01-0.02 G φ H φ I φ J MFR-34 CF34 50 100 34.7 12.0 20 6 5 18 38 40 MFR-70 CF70 50 165 55.0 12.5 20 10 9 40 73 73 10 F G H I 0 7 6 5 4 3 2 1 0 35 34 33 32 31 30 29 J

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG ベローズ式シールシャッター（RCS） ROTARY BELLOWS-SEALED SHUTTER（ RCS） D 89 F B A H 特　徴／ The feature 1. ベローズ式回転導入機IRC34を使用した信頼・実績のある機構を採用。高真空領域まで 使用可能です。 2. バタフライ式で尚且つシャッター折り曲げ式機構の為、視界が広範囲になっています。 3. 回転ロック機構付き。開度が任意に設定可能です。 4. 両端コンフラットフランジ（両刃）の為、配管途中に取付可能となります。 1. Adopts a reliable and proven mechanism that uses the bellows rotary feed through IRC34. Can be used up to high vacuum regions. 2. A wide field of vision is realized by the butterfly type shutter folding mechanism. 3. Equipped with a rotary lock mechanism. The opening degree can be arbitrarily set. 4. ConFlat flanges on both ends（ double-sided） allow it to be attached to the middle of the piping. 仕　様／ Specifications 名称 / Name ベローズシール式シャッター / Bellows-sealed shutter（ RCS） 型式 / model RCS-70 RCS-114 RCS-152 RCS-203 作動範囲 / Operating range 90°（シャッター部開口作動範囲 / Shutter part opening operation range） 接続フランジ / Connecling flange 両面 CF70 両面 CF114 両面 CF152 両面 CF203 駆動方式 / Drive method 手動 / Manual 使用圧力範囲 / Pressure range 高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-9Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 120℃以下（Max.120℃） 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Flange A B φ C D E F° G φ H RCS-70 CF70 20 22.5 32 55 13.5 90.0 10.8 35.1 RCS-114 CF114 20 41.5 53 75 20.0 112.5 19.0 59.5 RCS-152 CF152 20 69.0 86 95 31.0 96.3 30.5 95.6 RCS-203 CF203 26 107.5 109 115 53.0 90.0 52.5 143.2 11 E G ∅33.8 C ∅32 315 0 45

磁気結合式直進回転導入機（MFL） MULTI MAGNETIC LINEAR ROTARY FEEDTHROUGH（ MFL） A 200 90 45 35 C 14 D B 2-M3 7 15 18 2-5キリ通し 5Thru C1 M6 128 2キリ 2Thru 45 <D詳細図> Detail 特　徴／ The feature 1. 真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため、高トルクが伝達でき、ロスト モーションも少なく設計しております。 2. 真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止しており、ガス放出量を低減しています。 3. 磁石を取り付けたままベーキングができます。 4. ベアリングを交換することで、半永久的に使用できます。 5. オプションで回転防止機構もご用意しております。 1. The use of samarium-cobalt magnets both inside and outside of the vacuum realizes high torque transmission and a design with less lost motion. 2. The driven magnet part of the vacuum is canned with a thin stainless steel plate, reducing the gas emissions amount. 3. Baking can be performed while the magnet is attached. 4. Can be used semi-permanently by replacing the bearings. 5. A rotation preventing mechanism is also provided as an optional extra. 仕　様／ Specifications 名称 / Name 磁気結合式直進回転導入機 / Magnetic linear rotary feedthrough（ MFL） 型式 / Model MFL-70 MFL-114 ストローク / Stroke 回転 : 360° / Rotary:360°　直進 : 500、800、1000㎜ / Linear:500、800、1000㎜ 接続フランジ / Connecting flange CF70FH CF114FH 駆動方式 / Drive method 手動 / Manual 使用圧力範囲 / Pressure range 高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure 伝達荷重 / Axial load 196N（20㎏f） トルク / Torque 1.47N･m（15㎏ ･㎝） ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-9Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 120℃以下（Max.120℃） 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Flange Stroke A B C MFL-70-500 500 80 〜 580 870 MFL-70-800 CF70 800 80 〜 880 1170 58.2 MFL-70-1000 1000 80 〜 1080 1370 MFL-114-500 500 80 〜 580 870 MFL-114-800 CF114 800 80 〜 880 1170 62.5 MFL-114-1000 1000 80 〜 1080 1370 12 ∅19h8 ∅19 ∅8H8 ∅45 ∅68 ∅14 ∅38 ∅80

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG MULTI XY テーブル機構（TSL/TSN） XY TABLE MECHANISM（ TSL/TSN） 76～66 TSL ６－Ｍ６（等配） Equipartition ) 58 .7 CD(PA 76 ～ 66 ６－Ｍ６（等配） TSN Equipartition 8.7 ) D5 (PC A 特　徴／ The feature 1. ベローズ式シール機構を採用しております。入江工研製の成形ベローズを使用。 2. 弊社磁気結合式直進回転導入機（MFL-70）の位置決め用に最適です。 3. 簡易タイプですので、非常に安価です。 4. 片側：CF70タップフランジ（オプション：CF114タップフランジ） 片側：CF70、CF114、CF152のチャンバー等に合わせてお選び頂くことが出来ます。 5. XY方向調整のみ（TSL）、角度調整機構付き（TSN）の2種類の機構をご用意しております。 1. Adopts the bellows seal mechanism. Uses IRIE KOKEN formed bellows. 2. Optimal for positioning our magnetic linear rotary feedthrough（ MFL-70）. 3. Inexpensive, simplified type. 4. One side: CF70 tapped flange（ option: CF114 tapped flange）, one side: selectable according to the chamber, etc., of CF70, CF114, CF152. 5. We provide two types of mechanisms: one that makes adjustments in the XY direction only（ TSL） and another that features an angle adjusting mechanism（ TSN）. 仕　様／ Specifications 名称 / Name ＸＹテーブル機構 / XY table mechanism（ TSL/TSN） 型式 / Model TSL-70 TSL-114 TSL-152 TSN-70 TSN-114 TSN-152 XY 方向 : ± 5mm / XY 方向 : ± 5mm / XY directions ± 5mm 動作範囲 / Operating range XY directions ± 5mm 角度 : 0 〜 5°/ Angle0 〜 5° CF70FH- CF114FH- CF152FH- CF70FH- CF114FH- CF152FH- 接続フランジ / Connecting flange CF70FT CF70FT CF70FT CF70FT CF70FT CF70FT 駆動方式 / Drive method 手動 / Manual 使用圧力範囲 / Pressure range 高真空 / High vacuum（1 × 10-5Pa）〜大気圧 / Atmospheric pressure ヘリウムリーク量 / Helium leak rate 1.0 × 10-9Pa･m3/s ベーキング温度 / Baking temperature 150℃以下（Max.150℃） 寸　法／ Size 単位（unit）:㎜ Model Flange A Model Flange A TSL-70 CF70FH0 - CF70FT 80 TSN-70 CF70FH0 - CF70FT 80 TSL-114 CF114FH - CF70FT 85 TSN-114 CF114FH - CF70FT 85 TSL-152 CF152FH - CF70FT 85 TSN-152 CF152FH - CF70FT 85 13 （∅69.3） （∅69.3） 70 70 110 110

事例紹介 Case Studies 　 自 実 作 験 の に 導 対 入 応 機 で で き は な い ・ ・ ・ T大学の研究員は、次に公表する論文のために真空内に A self-built feedthrough was incapable of handling the おける実験を進めていた。しかし、今回の実験では、真 experiment… 空状態での位置決めが非常に重要だったため、現在使用 A researcher at T University has advanced experiments in a vacuum to be published as a next research paper. However, している既製品で組み立てた自作の直進導入機では対応 as positioning in a vacuum state was very important in this できないという問題が浮上した。 experiment, it became apparent that the self-built linear そして、研究員は考えた末、さらに位置決めの精度を高 feedthrough that the researcher had assembled out of existing めるために、自ら直進導入機の先端に光電センサを設置 products and had been using at the time was incapable of することにした。先端に光電センサを設置して、同軸ケー handling the task.After much thought, the researcher decided to install a ブルをセンサまで引き、フランジを付けるというものだっ photoelectric sensor on the tip end of the linear feed in order to た。しかし、真空内（チャンバー内）での配線処理（同軸 further improve positioning precision. The idea was to install a ケーブルの長さ〈たわみ〉や硬さ）の問題により、ストロー photoelectric sensor on the tip end, run a coaxial cable to the クがうまくいかない・・・ sensor, and attach a flange. However, due to issues of wiring （length <deflection> and hardness of the coaxial cable） in 困った研究員は、国内で導入機を扱っている企業を the vacuum（ in the chamber）, a proper stroke could not be WEB上で探すことにした。そして、入江工研のコーポレー obtained. The perplexed researcher searched for a domestic トサイトでベローズ式直進導入機を見つけた。以前から company that handles feedthroughs on the Web. Then, the 会社は知っていたが、「ベローズ」や「バルブ」のメーカー researcher found bellows linear feedthroughs on the corporate site of IRIE KOKEN. The researcher had known about IRIE というイメージが強かったため、導入機を扱っていること KOKEN, but was under the impression that the company was a は知らなかった。早速、アポイントを取り、担当営業に “bellows” and“ valves” manufacturer, and had not known that 導入機でどのような動作を実現したいかを伝え、自らカ IRIE KOKEN handled feedthroughs as well. The researcher スタマイズした実機を見てもらった。チャンバー内をポー immediately made an appointment and informed the sales staff トから見ると、「やはり、この配線の仕方だと動作性にも of what kind of operations were expected to be achieved with the feedthroughs, and showed the sales staff a self-customized 影響が出て、真空内でトラブルが発生する可能性があり feedthrough. Upon looking at the inside of the chamber from the ますね。それに全体としては構成部品の多さも気になり port, the sales staff presented the researcher with a possible ます。一旦社内に持ち帰って、エンジニアと相談した上で solution:“ This way of wiring may impact operability and cause 最適な提案を差し上げます」と、担当営業から理想的な trouble in the vacuum. Also, the large number of components overall is another concern. I’d like to bring this back to our 答えが返ってきた。 company and consult with our engineers to propose the best 数日後、入江工研から詳細な図面が届いた。その仕様は solution.” 規格品の直進導入機ではなく、中空直進導入機をカスタ Several days later, detailed drawings were delivered by マイズ・アッセンブリしたものだった。この仕様により、ケー IRIE KOKEN. The specifications were not of a standard ブル周りのトラブルの発生が抑えられることから、真空 linear feedthrough, but of a custom-assembled hollow linear feedthrough. According to the proposed specifications, the 内での配線処理の問題が解消された。また、ベローズを occurrence of troubles related to the cables was minimized, はじめ、この導入機に組み込まれている部品の大半は入 solving the wiring issues in the vacuum. And, as most of 江工研が自社開発したもので、一つ一つの部品の品質が the components, including the bellows, incorporated in this 高く、納得のいくものだった。 feedthrough were developed in-house by IRIE KOKEN, each was of high quality and satisfactory. この研究員の要望を満たした図面を見て T大学は購入 T University reviewed the drawings that matched the を決めた。 researcher’s demands and decided to purchase the product. 14

導入機カタログ / FEEDTHROUGHS CATALOG ラインナップ／ Lineup ベローズ式直進導入機（ILD-M） Bellows-sealed linear feedthrough:Manual type (ILD-M) ベローズ式コンパクト直進導入機（ILC） Bellows-sealed compact linear feedthrough (ILC) ベローズ式直進導入機モーター駆動（ILD-A） Motor-driven Bellows-sealed linear feedthrough:Automatic type (ILD-A) 中空式直進導入機（ILH） Hollow linear feedthrough (ILH) 直進導入機 中空式直進導入機エア駆動 LINEAR Air-driven hollow linear feedthrough 中空式直進導入機モーター駆動 Motor-driven hollow linear feedthrough 磁気結合式直進導入機 Magnetic linear feedthrough エア駆動式直進導入機 Air-driven linear feedthrough 磁気結合式直進導入機モーター機構（MFL） Magnetic linear feedthrough motor mechanism (MFL) 高精度回転導入機（IRP） High-precision rotary feedthrough (IRP) コンパクト回転導入機（IRC） Compact rotary feedthrough (IRC) 中空式回転導入機 Hollow rotary feedthrough 回転導入機 エア駆動式回転導入機 ROTARY Air-driven rotary feedthrough モーター駆動式回転導入機 Motor-driven rotary feedthrough ベローズ式シールシャッター（RCS） Bellows-sealed shutter (RCS) 磁気結合式回転導入機（MFR） Magnetic rotary feedthrough (MFR) ＸＹテーブル機構（TSL/TSN） XY table mechanism (TSL/TSN) 高精度XYZテーブル High-precision XYZ table マルチ チルト機構付き小型マグネットカップリング MULTI Small magnet coupling with tilt mechanism 磁気結合式直進回転導入機（MFL） Magnetic linear rotary feedthrough (MFL) ベローズ式直進回転導入機（ILD-M） Bellows-sealed linear rotary feedthrough (ILD-M) 15

IKCの主要製品 MAIN PRODUCTS べローズ ゲートバルブ 真空機器 Bellows Gate valves Vacuum components ■ 溶接べローズ ■ 角型ゲートバルブ ■ チャンバー Welded bellows Rectangular type gate valves Chambers ■ 成形べローズ ■ 丸型ゲートバルブ ■ 導入機 Formed bellows Round type gate valves Feedthroughs ■ フレキシブルチューブ ■ 大型ゲートバルブ（角型） Flexible tubes Large-size rectangular type gate valves ■ L 型バルブ（アングルバルブ） L-shape valves ※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。 ※最新の情報は、入江工研 Web サイト http://www.ikc.co.jp/ にてご確認下さい。 ※ Specifications subject to change without notice. ※ Please confirm the latest information on the website of IRIE KOKEN CO., LTD. 　[ http://www.ikc.co.jp/ ] 1. 取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。 2. 本製品の保証期間は弊社工場出荷後18 ヶ月とさせていただきます。 3. 保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。 4. 下記項目に対しては、保証対象外とさせていただきます。 ① 異常な使用方法による故障 ② 弊社の合意なく行われた修理や改造等による故障 ③ 火災、天災等の不可抗力な災害による故障 ご注意 5. 本製品の故障についてのみの責任範囲とさせていただきます。 Cautions 1. Be sure to note mounting posture when mounting, connecting or using. Be sure to check the specifications if you plan to use the product for use other than it is designed for. 2. These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they are shipped from the factory. 3. If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired or replaced free of charge. 4. The following are not covered by the guarantee: ① Mechanical failure caused by use in manner other than specified. ② Mechanical failure caused by unauthorized repair or modification. ③ Mechanical failure caused by fire or natural disaster. 5. IRIE KOKEN assumes that the responsibility for mechanical failure covers this product only. ■ 本 社 〒 100-0005 東京都千代田区丸の内 3-1-1 国際ビル 813 Head Office TEL：03-3211-7111　FAX：03-3211-7110 813 Kokusai-bldg. 3-1-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0005 ■ 大 阪 営 業 所 〒 550-0002 大阪市西区江戸堀 1-2-11 大同生命南館 Osaka Office TEL：06-6445-2630　FAX：06-6459-3350 Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002 ■ 工 場 埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場） F a c t o r y Saitama-ken（Technical Center）, Ehime-ken（ Uchiko Factory・Nakayama Factory） 販売代理店 Distributor W1602