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パーティクル巻上げ防止に
特徴
１）初期排気の時、定数（真空容器容積/廃棄速度：sec）を〜120secと広範囲に設定できます
２）全体がコンパクト設計により、小型、軽量化されました
３）正圧、逆圧どちらでも0.15MPaの圧力でも漏れません
４）取り付け姿勢は任意です
５）２段階排気方式（スロー排気用スカートをバルブシート部に挿入）
このカタログについて
| ドキュメント名 | スロー排気バルブ 微量調整弁付き |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.8Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 入江工研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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