ゲートバルブ　マリーナ

Page 1:口径250Ａ∼500Ａ口径250Ａ∼500Ａ250Ａ∼500Ａ250Ａ∼500Ａ

Page 2:概 要まえがき／Introduction2OutlineMARINA is a round and pendulum type of valve which features stable sealing parformance,simple construction, and compact design. This valve has been made available in series to cover a widerange of applications from semiconductors to large-size FPD manufacturing equipment.1. Stable sealing performance  Valves use the sealing system operated by the swell gate system, respectively, to ensure stable  seals even against negative pressure.2. Low particles  Its fewer frictional parts minimize the formation of particles to keep the inside of the device clean.3. Easy maintenance  When replacing the O-ring for sealing, the valve plate unit can be easily removed by extracting its four bolts and a substitute O-ring can quickly be installed.4. MARINA is composed simply of a valve casing, drive shaft, valve plate, and drive units.1）安定したシ−ル性  スウェルゲ−ト構造によるシ−ル構造を採用している為、逆圧シ−ルに対しても安定したシ−ル性能を確保  できます。2）ロ−パ−ティクル  摺動部が少ない為パ−ティクルの発生が少なく、装置内をクリ−ンな状態に保てます。3）メンテナンスが容易  シ−ル用Ｏリングの交換には４本のボルトを外すことにより容易に弁板ユニットが取り外せＯリングの装着  も短時間の作業で終了します。4）ＭＡＲＩＮＡは弁箱ユニット、駆動軸ユニット、弁板ユニット、駆動ユニットのシンプルな構成になっています。特  徴概  要OVERVIEWFEATURESＭＡＲＩＮＡは安定したシール性能を持ち、シンプルな構造、コンパクトなデザインの丸型・振子式バルブです。半導体製造装置から、大型ＦＰＤ製造装置まで対応したバルブをシリ−ズ化しました。

Page 3:3型式表示方法／ORDERING NUMBER DESCRIPTION口 径 BoreM 250 2J機 種 TypeM MARINAフランジ規格 Flange typeJSJISISO232 Position3 Position■仕 様／Specifications使用圧力範囲Pressure rangeLock／Free  動作   Open／Close 動作（弊社確証テストによる保証値。但しシール材は除く）Lock／Free  ActionOpen／Close Action(Guaranteed Value:according to our verificationtest.however,this does not apply to seals):1 x 106cycles:1 x 106cycles100万回100万回本  体：1×10-10Pa・m3/s 以下シール板：5×10-10Pa・m3/s 以下     （保持時間 Min. 60ｓ）Body   Max. 1×10-10Pa・m3／s Seal Plate Max. 5×10 -10Pa・m3／s          (Hold Time Min. 60s)寿  命Life cycles開動作時の差圧Differential pressure when open1000Pa以下Max1000Paヘリウムリーク量Helium leak rate取付姿勢Installation postureベーキング温度Bake-out temperatureエアー供給圧Compressed air pressureエアー配管径Air tube outside diameter動作時間Opening／Closing timeLock／Free用ポート： 0.5±0.05ＭPaOpen／Close用ポート：0.5±0.05ＭPaLock／FreeOpen／Close6mm6mmLock／FreeOpen／Close約1.0ｓ約3.0ｓLock/Free Approx. 1.0 s.Open/Close Approx. 3.0 s.Lock /Free port : 0.5 ± 0.05 MPaOpen/Close port : 0.5 ± 0.05 MPaBody：Max.120℃Actuator,sensor：Max.60℃シール面が「天」又は「地」"Top", "Ground" for the seat＊弁箱は、CP処理を行っています。／The valve casing undergoes CP treatment.オプション：表面処理（アルマイト他）、特殊洗浄、パイロットチェック弁付スピードコントローラー、ヒーターなどについては、お客様のご要望により対応致します。Options：Requirements for surface treatment (e.g. alumite), special cleaning, spead controler with pilot check valves,heaters, etc. can be met upon customer request.材  質 Materials弁  箱 Valve casingシール板 Seal plateベローズ BellowsＯリング Ｏ-Ring大気圧∼5.0×10-6PaAtmospheric pressure ∼ 5.0×10-6PaＡＣ４Ｃ−Ｔ６Ａ５０５２ＳＵＳ３１６ＬＦＫＭ Viton®250320400500

Page 4:4S2b S2a開動作Open motion閉動作Close motionFree動作Free motionLock動作Lock motionS1b S1a0.5±0.05 MPa4 3 2 1LS1:開位置LS1:Open positionLS0:閉位置LS0:Close positionPS2 PS1CYL2: OPEN/CLOSE シリンダーCYL2: Open/Close cylinderCYL1: LOCK/FREE シリンダーCYL1: Lock/Free cylinder■2ポジションバルブ回路図／Schematic of circuit: 2-position valveCYL2 : 開動作CYL2 : Open motionCYL2 - : 閉動作CYL2- : Close motionCYL1 - : free動作CLY1-: Free motionCYL1 : lock動作CYL1 : Lock motion注）圧力スイッチPS1、PS2はシリンダーの空気が排気され、接点が開く動作を検知します。Note) The pressure switches PS1 and PS2 detect contact opening motion after the cylinder has been deaerated.■2ポジションバルブ基本動作／Basic flow of 2-position valve operation1234CYL1 - (S1a:on)CYL2 (S2a:on)CYL2 - (S2b:on)CYL1 (S1b:on)閉位置 ： 弁板lock／Close position, Seal plate LockPS1・PS2・LS0 弁板free／PS1・PS2・LS0 Seal plate Free弁板：lock→free動作／Seal plate Lock → Free motion弁板：free→lock動作／Seal plate Free → Lock motion閉位置：→開動作／Close position → Open motion開位置→閉位置／Open position → Close positionPS1・PS2・LS1 開位置／PS1・PS2・LS1 Open positionPS1・PS2・LS0 閉位置／PS1・PS2・LS0 Close positionPS1・PS2・LS0 弁板lock／PS1・PS2・LS0 Seal plate Lock

Page 5:5S3bS2b S3a S1b S1aS2a全閉停止Full Close stop開動作Open motion閉動作Close motion中間停止Intermediate stopFree動作Free motionLock動作Lock motionR2:0.3 MPa 0.05　0R1:0.6±0.05MPaCYL2: OPEN/CLOSE シリンダーCYL2: Open/Close cylinder5 4 3 2PS2LS2:全開位置LS2: Full Open positionLS1:中間開位置LS1: Intermediate Open positionLS0:全閉位置LS0: Full Close motionPS11CYL2 : 開動作CYL2 : Open motionCYL1 - : free動作CYL1-: Free motionCYL1 : lock動作CYL1 : Lock motionCYL2 - : 閉動作CLY2-: Close motionCYL1: LOCK/FREE シリンダーCYL1: Lock/Free cylinder■3ポジションバルブ回路図／Schematic of circuit: 3-position valve■3ポジションバルブ基本動作／Basic flow of 3-position valve operation注）圧力スイッチPS1、PS2はシリンダーの空気が排気され、接点が開く動作を検知します。Note) The pressure switches PS1 and PS2 detect contact opening motion after the cylinder has been deaerated.1 CYL1 - (S1a:on)2 CYL2 (S2a:on)3 CYL2 - (S2b:on)4 CYL2 (S2a:on) 41 CY2 - (S2b:on)(S3b:on)LS042 CYL1 (S1b:on)(S3b:on)(S3a:on)全開位置：lock／Full Open position: Lock全開位置→lockFull Open position → LockPS1・PS2・LS0 弁板free／PS1, PS2, LS0 Seal plate Free弁板：lock→free動作／Seal plate Lock → Free motion全閉位置：→開動作／Full Close position → Open motion全開位置→中間開動作Full Open position→Intermediate Open motion中間開→全開動作Intermediate Open→Full Open motion全開または中間開→全閉動作Full Open or IntermediateOpen → Full Close motionPS1・PS2・LS2 全開位置／PS1, PS2, LS2 Full Open positionPS1・PS2・LS1　中間開位置PS1, PS2, LS1 Intermediate Open motionPS1・PS2・LS2　全開位置PS1, PS2, LS2 Full Open positionPS1・PS2・LS0　弁板lockPS1, PS2, LS0 Seal plate Lock

Page 6:6■ＭＡＲＩＮＡは、ＯＰＥＮ／ＣＬＯＳＥ用シリンダ−と弁板の中央に搭載されるＬＯＣＫ／ＦＲＥＥ用シリンダ−によって構成されています。ＯＰＥＮ／ＣＬＯＳＥ用シリンダ−によって弁板がＬＯＣＫ位置に達すると、ＬＯＣＫ／ＦＲＥＥ用シリンダ−が動作し圧力プレ−トとシ−ルプレ−トが拡がり弁板をシ−ル面に押し付けます。■ＭＡＲＩＮＡは弁板内部に設置されたベロ−ズにより、弁板に作用する圧力差による力の影響を大幅に軽減する事が出来る為、ＬＯＣＫ／ＦＲＥＥ用シリンダ−はシ−ルに必要な最小限の推力ですみ、シ−ルの安定、バルブの低剛性化、軽量化が計れます。■MARINA are composed of Open/Close cylinder and Lock/Free cylinder mounted in the center of the seal plate. When the sealplate reaches the Lock position due to the motion of the Open/Close cylinder, the Lock/Free cylinder operates to increase thepressure and expand the sealing plates to thrust the seal plate onto the seal face.■SWELL MARINA can significantly offset the effect of the force on the valve plate due to the pressure differential by means of thebellows installed inside the seal plate to control the thrust for the Lock/Free cylinder to the minimum necessary, stabilize sealing,and reduce the valve in rigidity and weight.■動作原理／Operation Principleフリー状態／Free position ロック状態／Lock positionValve casing Seal plate Bellows Cyllinder Pressure plate弁 板弁 箱 ベローズ シリンダー 圧力プレート口 径Bore Size型  式Model2503204005004605556308166557909441180100120135160M―250J(S) ―2(3)M―320J(S) ―2(3)M―400J(S) ―2(3)M―500J(S) ―2(3)A B CABCDE134.5129.5129146250320400500D E(unit:mm)■外観図／Schematic diagram ■寸法表／Table of dimensions

Page 7:7■取り扱い上のお願い／Precautions when using1.検収について製品が到着しましたら、まずご注文通りの品物かどうかご確認ください。製品は仕様に基づき、細部にわたり検査し出荷しておりますが、輸送中の取り扱い等により万一変形等が起こる場合も考えられますので、到着後直ちに検収を行って下さい。2.開梱について 製品を包んでおりますポリ袋ごと段ボールから取り出し、周囲についているゴミ、埃等をエアブローしてください。ポリ袋の開梱はゴミ、埃の無い環境で行って下さい。3.運搬・保管について運搬時に衝撃を与えないよう、充分に注意して取り扱って下さい。保管時は、外力による衝撃、変型防止はもちろんのこと、ゴミ・埃の付着、直射日光への暴露などの防止とともに、発錆環境中（高湿度、塩害、腐食性物質を含む大気との接触）での保管は避けて下さい。4.取り付けについて製品は運搬時の衝撃防止のため、エアーを封入しエアーロックしています。チャンバーへの組み込みが完了するまでこの状態にて取り扱ってください。（封じた状態のチューブを取り外さないでください）取り付け前にシール板のOリング表面及びOリング接触面に異物の付着が無い様、アルコールにて拭き取って下さい。5.使用範囲についてご使用は、カタログに記載している仕様範囲内で使用して下さい。仕様範囲を超えて使用しますと、故障の原因になるばかりか、事故の原因にもなりますので充分確認をしてご使用下さい。1. InspectionWhen the product is delivered, first make sure you have received the product you ordered. We make adetailed check of our products based on specifications prior to delivery, but the product could be damagedin transport. Be sure to check the product out upon delivery.2. PackagingRemove the product from its plastic and cardboard packaging and blow off the dust and scraps with an airgun. The plastic wrapping should be opened in a place free of dust and dirt.3. Transport and storageBe careful to protect the gate valve from impact during transport. When storing, you should not allow theproduct to be exposed to dust, dirt or direct sunlight as well as taking measures to prevent impact ordeformation from external force. Avoid storing in a corrosive environment (contact with air containingexcessive humidity, salt or corrosive materials).4. InstallationTo avoid impact during transport, air is sealed. Do not remove the seal until you have finished mounting thevalve on the chamber. (Do not remove the sealed tube.) Before installation, wipe any foreign matter off theface and contact surface of the seal plate's O-ring with alcohol.5. Usage rangeUse the valve within the range of specifications given in the catalog. Using it in a manner as exceeding therange of specifications could result in mechanical failure or accident. Make sure the valve is used within therange of specifications.

Page 8:※製品改良のため仕様寸法等を適宜変更することがありますのでご了承ください。※Specifications subject to change without notice.販売代理店／Distributor各種金属べローズ溶接べローズ、成形べローズ各種真空コンポーネンツ導入機、高真空バルブ各種真空装置原子力、核融合、加速器関連装置半導体製造関連装置Main ProductsIKCの主要製品W1206（1）（2）（3）（4）（5）ご注意 Cautions取付／接続／ご使用にあたっては、取付姿勢にご注意ください。その他ご利用に当たっては製品仕様をご確認ください。本製品の保証期間は弊社工場出荷後18ヶ月とさせていただきます。保証期間内において、弊社の製品に不具合が生じた場合、無償にて修理または交換をさせていただきます。下記項目に対しては、保証対象外とさせていただきます。1. 異常な使用方法による故障2. 弊社の合意なく行われた修理や改造等による故障3. 火災、天災等の不可抗力な災害による故障本製品の故障についてのみの責任範囲とさせていただきます。(1)(2)(3)(4)(5)1.2.3.Be sure to note installation posture when installation, connecting or using. Besure to check the specifications if you plan to use the product for use other than itis designed for.These products are guaranteed for a period of 18 months after the day they areshipped from the factory.If a defect occurred to the product during warranty period, it will be repaired orreplaced free of charge.The following are not covered by the guarantee:Mechanical failure caused by use in manner other than specified.Mechanical failure caused by unauthorized repair or modification.Mechanical failure caused by fire or natural disaster.IRIE KOKEN assumes that the responsibility for mechanical failure covers thisproduct only.Welded bellows, Formed bellowsFeedthroughs, High-vacuum valvesNuclear power plants, Nuclear fusionreactors, Particle accelerators,Semiconductor manufacturing relatedequipment●事業所在地／Office address本 社大 阪 営 業 所工     場◇Head office◇Osaka office◇Factory〒100-0005 東京都千代田区丸の内3-1-1 国際ビル813      TEL：03-3211-7111 FAX：03-3211-7110◇813 Kokusai-bldg. 3-1-1 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan 100-0005〒550-0002 大阪市西区江戸堀1-2-11 大同生命南館      TEL：06-6445-2630 FAX：06-6459-3350◇Daido Seimei Minami-Kan 1-2-11 Edobori, Nishi-ku, Osaka, Japan 550-0002埼玉県（テクニカルセンター），愛媛県（内子工場・中山工場）◇Saitama-ken(Technical Center), Ehime-ken (Uchiko Factory・Nakayama Factory)