nEXT85 ターボ分子ポンプ

Page 1:nEXT85ターボ分子ポンプは、EXT75DXを基礎にして構築されており、小さなパッケージで多大な性能を発揮します。ロータの全面的な再設計により、ポンプ性能が最適化され、排気速度と高圧縮が得られるとともに、これまでと同等の高度の信頼性が維持されます。nEXT85は、性能が強化されただけでなく、現場でのメンテナンスやデータログの確認等nEXTシリーズと同一のサービスおよび運転機能を利用することが可能です。edwardsvacuum.com特長と利点nEXT85ターボ分子ポンプ• コンパクト且つこのクラス最高の性能• 標準および高圧縮仕様から選択可能• Edwardsが特許を有するインペラー温度直接測定技術により最大作業範囲を拡大• インターステージおよびバッキングポート位置のカスタマイズが可能• 4年間の標準メンテナンスサイクル• CMSDにより低振動を実現• マイクロUSBポートおよびEdwardsのnSTソフトを内蔵している為、ポンプのモニタリング、制御および構成が可能• 豊富なアクセサリー

Page 2:技術データnEXT85 D型 nEXT85 H型NW40 ISO63 CF63 ISO100 ISO63 CF63インレット排気速度 l/sN2 48 84 85 84Ar 44 80 84 80He 61 79 80 77H2 50 61 60 54圧縮比N2 1 x 10112 x 109Ar 1 x 109 3 x 109He 8.5 x 1064.6 x 107H2 2.1 x 1056.5 x 105インターステージ排気速度 (70sccmガス負荷) l/sN2 6Ar 6He 9H2 10バッキング/インターステージポートサイズ NW16ベント/パージポート NW16最大連続インレット流 N2強制空冷 (周囲温度35℃) sccm 30強制空冷 (周囲温度23℃) sccm 60水冷 (周囲温度35℃) sccm 50水冷 (周囲温度23℃) sccm 60自然対流 (周囲温度30℃) sccm 10自然対流 (周囲温度23℃) sccm 25最大連続背圧 N2強制空冷 (周囲温度35℃) mbar 10強制空冷 (周囲温度23℃) mbar 16水冷 (周囲温度35℃) mbar 10水冷 (周囲温度23℃) mbar 16自然対流 (周囲温度30℃) mbar 1自然対流 (周囲温度23℃) mbar 290%の速度までの始動時間 (80 W) sec 115公称回転速度 rpm 90,000質量 kg 3.0 2.9 4.3 3.2 2.9 4.3製品データシート

Page 3:性能グラフ0.010.020.030.040.050.060.070.080.090.0100.01.00E-06 1.00E-05 1.00E-04 1.00E-03 1.00E-02 1.00E-01排気速度(l/s)インレット圧力 (mbar)窒素 nEXT85D/Hアルゴン nEXT85D/Hヘリウム nEXT85Dヘリウム nEXT85H水素 nEXT85D水素 nEXT85HnEXT85D/H 排気速度 DN631SO-KnEXT85製品説明 製品番号nEXT85D ISO63 B8G210B01nEXT85D CF63 B8G210C01nEXT85D NW40 B8G210A01nEXT85D ISO100 B8G210101nEXT85H ISO63 B8G410B01nEXT85H CF63 B8G410C01nEXT85H NW40 B8G410A01nEXT85H ISO100 B8G410101付属品および補修品 製品説明 製品番号コントローラTAGコントローラ D39592000TAG電源 D39592800TIC100ターボ・計器コントローラ D39721000延長ケーブル1m: ポンプ∼コントローラ D397008353m: ポンプ∼コントローラ D397008365m: ポンプ∼コントローラ D39700837電源ケーブル2m: 電源ケーブル・UKプラグ D400130252m: 電源ケーブル・EUプラグ D400130302m: 電源ケーブル・USプラグ D40012120冷却WCX85水冷キット (4位置) B8G200833WCXB85基本水冷プレート お問い合わせくださいAXC85空気冷却器コネクタ装備 B8G200820AXC85空気冷却器裸配線 B8G200821ベント通常開TAV5ベント弁コネクタ付属 B8G200834通常閉TAV5ベント弁コネクタ付属 B8G200835通常開TAV5ベント弁裸配線 B58066010通常閉TAV5ベント弁裸配線 B58066040ベントポートアダプター B58066011ベークアウトCF63フランジヒーター110V B8G200823CF63フランジヒーター240V B8G200824サービスベアリング交換キット B8G200811オイルカートリッジ・キット B8G200827ベアリング・オイル・カートリッジキット B8G200828ベアリング交換ツールキット お問い合わせくださいその他PRX10パージレストリクタ B58065001付属品“Y”アダプター B8G200837付属ケーブル90度/延長 B8G200836付属コネクタ裸配線 お問い合わせくださいnEXT85/EXT75DXベース取り付けアダプタ B8G200838製品情報製品データシート

Page 4:edwardsvacuum.comEMEAUK 44 1293 528844 (local rate) 08459 212223Belgium 32 2 300 0730France 33 1 4121 1256Germany 0800 000 1456Italy 39 02 48 4471Israel 972 8 681 0633ASIA PACIFICChina 86 400 111 9618India 91 20 4075 2222Japan 81 47 458 8836Korea 82 31 716 7070Singapore 65 6546 8408Taiwan 886 3758 1000AMERICASUSA 1 800 848 9800Brazil 55 11 3952 5000Publication Number: B8G200895, Issue B© Edwards Limited 2016. All rights reserved Edwardsand the Edwards logo are trademarks of EdwardsLimitedWhilst we make every effort to ensure that weaccurately describe our products and services, we giveno guarantee as to the accuracy or completeness of anyinformation provided in this datasheet.Edwards Ltd, registered in England and WalesNo. 6124750, registered office: Manor Royal,Crawley, West Sussex RH10 9LW, United Kingdom.GLOBAL CONTACTS9097( )2754.531.54195.1112DRIVEM5 EARTH POINTCOOLING BLOCK MOUNT(3 POSITIONS)148.57925100PURGE PORTVENT PORTINTERSTAGE PORT(NW16 or NW25)BACKING PORT(NW16 or NW25)ALTERNATIVEBACKING PORTSISO63 INLET FLANGE(SHOWN BLANKED)67.5 48.5(3x)66.532.528795(4x) x0.8-6gPCDTHREADED 8 DEEPPURGE PORT (1/8 BSP)VENT PORT (1/8 BSP)DRIVE INTERFACESACCESSORYCONNECTIONPOWER CABLE(24V - 48V)MICRO USB(SERVICE)COMMUNICATIONSELECTOR RS485-232STANDBY SPEED SET -STANDBY SPEED SET NORMAL LEDSTATUS LEDALARM LEDRECIEVE LEDTRANSMIT LEDON REVERSE ALSOACCESSIBLE UNDER DUST COVER寸法製品データシート