mXDS3およびmXDS3s ドライスクロール真空ポンプ

製品データシート mXDS3およびmXDS3s ドライスクロール真空ポンプ edwardsvacuum.com Edwardsのドライスクロールポンプシリーズは、非常にコンパ クトなmXDS3とmXDS3sの登場でラインナップがさらに拡大 します。 この新型ポンプは3m3/hの排気速度と10Paの到達圧力で、ターボ 分子ポンプのバッキングポンプに最適です。この小型ポンプは システム設計者とエンドユーザーの双方に柔軟性をもたらし ます。 mXDS3sには出荷時に遅延リレー付きソレノイドバルブが取り 付けられています。また排気側サイレンサも付属しています。 mXDS3はソレノイドバルブを装備していない標準モデルです。 どちらのポンプも真空性能は同じで、主電源用のIECコネクタと、 簡単操作用のオン／オフスイッチが付いています。 ポンプを構成するアクセサリも幅広くご用意しています。 特長と利点 ドライポンプ 非常にコンパクト オイルのチェック、交換、廃棄が不要のため、 8kgしかないので、研究所の柔軟なソリューションや、 環境にやさしい 分析機器および小型ポンプシステムへの統合に最適 静音運転 メンテナンスの低減 低騒音なので作業環境を改善 チップシール交換は必要に応じて（通常2年に一度）

製品データシート edwardsvacuum.com 寸法 性能曲線 3.00 300 250 2.00 200 150 1 5 8 2 2 3 1.00 100 ミニスクロール 1 3 4 1. GB閉時速度 2. GB 1回転開時速度 50 3. GB全開時速度 4. GB閉時電力 0.00 0 10 100 1,000 10,000 100,000 インレット圧力（Pa） 技術データ 単位 mXDS3 mXDS3s 真空データ 到達真空度 Pa 10 ガスバラスト使用時の到達真空度 Pa 15 ピーク排気速度 m3/h 3.0 許容最大連続インレット圧力* Pa 100,000 停止時の最大圧力上昇、インレットまたはガスバラスト流量なし Pa/min 100 モータデータ 100±10% 単相 115±10% 単相 供給電圧 V 200±10% 単相 220-230±10% 単相 供給周波数 Hz 50/60 物理データ 重量 kg 7.8 8 インレット接続 NW16 アウトレット接続 1/8インチBSP、6×8mmホース用波状ノズル付き 到達真空度での騒音レベル dB (A) 54.0 ±2.5 ベアリング面で測定した振動 mm/s クラス1C…<4.5（rms、ラジアル） リーク量 Pa. l/s 1×10-2 全体寸法（L×W×H） mm 223×158×231 公称回転速度 rpm 3000@50Hz / 3600@60Hz 周囲温度範囲（動作） °C +5～+40 * これらのポンプは大気圧からポンプダウンするよう設計されていますが、高インレット圧力での長期運転はベアリングの寿命を短くする場合があります。 * これらのポンプは大気圧まで排気するよう設計されています。高い排気圧はチップシールの寿命を短くする場合があります。 * 大量のガスを排気することができますが、高インレット圧力での長期運転はベアリングの寿命を短くする場合があります。 Publication No. 3601 0722 95 エドワーズ株式会社 © Edwards Limited 2022. All rights reserved EdwardsとEdwardsのロゴはEdwards Limitedの商標です。 〒276-8523 千葉県八千代市吉橋1078-1 当社の製品とサービスの記載は正確を期していますが、本パンフレットの 情報が正確で完全であると保証するものではありません。 カスタマーサポート 047-458-8836 Edwards Ltd、イングランドとウェールズで登記 お問い合わせ ej-hp@edwardsvacuum.com 登記番号6124750、登記した事務所：Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, UK. 2 3 1 1 1 7 排気速度（m3/h） 電力（W）